特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)要求規(guī)范方案

特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

2021-04-0708:31:54|分類：默認(rèn)分類|標(biāo)簽：氣體特種管道氣瓶閥門|字號(hào)訂閱

1總那么

1.0.1為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國(guó)家法律、法規(guī)，確保平安可靠，保護(hù)

環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)平安，做到平安適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。制定本標(biāo)

準(zhǔn)。

1.0.2本標(biāo)準(zhǔn)適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)和施工。

1.0.3本標(biāo)準(zhǔn)不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。

1.0.4特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定外，應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2術(shù)語

2.0.1特種氣體specialilygas

用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用

的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

2.0.2特種氣體系統(tǒng)specialitygassystem

特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場(chǎng)的特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配全過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。

2.0.3特種氣體間specialitygasroom

是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過管道向

用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。

2.0.4硅烷站silanestation

是指放置硅烷儲(chǔ)存設(shè)備〔氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長(zhǎng)管拖車或ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐〕、硅烷氣化裝置及

尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過管道向用氣生產(chǎn)廠房供給硅烷氣體的獨(dú)立建構(gòu)筑物或區(qū)域。

2.0.5明火地點(diǎn)openflamesite

室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱外表的固定地點(diǎn)。

2.0.6散發(fā)火花地點(diǎn)sparkingsite

散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點(diǎn)。

2.0.7空瓶emptycylinder

留有剩余壓力的氣體鋼瓶。

2.0.8實(shí)瓶fullcylinder

存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為40L、47、48L等各種容積。

2.0.9氣瓶集裝格thebundleofgascylinders

用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。氣瓶的個(gè)數(shù)分別為

9個(gè)、12個(gè)、16個(gè)不等，單個(gè)氣瓶的水容積通常為40~50Lo

2.0.10氣瓶柜gascabinet(GC)

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急迫斷閥、過流

開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等平安使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手

動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

2.0.11氣瓶架gasrack(GR)

特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急

迫斷閥、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等平安設(shè)施。氣瓶架有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

2.0.12閥門箱valvemanifoldbox(VMB)

特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件，VMB在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管可

配置手動(dòng)閥、壓力表、過濾器等組件，除SiH2c12、WF6等低蒸汽壓力氣體外，VMB各支管可根據(jù)需

要設(shè)置調(diào)壓閥。VMB需設(shè)置泄漏氣體排氣管接口和風(fēng)壓事故報(bào)警。

2.0.13閥門盤valvemanifoldpanel(VMP)

特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件，VMP在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管應(yīng)

配置手動(dòng)閥、壓力表、過濾器等組件，VMP各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。

2.0.14低蒸汽壓力氣體lowvaporpressuregas

在室溫下的飽和蒸氣壓小于0.2MPa的氣體。

2.0.15尾氣處理裝置localscrubber

用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處理后的尾氣到達(dá)規(guī)定排放濃

度，并排入用氣車間的排氣管道。

2.0.16氣體探測(cè)系統(tǒng)gasdetectorsystem(GDS)

設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域，通過檢測(cè)

本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的含量來判斷本質(zhì)氣體的泄漏，從而發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)、提供給急處理數(shù)

據(jù)的系統(tǒng)。

2.0.17氣體管理系統(tǒng)gasmanagementsystem(GMS)

包含特種氣體探測(cè)系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)輸送與處理系統(tǒng)的氣體管理與

控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱。

2.0.18最高允許濃度值thresholdlimitvalue(TLV)

工作環(huán)境空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。

2.0.19爆炸濃度下限值lowexplosionlimit(LEL)

可燃?xì)怏w在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。

2.0.20臥式氣瓶y-cylinder/t-cylinder

用于儲(chǔ)存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為500L,1000Lo

2.0.21自燃?xì)怏wpyrophoricgas

在空氣中會(huì)發(fā)生自動(dòng)燃燒的氣體。

2.0.22可燃?xì)怏wflammablegas

指與空氣〔或氧氣〕能夠形成一定濃度的混合氣態(tài)，并遇到火源會(huì)發(fā)生燃燒或爆炸的氣體。

2.0.23毒性氣體toxicgas

LC50超過200ppm但不超過2000ppm的氣體。

2.0.24腐蝕性氣體corrosivegas

是指在一定條件下，對(duì)材料或人體組織接觸產(chǎn)生化學(xué)反響引起可見破壞或不可逆反響的氣體。

2.0.25氧化性氣體oxygenizegas

是指在一定條件下，與材料接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的失去電子的化學(xué)反響的氣體。

2.0.26惰性氣體inertgas

在一般情況下與其它物質(zhì)不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反響的氣體。

2.0.27限流孔板restrictfloworifice(RFO)

限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。

2.0.28過流開關(guān)excessflowswitch(EFS)

流量超出設(shè)定值時(shí)，給出開關(guān)信號(hào)。

2.0.29AP管annealedandpickledpipe

經(jīng)過酸洗或鈍化、去除外表殘存顆粒的鈍化無縫不銹鋼管。

2.0.30BA管brightannealingpipe

經(jīng)加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚?，消除?nèi)部應(yīng)力并在管道外表形成一層鈍化膜的光亮無縫不銹鋼管。

2.0.31EP管electro-polishedpipe

經(jīng)電化學(xué)拋光，使表層實(shí)際面積得到最大程度的減少,外表產(chǎn)生一層較厚的封閉的氧化輅膜的電化學(xué)拋

光無縫不銹鋼管。

2.0.32吹掃purge

用氮?dú)夂推錃鈱?duì)特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的其它氣體進(jìn)展置換的過程。

2.0.33排氣vent

特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體。

2.0.34數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng)supervisorycontrolanddataacquisition(SCADA)

是以計(jì)算機(jī)為根底的生產(chǎn)過程控制與調(diào)度自動(dòng)化系統(tǒng)。它可以對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的運(yùn)行設(shè)備進(jìn)展監(jiān)視和控制，

以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測(cè)量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號(hào)報(bào)警等各項(xiàng)功能。

2.0.35工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)facilitymanagementcontrolsystem〔FMCS〕

用于管理工廠動(dòng)力設(shè)備的管理控制系統(tǒng)，一般只具有監(jiān)視功能，不具有控制功能。

2.0.36大宗硅烷系統(tǒng)bulksilanesystem

是指容器水容積超過250L的硅烷系統(tǒng),包括鋼瓶集裝格、丫鋼瓶、長(zhǎng)管拖車(T/T)、ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐，以

及數(shù)量超過7個(gè)的獨(dú)立小鋼瓶系統(tǒng)。

2.0.37氣體面板gaspanel

集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過濾器、壓力計(jì)等零部件并安裝在氣瓶柜內(nèi)的專用設(shè)施。

2.0.38開敞式建筑openarea

立柱和墻面遮擋局部小于周長(zhǎng)的25%的建筑。

2.0.39內(nèi)向檢漏inboardheleaktest

又稱噴氫法測(cè)試.采用內(nèi)部抽真空，外部噴氧氣的方法，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

2.0.40閥座檢漏crossseatheleaktest

采用閥門上游充氮?dú)?，下游抽真空，檢測(cè)泄漏率的方法。

2.0.41外向檢漏outboardheleaktest

又稱吸槍法測(cè)試，采用管路內(nèi)部充氮?dú)饣虬钡旌蠚?，外部用吸槍檢查漏點(diǎn)泄漏率的方法。

2.0.42不相容性incompatible

不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反響，釋放出能量并對(duì)環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。

2.0.43ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐ISOmodule

按國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織〔ISO〕要求，允許安裝在架子上的多個(gè)水容積不超過1218L的儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管氣瓶的總稱。

2.0.44大宗特氣輸送系統(tǒng)

應(yīng)用：1〕集束鋼瓶〔容積小于50L鋼瓶數(shù)量超過12個(gè)以上〕；2〕Y型鋼瓶；3〕T型鋼瓶；4）長(zhǎng)管

拖車；5〕ISO槽罐等進(jìn)展特種氣體儲(chǔ)存和送氣作業(yè)的系統(tǒng)。3特種氣體站房

3.1一般規(guī)定

3.1.1特種氣體站房包括布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站和布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體

間。

3.1.2布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產(chǎn)線供給

特種氣體。

3.1.3在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間內(nèi)的最大允許儲(chǔ)存量見表3.1.5,當(dāng)生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的氣體儲(chǔ)量超過規(guī)定

數(shù)量時(shí)，應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立的特種氣體站。

表3.1.3生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)最大允許儲(chǔ)存量

序號(hào)氣體種類氣體總量［1］立方米

1可燃?xì)怏w56

2毒性氣體92

3劇毒性氣體1.1

4自燃?xì)怏w2.8

5氧化性氣體170

6腐蝕性氣體92

說明：［1］標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積量.

