電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

ICS

C

AQ

中華人民共和國安全生產(chǎn)行業(yè)標準

AQ4201—2008

電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

TechnologyCodeofDustandPoisonControlforElectronicIndustry

（送審稿）

2008-11-19發(fā)布2009-01-01實施

國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局發(fā)布

AQ4201—2008

前言

為了更好的保護電子工業(yè)企業(yè)作業(yè)人員的安全和健康，做好防塵防毒工作，制訂本標準。

本標準中：3、4.1、4.2、4.3、4.6、5.1、5.2.1、5.2.3、5.2.6、5.3.1、6.2.4、6.2.5、6.3、

6.4.4、7、8、9、10、11等為強制性條款。

本標準由國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局提出。

本標準由全國安全生產(chǎn)標準化技術(shù)委員會歸口并解釋。

本標準起草單位：北京市勞動保護科學研究所。

本標準主要起草人：胡玢汪彤黃燕娣王培怡呂琳吳芳谷張志航顧為群。

本標準2008年11月19日首次發(fā)布。

II

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電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

1范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒的技術(shù)要求、措施和管理。

本標準適用于電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的工程技術(shù)和管理防范，也適用

于安全生產(chǎn)和職業(yè)病危害監(jiān)督管理部門對電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的監(jiān)督。

2規(guī)范性引用文件

下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。本標準出版時，

所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本

的可能性。

GB8958缺氧危險作業(yè)安全規(guī)程

GB11651勞動防護用品選用規(guī)則

GB11984氯氣安全規(guī)程

GB15603常用化學危險品貯存通則

GB/T16758排風罩的分類及技術(shù)條件

GB17916毒害性商品儲藏養(yǎng)護技術(shù)條件

GB50019采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范

GB50073潔凈廠房設計規(guī)范

GBZ1工業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生標準

GBZ2.1工業(yè)場所有害因素職業(yè)接觸限值化學有害因素

GBZ158工作場所職業(yè)病危害警示標識

AQ/T9002生產(chǎn)經(jīng)營單位安全生產(chǎn)事故應急預案編制導則

SJ30002電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定

3總則

3.1為了有效地控制電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的粉塵、毒物危害因素，改善作業(yè)場所環(huán)境

條件，保障職工身體健康，促進生產(chǎn)發(fā)展，特制定本標準。

3.2電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒應堅持預防為主、防治結(jié)合、源頭控制、過程可控、綜合治

理的原則，優(yōu)先選擇塵毒危害小的工藝和設備，積極采用無毒或低毒原（輔）料，以無毒代

替有毒、以低毒代替高毒，并對塵毒危害進行綜合治理，使其危害控制符合GBZ2.1要求。

3.3電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒工作應持續(xù)改進，不斷降低作業(yè)場所塵毒物質(zhì)濃度。

3.4電子工業(yè)企業(yè)建設項目中產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)過程和設備應設置防塵防毒設備設施，且

與主體工程同時設計、同時施工、同時投入生產(chǎn)和使用。

4生產(chǎn)工藝基本要求

4.1電子工業(yè)企業(yè)應對整個生產(chǎn)過程中的粉塵、毒物危害進行辨識和評估，明確所有產(chǎn)生粉

塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設備及原（輔）料、中間產(chǎn)品、副產(chǎn)品，并建立職業(yè)衛(wèi)生

檔案。

4.2產(chǎn)生粉塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設備設施在設計時應符合GBZ1中第5.1節(jié)以

及SJ30002的要求。

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4.3防塵防毒設備設施應保證作業(yè)場所中有害物質(zhì)濃度符合GBZ2.1的要求。在廠房氣象條

