超潔凈磁懸浮泵-征求意見稿

1T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024超潔凈磁懸浮泵本文件規(guī)定了超潔凈磁懸浮泵的型號、要求、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸和貯存等。本文件適用于半導(dǎo)體制程用超潔凈磁懸浮泵。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T2900.1電工術(shù)語基礎(chǔ)術(shù)語GB/T2900.25電工術(shù)語旋轉(zhuǎn)電機(jī)GB/T3216-2016回轉(zhuǎn)動力泵水力性能驗收試驗1級、2級和3級GB/T3505產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)GB/T7021離心泵名詞術(shù)語GB/T11446.1電子級水GB/T11446.8電子級水中有機(jī)碳的測試方法GB/T25915.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級GB/T29845-2013半導(dǎo)體制造設(shè)備的最終裝配、包裝、運輸、拆包及安放導(dǎo)則GB/T33634液體泵安全要求液體靜壓試驗GB/T34672化學(xué)試劑離子色譜法測定通則GB/T39486化學(xué)試劑電感耦合等離子體質(zhì)譜分析方法通則JJG821總有機(jī)碳分析儀檢定規(guī)程3術(shù)語和定義GB/T2900.1、GB/T2900.25及GB/T7021界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1超潔凈磁懸浮泵ultra-cleanmagneticlevitationpump利用電磁力將內(nèi)嵌永磁體的葉輪懸浮于泵腔內(nèi)，并驅(qū)動葉輪以非接觸式電磁軸承方式旋轉(zhuǎn)，過流部件使用聚四氟乙烯（簡稱PTFE）或超純可熔性聚四氟乙烯（簡稱PFA）材質(zhì)制造，實現(xiàn)超潔凈流體泵送的超潔凈離心泵。2T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—20243.2超純水ultrapurewater（UPW）經(jīng)凈化處理，25℃時在線電阻率大于等于18.2MΩ.cm，在線TOC小于1μg/L，細(xì)菌小于等于1個/100ml，在線溶解氧小于等于10μg/L，金屬Fe、Cu、Ni、K、Na合計小于25ng/L（其中Fe小于5ng/L），其余金屬小于10ng/L，其他指標(biāo)符合GB/T11446.1中EW-1要求的水。3.3泵頭pumphead由泵體、葉輪、泵蓋等組成的組件。3.4懸浮繞組suspendingwinding對葉輪施加電磁力，使葉輪穩(wěn)定懸浮于泵腔中的繞組。3.5驅(qū)動繞組drivewinding在驅(qū)動工況下，當(dāng)外部電能輸入端子時，將輸入電能轉(zhuǎn)換成磁能并轉(zhuǎn)換為機(jī)械能提供驅(qū)動力的繞組。3.6表面粗糙度surfaceroughnessRa加工表面具有的波距1mm以下和微小峰谷的不平度，屬于微觀幾何形狀誤差。工程上常用輪廓算數(shù)平均偏差Ra表征表面微觀不平度。［來源：GB/T3505，有修改］3.7過流部件wetcomponents設(shè)備或系統(tǒng)運行時與輸送介質(zhì)接觸的零部件。4泵結(jié)構(gòu)、型號及參數(shù)4.1泵結(jié)構(gòu)超潔凈磁懸浮泵結(jié)構(gòu)見圖1，泵由電機(jī)、泵頭和控制器系統(tǒng)（見圖2、圖3）組成。電機(jī)由定子鐵芯、驅(qū)動繞組、懸浮繞組、傳感器及電機(jī)殼體等組成，泵頭由泵體、帶有永磁體的葉輪、泵蓋等組成，控制器系統(tǒng)由控制器及其附屬元器件等構(gòu)成。