TFJAS 002-2024 濕電子化學品 再生光阻洗凈液

ICS13.030.10CCSZ00T/FJAS團 體 標 準T/FJAS002—2024濕電子化學品再生光阻洗凈液wetchemicalsregenerationLightblockingcleaningsolution2024-06-30發(fā)布 2024-06-30實施福建省標準化協(xié)會??發(fā)布T/FJAS002—2024T/FJAS002—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次范圍 1規(guī)范性引用文件 1術語和定義 1技術要求 2試驗方法 3檢驗規(guī)則 4標志、包裝、運輸、貯存 5前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的定起草。請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省標準化協(xié)會歸口。T/FJAS002—2024T/FJAS002—2024PAGEPAGE1濕電子化學品再生光阻洗凈液范圍本文件規(guī)定了再生光阻洗凈液的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于以濕電子化學品行業(yè)含光阻洗凈液回收液為原料，經(jīng)過提純的光阻洗凈液再生產品(以下簡稱產品），主要用于顯示面板制造行業(yè)等。規(guī)范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB190 危險貨物包裝標志GB/T601化學試劑 標準滴定溶液的制備GB/T602化學試劑雜質測定用標準溶液的制備GB/T603化學試劑 試驗方法中所用制劑及制品的制備GB/T3143液體化學產品顏色測定法(Hazen單位-鉑-鈷色號)GB/T4945石油產品和潤滑劑酸值和堿值測定法(顏色指示劑法)GB/T6283化工產品中水分含量的測定卡爾.費休法（通用方法）GB/T6324.2 2GB/T6678化工產品采樣總則GB/T6680液體化工產品采樣通則GB/T6682分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T9722化學試劑氣相色譜法通則GB15603 危險化學品倉庫儲存通則SJ/T11637 電子化學品 電感耦合等離子體質譜法通則術語和定義下列術語和定義適用于本文件。濕電子化學品wetchemicals濕電子化學品又稱超凈高純電子化學品，是微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié)）中使用的各種液體化工材料。光阻洗凈液Lightblockingcleaningsolution光阻去除液、清洗劑，主要成分丙二醇甲醚（PM）和丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）?；厥找簂iquidrecycling主要含主要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯，以及少量其它有機溶劑、光刻膠、水、金屬離子等。技術要求產品的技術指標應符合表1的要求。表1 技術指標項目指標外觀無色透明液體有效成分w/%≥99.5丙二醇甲醚（PM）w%75.0±15.0丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）w%25.0±15.0水分(wt)/%≤0.1色度Hazen單位（鉑-鈷色號）10酸值(以乙酸計)w/%0.05蒸發(fā)殘渣≤0.03%鋁（Al）μg/kg≤10金（Au）μg/kg≤10銀（Ag）μg/kg≤10鋇（Ba）μg/kg≤10硼（B）μg/kg≤10鉍（Bi）μg/kg≤10鎘（Cd）μg/kg≤10鈣（Ca）μg/kg≤10鈷(Co)μg/kg≤10銅（Cu）μg/kg≤10鐵（Fe）μg/kg≤10鉀（K）μg/kg≤10鋰（Li）μg/kg≤10鎂（Mg）μg/kg≤10錳（Mn）μg/kg≤10鈉（Na）μg/kg≤10鎳（Ni）μg/kg≤10鉛（Pb）μg/kg≤10錫（Sn）μg/kg≤10注：由供需雙方商定，含量允許偏差值應滿足合同規(guī)定。試驗方法一般規(guī)定本試驗方法中除另有規(guī)定外，標準滴定溶液、雜質測定用標準溶液和所用制劑及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603GB/T6682外觀取適量實驗室樣品于比色管中，在自然光下目視觀察。純度方法提要儀器氣相色譜儀：配有氫火焰離子檢測器（FID）GB/T9722氣相色譜條件5.3.3.1 氮氣：純度≥99.999%。5.3.3.2 空氣：空氣壓縮泵。5.3.3.3 氫氣：純度≥99.999%。試劑：丙二醇甲謎、丙二醇甲醚醋酸酯，色譜純。進樣器：10μL色譜分析條件本文件推薦的色譜柱和色譜操作條件見表2，其他同等分離程度的色譜柱及色譜操作條件也可使用。表2 推薦的色譜柱和色譜操作條件毛細管色譜柱30m×0.32mm×1.8μm(柱長×柱內徑×液膜厚度）柱溫/℃℃保持，速率氣化室溫度/℃220檢測器溫度/℃300載氣（N2）流量/（mL/min）25氫氣流量/（mL/min）35空氣流量/（mL/min）350分流比60:1進樣量/μL0.1--0.2分析步驟建立標準曲線校準用標準溶液的配制0.0001g標準溶液的配制0.0001g標準曲線的建立2試樣的測定2水分的測定按GB/T6283的規(guī)定進行測定。色度的測定按GB/T3143的規(guī)定進行測定。酸值的測定按GB/T4945的規(guī)定進行測定。蒸發(fā)殘渣按GB/T6324.2的規(guī)定進行測定。5.7金屬元素的測定按SJ/T11637的規(guī)定進行