3.1.4集合工藝設(shè)備的布置情況，生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓靠外墻的區(qū)域。

3.1.5低蒸汽壓力特種氣體供給設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。

3.1.6布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長(zhǎng)管拖車向

生產(chǎn)線供給特種氣體。

3.2氣體站房分類

3.2.1特種氣體依其物性及平安特性，將其分為可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性氣體。

3.2.2布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、

惰性氣體間。

3.2.3獨(dú)立布置的特種氣體站有硅烷站、氨氣站等。

3.3特種氣體設(shè)備的布置

3.3.1不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里，如果布置在同一房間，氣瓶柜架之間的距離應(yīng)

大于6米。

3.3.2同時(shí)具有可燃性和毒性氣體應(yīng)放在可燃性氣體間

3.3.3特種氣體房間內(nèi)的氣瓶柜、氣瓶架、就地尾氣處理裝置、氣瓶集裝格宜靠墻布置，具有一樣或相

近氣體性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)布置在一起。

3.3.4特種氣體間的中間通道寬度不得小于2米，特氣柜與墻體之間的距離宜大于0.1m,特氣柜之間

的距離宜大于0.1m,氣瓶集裝格宜靠墻布置。布置應(yīng)考慮維修與運(yùn)轉(zhuǎn)空間。

3.4.5硅烷站內(nèi)長(zhǎng)鋼瓶拖車宜放置在硅烷站的室外空曠地坪。

3.4.6特種氣體系統(tǒng)的電氣控制盤、儀表控制盤的布置，應(yīng)符合以下規(guī)定：

1應(yīng)布置在與特種氣體供給設(shè)備室相鄰的控制室內(nèi)，隔墻上可以設(shè)置防爆密閉觀查窗。

2控制室應(yīng)以耐火極限不小于2h的隔墻和不低于1.5h的樓板與特種設(shè)備間隔開，穿越隔墻的管道應(yīng)

以防火材料填堵。

4特種氣體工藝系統(tǒng)

4.1一般規(guī)定

4.1.1電子工廠的特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置以下裝置：

1.儲(chǔ)存與送氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；

2.氣體輸送與分配用閥門箱或閥門盤；

3.輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)；

4.尾氣排放處置系統(tǒng)。

4.1.2特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特種氣體使用的平安操作、工藝參數(shù)、污染

控制的要求。

4.1.3不相容的特種氣體的排氣管道不應(yīng)接入同一排氣系統(tǒng)。

4.1.4不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應(yīng)接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。

4.2特種氣體輸送系統(tǒng)

4.2.1特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜與氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合以下規(guī)定

1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的氣瓶柜用氣瓶容積不得大于50L;

2氧化性和惰性氣體的氣瓶架用氣瓶容積不得大于50L;

3氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)狻苍础称俊矄纹渴健?、雙工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)狻苍础?/p>

瓶〔雙瓶式〕、雙工藝氣瓶?jī)?nèi)置吹掃氮?dú)狻苍础称俊踩渴健车榷喾N構(gòu)造配置；

4不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

5氣瓶柜與氣瓶架應(yīng)設(shè)有分配、作業(yè)用氣體面板，氣體面板的要求詳見422條；

6系統(tǒng)的供給能力必須經(jīng)過相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；

7氣瓶柜閉門時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，其排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/小時(shí)；

8自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測(cè)器；

9氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm,并有防腐蝕涂層。

10氣瓶柜門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗；

11氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的平安標(biāo)示牌；

12氣瓶柜地腳螺栓的設(shè)計(jì)要滿足當(dāng)?shù)氐卣鹆叶鹊囊蟆?/p>

13當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力

裝置設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)？GB50058的規(guī)定。

4.2.2特種氣體氣瓶柜與氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合以下規(guī)定：

1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門，并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門，位置盡量靠近氣瓶

J.LLI

順;

2氣瓶壓力大于O.IMPa的自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過流開關(guān)；

3自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃系統(tǒng)；

4自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有輔助抽真空裝置，該管路必須設(shè)置止回閥；

5各種特種氣體面板均應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口；

4.2.3可燃特種氣體氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)符合以下要求

1.硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200'次/小時(shí)。氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)持續(xù)監(jiān)控；

2.自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外紅外火焰探測(cè)器；

3.可燃與自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)，但是CIF3氣瓶柜不應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；

4,自燃性氣體氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

4.2.4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置以下裝置

1獨(dú)立設(shè)置的氣〔液〕瓶、儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管拖車及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣

體面板、吹掃氮?dú)鈫卧㈦姎饪刂乒瘢?/p>

2大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的其它功能配備應(yīng)符合第4.2.1條的規(guī)定;

3大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的供給能力必須經(jīng)過相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；

4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)宜單獨(dú)建站，或置于單獨(dú)的氣體房，并考慮消防間距和物流通道等；

5液化氣體瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)適宜的鋼瓶加熱與保溫裝置。

6大宗特種氣體應(yīng)考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)展預(yù)熱。

4.2.5液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)

1液態(tài)特種氣體系統(tǒng)包括獨(dú)立放置的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、推動(dòng)氣體單元、載氣單元、

吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜與溫度控制裝置。

2液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)利用推動(dòng)氣體的靜壓力或者采用泵，將液體化學(xué)品從大包裝槽罐里輸送至液體

輸送柜里的小包裝液罐，或者將小包裝液罐里的液體直接推動(dòng)輸送至用液點(diǎn)。用液點(diǎn)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)

器，將液體化學(xué)品鼓泡或直接蒸發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反響設(shè)備。

3液態(tài)特種氣體輸送柜必需的其他功能配備應(yīng)符合第421條的規(guī)定。

4.2.6特種氣體系統(tǒng)的閥門箱和閥門盤的設(shè)置應(yīng)符合以下規(guī)定

1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體系統(tǒng)的閥門箱應(yīng)設(shè)有：

1〕進(jìn)氣管路隔離閥門及壓力指示單元；

2〕各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)、過濾器、過流開關(guān)單元；

3〕各分支路獨(dú)立的進(jìn)出口隔離閥門；

4〕各分支路獨(dú)立的吹掃氮?dú)饣蚨栊詺怏w單元；

5〕各分支路獨(dú)立的輔助抽真空單元等

2惰性及氧化性氣體系統(tǒng)的閥門盤應(yīng)設(shè)有：

1〕進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示單元；

2〕各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器；

3〕各分支路獨(dú)立進(jìn)出口隔離閥門。

4.3吹掃和排氣系統(tǒng)

4.3.1特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置，應(yīng)符合以下要求：

1自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，不得與公用氮?dú)饣蚬に?/p>

氮?dú)庀到y(tǒng)相連；

2不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?/p>

3吹掃氮?dú)夤芫€必須設(shè)置止回閥。

4.3.2吹掃氮?dú)獾臍怏w面板設(shè)置包括以下部件：

1〕壓力調(diào)節(jié)閥；

2〕排氣管；

3〕上下壓截止閥；

4〕上下壓壓力指示；

5）平安閥

4.3.3特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空設(shè)置應(yīng)符合以下要求：