件、潔凈度要求與防塵防毒措施有矛盾時，應采取其他措施，保證作業(yè)人員健康。

4.4下列工藝過程可能產(chǎn)生粉塵、毒物危害，應采取綜合治理措施：

（1）半導體器件（或集成電路）生產(chǎn)中的外延、氧化擴散、化學氣相沉積、離子注入、

腐蝕、清洗、刻蝕、濺射、塑封等工序；

（2）真空器件零件清洗、陰極熱絲制備、涂屏、充汞等；

（3）陶瓷料、玻璃料、磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、加工工藝等；

（4）鑄造、熱處理、電火花加工、磨削加工、化學處理、電鍍、噴砂、油漆、涂裝工

藝等；

（5）鉛蓄電池等含鉛生產(chǎn)工藝；

（6）電阻、電容等元件生產(chǎn)及印刷電路板（PCB）生產(chǎn)；

（7）電子裝聯(lián)工藝中的焊接、三防、固封工序等。

4.5當作業(yè)場所空氣中的塵、毒在技術(shù)上較難控制時，宜采取以下措施：

（1）設置密閉操作室，保證新鮮空氣供應量不少于每人30m3/h；

（2）采用送風面具或崗位送風；

（3）送入空氣應符合相關(guān)標準的要求。

4.6在選擇生產(chǎn)工藝時，設計者和設備供應商應提供粉塵、毒物產(chǎn)生情況說明及控制措施技

術(shù)文件，原（輔）料供應者應提供原（輔）料塵、毒危害技術(shù)說明文件、執(zhí)行標準文件等。

上述文件均應存檔。

5生產(chǎn)廠房

5.1選址

生產(chǎn)廠房應選擇在環(huán)境空氣質(zhì)量、氣象條件符合職業(yè)安全衛(wèi)生要求、環(huán)境較為清潔的地

區(qū)。

5.2布局

5.2.1廠區(qū)應合理布局，減少粉狀物料的運輸距離及中轉(zhuǎn)次數(shù)，避免不合理的交叉和重復運

輸。

5.2.2產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)區(qū)宜集中布置在廠區(qū)夏季最小頻率風向的上風側(cè)，且地勢開闊、

通風條件良好的地段。

5.2.3生產(chǎn)區(qū)內(nèi)部布置應避免塵毒的交叉污染。

5.2.4產(chǎn)生塵毒危害的工序或工作區(qū)（間）若在同一建筑物內(nèi)，宜集中在靠近夏季最大頻率

風向下風側(cè)的外墻布置，應與其他工序或工作區(qū)（間）可靠地隔開。

5.2.5有毒物質(zhì)、粉料輸送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜設置在人員集中區(qū)域周邊。

有毒物質(zhì)、粉料輸送管道不應穿越辦公室、休息室、宿舍、人員密集廠房、餐廳、經(jīng)常有人

來往的通道（含地道、通廊）等建筑物。

5.2.6密閉廠房進氣口的位置不應設置在有毒、粉塵物質(zhì)排放口污染影響區(qū)域內(nèi)，且應保證

在最不利氣象條件下進氣口不受到排放口有毒、粉塵物質(zhì)的影響。

5.3建（構(gòu)）筑物

5.3.1廠房結(jié)構(gòu)應充分考慮防塵防毒的要求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)應有足夠高度以布置管道，且有利于

清除積塵。粉塵污染嚴重的廠房，應留有真空清掃機具行走的通道。

5.3.2使用、產(chǎn)生劇毒物質(zhì)的作業(yè)場所，其墻壁、頂棚和地面等內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面，應采用不

吸收、不吸附毒物的材料，宜加設保護層以便清洗。車間地面應平整、防滑、易于清掃。經(jīng)

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常有積液的地面應做防水處理并設置坡向排水系統(tǒng)。

5.3.3對于多層廠房，產(chǎn)生有害氣體的場所宜布置在建筑物的上層。如必須布置在下層時，

應采取安裝有效通風、防毒設備設施等措施，以防止對上層作業(yè)環(huán)境造成不良影響。

5.3.4潔凈廠房采用的室內(nèi)裝修材料，其有害物質(zhì)散發(fā)量應符合國家相關(guān)規(guī)定，不宜使用對

人身體有害的石棉類建筑材料。

6工程技術(shù)措施

6.1材料儲存與運輸

6.1.1采用自動化設備，實現(xiàn)物料的自動裝載、泄漏檢測、連鎖控制，以避免或減少有害物

質(zhì)的散發(fā)。

6.1.2采用密閉性好的輸送裝置，如氣力輸送、斗式提升機、螺旋輸送機、溜管、溜槽等。

6.1.3改進工藝，減少粉、粒料的中轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)，縮短輸送距離。

6.1.4減少散裝粉、粒料轉(zhuǎn)運點的落差高度，并對落料點采取密閉、負壓等措施。

6.1.5經(jīng)常有人來往的通道（含地道、通廊），應有自然通風或機械通風，不應敷設有毒液體

或有毒氣體管道。

6.1.6對塵、毒物品的運輸、儲存、分配應采取下列防范措施：

（1）在工作區(qū)內(nèi)裝卸散裝的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、粘土等粉、粒料，不宜使

用抓斗吊車、翻斗車及卡車。允許灑水降塵的裝卸區(qū)域，應設置灑水設施，灑水設施應保證

冬季的正常使用。

（2）有毒物品應儲存在專門的場所、庫房中，其貯存條件、貯存方式、貯存限量應符

合GB15603、GB17916的規(guī)定。

（3）儲存氣態(tài)有毒物質(zhì)的場所應設置有效的氣體排放應急處理設施，以避免發(fā)生毒氣

泄漏事故時造成毒氣擴散。相互抵觸的氣態(tài)物質(zhì)儲存容器應分室儲存，并有可靠措施避免泄

漏時發(fā)生反應。

（4）儲存液態(tài)有毒物質(zhì)的場所應設置圍堰或?qū)Я鞑郏希?，圍堰的容積應不小于最大

單罐地上部分儲量。從圍堰或?qū)Я鞑郏希┮龅呐潘ㄅ盼郏┕埽希獏R集到專用的污

水池。相互抵觸的液態(tài)物質(zhì)儲存容器應分別設置圍堰或?qū)Я鞑郏希?、排水（排污）管（溝）?/p>

污水池，并有可靠措施避免同時發(fā)生泄漏時散發(fā)出的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生反應。

