(高清版)GBT 25915.12-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 I 3術(shù)語和定義 3 3附錄A(資料性)以凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行監(jiān)測的參照方法 附錄B(資料性)粒子計(jì)數(shù)效率和分割粒徑 8 I本文件是GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第12部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級： 第10部分：按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級；Ⅱ1GB/T25915.12—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分：2規(guī)范性引用文件本文件沒有規(guī)范性引用文件。3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。ISO和IEC在以下網(wǎng)址維護(hù)用于標(biāo)準(zhǔn)化的術(shù)語數(shù)據(jù)庫：——IECElectropedia:可從https://www.elect ISO在線瀏覽平臺：可從/obp獲取。潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設(shè)計(jì)、建造到運(yùn)行均使進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控?？諝鈶腋×Ｗ佑?jì)數(shù)濃度受控并分級的限定空間。其建造和運(yùn)行使進(jìn)入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。2計(jì)數(shù)效率為50%的粒徑。潔凈室(3.1.1)或潔凈區(qū)(3.1.2)設(shè)施按議定方式運(yùn)行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的34監(jiān)測與測試條件的文件來驗(yàn)證的。見GB/T25915.2—2021中附錄A,它規(guī)定了以預(yù)期使用的風(fēng)險(xiǎn)評估為為監(jiān)測空氣中的納米尺度粒子，用CPC對空氣中納米尺度粒子計(jì)數(shù)最有效。使用CPC進(jìn)行監(jiān)測 至少與CPC測量具有可比性能的其他方法和儀器也可做出規(guī)定。如若沒有規(guī)定的或商定的其他每個(gè)潔凈區(qū)的檢測結(jié)果應(yīng)記錄下來并以綜合報(bào)告提交。數(shù)據(jù)總結(jié)要包括不良趨勢監(jiān)測數(shù)據(jù)的審45GB/T25915.12—2021/IS(資料性)A.1原理A.2.1CPC儀器A.2.2凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器(CPCPC粒子下限的粒子濃度累計(jì)值。凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器的技術(shù)條件示例見表A.1。儀器分割粒徑(D?0)溫度范圍：10℃~35℃環(huán)境壓力：75kPa～105kPa(0.75atm～1.1atm)在指定的溫度、相對濕度、壓力下進(jìn)行測試時(shí)，流量為規(guī)最長12個(gè)月使用蔗糖納米粒子或銀納米粒子。粒徑下限：50%±10%;5倍粒徑下限：粒徑下限：<25%(見圖B.1)儀器應(yīng)具有有效的校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)頻度和校準(zhǔn)方法宜依據(jù)當(dāng)前所認(rèn)可的規(guī)范(見ISO27891粒子計(jì)數(shù)效率和分割粒徑方面的內(nèi)容見附錄B。6A.4預(yù)檢測條件b)空氣壓差測試；A.4.2預(yù)檢測設(shè)備設(shè)置A.5.2.1按生產(chǎn)商的說明設(shè)置粒子計(jì)數(shù)器(A.2),其工作條件與生產(chǎn)商的要求相符。實(shí)施這一步驟的A.5.2.2采樣管的位置要朝向氣流。若被采樣的氣流方向不受控或無法預(yù)知(如非單向流),采樣管的A.6.2當(dāng)在一個(gè)采樣位置上的采樣次數(shù)不止1次，從每次采得樣本的粒子濃度(A.6.1),按公式(A.1)X;A.6.3按公式(A.2)計(jì)算每立方米的濃度值C;。C,=x;×1000/V+7GB/T25915.12—2021/IS8GB/T25915.12—2021/IS(資料性)括了標(biāo)準(zhǔn)化后納米尺度粒徑比值為X±10%的無差帶，就是圖B.1所示的X=1.1和X=0.9的范圍。該圖標(biāo)出了標(biāo)準(zhǔn)化粒徑±10%無差帶內(nèi)粒子最低和最高合格計(jì)數(shù)效率。還標(biāo)出了X=5時(shí)，計(jì)數(shù)效率至少宜為85%,X=0.5時(shí)，計(jì)數(shù)效率宜小于25%。計(jì)數(shù)效率測量宜以蔗糖粒子或銀粒子作為標(biāo)準(zhǔn)若凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影部分的右側(cè)，則不宜用9GB/T25915.12—2021/ISX155X1559X15分割粒徑器的技術(shù)要求見表B.1。流經(jīng)粒徑分割器的流量恒定(波動范圍±10%),且大于或等于差分電遷移動率分析儀(DEMC)能與凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器(CPC)一起組合成差分電遷移分級系統(tǒng)(DMAS),用于測量納米尺度粒子的粒徑的分布。DEMC將帶電的氣溶膠粒子分級至不同的粒徑艙，DMAS的掃描特性以及將電荷傳給粒子的效率有限，為獲取有效果，使用DMAS需要有恒定的粒子源和充裕的采樣時(shí)間。DMAS不是為了用于潔凈室潔凈度的分級[1]GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等[2]GB/T25915.2—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測[3]GB/T25915.3—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法(ISO14644-3:2005,[4]ISO15900:2009Determinationofparticlesizedistribution—Differenti[5]ISO21501-4Determinationofparticlesizedistr[6]ISO/TS80004-2:2015Nanotechnologies—Vocabulary—Part2:Na[7]ISO27891Aerosolparticlenumberconcentration—Calib[8]ISO/TS80004-1[9]Ensor,D.S.,DixonA.M.AerosolMeasurementsments,(KulkarniP.,ed.).VanNostrandReinhold,NewYork,2011.[10]IEST-G-CC1002.DeterminationoftheConcentrationofAirborneUltrafineParticles.IEST,Schaumburg,IL,1996.[11]Ensor,D.S.,FoardeK.K..TheBehaviorofParticlesinCleanrooms.In:EnvironmentalMonitoring,(DixonA.M.,InformaHealthcareU.S.A.,eds.).NewYork,2006,pp.1-22.[12]Hinds,W.C.,AerosolTechnology.JohnWileyandSons,New[13]Sem,G.J.,Ultrafine(<0.1μmDiameter)Particles.In:ParticleductorManufacturing,(DonovanR.P.,ed.).MarcelDekker,Inc,NewYork,1990,pp.79-103.[14]Wen,H.Y.KasperG.OntheKineticsofSci.1989,20pp.483-498.[15]Ensor,D.S.,DonovanR.P.,LockeB.R.ParticleSizeDistribuIEST.1987,30(6)pp.44-49.[16]Ensor,D.S.,VinerA.S.,JohnsonE.W.,DonovanR.P.,KeadyMeasurementofUltrafineAerosolParticleSizeDistributionsatLowConcentrationsbyParpp.471-475[17]AhonenL.R.Kangasluoma,J.Lammi,J.LehtipaKulmalaM.Firstmeasurementsofthenfrommanufacturing