1真空發(fā)生器宜采用氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)抽真空功能；

2抽真空用氮?dú)饪捎晒闷胀ǖ獨(dú)馓峁?/p>

4.3.4工藝排氣與廢氣處理

1特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃，防止空氣倒流造成污染和腐蝕。

2不相容性氣體的排氣不得連接進(jìn)入同一排氣主管。

3自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的排氣濃度超過燃燒下限20%或最大允許濃度10%時(shí)，必須經(jīng)過尾

氣處理裝置處理后排入廠房排氣系統(tǒng)。

4適宜的廢氣處理裝置包括但不限于：1〕干式處理；2〕水洗式處理；3）加熱分解處理；4〕燃燒處

理；5〕等離子分解處理；6〕稀釋處理；以及以上幾種處理方式的結(jié)合。

5硅烷站

5.1硅烷工藝系統(tǒng)

5.1.1硅烷站工藝系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)以下因素確定

1硅烷的危險(xiǎn)性質(zhì)

2硅烷站的規(guī)模

3用戶對(duì)硅烷純度及壓力要求

4用戶對(duì)硅烷負(fù)荷變化情況的要求

5.1.2硅烷站應(yīng)根據(jù)工藝要求、當(dāng)?shù)貧夂驙顩r、硅烷設(shè)備狀況選擇采用封閉式、開敞式或露天形式進(jìn)展

布置。

5.1.3硅烷輸送工藝系統(tǒng)應(yīng)包括硅烷容器、氣體面板、閥門箱以及相應(yīng)的連接收道。

5.1.4典型的硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過濾、吹掃/排氣、平安控制等功能。

5.1.5硅烷應(yīng)采用獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶進(jìn)展吹掃，不得采用公用管道氮?dú)獯祾摺?/p>

5.1.6閥門箱應(yīng)配置惰性氣體吹掃系統(tǒng)、泄漏偵測(cè)和火焰?zhèn)蓽y(cè)。

5.1.7硅烷的放空不得排入局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)直接排到大氣，或燃燒式尾氣處理器。放空管道應(yīng)使用氮

氣連續(xù)吹掃。放空管道吹掃氮?dú)饬魉俨粦?yīng)低于0.3m/s。

5.1.8鋼瓶出口應(yīng)設(shè)置常閉式緊急迫斷閥。硅烷站的各平安出口應(yīng)設(shè)置手動(dòng)緊急迫斷按鈕，至少有一個(gè)

手動(dòng)緊急迫斷按鈕與輸送系統(tǒng)的距離應(yīng)大于4.6米。

5.1.9硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬膜片的波紋管閥、隔膜閥、調(diào)壓閥。氣源應(yīng)配置直徑小于3.175mm的

限流孔板。輸送系統(tǒng)應(yīng)配置過流開關(guān)。

5.2硅烷站的布置

5.2.1硅烷站的布置，應(yīng)按以下要求綜合比擬確定：

1應(yīng)布置在工廠常年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)遠(yuǎn)離有明火或散發(fā)火花的地點(diǎn)；

2不應(yīng)布置在人員密集地段和主要交通要道鄰近處；

3硅烷站應(yīng)采用單層鋼筋混凝土或鋼框架、排架構(gòu)造。鋼框架、排架構(gòu)造應(yīng)采用防火保護(hù)措施。

4硅烷站應(yīng)設(shè)置不燃燒體的圍墻，其高度不應(yīng)小于2.5m;

5大宗硅烷站必須布置為獨(dú)立的開敞式建筑物或空曠區(qū)域，不得有地下室。當(dāng)采用開敞式建筑構(gòu)造形式

時(shí)，硅烷站墻面遮擋局部面積不大于建筑外圍面積的25%O如果有障礙物，距離應(yīng)保證大于障礙物高

度的2倍。

6硅烷站的選址應(yīng)方便運(yùn)輸和消防車輛的進(jìn)出。

5.2.2硅烷站與工廠建筑物、構(gòu)筑物的防火間距，不應(yīng)小于表5.2.2的規(guī)定。

表5.2.2硅烷站與其他建筑物、構(gòu)筑物、道路的防火間距〔m〕

名稱硅烷站儲(chǔ)量CO

<5>5

重要公共建筑50

甲類倉庫20

民用建筑、明火或散發(fā)火花地點(diǎn)3040

其他建筑一、二級(jí)耐火建筑1520

三級(jí)耐火建筑2025

四級(jí)耐火建筑2530

電力系統(tǒng)電壓為35~500kV且每臺(tái)變壓器容量在3040

10MV-A以上的室外變、配電站工業(yè)企業(yè)的變壓器總油量大

于5t的室外降壓變電站

廠外鐵路線中心線40

廠內(nèi)鐵路線中心線30

廠外道路路邊20

廠內(nèi)道路路邊主要10

次要5

注:1防火間距應(yīng)按相鄰建筑物、構(gòu)筑物的外墻、凸出局部外緣、氣瓶集裝格外緣的最近距離計(jì)算。

2固定容積的硅烷氣罐，總?cè)莘e按其水容量〔m3〕和工作壓力〔絕對(duì)壓力〕的乘積計(jì)算。

3與高層廠房的防火間距，應(yīng)按本表相應(yīng)增加3m。

5.2.3硅烷站的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)?建筑設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)?GB50016的規(guī)定。

5.2.4硅烷站可采用有坡度的屋頂，屋頂最低點(diǎn)宜大于4.5米。硅烷站的面積大于19m2時(shí)，必須有兩

個(gè)平安出口。

5.2,5站內(nèi)任何地點(diǎn)到最近平安出口的距離不得大于23m0

5.2.6硅烷站應(yīng)采用快開式推桿鎖，不得采用其它形式的鎖具，疏散門應(yīng)采用平開門，朝向?yàn)槭枭⒎较颉?/p>

5.2.7露天布置的硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝面板之間應(yīng)距離9米，當(dāng)距離不到9米時(shí)，應(yīng)

采用2小時(shí)防火隔斷。防火隔斷的設(shè)置不應(yīng)影響自然通風(fēng)。

5.3平安技術(shù)措施

5.3.1硅烷站的電氣控制室應(yīng)設(shè)置在單獨(dú)的房間內(nèi)，并用無門窗洞口的防爆墻與硅烷氣瓶庫隔開。供硅

烷站專用的10kV及以下變配電所，不應(yīng)設(shè)置在硅烷站廠房?jī)?nèi)或貼鄰建造。

5.3.2硅烷大宗鋼瓶應(yīng)進(jìn)展防靜電接地。

5.3.3對(duì)于抽風(fēng)管道的泄漏探測(cè)器，設(shè)定值不應(yīng)小于0.34%CV/V)(25%LEL),報(bào)警并自動(dòng)關(guān)閉輸送

系統(tǒng)。環(huán)境監(jiān)測(cè)點(diǎn)設(shè)定值不應(yīng)小于5Ppm,報(bào)警但不需要切斷輸送系統(tǒng)。

5.3.4開放式輸送系統(tǒng)大宗鋼瓶區(qū)域必須設(shè)置紫外/紅外火焰探測(cè)器。封閉式輸送系統(tǒng)應(yīng)采用高溫探測(cè)

器?；鹧婊蚋袦靥綔y(cè)器應(yīng)與報(bào)警系統(tǒng)和緊急迫斷系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。

5.4采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)

5.4.1采用開放式布置的硅烷站，應(yīng)采取有效的措施，保證自然通風(fēng)，防止硅烷氣體積聚。假設(shè)不能滿

足開放式的條件時(shí)，應(yīng)設(shè)置強(qiáng)制通風(fēng)系統(tǒng)。

5.4.2封閉式硅烷站嚴(yán)禁采用循環(huán)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

5.4.3封閉式的硅烷站室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計(jì)參數(shù)應(yīng)滿足氣柜的要求。當(dāng)氣柜無具體要求時(shí)，室內(nèi)設(shè)計(jì)參

數(shù)宜滿足25±3℃O

5.4.4封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的連續(xù)排風(fēng)系統(tǒng)。