（5）存放粉粒狀或毒性材料的容器，應具有良好密閉性和耐蝕性。

（6）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特種氣體的儲存間和配送

管道廊內(nèi)應設置在線氣體檢測報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖。氦氣、六氟化硫

等窒息性特種氣體儲存間和配送管道廊內(nèi)應設置在線氧氣檢測報警裝置并與新鮮空氣送風

裝置連鎖。

（7）儲存和使用氰化物、砷化物等劇毒物品的庫房、工作間，其墻壁、頂棚和地面應

采用不吸附毒物的材料，并便于清洗和收集。室內(nèi)管線宜暗敷。分發(fā)毒物處應設置洗滌池和

通風柜。

（8）液氯罐儲存間應設置在線氯氣報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖，排放

系統(tǒng)吸氣口位置應靠近地面。儲存間內(nèi)應設置起重設備及稀堿液池，其深度應能浸沒液氯罐，

或配備氯氣捕消器，并符合GB11984的要求。

（9）危險化學品在潔凈廠房內(nèi)的運輸、儲存、分配，應符合國家相關(guān)規(guī)定。

（10）對上述條款中未包括的塵、毒物品的運輸、儲存、分配應參照有關(guān)規(guī)范、條文

要求，采取相應的防范措施。

6.2工藝與設備

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6.2.1生產(chǎn)工藝與設備宜采取密閉（整體密閉、局部密閉或小室密閉）或負壓方式工作。不

能密閉時，應設置排風罩。

6.2.2在生產(chǎn)設備合理密閉和通風的基礎(chǔ)上宜采取隔離、遙控操作。

6.2.3生產(chǎn)線上的單臺通風系統(tǒng)工藝設備宜集合成密閉的工藝系統(tǒng)。

6.2.4對存在劇毒且難以消除其危害的工藝過程，應通過采取全自動化生產(chǎn)或遙控操作等措

施，實現(xiàn)人與危害現(xiàn)場的隔離。

6.2.5生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的劇毒氣體應進行機旁無害化處理后再排入公共排氣管道系統(tǒng)。

6.3操作

6.3.1密閉空間進行檢修時，應為檢修人員配備符合要求的個人防護用品，并配備現(xiàn)場監(jiān)護

人員。檢修人員進入前應進行塵毒吹掃、沖洗、收集、檢測合格后，方可進行檢修作業(yè)。檢

測氧氣濃度應符合GB8958要求。

6.3.2熒光粉生產(chǎn)中的硫化鋅制備反應釜的加料和放料操作，應與反應釜攪拌機連鎖，放料

前關(guān)閉，加料后啟動。

6.4有毒廢物處置

6.4.1散發(fā)有毒氣體的生產(chǎn)廢水，應盡量縮短在室內(nèi)穿過的距離，不應采用明溝排水。在外

排時應進行無毒化處理。

6.4.2從工作間（區(qū)）排出的含有塵、毒的廢氣、廢水、廢渣應進行相應的無害化治理，使

其符合相關(guān)的環(huán)保排放標準。

6.4.3生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的相互抵觸物質(zhì)應單獨無害化處理后再排入公共排放管道，不應混合

直排。

6.4.4生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的危險固體廢物不應隨意放置在車間或廠區(qū)內(nèi)，應設置專用庫房，使