T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024圖1超潔凈磁懸浮泵結(jié)構(gòu)圖圖2超潔凈磁懸浮泵組成示意圖（帶標(biāo)準(zhǔn)版控制器）圖3超潔凈磁懸浮泵組成示意圖（帶擴(kuò)展版控制器）4.2型號4T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024第一欄系列名稱代號第二欄最大功率第三欄產(chǎn)品版本第四欄控制器版本第五欄冷卻方式第六欄進(jìn)出口連接方式示例：MLP2000HPEAP超潔凈磁懸浮泵系列名稱為MLP，額定功率為2000W,產(chǎn)品版本為HP(高壓版本)，控制器版本為E（擴(kuò)展版），冷卻方式為A（壓縮空氣冷卻），進(jìn)出口連接方式為P（入珠式）。注：以上超潔凈磁懸浮泵型號標(biāo)識的格式供參照，各生產(chǎn)商可自行規(guī)定，型號標(biāo)識第一到4.3主要性能參數(shù)超潔凈磁懸浮泵主要參數(shù)為最大功率、最高轉(zhuǎn)速、最大流量、最大揚程等。主要性能參數(shù)見附錄B。5要求5.1總體要求5.1.1泵應(yīng)符合本文件的規(guī)定，并按經(jīng)規(guī)定程序批準(zhǔn)的圖樣和技術(shù)條件制造，如用戶有特殊要求時，按雙方協(xié)議執(zhí)行。5.1.2泵整體設(shè)計使用壽命不低于10年，正常運行工況和連續(xù)運轉(zhuǎn)條件下易損部件（葉輪等）設(shè)計壽命不低于2年。5.1.3產(chǎn)品設(shè)計應(yīng)充分考慮電機(jī)、控制器等的散熱要求。對于高溫的介質(zhì)和工況點，宜使用主動冷卻裝置，例如壓縮空氣（CDA）冷卻模塊。5.1.4為了避免泵過熱，電機(jī)和控制器內(nèi)均應(yīng)配置溫度傳感器以實現(xiàn)溫度的實時監(jiān)測。溫度檢測控制流程應(yīng)考慮在電機(jī)和控制器內(nèi)分別設(shè)置了相應(yīng)的溫度點，對溫度進(jìn)行控制，當(dāng)達(dá)到設(shè)定溫度，系統(tǒng)會進(jìn)入過熱保護(hù)狀態(tài)并自動停機(jī)。5.1.5泵的設(shè)計應(yīng)充分考慮安裝空間限制的實際，確保結(jié)構(gòu)緊湊兼顧重量輕、方便安裝與拆卸等，控制器設(shè)計要考慮軟件版本的升級和電磁兼容性。5.1.6制造商應(yīng)在產(chǎn)品樣本及相關(guān)資料中說明產(chǎn)品適用的條件和環(huán)境要求，買方在下達(dá)訂單采購時宜提供完整的需求信息及使用的工況條件，參見附錄C。5.2應(yīng)用環(huán)境應(yīng)用環(huán)境應(yīng)符合表1的要求。5T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024表1應(yīng)用環(huán)境0℃~40℃-20℃~80℃5.3關(guān)鍵部件5.3.1泵頭組件材質(zhì)應(yīng)采用超潔凈材料，其中，泵體、泵蓋材料宜采用PTFE、超純PFA、不銹鋼等超潔凈材質(zhì)，優(yōu)選PTFE材料；葉輪宜采用超純PFA材料。5.3.2對于零部件過流面的粗糙度Ra，根據(jù)不同的加工方式，可參照表2執(zhí)行，表面粗糙度檢測參見GB/T3505。表2表面粗糙度要求）＜5.3.3PTFE、超純PFA材料有板料和棒料等型材，PTFE材料物理性能參照QB/T5257的相關(guān)要求，超純PFA材料物理性能參照HG/T4173-2011中附錄A的要求，材料污染物應(yīng)滿足本文件附錄A的技術(shù)指標(biāo)。5.3.4葉輪中永磁體采用釹鐵硼等永磁材料，葉輪永磁體按照永磁材料產(chǎn)品的相關(guān)工藝進(jìn)行加工制造，永磁體外表面應(yīng)進(jìn)行抗腐蝕性處理，宜涂覆抵抗酸堿性、氧化性的金屬涂層。5.3.5根據(jù)使用條件和制造工藝，葉輪可以設(shè)計為開式、半開式或閉式，葉輪的成型方式可以采用一次成型、焊/熔接成型或粘結(jié)成型，最終應(yīng)制成一體式。葉輪的各零件采用焊/熔接成型方式進(jìn)行組裝，可采用電火花測試儀對焊縫質(zhì)量進(jìn)行檢測，以不出現(xiàn)電火花為焊縫合格。5.3.6在葉輪的加工制造過程中，應(yīng)在葉輪規(guī)定的位置進(jìn)行質(zhì)量可追溯標(biāo)識。5.3.7泵體和泵蓋之間的靜密封采用O型密封圈，材料宜采用全氟醚橡膠（簡稱FFKM）。