5.4.5氣柜排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下限流孔板〔RFO〕的硅烷連續(xù)流量計(jì)算氣柜內(nèi)的硅烷濃

度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%,并保證流經(jīng)氣瓶頸部和管道機(jī)械連接處的氣流速度不小

于1m/s來確定。

5.4.6氣瓶組直接安裝在封閉的硅烷站內(nèi)，房間排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下限流孔板（RFO〕

的硅烷連續(xù)流量計(jì)算房間內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%來確定。

5.4.7硅烷閥門箱的排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下限流孔板〔RFO〕的硅烷連續(xù)流量計(jì)算氣柜內(nèi)

的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%來確定。

5.4.8封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量根據(jù)事故泄漏量計(jì)算確定，但換氣次數(shù)不應(yīng)小于每小

時(shí)12次。硅烷站外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。

5.4.9硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機(jī)組。

5.4.10硅烷站空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采用適當(dāng)措施保證在空調(diào)機(jī)組維護(hù)或故障時(shí)，硅烷站能取得足夠的補(bǔ)風(fēng)。

5.4.11硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

5.4.12空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作。排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用剛性風(fēng)管，不得使用柔性風(fēng)管。

空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管保溫應(yīng)采用不燃或難燃保溫材料。

5.4.13排風(fēng)管路嚴(yán)禁穿越防火分區(qū)防火墻。排風(fēng)管路上不應(yīng)設(shè)置溶片式防火閥。

5.4.14排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)與火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)連動(dòng)控制，嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。

5.5消防系統(tǒng)

5.5.1硅烷站的消防應(yīng)符合以下規(guī)定

1.在發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，在沒有關(guān)閉泄漏鋼瓶之前，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰。

2.在發(fā)生火災(zāi)時(shí)，硅烷鋼瓶和使用到硅烷的相關(guān)的設(shè)備，應(yīng)有冷卻措施。

3.硅烷站嚴(yán)禁使用“哈龍〃滅火器。

4.硅烷站的消火栓系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合？建筑設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)？GB50016-2006中的有關(guān)規(guī)定。

5.5.2室外硅烷站的消防應(yīng)符合以下規(guī)定

1.設(shè)置在室外的硅烷站，應(yīng)設(shè)置雨淋系統(tǒng)來冷卻硅烷的輸送系統(tǒng)。保護(hù)部位包括硅烷鋼瓶、大宗硅烷

儲(chǔ)罐及相關(guān)的工藝氣柜。

2.雨淋系統(tǒng)的設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不小于12L/min.m2,火災(zāi)持續(xù)時(shí)間不小于2小時(shí)。

3.消防系統(tǒng)的管道應(yīng)采用金屬管材，接口采用絲扣、焊接收件。在站內(nèi)15m范圍內(nèi)的管道不應(yīng)采用以

橡膠為密封材料的溝槽式連接方式。

4雨淋系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，應(yīng)同時(shí)切斷硅烷的供給。

5當(dāng)室外硅烷站設(shè)有屋頂?shù)确烙甏胧r(shí)，在此處可以設(shè)置濕式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度按照嚴(yán)

重危險(xiǎn)系H級(jí)考慮。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度16L/min.m2，保護(hù)面積260m2。

6室外硅烷站的附近應(yīng)設(shè)置室外消火栓，室外消火栓應(yīng)設(shè)置在距大宗鋼瓶30m之外且46m之內(nèi)。

5.5.3室內(nèi)硅烷房間的消防應(yīng)符合以下規(guī)定

1.存儲(chǔ)和使用硅烷的房間應(yīng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不低于嚴(yán)重危險(xiǎn)級(jí)I級(jí)，設(shè)計(jì)噴水

強(qiáng)度12L/min.m2，保護(hù)面積260m2。

2,硅烷氣柜應(yīng)自帶冷卻用的自動(dòng)噴水滅火噴頭，該噴頭為快速反響噴頭。

6特種氣體管道輸送系統(tǒng)

6.1一般規(guī)定

6.1.1特種氣體輸送系統(tǒng)包括特氣管道系統(tǒng)、閥門分配系統(tǒng)、工藝設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)的管道、管件、

閥門、過濾器、減壓裝置、卸壓裝置、壓力表〔傳感器〕等所有部件。

6.1.2生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)特種氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水電管線共架時(shí)，當(dāng)相

對(duì)密度小于或等于0.75的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部；相對(duì)密度大于0.75的特氣管道宜設(shè)在水、

電管線上部。

6.1.3生產(chǎn)車間內(nèi)的可燃和有毒特氣體管道應(yīng)明敷，穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管

內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施。可燃、毒性、腐蝕性氣體管道的機(jī)械連接處,

應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。

6.1.4可燃特氣體與毒性特氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間，當(dāng)必須穿過時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層

管。特氣管道嚴(yán)禁穿過生活間、辦公室。

6.1.5特氣管道不得出現(xiàn)不易吹除的盲管等死區(qū)，防止U型彎。

6.1.6易燃性特氣體與氧化性特氣管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的接地設(shè)施。

6.1.7室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。

6.2材料選型

6.2.1工藝和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)外表應(yīng)進(jìn)展干凈和鈍化處理。

6.2.2腐蝕性氣體管道，宜采用二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或銀基合金材料的無縫鋼管。內(nèi)外表

應(yīng)進(jìn)展干凈和鈍化處理。

6.2.3用于接觸工藝氣體的閥門的密封座，應(yīng)盡量減少塑料材質(zhì)的使用量和外表接觸面積，且材質(zhì)應(yīng)與

氣體性質(zhì)匹配。

6.2.4雙層管的外層管道宜選擇經(jīng)過退火處理和酸洗處理的不銹鋼管道。

6.2.5排氣和尾氣真空管道宜采用不銹鋼管道，并經(jīng)過嚴(yán)格的脫脂處理。

6.2.6氧化性氣體應(yīng)采用專用禁油閥門、附件和管材，所有管件按規(guī)定進(jìn)展脫脂處理。

6.3管道設(shè)計(jì)

6.3.1管道的壓力等級(jí)應(yīng)根據(jù)工藝氣體的輸送壓力確定。管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？工業(yè)金屬管道

設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)？GB50316的要求。

6.3.2管道設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮用氣設(shè)備對(duì)流量和壓力的要求。應(yīng)參照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？工藝系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)技

術(shù)規(guī)定？HG/T20570.7進(jìn)展計(jì)算。

6.3.3管材的壁厚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？流體輸送用不銹鋼無縫鋼管？GB/T14976的規(guī)定，小尺寸管道

管壁厚度應(yīng)滿足下述要求：

表6.3.3小尺寸軌道壁厚要求

管道外徑壁厚要求

6mm(1/4")-10mm(3/8")0.89mm(0.035")

15mm(1/2")1.24mm〔0.049”〕

20mm(3/4")—25mm(1〃)1.65mm〔0.065”〕

6.3.4液態(tài)特氣水平管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度，坡向供液設(shè)備或收集器。

6.3.5對(duì)于強(qiáng)腐蝕性、自燃性和劇毒性危險(xiǎn)性氣體，宜采用雙套管設(shè)計(jì)，內(nèi)管走工藝氣體。套管間可采

用封閉或開放形式。

6.3.6對(duì)于輸送低蒸汽壓氣體，需要對(duì)管道設(shè)置伴熱和保溫措施。加熱溫度不宜超過50℃o

6.3.7特氣管道應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊接。閥件或管件處應(yīng)采用面密封連接，不應(yīng)采用螺紋或法蘭連接。

6.3.8特氣閥門應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥，不應(yīng)采用球閥、旋塞閥等閥門。

6.3.9特氣管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼墊片，墊片與特氣的性質(zhì)必須相容。