用專用密閉容器儲存，交專業(yè)機構(gòu)集中處置。

7通風凈化系統(tǒng)設置

7.1在生產(chǎn)過程中可能突然逸出大量有害氣體或易造成急性中毒氣體的作業(yè)場所，應設置事

故通風裝置及與其連鎖的自動報警裝置。其通風換氣次數(shù)應不小于每小時12次。

7.2有塵、揮發(fā)性溶劑逸出的設備等的開口部位應設排風裝置。

7.3篩選設備應根據(jù)具體情況在卸料點、篩上物落料處及其本體部分按設備類型設罩并排

風：

（1）振動篩宜在篩子上設密閉排風罩。

（2）滾筒篩應設整體密閉排風罩。

（3）多段篩宜在篩箱側(cè)面設窄縫側(cè)吸罩。罩口風速控制在5m/s以內(nèi)。篩箱頂部應設可

開啟蓋板。

7.4混料機應采用密閉排風圍罩，或在進、出料口分別設置排風罩。

7.5袋裝粉料的拆包、倒包應在有負壓的專門裝置中進行。

7.6印制線路板生產(chǎn)中的鋸床、數(shù)控鉆（銑）床、開槽機、倒角機、帖膜機、蝕刻機、角磨

機、顯影機、凹蝕設備、電鍍設備、曝光機、紫外光固化機等散發(fā)粉塵、酸堿蒸汽或臭氧等

的設備，均應采取排風措施。

7.7電鍍槽、酸洗槽、除油槽、腐蝕槽及其他化學槽等應設槽邊側(cè)吸罩或吹吸式罩。蓄電池

板板化成槽應設上部排風罩或側(cè)吸罩。

7.8鍍鉻槽排風管路上應設置鉻液回收裝置。風管連接應嚴密。

7.9批量生產(chǎn)的噴漆或噴涂作業(yè)，應在有排風的噴漆室、噴涂室或噴漆柜、噴涂柜內(nèi)進行。

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大件生產(chǎn)的就地噴漆工作區(qū)應有良好通風。烘干箱（室）應設置上送下排式排風系統(tǒng)。

7.10產(chǎn)生磨削粉塵的設備，如工具磨床、砂輪機等應設局部排風除塵裝置。

7.11使用磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒氣體進行化學氣相淀積、

外延、摻雜、擴散、離子注入、刻蝕等工藝的作業(yè)場所，應設機械排風系統(tǒng)、事故排風系統(tǒng)

和泄漏報警裝置。泄漏報警裝置應與事故排風系統(tǒng)、工藝設備、操作閥等連鎖。工藝設備的

尾氣排放口應設置可靠的現(xiàn)場無害化處理裝置和局部排風裝置。

7.12半導體圓片粘片、硅片處理、熔蠟、熒光粉的配置和涂復、氣相清洗、紅外熱熔、熱

風平整等產(chǎn)生有機溶劑蒸汽的作業(yè)點，均應設排風裝置。

7.13濺射工藝過程和墊料散布過程中產(chǎn)生的爆炸性粉塵廢氣應進行單獨排風，在排氣管道

前端設置集塵裝置并使用惰性氣體保護，集塵裝置宜配備惰性氣體抑爆裝置。

7.14刻蝕工藝過程操作現(xiàn)場應單獨設置局部排氣裝置。

7.15在光刻過程中產(chǎn)生的有機廢氣、堿性廢氣宜分別使用不同的排氣系統(tǒng)，如不可行，其

排氣系統(tǒng)不應與其他排氣系統(tǒng)連接，以避免發(fā)生連鎖反應事故。

7.16裝聯(lián)工藝中的再流焊、波峰焊、浸錫焊以及手工焊接等作業(yè)點，應設排風裝置或煙霧

凈化裝置。

7.17電焊、氣焊等離子切割，熔鉛鍋等產(chǎn)生金屬蒸汽的工作點，應設下排風裝置。

7.18玻璃熱加工、芯柱壓制、高鉛玻璃電真空器件的熱加工、溶制鉛玻璃池爐觀察孔等處，

應設置強排風。

7.19使用滴汞電極的極譜儀時，應采用專用的極譜工作臺，工作間地坪應為深色，工作臺

附近地面應設收集汞的凹坑，地坪要有坡向凹坑的坡度。

7.20生產(chǎn)熒光燈、閘流管等產(chǎn)品所使用的充汞設備以及其他使用汞的工作間，其室內(nèi)環(huán)境

溫度應盡可能低。并應設置全面通風和局部排風。工作間內(nèi)應設汞清洗收集槽。地坪、頂棚、

墻面材料應便于沖洗。地坪應有坡度，坡向汞清洗收集槽。

7.21微波功率器件的氧化鈹陶瓷配件、壓制、焙燒、研磨、金屬化等設備均應設排風裝置。

使用粉狀氧化鈹?shù)墓ぷ鏖g，室內(nèi)管線應暗敷，室內(nèi)裝修材料應便于水沖洗。

7.22蓄電池生產(chǎn)的鉛、鎘、鎳等有毒粉塵工作區(qū)，應有給排水設施，使地面經(jīng)常保持濕潤，

并能用水沖洗。其他粉塵工作區(qū)，在生產(chǎn)或?qū)嶒炘S可條件下，地面亦宜保持濕潤和能用水沖

洗。

7.23干電池生產(chǎn)中的熔化、和料，捏煉及磨切加工設備，均應設置排風罩。含汞粉料加工、

成型設備應設密閉罩排風。

7.24熒光粉生產(chǎn)中的硫化氫儲罐室，應設置硫化氫氣體泄漏報警裝置，并與事故排風系統(tǒng)

連鎖。硫化氫控制室應保持微正壓。

7.25當設置的密閉性能和局部排風措施不能確保工作區(qū)（間）空間的塵、毒含量達到要求

時，應加設全室排風措施，且室內(nèi)空氣不能循環(huán)使用。

7.26生產(chǎn)過程中使用和產(chǎn)生易與空氣、水及相互間發(fā)生劇烈反應的氣體時，在進行通風系

統(tǒng)設計時要防止相互抵觸氣體混合，易燃易爆氣體的排風系統(tǒng)不應形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，應設置阻