5.3.8電機(jī)殼體如采用金屬材料制造，表面應(yīng)進(jìn)行防腐處理，可采取PFA表面噴涂。5.3.9泵電纜線表面需進(jìn)行PFA表面噴涂，以滿足在強(qiáng)酸強(qiáng)堿等化學(xué)品環(huán)境下防腐蝕要求。5.3.10泵體與電機(jī)及泵體與泵蓋之間的連接螺釘，除了應(yīng)滿足強(qiáng)度要求外，還需要滿足防腐要求，確保在強(qiáng)酸強(qiáng)堿等化學(xué)品環(huán)境下能夠正常使用。5.4生產(chǎn)制造5.4.1組件及整泵裝配和預(yù)包裝應(yīng)嚴(yán)格按照GB/T29845-2013中第5章的要求進(jìn)行。6T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—20245.4.2泵的過流部件在組件裝配前，應(yīng)按照清洗工藝要求進(jìn)行清洗，按照檢驗大綱要求進(jìn)行檢驗，合格方可轉(zhuǎn)入裝配工序。5.4.3零部件在裝配過程發(fā)現(xiàn)質(zhì)量缺陷，確需進(jìn)行返修作業(yè)的，應(yīng)將零部件移出潔凈車間，在潔凈車間外的作業(yè)區(qū)域完成修復(fù)作業(yè)。5.4.4泵的進(jìn)出口等開口端應(yīng)采用無污染方法進(jìn)行封蓋、封堵或密封，該封蓋或蓋帽可由制造商自行決定選材及結(jié)構(gòu)形式，封蓋或蓋帽污染物指標(biāo)應(yīng)滿足本文件附錄A的指標(biāo)要求。5.4.5產(chǎn)品在潔凈車間完成裝配后，轉(zhuǎn)入出廠測試工序。5.4.6測試合格的泵轉(zhuǎn)入潔凈包裝工序，包裝前，泵或部件內(nèi)部的超純水應(yīng)排盡并用潔凈干燥空氣或潔凈氮氣吹干，表面進(jìn)行清潔，裝入潔凈包裝袋后進(jìn)行真空熱封，潔凈包裝一般采用雙層包裝袋包裝。具體包裝程序參照GB/T29845-2013中7的要求。6技術(shù)要求6.1金屬污染物泵的過流部件應(yīng)滿足附錄A中A.2規(guī)定的金屬污染物技術(shù)指標(biāo)。6.2耐壓性能泵的耐壓性能應(yīng)滿足在最大許用工作壓力的1.5倍試驗條件，保壓10分鐘，不允許有滲漏、破裂現(xiàn)象。6.3壓力流量特性泵的壓力流量特性參數(shù)應(yīng)符合本文件的規(guī)定，壓力、流量參數(shù)偏差值應(yīng)符合GB/T3216-2016中2級規(guī)定。7試驗方法7.1金屬污染物試驗泵的過流部件，金屬污染析出測試步驟和方法應(yīng)按附錄D執(zhí)行。7.2耐壓試驗泵的耐壓性能試驗應(yīng)按照GB/T33634的相關(guān)要求執(zhí)行。7.3壓力流量特性試驗泵的壓力流量性能試驗應(yīng)按照GB/T3216-2016的相關(guān)要求執(zhí)行。8檢驗規(guī)則8.1檢驗分類及要求8.1.1泵的檢驗分型式試驗和出廠檢驗。8.1.2泵的型式試驗及出廠檢驗應(yīng)在至少滿足GB/T25915.1中規(guī)定的ISO6級及以上要求的潔凈室，且在經(jīng)過標(biāo)定符合要求的試驗臺上進(jìn)行，環(huán)境溫度條件：22℃±2℃,環(huán)境濕度條件：35%～65%，介質(zhì)為超純水，指標(biāo)符合3.2的要求。7T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—20248.2型式試驗8.2.1有下列情況之一時，應(yīng)做型式試驗：a）新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型鑒定；b）正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大的改變，可能影響產(chǎn)品性能；c）批量生產(chǎn)的產(chǎn)品，周期性檢查；d）產(chǎn)品長期停產(chǎn)后，恢復(fù)生產(chǎn)；e）出廠檢驗結(jié)果與上次檢驗有較大差異；f）國家法律法規(guī)要求。8.2.2型式試驗項目分別如下：a）過流部件金屬污染測試；b）耐壓試驗；c）壓力流量特性試驗。