DB11∕T 2080-2023 建設項目環(huán)境影響評價技術指南 集成電路制造

DB11北京市市場監(jiān)督管理局發(fā)布 本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則理條例》，規(guī)范和指導集成電路制造建設項目環(huán)境影響評價工作建設項目環(huán)境影響評價技術指南集成電路制造GB20891非道路移動機械用柴油機排氣污染物排放定的電路互連，集成在半導體晶片上，封裝在一個外殼內，執(zhí)行特定功除公用工程外，建設項目在生產(chǎn)運營過程中必需依4.3建設項目應符合“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控、4.4建設項目所在產(chǎn)業(yè)園區(qū)已開展規(guī)劃環(huán)境影響評價的，應說明其與規(guī)劃環(huán)境影響評價結論及審查意a)廢氣：顆粒物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧、氰化氫、氟化物、氯氣、氨、苯系物、非甲烷總烴、鉛及其化合物、錫及其化合物、砷及其化合物、c)固體廢物：廢有機溶劑與含有機溶劑廢物、感光材料廢物、表面處理廢物、廢酸、廢堿等危5.2建設項目工程分析工程、環(huán)保工程、儲運工程及依托工程等，并按a)項目概況應給出建設地點、建筑面積、建設性質、四至范圍、總投資與環(huán)保投資、建設計劃及主要經(jīng)濟技術指標等，說明勞動定員和工c)輔助工程應給出純水制備系統(tǒng)、冷卻塔系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)、空氣凈化系統(tǒng)、應急柴油發(fā)電系統(tǒng)等工程情況。如自建鍋爐，應給出鍋爐建設位置、燃料d)公用工程應給出市政配套給水、排水、供熱、供電、供氣等相關工程情況，說明建設項目與其依托關系。使用再生水的，應說明再生水來源、用量、用途及管e)環(huán)保工程應給出廢氣、廢水、噪聲、固體廢物等污染防治措施，以及環(huán)境風險防范措施和生f)儲運工程應給出主要原輔材料的儲運情況，重點說明硅烷站、特種氣體站、大宗氣體站、化學品存儲用房等儲運工程的規(guī)模、位置、原輔材料存儲a)給出建設項目主體工程、輔助工程、公用工程、環(huán)保工程、儲運工程等功能區(qū)平面布置，明b)給出薄膜制備、光刻、刻蝕、摻雜、金屬沉積、化學機械研磨、封裝等各生產(chǎn)單元在生產(chǎn)廠燃料的使用和消耗情況。主要生產(chǎn)單元、工序、設備及原輔材料等可a)給出與現(xiàn)有工程的關系，分析闡明現(xiàn)有工程環(huán)境保護措施及處理效果、污染物排放及達標情b)給出現(xiàn)有工程履行環(huán)境影響評價、竣工環(huán)境保護驗收、排污許可手續(xù)等情況，明確存在的主5.2.2.1繪制包含產(chǎn)排污環(huán)節(jié)的生產(chǎn)流程圖，以及各生產(chǎn)單元主要工序的產(chǎn)排污節(jié)a)集成電路圓片制造項目，應根據(jù)產(chǎn)品用途及圓片規(guī)格、特征線寬等關鍵參數(shù)分析污染物產(chǎn)排b)集成電路封裝項目，應根據(jù)不同封裝形式分析污染物產(chǎn)排情況。5.2.2.2給出新鮮水、市政再生水、純水等使用量，清洗水回收量，以及廢水產(chǎn)生確排水去向，給出水平衡圖。核算工業(yè)用水重復利用率、純5.2.2.3對含氯、氟、氨、磷、砷等物質和銅、鎳、銀等重金屬的原輔材料，以及5.2.3.2核算方法可采用類比法、實測法、物料衡算法、產(chǎn)污系數(shù)法、排污系數(shù)法a)優(yōu)先采用類比法或物料衡算法，采用類比法的應從產(chǎn)品用途、圓片規(guī)格、特征線寬、封裝形式、生產(chǎn)工藝、工程規(guī)模、污染控制措施等方b)現(xiàn)有工程優(yōu)先采用實測法。已取得排污許可證的，可將排污許可證及執(zhí)行報告作為現(xiàn)有工程a)采用尾氣處理設備的，應識別在預處理過程中是否產(chǎn)生二氧化硫、氮氧化物、二噁英類等其5.3.1根據(jù)建設項目特點，可能產(chǎn)生的環(huán)境影響和區(qū)域環(huán)境特征，識別現(xiàn)狀調查與評價的重點5.4主要環(huán)境影響和保護措施5.4.1.1依據(jù)《建設項目環(huán)境影響報告表編制技術指南（污染影響類試行）》開展各環(huán)境要素環(huán)5.4.1.2重點說明擬采取的廢氣、廢水、噪聲、固體廢物等污染防治措施，以及環(huán)生態(tài)保護措施等，包括工程措施和管理措施，a)薄膜制備、光刻、刻蝕、摻雜等生產(chǎn)單b)刻蝕、金屬沉積、封裝等生產(chǎn)單元產(chǎn)生5.4.2.4結合污染源源強、排放標準、污染治理措施等，分析達標排放情況及環(huán)境5.4.3.1說明廢水的主要收集方式、處理5.4.3.2分別論證含氨廢水、含氟廢水、含磷廢水、研磨廢水、酸堿廢水、有機廢5.4.4.1給出噪聲源、產(chǎn)生強度、降5.4.5.1給出固體廢物產(chǎn)生環(huán)節(jié)、名稱、屬性（一般工業(yè)固體廢物、危險廢物等）b)危險化學品的存儲使用；5.5環(huán)境管理與監(jiān)測計劃度、組織機構等，明確各項環(huán)境保護設施和措施的建設、運行及維護保5.5.3給出竣工環(huán)境保護設施驗收的重點內容。分期建設的，還應給出環(huán)保工程與主體工程的5.6環(huán)境影響評價結論從生態(tài)環(huán)境保護角度，給出建設項目環(huán)境影響可行或不6.2環(huán)境影響評價文件中的圖件包括但不限于：地理位置圖、周邊環(huán)境關系圖、廠區(qū)平面布置圖、環(huán)等，上述圖件可視具體情況進行合并。附圖中應有比例尺、圖例、指北針等逐項說明主體工程的建設內容、功能分區(qū)、生給水排水供熱力備涉及清洗工序的生廢氣主要污染物、廢水主要污染物、主要危險廢酸性廢氣處理酸性廢氣處理氨酸性廢氣處理酸性廢氣處理氨b氮氧化物、二氧化硫、顆粒物：有機廢氣處理設備采含氟廢水處理系統(tǒng)含氟廢水處理系統(tǒng)含氰及其他含其他含金屬廢水處理含氰及其他含其他含金屬廢水處理水循環(huán)冷卻水排水量水量a涉及一類污染物的廢水分類收集、分質處理；元等氨生產(chǎn)廢水處理氨等《建設項目環(huán)境影響報告表》（污染影響類）重點內容填寫指引按照4.2說明專項評價設置情況，填寫名稱，并依據(jù)《建設項染影響類試行）》中表1說明設置理由。F.2.2規(guī)劃情況、規(guī)劃環(huán)境影響評價情種類和用量。明確勞動定員及工作