火和泄爆裝置，管道內(nèi)壁材料應為符合安全要求的不發(fā)火材料，管道應進行可靠的防靜電接

地，重要部位宜設置可燃氣體檢測報警裝置和惰性氣體抑爆裝置。

7.27有毒氣體排風系統(tǒng)應采取下列措施，確保其工作的可靠性：

（1）排風系統(tǒng)應有備用排風機。

（2）排風機應設有備用電源。

（3）排風管道應根據(jù)排放介質(zhì)的危害特征選用材質(zhì)；排放管道上應設觀察口、檢修口、

清掃口并保持暢通；排風管道上不宜設防火閥。

（4）易燃易爆場所塵、毒排風系統(tǒng)應采用防爆、隔爆設備。

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7.28排風總管應設測試孔，高空測點應有相應的操作臺。

7.29上列各條所涉及的排風系統(tǒng)的設計應符合GB50019的相關(guān)規(guī)定，排風罩應符合

GB/T16758要求。

7.30上述條款中未包括的塵毒作業(yè)通風凈化系統(tǒng)的設置應參照有關(guān)規(guī)范、條文執(zhí)行。

8個人防護

8.1涉及塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應按GB11651要求為接觸塵毒作業(yè)人員配備符合相關(guān)國

家標準、行業(yè)標準要求的勞動防護用品。

8.2使用、儲存劇毒化學品場所應配備空氣呼吸器和化學防護服。

8.3接觸塵毒作業(yè)的作業(yè)人員應具有正確使用個人防護用品的能力，上崗時應穿戴好個人防

護用品。

8.4個人防護用品應按要求進行維護、保養(yǎng)，由企業(yè)集中清洗。個人防護用品失效時應及時

更換。

8.5不應在塵毒作業(yè)區(qū)飲水、進食、休息，應設置獨立的休息室。

8.6塵毒作業(yè)應按照相關(guān)規(guī)范設更衣室和淋浴設施。

8.7接觸塵毒作業(yè)崗位應在顯著位置設置警告標志、標識，并符合GBZ158要求。

8.8清洗、噴漆等易然危險品應禁止煙火。

9管理

9.1機構(gòu)

9.1.1電子工業(yè)企業(yè)最高管理者應做出遵守國家防塵防毒法律、法規(guī)和標準的承諾，并負責

組織制定和實施企業(yè)防塵防毒計劃。

9.1.2具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應嚴格防塵防毒工作的管理，應設置專職的防塵毒工作

管理崗位。

9.1.3特殊氣體庫、有毒化學品倉庫、有塵毒作業(yè)車間應配備專職或兼職的防塵毒工作管理

人員。

9.1.4具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)防塵毒工作管理人員總數(shù)應不少于接觸塵毒人員總數(shù)的

1%。

9.2規(guī)程與制度

9.2.1具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應建立完善的防塵防毒規(guī)章制度。

9.2.2防塵防毒制度主要包括：崗位責任制、操作規(guī)程、職業(yè)衛(wèi)生管理制度、定期體檢制度、

運行記錄、個人防護用品發(fā)放使用記錄、防塵毒設施的維修保養(yǎng)和定期檢測檢驗制度、毒性

物質(zhì)存、取制度等。

9.2.3根據(jù)國家相關(guān)規(guī)定，建立塵毒崗位作業(yè)補貼制度。

9.3教育與培訓

9.3.1電子工業(yè)企業(yè)應經(jīng)常對全體職工進行防塵防毒針對性教育培訓。

9.3.2接觸塵毒作業(yè)的工作人員上崗、換崗以及長期停工后復崗前應經(jīng)過“三級安全教育”

和防塵防毒知識技能培訓，經(jīng)考核合格后方可上崗。

9.3.3接觸塵毒作業(yè)的工作人員上崗前應被明確告知所從事工作的職業(yè)危害性，并在勞動合

同、集體合同中體現(xiàn)告知內(nèi)容。

9.3.4具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)每年應至少組織一次防塵防毒知識技能再教育和考核。