6.3.10產(chǎn)生顆粒的閥件下游宜安裝過濾器。

6.3.11特氣管道系統(tǒng)安裝完成后，應(yīng)根據(jù)工藝的要求進(jìn)展壓力測(cè)試、密封性測(cè)試和不純物測(cè)試。詳見

特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收章節(jié)。

6.4管道標(biāo)簽

6.4.1特種氣體管道必須進(jìn)展管道標(biāo)示，標(biāo)示方法應(yīng)按本節(jié)規(guī)定或企業(yè)內(nèi)部管道標(biāo)示執(zhí)行。

6.4.2特種氣體管路標(biāo)識(shí)應(yīng)包括氣體名稱、主要危險(xiǎn)特性和流向箭頭，并通過各種顏色來表示管道內(nèi)介

質(zhì)的危險(xiǎn)特性。

表6.4.1特種氣體管路標(biāo)示顏色

物質(zhì)物質(zhì)字體箭頭

底色意義舉例

特性種類顏色顏色

AsH3,SiH4,CH2F2,

極易燃易爆、強(qiáng)毒

紅色危險(xiǎn)氣、液體等PH3,WF6,CIF3,CO:白色白色

性

CCI4等

腐蝕性，對(duì)人體有

黃色警告氣、液體等HBr,HCI,HF等黑色黑色

危害

危害性較小或無危惰性氣體、

藍(lán)色平安SF6,Kr/Ne,Xe等白色白色

害無毒性物質(zhì)

注:1紅色一危險(xiǎn)色，表示內(nèi)容物易燃易爆、且有強(qiáng)毒性。

2黃色—警告色，表示內(nèi)容物有腐蝕性、毒性，或?qū)θ梭w有危害性。

3藍(lán)色/綠色一平安色，表示內(nèi)容物危險(xiǎn)性很小，或根本沒有危險(xiǎn)。

6.4.3標(biāo)示應(yīng)有該物質(zhì)名稱描述，順序可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)展調(diào)整。文字描述不僅包括管內(nèi)物質(zhì)名稱（化

學(xué)物質(zhì)包含分子式〕，還應(yīng)包括特性〔判定順序：易燃性、腐蝕性、毒性等其他性質(zhì)，其中特性的描述

以最主要的性質(zhì)為依據(jù)）。中、英文及數(shù)字式樣如下所示：

中文（黑體粗體字形〕

英文分子式和數(shù)字［Arial粗體字形〕

圖6.4.2管道標(biāo)示

SiH4硅烷-易燃易爆氣體

箭頭記號(hào)表示管內(nèi)物質(zhì)的流動(dòng)方向，顏色和字體顏色一樣，尺寸與標(biāo)示大小相匹配。

6.4.4標(biāo)示的尺寸依管徑內(nèi)徑變化。如管路名稱比擬長(zhǎng)，可根據(jù)實(shí)際情況增加標(biāo)簽的長(zhǎng)度。

表663標(biāo)示參數(shù)與管徑的對(duì)照

管徑標(biāo)示長(zhǎng)度標(biāo)不得度箭頭長(zhǎng)度字體高度

6mm(1/4")150mm⑹〕15mmC1/2")30mm(1.2")8mm〔1/4"〕

10mm(3/8")150mm⑹〕15mmC1/2")30mm〔1.2"〕8mm〔1/4"〕

15mm(1/2")150mm⑹〕15mmC1/2")30mm〔1.2"〕8mm〔1/4"〕

20mm(3/4")200mm⑻〕20mmC3/4")40mm〔1.6"〕15mm〔1/2"〕

25mm(1")-50mm(2200mm〔8"〕40mm〔1.6"〕20mm(3/4")

25mm(1")

")

50mm(2")以上300mm(12")40mmC1.5")60mm〔2.4"〕30mm(1.25")

6.4.5管路上粘貼標(biāo)簽應(yīng)符合以下規(guī)定:

1水平直管局部：管路直徑100mm(4")〔含〕以下，每隔3m粘貼一張，其中以主要走道上方為基準(zhǔn)

方位；管路直徑100mm(4")〔不含〕以上，每隔6m粘貼一張，其中以主要走道上方為基準(zhǔn)方位。

2垂直直管局部：管路內(nèi)徑100mm(4")〔含〕以下，每隔2m粘貼一張，并以地面向上150cm處為基

準(zhǔn)位置粘貼一張；管路內(nèi)徑100mm(4")〔不含〕以上，每隔4m粘貼一張，并以地面向上150cm處為

基準(zhǔn)位置粘貼一張。

3管路的連接處〔如閥件、彎頭〕，機(jī)臺(tái)與管路的接收處，和穿墻兩側(cè)局部都必須粘貼一張。標(biāo)示的粘

貼要遵循整齊的原那么垂直管路上的標(biāo)示上邊緣對(duì)齊。標(biāo)示粘貼的角度要易于識(shí)別，使操作人員在操作

或緊急突發(fā)情況下能迅速辨識(shí)。

-箭頭標(biāo)示如下：

圖6.6.4粘貼標(biāo)不

2/15L

箭頭長(zhǎng)度1/5L

標(biāo)簽長(zhǎng)度L

1/3H

1/6H

7建筑構(gòu)造

7.0.1布置于生產(chǎn)廠房的特種氣體間的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。其構(gòu)造構(gòu)件的耐火極限應(yīng)該符合現(xiàn)行國(guó)

家標(biāo)準(zhǔn)?建筑設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)？GB50016的規(guī)定。

7.0.2有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的承重構(gòu)造宜采用鋼筋混凝土或鋼框架、排架構(gòu)造，房間應(yīng)沿建筑外墻

布置。

7.0.3有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？建筑設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)？GB50016的規(guī)定設(shè)置泄壓設(shè)

施。

7.0.4有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的平安出口不應(yīng)少于2個(gè)，且宜分散布置，相鄰2個(gè)平安出口最近邊緣

之間的水平距離不應(yīng)小于5m,其中1個(gè)應(yīng)直通室外，通向疏散走道的門需要滿足防火及防爆要求。當(dāng)

爆炸危險(xiǎn)房間的面積小于等于100m2,且同一時(shí)間的生產(chǎn)人數(shù)不超過5人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室

外的出口。

7.0.5惰性氣體間的平安出口不應(yīng)少于2個(gè)，且宜分散布置，相鄰2個(gè)平安出口最近邊緣之間的水平距

離不應(yīng)小于5m,其中1個(gè)應(yīng)直通室外，通向疏散走道的門應(yīng)為乙級(jí)防火門。當(dāng)惰性氣體房間的面積小

于等于150m2,且同一時(shí)間的生產(chǎn)人數(shù)不超過5人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口。

7.0.6有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間與無爆炸危險(xiǎn)房間之間，應(yīng)采用耐火極限不低于4h的不燃燒體防爆墻

隔開，防爆墻上不應(yīng)開設(shè)門窗洞口，當(dāng)設(shè)置雙門斗相通時(shí)，門應(yīng)錯(cuò)位布置，門的耐火極限不應(yīng)低于1.2h。

7.0.7有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的控制室應(yīng)與該氣體房間及相鄰其他房間應(yīng)采用耐火極限不低于3.00h

的不燃燒體墻體分隔開。

7.0.8特種氣體房間的門應(yīng)向疏散方向開啟，有爆炸危險(xiǎn)房間的門窗應(yīng)采用撞擊時(shí)不產(chǎn)生火花的材料制

作。

7.0.9當(dāng)相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，散發(fā)較空氣輕的可燃性特種氣體間，頂棚應(yīng)平整、防止死角，

特種氣體間上部應(yīng)通風(fēng)良好。

7.0.10當(dāng)相對(duì)密度大于0.75時(shí)，散發(fā)較空氣重的可燃特種氣體間，應(yīng)采用不發(fā)火花的地面，并應(yīng)平整、

耐磨、防滑。采用絕緣材料作整體面層時(shí)，應(yīng)采取防靜電措施。頂棚外表應(yīng)平整，防止死角，特種氣體

房間不應(yīng)設(shè)計(jì)地溝，必須設(shè)置時(shí)，其蓋板應(yīng)嚴(yán)密，防止特種氣體的積聚。

7.0.11特氣間的高度應(yīng)滿足工藝設(shè)備與管道布置的要求，并結(jié)合生產(chǎn)廠房的高度統(tǒng)一考慮，不宜低于

4.5米。

7.0.12特種氣體房間內(nèi)的裝修材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)？GB50222的規(guī)

