微納米金屬燒結體熱導率試驗方法：閃光法

1微納米金屬燒結體熱導率試驗方法閃光法本文件規(guī)定了第三代半導體器件封裝用微納米金屬燒結體熱導率的測封裝燒結材料在不含被連接件、連接基體的情況下，單熱擴散系數thermaldiffusioncoe差示掃描量熱法differentialscanningcalo24.1熱導率值的計算 λ——導熱系數，單位為瓦每米開爾文W/（mkρ——體積密度，單位為千克每立方米kg/m3。4.2熱擴散系統(tǒng)的測量測試樣品的熱擴散系數使用閃光法測量，如圖1所示，測試樣品在測試設備中受高強度短時能量脈和背面溫度達到最大值的一半所需時間（t1/2）計算出試樣的熱擴散系數，具體計算公式a=k1/2×H2/t1/2 H——樣品厚度；t1/2——樣品背面溫度達到最大值的一k1/2——樣品背面溫度達到最大值的一半條件下對應的經驗常數，取值0.13879。3主要成分為α-Al2O3）在相同測試條件下進行升溫掃描，與此同時還需進行一次相同條件的空白測試。cpsample=Dle×d×cstandard······································(3)Dscstandard——標準物質DSC曲線特征值；Dscbase——空白DSC曲線特征值；msample——待測樣品質量（差示掃描量熱儀可軟件直接讀數）；mstandard——標準物質質量（差示掃描量熱儀可軟件直接讀數）；cstandard——標準物質比熱容（查文獻或咨詢標準物質提供供應商）。4.4體積密度的測量(p0?pair)+pair p——待測固體密度；A——待測固體在空氣中的質量；B——待測固體在液體中的質量；p0——測試用液體密度；pair——空氣密度，取值0.0012g/cm3。45.2熱擴撒系數測試儀器、信號采集處理器、數據記錄系統(tǒng)、計算機等構成。閃光源可以是激光脈沖、閃光燈，或者其他可宜的價格和更低的維護費用。根據GB/T22588-2008在激光與試樣之間使用光纖可以很好的勻性（高達95。因為這種方法幾乎不產生邊緣效應，可比自然激光束有更環(huán)境控制腔室是用于樣品在不同溫度、不同氣氛條件下測試。環(huán)境控制腔室還應設置特定位置窗樣品背面溫度的測量和采集可以使用接觸式熱電偶，推薦使用非接觸式紅外探測器。根據行業(yè)經5.3尺寸測量儀器5.4差式掃描量熱儀5密度組件一般應包括固定支架、液體盛裝燒杯、固體掛籃、所有的窗材表面不能覆蓋有會吸收能量的沉積物以避免信號強度的損失和光源對試樣的不均勻加熱。更多關于避免測試過程中干擾的信息，可參考GB/T22588熱擴散系數、比熱容、體積密度測量需使用體積密度測量對測試樣品外形無要求，而比熱容測量使用的試樣體積和質量很?。ㄍǔ?0mg左~6mm。此處推薦使用直徑為12.7mm，試樣的厚度應不小于1mm的樣品尺寸。其中直徑的選值原因如下1）首先，主要參考了現有通用閃光法熱擴散系數測試設備對尺寸的大于10mm，因此采用12.7mm及以上直徑樣品，可以使得測試樣品能同時滿足兩個參數測試的目的；6使用樣品制備模具將微納米金屬膏體通過燒結工9.2體積密度測試9.2.2空氣內測量：測量待測樣品在空氣的質量，記錄稱量結果A。9.2.3液體內測量：在燒杯內盛裝適量已知密度的參考液體（通常是水或無水乙醇b）放置盛9.3熱擴散系數測試軸、樣品背面與溫度探測器同軸b）確保遮光圈、探測器、激光脈沖等位置正確c）確保腔外安全鎖正常鎖閉，以避免激光外漏d）如需要，通入惰性氣體或抽真空e）確保溫度穩(wěn)定性，出，樣品收到脈沖照射升溫，監(jiān)控樣品背面溫升曲線e）測定樣品環(huán)境溫度f）采集基線和瞬79.3.3計算a）確定基線和最高溫升，得出溫度變化ΔTmaxb）再確定從起始脈沖開始到