6

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10事故應急處置措施

10.1接觸塵毒作業(yè)崗位應在顯著位置設置說明有害物質(zhì)危害性預防措施和應急處理措施的

指示牌。

10.2塵毒作業(yè)區(qū)域應按照相關(guān)規(guī)范設置緊急淋浴器和洗眼器、急救藥品和裝備。

10.3特氣庫、有毒化學品倉庫及劇毒作業(yè)區(qū)出入口外，應在易取放處設置不少于3套有效

的應急用空氣呼吸器和化學防護服，并配備快速檢測儀器。同時，應配備防止有毒化學品擴

散的設備或措施。劇毒作業(yè)區(qū)配備的應急防護設備數(shù)量應不少于作業(yè)區(qū)內(nèi)人數(shù)。

10.4接觸粉塵、毒物的作業(yè)場所，應具備現(xiàn)場快速、簡易的急救能力。

10.5產(chǎn)生粉塵、毒物的作業(yè)場所、過程、設備，應針對可能發(fā)生的中毒事故，按AQ/T9002

的要求制定專項應急預案。

10.6電子工業(yè)企業(yè)制定的各種事故應急預案中應明確規(guī)定相應的防塵防毒設備及措施，特

別是火災、爆炸事故應急預案和有毒物質(zhì)泄漏事故應急預案中應明確正確的防塵防毒方法。

10.7應急預案應定期演練、經(jīng)常維護、及時更新。

11績效監(jiān)測

11.1體檢

11.1.1作業(yè)人員調(diào)入接觸塵毒作業(yè)崗位前應進行上崗前職業(yè)健康檢查并建立健康檔案，在崗

期間按規(guī)定定期進行職業(yè)健康檢查，離崗時進行離崗時的職業(yè)健康檢查。有職業(yè)禁忌癥者不

應上崗作業(yè)。

11.1.2已被診斷為職業(yè)病的接觸塵毒作業(yè)人員應及時進行治療和定期復查，并按有關(guān)規(guī)定妥

善處置。

11.2有害物質(zhì)檢測

11.2.1具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應對塵毒作業(yè)點按有關(guān)規(guī)定進行有害物質(zhì)檢測，檢測結(jié)

果報告應整理歸檔保存。

11.2.2具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)可自行或委托專業(yè)檢測機構(gòu)開展有害物質(zhì)濃度檢測，并

建立塵毒危害檔案。

11.2.3有害物質(zhì)濃度檢測應在正常工況下進行，檢測點的位置和數(shù)量等參數(shù)選擇應符合相關(guān)

國家標準要求。

11.2.4具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應按相關(guān)規(guī)定對防塵防毒設施的效率進行檢測，達不到

要求時應及時檢修或更換。

11.3監(jiān)督檢查

11.3.1防塵防毒管理部門應加強對電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒管理的監(jiān)督。電子工業(yè)企業(yè)每二年

至少一次對整個生產(chǎn)過程進行粉塵、毒物危害辨識和評估。在作業(yè)場所、工藝過程、設備發(fā)

生重大變化時，應重新開展辨識評估工作。防塵防毒管理部門應要求電子工業(yè)企業(yè)提供作業(yè)

場所塵毒濃度檢測報告、防塵防毒設施運轉(zhuǎn)效果檢測報告、職業(yè)病危害因素申報材料等相關(guān)

資料。

11.3.2防塵防毒管理部門應加強防塵防毒設備設施的監(jiān)督管理。防塵防毒設備設施的運轉(zhuǎn)率

不應低于90%。

11.3.3防塵防毒管理部門每年應至少一次對接觸塵毒作業(yè)的防塵防毒技術(shù)措施和管理措施

進行檢查。督促不符合防塵防毒要求的企業(yè)及時整改。

7

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目次

目次...............................................................................................................................................................I

前言..............................................................................................................................................................II

1范圍..................................................................................................................................................................1

2規(guī)范性引用文件..............................................................................................................................................1

3總則...................................................................................................................................................................1

4生產(chǎn)工藝基本要求..........................................................................................................................................1

5生產(chǎn)廠房..........................................................................................................................................................2

6工程技術(shù)措施..................................................................................................................................................3

7通風凈化系統(tǒng)設置..........................................................................................................................................4

8個人防護..........................................................................................................................................................6

9管理..................................................................................................................................................................6

10事故應急處置措施........................................................................................................................................7

11績效監(jiān)測.........................................................................................................................................................7

I

AQ4201—2008

電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

1范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒的技術(shù)要求、措施和管理。

本標準適用于電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的工程技術(shù)和管理防范，也適用

于安全生產(chǎn)和職業(yè)病危害監(jiān)督管理部門對電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的監(jiān)督。

2規(guī)范性引用文件

下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。本標準出版時，

所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本

的可能性。

GB8958缺氧危險作業(yè)安全規(guī)程

GB11651勞動防護用品選用規(guī)則

GB11984氯氣安全規(guī)程

GB15603常用化學危險品貯存通則

GB/T16758排風罩的分類及技術(shù)條件

GB17916毒害性商品儲藏養(yǎng)護技術(shù)條件

GB50019采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范

GB50073潔凈廠房設計規(guī)范

GBZ1工業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生標準

GBZ2.1工業(yè)場所有害因素職業(yè)接觸限值化學有害因素

GBZ158工作場所職業(yè)病危害警示標識

AQ/T9002生產(chǎn)經(jīng)營單位安全生產(chǎn)事故應急預案編制導則

SJ30002電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定

3總則

3.1為了有效地控制電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的粉塵、毒物危害因素，改善作業(yè)場所環(huán)境