定。

8電氣與防雷

8.1配電與照明

8.1.1特種氣體站和特種氣體間的電力負(fù)荷分級(jí)不宜低于二級(jí)負(fù)荷；可燃、自燃、毒性與腐蝕性氣體設(shè)

備應(yīng)為一級(jí)負(fù)荷；氣體管理與氣體泄漏探測(cè)系統(tǒng)為一級(jí)負(fù)荷中特別重要的負(fù)荷，必須配置不連續(xù)電源。

8.1.2有爆炸危險(xiǎn)特種氣體站和特種氣體間的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)的電力裝置應(yīng)為1區(qū)設(shè)防，并應(yīng)符合現(xiàn)

行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？爆炸和火災(zāi)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)?GB50058的規(guī)定。

8.1.3特種氣體站房的照明燈具宜安裝在操作與維修通道處，不宜安裝在設(shè)備正上方，并應(yīng)設(shè)置備用照

明。

8.2防雷與接地

8.2.1特種氣體間與硅烷站的防雷分類應(yīng)劃分為第二類防雷建筑，應(yīng)采取防直擊雷、防雷電感應(yīng)和防雷

電波侵入的措施。

8.2.2突出屋面的放散管、風(fēng)管等物體，應(yīng)按以下方式保護(hù)：

1排放爆炸危險(xiǎn)氣體的放散管、排風(fēng)管的管口外空間應(yīng)處于接閃器的保護(hù)范圍內(nèi)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)

準(zhǔn)?建筑物防雷設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)？GB50057中第一類防雷建筑物對(duì)管口保護(hù)范圍的規(guī)定。

2排放物達(dá)不到爆炸濃度或一排放就點(diǎn)火燃燒的排放爆炸危險(xiǎn)氣體放散管、排風(fēng)管；發(fā)生事故時(shí)排放物

才到達(dá)爆炸濃度的通風(fēng)管；排放無爆炸危險(xiǎn)氣體的放散管；1區(qū)和2區(qū)爆炸危險(xiǎn)環(huán)境的自然通風(fēng)管；裝

有阻火器的排放爆炸危險(xiǎn)氣體的放散管、排風(fēng)管，其防雷保護(hù)應(yīng)符合以下要求：

1）金屬物體可不裝接閃器，但應(yīng)和屋面防雷裝置相連；

2）在屋面接閃器保護(hù)范圍之外的非金屬物體應(yīng)裝接閃器，并和屋面防雷裝置相連。

8.2.3架空敷設(shè)的可燃特種氣體管道，在進(jìn)出建筑物處應(yīng)與防雷電感應(yīng)的接地裝置相連。距建筑100米

內(nèi)的硅烷氣管道，宜每隔25米左右接地一次，其沖擊接地電阻不應(yīng)大于200。

8.2.4自燃、可燃、氧化性特種氣體設(shè)備與管道應(yīng)采取防靜電接地措施。

8.2.5自燃、可燃、氧化性氣體的金屬管道在進(jìn)出建筑物處、不同分區(qū)的環(huán)境邊界、管道分岔處及直管

段應(yīng)每隔50-80米處應(yīng)設(shè)防靜電接地。

8.2.6要求接地的設(shè)備與管道應(yīng)設(shè)接地端子。接地端子與接地線之間，可采用螺栓緊固連接；對(duì)有震動(dòng)、

位移的設(shè)備和管道，其連接處應(yīng)加撓性連接線過渡。

8.2.7特種氣體系統(tǒng)的電氣設(shè)備工作〔系統(tǒng)〕接地、保護(hù)接地、雷電保護(hù)接地以及防靜電接地等不同用

途接地采用聯(lián)合接地方式時(shí)，接地裝置的接地電阻值應(yīng)按其中的最小值確定。

8.2.8防靜電接地為單獨(dú)接地時(shí)每組接地電阻宜小于100Q。

9生命平安系統(tǒng)

9.1特種氣體管理系統(tǒng)

9.1.1使用特種氣體的生產(chǎn)廠房宜設(shè)特種氣體管理系統(tǒng)。特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)配置特種氣體的連續(xù)檢

測(cè)、指示、報(bào)警、分析的功能、并且對(duì)報(bào)警進(jìn)展記錄、存儲(chǔ)和打?。惶胤N氣體管理系統(tǒng)宜為獨(dú)立的系統(tǒng),

并宜與工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)和消防報(bào)警控制系統(tǒng)通過數(shù)據(jù)總線相連。

9.1.2特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)在全廠動(dòng)力控制中心，在消防控制室和應(yīng)急處理中心宜設(shè)報(bào)警顯示單元和

集中應(yīng)急閥門切斷控制盤。

9.2特種氣體泄漏探測(cè)系統(tǒng)

9.2.1儲(chǔ)存、輸送、使用特種氣體的以下區(qū)域或場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置特種氣體泄漏探測(cè)裝置。

1自燃、可燃、毒性氣體的使用場(chǎng)所、技術(shù)夾層等可能發(fā)生氣體泄漏處；

2自燃、可燃、毒性氣體間；

3自燃、可燃、毒性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風(fēng)管口處；

4生產(chǎn)工藝設(shè)備的可燃、自燃、毒性氣體接入閥門箱及排風(fēng)管內(nèi)；

5生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理設(shè)備排風(fēng)口處；

6惰性氣體房間〔氧氣探測(cè)器〕。

9.2.2配有PLC的氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤宜通過通訊接口與氣體管理控制系統(tǒng)通信。

9.2.3特種氣體探測(cè)系統(tǒng)可燃、自燃?xì)怏w、有毒氣體檢測(cè)裝置應(yīng)設(shè)置一級(jí)報(bào)警或二級(jí)報(bào)警，其中常規(guī)的

檢測(cè)報(bào)警僅需一級(jí)報(bào)警，當(dāng)需要聯(lián)動(dòng)控制時(shí)，檢測(cè)裝置應(yīng)具有一級(jí)報(bào)警和二級(jí)報(bào)警。在二級(jí)報(bào)警的同時(shí)，

輸出接點(diǎn)信號(hào)至一級(jí)報(bào)警聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)。

9.2.4自燃、可燃、毒性氣體檢測(cè)裝置報(bào)警設(shè)定值應(yīng)按以下要求確定：

1自燃、可燃?xì)怏w的一級(jí)報(bào)警設(shè)定值小于或等于25%可燃?xì)怏w爆炸下限濃度值，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值小于

或等于50%可燃?xì)怏w爆炸下限濃度值。

2毒性氣體的一級(jí)報(bào)警設(shè)定值小于或等于50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值小

于或等于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。

9.2.5自燃、可燃、毒性氣體檢測(cè)裝置的檢測(cè)報(bào)警響應(yīng)時(shí)間應(yīng)符合以下規(guī)定：

1自燃、可燃?xì)怏w檢測(cè)報(bào)警：擴(kuò)散式小于20秒，吸入式小于15秒。

2毒性氣體檢測(cè)報(bào)警：擴(kuò)散式小于40秒，吸入式小于20秒。

9.2.6當(dāng)相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，特氣探測(cè)器應(yīng)同時(shí)設(shè)置在釋放源上方和廠房最高點(diǎn)易積氣處。

當(dāng)相對(duì)密度大于0.75時(shí)，特氣探測(cè)器應(yīng)設(shè)置在釋放源下方離地面0.5米處。

9.3平安設(shè)施

9.3.1自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配及使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置閉路電視監(jiān)控?cái)z象機(jī)、門禁。

9.3.2自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配及使用場(chǎng)所入口宜設(shè)置發(fā)光二級(jí)管顯示屏〔LED〕o

9.3.3自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配、使用場(chǎng)所內(nèi)及相關(guān)建筑主入口、內(nèi)通道等處應(yīng)設(shè)置燈光閃