8.3出廠檢驗8.3.1批量生產(chǎn)的產(chǎn)品每臺均需進(jìn)行出廠檢驗。8.3.2出廠檢驗應(yīng)按照制造廠檢驗大綱進(jìn)行，檢驗項目分別如下：a）外觀檢查；b）運轉(zhuǎn)試驗；c）在規(guī)定的不同轉(zhuǎn)速、不同流量點的性能試驗。8.3.3檢驗項目全部符合檢驗標(biāo)準(zhǔn)要求，判定泵出廠檢驗合格。若有不符合要求的項目，應(yīng)找出原因，進(jìn)行返修后復(fù)驗，復(fù)驗符合要求，則判定出廠檢驗合格；若復(fù)驗仍有不符合要求的項目，判定出廠檢驗不合格。9標(biāo)志、包裝、運輸和貯存9.1標(biāo)志產(chǎn)品應(yīng)有銘牌，銘牌內(nèi)容應(yīng)有產(chǎn)品型號、最高轉(zhuǎn)速、最大流量、最大功率、最大揚程、產(chǎn)品序列號、生產(chǎn)日期、生產(chǎn)制造廠家等關(guān)鍵信息。9.2包裝產(chǎn)品潔凈包裝應(yīng)在潔凈車間完成，具體見本文件5.4的內(nèi)容。潔凈包裝的產(chǎn)品宜通過潔凈車間的轉(zhuǎn)運工具移至常規(guī)車間進(jìn)行外部裝箱，過程不得破壞包裝袋。產(chǎn)品的外包裝的相關(guān)要求參照GB/T29845。注：包裝箱內(nèi)除放置合格的泵外，應(yīng)包括產(chǎn)品合格證（包含產(chǎn)品序列號信息）、安裝使用說明書（包含性能曲線、外形尺寸圖）、裝箱單、隨機(jī)資料、隨機(jī)附件等。隨機(jī)附件可獨立包裝，9.3運輸采用公路運輸時，要注意車輛應(yīng)具有良好的懸掛性能，承接運輸方要做好貨品的防護(hù)（防淋雨、防撞擊、防跌落、防破損）。9.4貯存長時間不安裝使用的泵，應(yīng)包裝完好，推薦在環(huán)境溫度20℃~30℃,相對濕度不大于70%的環(huán)8T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024境下貯存。應(yīng)采取措施，不應(yīng)出現(xiàn)整泵包裝箱發(fā)生撞擊或跌落，嚴(yán)禁整泵包裝側(cè)放、倒放。T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024（規(guī)范性）污染物技術(shù)指標(biāo)表面提取離子污染技術(shù)指標(biāo)見表A.1，表面提取金屬污染技術(shù)指標(biāo)見表A.2，表面提取TOC污染技術(shù)指標(biāo)見表A.3，顆粒物含量技術(shù)指標(biāo)見表A.4。表A.1表面提取離子污染技術(shù)指標(biāo)亞硝酸根離子（NO）磷酸根離子(PO)表A.2表面提取金屬污染技術(shù)指標(biāo)）T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024表A.2表面提取金屬污染技術(shù)指標(biāo)（續(xù)））表A.3表面提取TOC污染技術(shù)指標(biāo)）表A.4顆粒物含量技術(shù)指標(biāo)-T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024超潔凈磁懸浮泵主要性能參數(shù)表表B.1超潔凈磁懸浮泵主要性能參數(shù)表2T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024超潔凈磁懸浮泵數(shù)據(jù)表C.1超潔凈磁懸浮泵數(shù)據(jù)表（見表A.1）的用途C.1.1供買方詢價、訂貨和訂立合同。C.1.2供賣方作產(chǎn)品報價和制造用。C.2數(shù)據(jù)表的填寫方式與方法C.2.1有▲符號的欄應(yīng)由買方填寫。買方需要的資料，在該欄內(nèi)作√符號，指定賣方給予填寫，其余各欄由賣方按需要決定填寫。C.2.2空白欄填寫補(bǔ)充內(nèi)容或修改內(nèi)容。C.2.3數(shù)據(jù)單的填寫方式有以下三種：a）填入具體內(nèi)容，如行號A1-A8、A10、A16、A17、B1～B4，C1～C3；b）選擇：把需要的留下，不需要的劃去，如行號A9、A12～A15；c）選擇和填入：如行號3、A11。