條件，保障職工身體健康，促進生產(chǎn)發(fā)展，特制定本標準。

3.2電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒應堅持預防為主、防治結(jié)合、源頭控制、過程可控、綜合治

理的原則，優(yōu)先選擇塵毒危害小的工藝和設備，積極采用無毒或低毒原（輔）料，以無毒代

替有毒、以低毒代替高毒，并對塵毒危害進行綜合治理，使其危害控制符合GBZ2.1要求。

3.3電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒工作應持續(xù)改進，不斷降低作業(yè)場所塵毒物質(zhì)濃度。

3.4電子工業(yè)企業(yè)建設項目中產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)過程和設備應設置防塵防毒設備設施，且

與主體工程同時設計、同時施工、同時投入生產(chǎn)和使用。

4生產(chǎn)工藝基本要求

4.1電子工業(yè)企業(yè)應對整個生產(chǎn)過程中的粉塵、毒物危害進行辨識和評估，明確所有產(chǎn)生粉

塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設備及原（輔）料、中間產(chǎn)品、副產(chǎn)品，并建立職業(yè)衛(wèi)生

檔案。

4.2產(chǎn)生粉塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設備設施在設計時應符合GBZ1中第5.1節(jié)以

及SJ30002的要求。

1

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4.3防塵防毒設備設施應保證作業(yè)場所中有害物質(zhì)濃度符合GBZ2.1的要求。在廠房氣象條

件、潔凈度要求與防塵防毒措施有矛盾時，應采取其他措施，保證作業(yè)人員健康。

4.4下列工藝過程可能產(chǎn)生粉塵、毒物危害，應采取綜合治理措施：

（1）半導體器件（或集成電路）生產(chǎn)中的外延、氧化擴散、化學氣相沉積、離子注入、

腐蝕、清洗、刻蝕、濺射、塑封等工序；

（2）真空器件零件清洗、陰極熱絲制備、涂屏、充汞等；

（3）陶瓷料、玻璃料、磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、加工工藝等；

（4）鑄造、熱處理、電火花加工、磨削加工、化學處理、電鍍、噴砂、油漆、涂裝工

藝等；

（5）鉛蓄電池等含鉛生產(chǎn)工藝；

（6）電阻、電容等元件生產(chǎn)及印刷電路板（PCB）生產(chǎn)；

（7）電子裝聯(lián)工藝中的焊接、三防、固封工序等。

4.5當作業(yè)場所空氣中的塵、毒在技術(shù)上較難控制時，宜采取以下措施：

（1）設置密閉操作室，保證新鮮空氣供應量不少于每人30m3/h；

（2）采用送風面具或崗位送風；

（3）送入空氣應符合相關(guān)標準的要求。

4.6在選擇生產(chǎn)工藝時，設計者和設備供應商應提供粉塵、毒物產(chǎn)生情況說明及控制措施技

術(shù)文件，原（輔）料供應者應提供原（輔）料塵、毒危害技術(shù)說明文件、執(zhí)行標準文件等。

上述文件均應存檔。

5生產(chǎn)廠房

5.1選址

生產(chǎn)廠房應選擇在環(huán)境空氣質(zhì)量、氣象條件符合職業(yè)安全衛(wèi)生要求、環(huán)境較為清潔的地

區(qū)。

5.2布局

5.2.1廠區(qū)應合理布局，減少粉狀物料的運輸距離及中轉(zhuǎn)次數(shù)，避免不合理的交叉和重復運

輸。

5.2.2產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)區(qū)宜集中布置在廠區(qū)夏季最小頻率風向的上風側(cè)，且地勢開闊、

通風條件良好的地段。

5.2.3生產(chǎn)區(qū)內(nèi)部布置應避免塵毒的交叉污染。

5.2.4產(chǎn)生塵毒危害的工序或工作區(qū)（間）若在同一建筑物內(nèi)，宜集中在靠近夏季最大頻率

風向下風側(cè)的外墻布置，應與其他工序或工作區(qū)（間）可靠地隔開。

5.2.5有毒物質(zhì)、粉料輸送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜設置在人員集中區(qū)域周邊。

有毒物質(zhì)、粉料輸送管道不應穿越辦公室、休息室、宿舍、人員密集廠房、餐廳、經(jīng)常有人

來往的通道（含地道、通廊）等建筑物。

5.2.6密閉廠房進氣口的位置不應設置在有毒、粉塵物質(zhì)排放口污染影響區(qū)域內(nèi)，且應保證

在最不利氣象條件下進氣口不受到排放口有毒、粉塵物質(zhì)的影響。

5.3建（構(gòu)）筑物

5.3.1廠房結(jié)構(gòu)應充分考慮防塵防毒的要求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)應有足夠高度以布置管道，且有利于

清除積塵。粉塵污染嚴重的廠房，應留有真空清掃機具行走的通道。

5.3.2使用、產(chǎn)生劇毒物質(zhì)的作業(yè)場所，其墻壁、頂棚和地面等內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面，應采用不