爍報(bào)警裝置，燈光顏色應(yīng)與其它燈光報(bào)警裝置相區(qū)別。

9.3.4在自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配、使用場(chǎng)所入口處應(yīng)設(shè)緊急手動(dòng)按鈕，主要緊急手動(dòng)按鈕

設(shè)在應(yīng)急處理中心室。

9.3.5在地震多發(fā)地區(qū)，使用特種氣體的主要生產(chǎn)車間宜設(shè)置地震探測(cè)裝置，信號(hào)接入氣體探測(cè)系統(tǒng)。

9.3.6防地震系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合以下要求：

1氣體站房地震儀應(yīng)在氣瓶柜的基座上設(shè)置一臺(tái)以氣體室為基準(zhǔn)點(diǎn)，等距離三角形延伸廠區(qū)內(nèi)另兩點(diǎn)。

地震儀不得設(shè)置于人員進(jìn)出頻繁的地點(diǎn)，且應(yīng)防止受外力干擾而造成誤動(dòng)作；

9.3.7封閉的可燃、自燃?xì)怏w的特種氣體間宜采用防爆紅外/紫外火焰探測(cè)器。

9.3.8氣體站房應(yīng)配置防毒面具、自吸式防毒面具等平安防護(hù)設(shè)施

9.4氣體報(bào)警的聯(lián)動(dòng)控制

9.4.1氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，自動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置，并承受反響信號(hào)。

9.4.2氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并承受反響信號(hào)。

9.4.3氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置，該聲光報(bào)警應(yīng)有別于火災(zāi)報(bào)警裝

置，自動(dòng)啟動(dòng)應(yīng)急播送系統(tǒng)。

9.4.4氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏后，應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門、防火卷簾門，自動(dòng)釋放門禁門，

可聯(lián)動(dòng)CCTV系統(tǒng),啟動(dòng)相應(yīng)區(qū)域的攝像機(jī)，并自動(dòng)錄像。

9.4.5氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，信號(hào)傳至發(fā)光二級(jí)管顯示屏〔LED〕，并告知現(xiàn)場(chǎng)人員。

9.4.6地震探測(cè)裝置探測(cè)到里氏5級(jí)以上地震，且兩臺(tái)地震探測(cè)裝置同時(shí)報(bào)警時(shí)，特種氣體管理控制系

統(tǒng)確認(rèn)收到的信號(hào)后，啟動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置。同時(shí)，應(yīng)關(guān)閉氣瓶的切斷閥，且氣瓶柜、氣瓶架及閥

門箱的閥門必須動(dòng)作；

10給水排水及消防

10.1給水排水

10.1.1管道外表可能結(jié)露時(shí)，應(yīng)采取防護(hù)措施。

10.1.2特種氣站內(nèi)的用水，除中斷供水將造成較大損失外，可以采用單路供水。

10.1.3特種氣體站排出的廢水，應(yīng)排入廢水處理站處理合格后排放。

10.1.4毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間應(yīng)設(shè)置緊急洗眼器。

10.2消防

10.2.1特種氣體間室內(nèi)外消火栓的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？建筑設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)?GB50016的規(guī)定。

10.2.2特種氣體間中應(yīng)配置手提滅火器，其設(shè)計(jì)應(yīng)滿足現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)?建筑滅火器配置標(biāo)準(zhǔn)？GB50140

的規(guī)定。

10.2.3特種氣體間內(nèi)存儲(chǔ)的特種氣體與水不發(fā)生反響時(shí)，該特種氣體間應(yīng)設(shè)置濕式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。

1噴水強(qiáng)度8L/min.m2，保護(hù)面積160m2。

2當(dāng)特氣柜中自帶水噴淋系統(tǒng)時(shí)，在廠房?jī)?nèi)設(shè)置的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)應(yīng)為該系統(tǒng)預(yù)留管道和信號(hào)閥。

10.2.4特種氣體間內(nèi)存儲(chǔ)的特種氣體如與水可發(fā)生劇烈反響，該特種氣體間嚴(yán)禁采用水消防系統(tǒng)。

11采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)

11.1通風(fēng)

11.1.1特種氣體間應(yīng)設(shè)置連續(xù)的機(jī)械通風(fēng)系統(tǒng)，通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)滿足氣柜的排風(fēng)要求，并應(yīng)滿足房間最小

通風(fēng)換氣次數(shù)每小時(shí)6次。

11.1.2特種氣體氣瓶柜和閥門箱應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)裝置。

11.1.3凡屬以下情況之一時(shí)，應(yīng)分別設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)：

1兩種或兩種以上的氣體有害物混合后能引起燃燒或爆炸時(shí)；

2混合后發(fā)生反響，形成危害性更大或腐蝕性的混合物、化合物時(shí)；

3混合后形成粉塵。

11.1.4特種氣體站房應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量宜根據(jù)事故泄漏量計(jì)算確定，但換氣次數(shù)不應(yīng)小于

每小時(shí)12次。特種氣體房間外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。

11.1.5特種氣體排風(fēng)管道應(yīng)采用不燃材料制作。

11.1.6可燃?xì)怏w氣瓶柜和閥門箱的排風(fēng)與主排風(fēng)管道連接的支管應(yīng)采用剛性風(fēng)管，不得使用柔性風(fēng)管

或軟管。

11.1.7房間排風(fēng)口位置應(yīng)根據(jù)特種氣體特性確定，當(dāng)相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，房間排風(fēng)口應(yīng)設(shè)置

在房間上部，當(dāng)相對(duì)密度大于0.75時(shí)，房間排風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在房間的下部。

11.1.8特種氣體間排風(fēng)，應(yīng)根據(jù)排風(fēng)的危害性設(shè)置相應(yīng)的處理裝置。

11.1.9特種氣體間通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機(jī)組。特種氣體間通風(fēng)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

11.1.10可燃?xì)怏w和氧化性氣體的排風(fēng)管應(yīng)設(shè)置防靜電接地裝置。

11.1.11特種氣體站房排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)與火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)連動(dòng)控制，嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。

11.2空調(diào)

11.2.1特種氣體間宜設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)，并應(yīng)符合以下規(guī)定:

1.室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計(jì)參數(shù)應(yīng)滿足氣柜的要求。當(dāng)氣柜無具體要求時(shí)，室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)宜滿足23±3七，

30-70%o

2.不應(yīng)采用循環(huán)空氣。

11.2.2空調(diào)風(fēng)管不應(yīng)穿越特種氣體房間之間的分隔墻，當(dāng)必須穿越時(shí)，應(yīng)安裝防火閥。

11.2.3空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置備用空調(diào)機(jī)組，或采用適當(dāng)措施保證在空調(diào)機(jī)組維護(hù)或故障時(shí)，特種氣體房間

能取得足夠的補(bǔ)風(fēng)。

11.2.4空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置應(yīng)急電源。

11.2.5特種氣體間空調(diào)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，保溫采用應(yīng)采用不燃或難燃材料。

11.2.6空調(diào)風(fēng)管應(yīng)設(shè)置防靜電接地裝置。

12特種氣體系統(tǒng)工程施工

12.1一般規(guī)定

12.1.1特種氣體系統(tǒng)工程焊接施工除應(yīng)執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)?現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管

道焊接工程施工及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)？GB50236的規(guī)定。

12.1.2從事特種氣體系統(tǒng)工程施工的單位必須具有相應(yīng)的施工和檢測(cè)設(shè)備。

12.1.3特種氣體系統(tǒng)工程中不銹鋼管必須采用全自動(dòng)軌道氤弧焊機(jī)高純氤氣保護(hù)焊接，焊工應(yīng)經(jīng)過自

動(dòng)焊機(jī)操作培訓(xùn)合格持證上崗。

12.1.4安裝和試驗(yàn)檢測(cè)用計(jì)量器具應(yīng)檢定合格并在其有效期內(nèi)使用。

12.1.5特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項(xiàng)施工方案，并經(jīng)業(yè)主審批后實(shí)施。