表C.1超潔凈磁懸浮泵數(shù)據(jù)表▲▲▲▲▲▲工作流量：▲▲工作轉(zhuǎn)速：▲控制方式：模擬電流/模擬▲▲▲工作模式：連續(xù)運行/高轉(zhuǎn)速-低轉(zhuǎn)速/高轉(zhuǎn)速-低▲物理接口：Flaretek▲▲T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024▲▲最高轉(zhuǎn)速：T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024（規(guī)范性）離子含量、金屬含量及總有機(jī)碳含量檢測D.1檢測環(huán)境檢測應(yīng)在GB/T25915.1規(guī)定的ISO等級數(shù)5級及以上，溫度為22℃±1℃的潔凈環(huán)境下進(jìn)行。D.2檢測設(shè)備離子含量、金屬含量、總有機(jī)碳含量檢測設(shè)備應(yīng)分別采用離子色譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀、總有機(jī)碳分析儀。D.3檢測前處理D.3.1操作人員應(yīng)佩戴自吸式防毒面具，穿耐酸堿橡膠服，戴耐酸堿橡膠手套。D.3.2零部件或組件檢測前，應(yīng)進(jìn)行清洗和超純水浸泡。D.3.3清洗及過程空白用容器均應(yīng)采用超純PFA材料制作。D.3.4清洗應(yīng)按下列程序執(zhí)行：a）用超純異丙醇（IPA）震蕩清洗容器2min，清空容器。用新超純異丙醇（IPA）灌滿容器，浸泡30min。b）用超純水震蕩清洗容器2min。c）用1:1（超純硝酸：超純水）硝酸溶液灌滿容器，浸泡2至4h。d）用超純水震蕩清洗容器2min。e）用1:1（超純鹽酸：超純水）鹽酸溶液灌滿容器，浸泡2至4h。f）用超純水震蕩清洗容器2min，干燥后待用。D.4浸泡處理經(jīng)清洗后的被檢測部件應(yīng)轉(zhuǎn)入浸泡工序，并應(yīng)符合下列規(guī)定：a）浸泡容器應(yīng)為超純PFA材料制作，浸泡介質(zhì)應(yīng)采用超純水。b）超純水應(yīng)浸沒被檢測部件，滿足測試要求的條件下，超純水的用量盡可能小，浸泡溫度應(yīng)為c）浸泡期間，每天應(yīng)攪拌一次，持續(xù)10s?？墒褂谜駝优_或手動攪拌，但不得有異物接觸浸泡液，不應(yīng)使用攪拌棒。d）浸泡期間容器應(yīng)保持密封。e）浸泡結(jié)束后，可采取進(jìn)樣管直接插入浸泡容器進(jìn)行測試。需要進(jìn)行移液測試時，轉(zhuǎn)移至清潔的PFA試劑瓶中，轉(zhuǎn)移過程中使用的槍頭或者其他容器要經(jīng)過清洗程序。D.5檢測方法D.5.1離子含量應(yīng)使用離子色譜儀檢測，測試步驟和方法應(yīng)按GB/T34672執(zhí)行，測試重復(fù)性不應(yīng)超過20%，重現(xiàn)性不應(yīng)超過30%，檢測設(shè)備的方法檢出限應(yīng)小于等于技術(shù)指標(biāo)的10%，表面提取離子污染技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合本文件附錄A中表A.1的規(guī)定。D.5.2金屬含量應(yīng)使用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀檢測，測試步驟和方法應(yīng)按GB/T39486執(zhí)行，測試重復(fù)性不應(yīng)超過20%，重現(xiàn)性不應(yīng)超過30%，檢測設(shè)備的方法檢出限應(yīng)小于等于技術(shù)指標(biāo)的10%，表面提取金屬污染技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合本文件附錄A中表A.2的規(guī)定。T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024D.5.3總有機(jī)碳含量應(yīng)使用總有機(jī)碳分析儀檢測，測試設(shè)備應(yīng)符合JJG821的規(guī)定，測試步驟和方法應(yīng)按GB/T11446.8執(zhí)行，測試重復(fù)性不應(yīng)超