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文檔簡介
半導體器件機械和氣候試驗方法第27部分:靜電放電(ESD)敏感度測試Part27:Electrostaticdischarge(ESD)sensitivitytesting—(IEC60749-27:2012,IDT)國家市場監(jiān)督管理總局 IGB/T4937.27—2023/IEC6Ⅱ Ⅲ 第27部分:靜電放電(ESD)敏感度測試1GB/T4937.27—2023/IEC6074價負載見圖1。4.2波形確認設備4.2.1概述本文件定義了能夠確認MM電流波形的設備。該設備包括但不限于,一個波形記錄系統(tǒng)、一個高壓電阻器和一個電流傳感器。4.2.2波形記錄系統(tǒng)波形記錄系統(tǒng)的單次觸發(fā)帶寬應至少為350MHz。4.2.3評價負載確認波形發(fā)生器的功能性需要兩種評價負載:a)負載1:短路線;b)負載2:500Q、容差士1%的低感電阻器,其ESD耐壓要與用于波形驗證的電壓相匹配。評價負載(短路線或電阻器)的引線長度應盡量短,穿過電流傳感器連接評價負載到適當參考端(圖1中的A端和B端)。4.2.4電流傳感器電流傳感器的最小帶寬應為350MHz,見圖1。8圖1MMESD波形發(fā)生器等效圖a)評價負載(7和8)在4.2.3中規(guī)定;2GB/T4937.27—2023/IEC60749-27:2b)電流傳感器(9)在4.2.4中規(guī)定;c)不能靠交換A端(2)和B端(4)來獲得雙極性性能;d)開關(3)在每個單MM脈沖通過后關閉10ms~100ms,以確保DUT和測試夾具不在帶電5MM電流波形要求5.1通用要求在被測器件測試前,MMESD波形發(fā)生器驗證應確保通過短路線和電阻負載的放電電流波形的完整性。圖2中規(guī)定了表1中的各正向和負向電壓條件下的短路線波形要求,圖3和表1中規(guī)定了士400V電壓下的電阻負載波形要求。表1波形參數(shù)表VAAA1 234 ·括號內的值是除去振蕩的峰值電流。20ns每格圖2通過短路線的典型電流波形圖2電流脈沖應滿足下列要求:a)Ipi是表1規(guī)定的最大峰值電流;3GB/T4937.27—2023/IEb)In是次峰值電流,介于各等級Ip?絕對值的67%~90%;c)t是主脈沖周期,為63ns~91ns。測量的是第一個過零點t?與第三個過零點t?之間的時圖3通過5002電阻的電流脈沖應滿足下列要求:b)I1o?是表1規(guī)定的100ns時刻的電流。在初始驗收測試時應進行設備驗證。每當設備進行了可能影響波形的維修時,都要進行再驗證。應使用該測試夾具(板)。如果波形不再滿足表1、圖2和圖3中規(guī)定的波形參數(shù),那么從上一次波形檢應確認除去振蕩的峰值電流Ip是表1中的值。除另有規(guī)定外,ESD評價通常使用三個器件樣本量,每個器件進行一次正向和一次負向脈沖測設備驗證應對6.2.2規(guī)定的DUT板最壞情況引腳組合進行放電電流測量。該方法應被用于設備4GB/T4937.27—2023/IEC60749-應確定并記錄每個插座和DUT板的最壞情況引腳組合。制造商宜提供每個DUT板的最壞情況a)對于每一個測試插座,確定從脈沖發(fā)生電路到測試插座的最短線路插座引腳。連接該引腳到B端(它將在最壞情況引腳查找中作為參考引腳),將剩余引腳中的一個連接到A端。短路線b)施加一個正向和一個負向400V脈沖,確認波形滿足表1中規(guī)定的正向和負向脈沖要求。c)重復步驟a)和b),直到測試完所有插座d)確定最壞情況引腳對(在極限范圍內且最接近表1規(guī)定的最小或最大參數(shù)值),用于進一步波e)對于初始板檢查,在步驟d)用短路線確定的最壞情況引腳對之間連接一個500Ω電阻,施加一個正向和一個負向400V脈沖,確認波形滿足表1規(guī)定的要求。a)標準驗證板的尺寸與DUT板相同;b)設備與評價負載連接端之間的標準驗證板內部引線長度在相關技術規(guī)范中做出規(guī)定;c)所有DUT板上每對電路的總長度不超過標準驗證板內部引線對和4.2.3規(guī)定的評價負載的7分級程序各電壓水平的器件樣品(如三個電壓水平),應使用表1所示電壓擋來標定該器件的ESD失效閾值。為得到更精確的失效閾值,可選擇采用更精細的電壓擋。ESD測試應從表1的最低擋開始。ESD5引腳組合連到B端(地)浮空引腳(未連接)1所有引腳每次一個,除了連到第一電源引腳(組)源引腳(組)2所有引腳每次一個,除了連到第二電源引腳(組)源引腳(組)3所有引腳每次一個,除了連到第N電源引腳(組)源引腳(組)4除PUT外的所有非電源引腳67[1]GB/T4728(所有部分)電氣簡圖用圖形符號[2]GB/T37977.32—2019靜電學第3-2部分:靜電效應的模擬方法機器模型(MM)的靜電[3]IEC607
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