12.1.6主要設(shè)備與材料進(jìn)場(chǎng)時(shí)應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測(cè)試報(bào)告及安裝、使用、維護(hù)和

試驗(yàn)要求等技術(shù)文件應(yīng)齊全，規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具應(yīng)滿足合同要求，檢驗(yàn)結(jié)論應(yīng)有

記錄。

12.1.7進(jìn)口設(shè)備、材料進(jìn)場(chǎng)應(yīng)提供商檢證明和中文的質(zhì)量合格證明文件、規(guī)格、型號(hào)、性能測(cè)試報(bào)告

以及中文的安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求等技術(shù)文件。

12.1.8進(jìn)場(chǎng)設(shè)備、材料必須符合本標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，檢查結(jié)果不符合要求時(shí)，不得在工程中

使用。

12.1.9設(shè)備與材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收、焊接試件鑒定事項(xiàng)，建立單位技術(shù)人員必須在場(chǎng)。

12.1.10特種氣體間電氣工程的安裝應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？建筑電氣工程施工質(zhì)量驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)？GB50303

和？工業(yè)自動(dòng)化儀表工程施工及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)？電氣防爆和接地的規(guī)定。

12.1.11風(fēng)管系統(tǒng)的安裝除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)？通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量

驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)？GB50243的規(guī)定。

12.2主要設(shè)備、材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收

12.2.1氣瓶柜進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合以下要求：

1氣瓶柜外包裝上防止傾倒、輕放、防雨標(biāo)識(shí)、防震標(biāo)示完整無損；

2氣瓶柜體應(yīng)由厚度不小于2.5mm的鋼板構(gòu)成密閉箱體，外表應(yīng)平整光潔、色澤一致、無毛刺、無劃

痕、無銹蝕、不起鼓；柜體頂部應(yīng)有抽風(fēng)口和消防噴淋口，柜門下方應(yīng)有可調(diào)節(jié)的帶空氣過濾網(wǎng)的進(jìn)風(fēng)

口,柜門應(yīng)有可開啟的帶防爆玻璃的小門。

3氣瓶柜都必須標(biāo)示氣體的名稱、化學(xué)式、濃度、化學(xué)性質(zhì)和危險(xiǎn)標(biāo)示，氣瓶柜內(nèi)管線、閥體及附件的

連接圖；

4柜內(nèi)引出的管路和閥件接口應(yīng)用專用管帽和堵頭封堵；

5氣瓶柜柜門必須安裝能自動(dòng)關(guān)門的閉門器；

6氣瓶柜的功能配置必須滿足設(shè)計(jì)及合同要求，不得有缺項(xiàng)。

12.2.2閥門箱、閥門盤進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合以下規(guī)定：

1閥門箱應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的平安要求；

2閥門箱外表應(yīng)平整光潔、色澤一致、無毛刺、無劃痕、無銹蝕、不起鼓，頂部要有抽風(fēng)口；

3閥門箱內(nèi)閥門的規(guī)格數(shù)量與功能配置應(yīng)滿足設(shè)計(jì)與合同要求；

4閥門、儀表與閥門盤盤面之間應(yīng)有專用閥門支撐件。支撐件材質(zhì)應(yīng)采用不銹鋼。不得將閥門、儀表等

直接用螺栓固定在盤面上；

5閥門盤上特氣管路閥門接頭應(yīng)采用徑向面密封連接，不應(yīng)采用線密封〔卡套〕連接。

6閥門箱和閥門盤的閥件之間的連接應(yīng)采用自動(dòng)軌道筑弧焊接或面密封(VCR)連接。

7閥門箱和閥門盤的構(gòu)造應(yīng)結(jié)實(shí)可靠，有專門的固定點(diǎn)，盤面應(yīng)有控制氣體的標(biāo)識(shí)和銘牌，盤內(nèi)氣體管

道的種類、流向，控制閥門應(yīng)有明顯標(biāo)識(shí)。

8閥門箱必須標(biāo)示氣體的名稱、化學(xué)式、濃度、化學(xué)性質(zhì)和危險(xiǎn)標(biāo)示；

12.2.3尾氣處理裝置進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合以下規(guī)定：

1燃燒設(shè)備進(jìn)場(chǎng)應(yīng)對(duì)外觀、外形尺寸、構(gòu)成、接口、銘牌、氣密試驗(yàn)、閥門動(dòng)作、信號(hào)傳輸?shù)刃阅苓M(jìn)展

檢查和核對(duì)；

2燃燒設(shè)備的主要組成件、附件應(yīng)符合設(shè)計(jì)與合同的要求，隨機(jī)資料和專用工具應(yīng)齊全；

3酸堿中和裝置的洗滌塔、風(fēng)機(jī)、控制盤、酸〔堿〕儲(chǔ)罐以及連接收路等應(yīng)進(jìn)展外觀檢查，應(yīng)符合設(shè)計(jì)

和合同要求，隨機(jī)資料應(yīng)齊全；

4尾氣處理裝置、風(fēng)機(jī)、泵的出廠合格證、性能測(cè)試報(bào)告，銘牌、標(biāo)識(shí)應(yīng)齊全。

5系統(tǒng)流程圖、控制原理圖，設(shè)備使用說明書資料齊全。

12.2.4管道、管件和閥門進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合以下規(guī)定：

1在非干凈室全數(shù)目測(cè)檢查管道外包裝，不得有破損、變形；

2經(jīng)檢查合格的管道、管件及閥門的端口應(yīng)立即將防塵管帽裝好或用聚乙烯薄膜包好，并按種類、規(guī)格

分別存放在干凈間的貨架上，不得直接放在地面上。房間的干凈度不應(yīng)低于7級(jí);

3所有進(jìn)場(chǎng)的閥門必須提供產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、合格證、材質(zhì)證明、使用說明書、檢驗(yàn)報(bào)告，并有編號(hào);

4電氣設(shè)備應(yīng)有防腐蝕和防爆標(biāo)識(shí)，符合相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

12.2.5管道、管件和閥門應(yīng)在干凈區(qū)域內(nèi)進(jìn)展內(nèi)包裝開封檢查，檢查工程及要求如下：

1管道、管件、閥門應(yīng)有獨(dú)立的內(nèi)包裝，包裝符合干凈要求，端口均應(yīng)裝有防塵帽；

2管道、管件、閥門檢驗(yàn)后必須恢復(fù)內(nèi)包裝及防塵帽；

3管道外觀檢查應(yīng)按全數(shù)的5%抽查，規(guī)格尺寸、壁厚，真圓度、端面平整度等應(yīng)符合產(chǎn)品技術(shù)要求，

且內(nèi)外外表均無刮痕及斑點(diǎn)；

4材質(zhì)檢查宜采用便攜式金屬光譜分析儀檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機(jī)抽查5%,且不得少于1件，其化

學(xué)成分應(yīng)符合產(chǎn)品技術(shù)要求；

5管道、管件內(nèi)外表粗糙度應(yīng)采用樣品比擬法在管道兩端檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機(jī)抽查5%，且不得

少于1件；

6管道內(nèi)壁平均外表粗糙度Ra及最大外表糙度Rmax應(yīng)滿足工程施圖設(shè)計(jì)文件的要求；

12.3氣瓶柜的安裝

12.3.1氣瓶柜必須按照設(shè)計(jì)圖紙的要求定位，同時(shí)應(yīng)具有人員操作空間、門的開啟空間、氣體鋼瓶的

運(yùn)輸空間和人員逃生通道及管道安裝空間。

12.3.2氣瓶柜就位找平找正后，應(yīng)固定結(jié)實(shí)。

12.3.3氣瓶柜的垂直度偏差不得大于1.5%。，成列盤面偏差不應(yīng)大于5mm。

12.3.4氣瓶柜的安裝必須保證柜門開關(guān)自如，不得扭曲變形，關(guān)閉不嚴(yán)。

12.4閥門箱與閥門盤的安裝

12.4