吸收、不吸附毒物的材料，宜加設保護層以便清洗。車間地面應平整、防滑、易于清掃。經(jīng)

2

AQ4201—2008

常有積液的地面應做防水處理并設置坡向排水系統(tǒng)。

5.3.3對于多層廠房，產(chǎn)生有害氣體的場所宜布置在建筑物的上層。如必須布置在下層時，

應采取安裝有效通風、防毒設備設施等措施，以防止對上層作業(yè)環(huán)境造成不良影響。

5.3.4潔凈廠房采用的室內(nèi)裝修材料，其有害物質(zhì)散發(fā)量應符合國家相關(guān)規(guī)定，不宜使用對

人身體有害的石棉類建筑材料。

6工程技術(shù)措施

6.1材料儲存與運輸

6.1.1采用自動化設備，實現(xiàn)物料的自動裝載、泄漏檢測、連鎖控制，以避免或減少有害物

質(zhì)的散發(fā)。

6.1.2采用密閉性好的輸送裝置，如氣力輸送、斗式提升機、螺旋輸送機、溜管、溜槽等。

6.1.3改進工藝，減少粉、粒料的中轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)，縮短輸送距離。

6.1.4減少散裝粉、粒料轉(zhuǎn)運點的落差高度，并對落料點采取密閉、負壓等措施。

6.1.5經(jīng)常有人來往的通道（含地道、通廊），應有自然通風或機械通風，不應敷設有毒液體

或有毒氣體管道。

6.1.6對塵、毒物品的運輸、儲存、分配應采取下列防范措施：

（1）在工作區(qū)內(nèi)裝卸散裝的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、粘土等粉、粒料，不宜使

用抓斗吊車、翻斗車及卡車。允許灑水降塵的裝卸區(qū)域，應設置灑水設施，灑水設施應保證

冬季的正常使用。

（2）有毒物品應儲存在專門的場所、庫房中，其貯存條件、貯存方式、貯存限量應符

合GB15603、GB17916的規(guī)定。

（3）儲存氣態(tài)有毒物質(zhì)的場所應設置有效的氣體排放應急處理設施，以避免發(fā)生毒氣

泄漏事故時造成毒氣擴散。相互抵觸的氣態(tài)物質(zhì)儲存容器應分室儲存，并有可靠措施避免泄

漏時發(fā)生反應。

（4）儲存液態(tài)有毒物質(zhì)的場所應設置圍堰或?qū)Я鞑郏希?，圍堰的容積應不小于最大

單罐地上部分儲量。從圍堰或?qū)Я鞑郏希┮龅呐潘ㄅ盼郏┕埽希獏R集到專用的污

水池。相互抵觸的液態(tài)物質(zhì)儲存容器應分別設置圍堰或?qū)Я鞑郏希?、排水（排污）管（溝）?/p>

污水池，并有可靠措施避免同時發(fā)生泄漏時散發(fā)出的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生反應。

（5）存放粉粒狀或毒性材料的容器，應具有良好密閉性和耐蝕性。

（6）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特種氣體的儲存間和配送

管道廊內(nèi)應設置在線氣體檢測報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖。氦氣、六氟化硫

等窒息性特種氣體儲存間和配送管道廊內(nèi)應設置在線氧氣檢測報警裝置并與新鮮空氣送風

裝置連鎖。

（7）儲存和使用氰化物、砷化物等劇毒物品的庫房、工作間，其墻壁、頂棚和地面應

采用不吸附毒物的材料，并便于清洗和收集。室內(nèi)管線宜暗敷。分發(fā)毒物處應設置洗滌池和

通風柜。

（8）液氯罐儲存間應設置在線氯氣報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖，排放

系統(tǒng)吸氣口位置應靠近地面。儲存間內(nèi)應設置起重設備及稀堿液池，其深度應能浸沒液氯罐，

或配備氯氣捕消器，并符合GB11984的要求。

（9）危險化學品在潔凈廠房內(nèi)的運輸、儲存、分配，應符合國家相關(guān)規(guī)定。

（10）對上述條款中未包括的塵、毒物品的運輸、儲存、分配應參照有關(guān)規(guī)范、條文

要求，采取相應的防范措施。

6.2工藝與設備

3

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6.2.1生產(chǎn)工藝與設備宜采取密閉（整體密閉、局部密閉或小室密閉）或負壓方式工作。不

能密閉時，應設置排風罩。

6.2.2在生產(chǎn)設備合理密閉和通風的基礎(chǔ)上宜采取隔離、遙控操作。

6.2.3生產(chǎn)線上的單臺通風系統(tǒng)工藝設備宜集合成密閉的工藝系統(tǒng)。

6.2.4對存在劇毒且難以消除其危害的工藝過程，應通過采取全自動化生產(chǎn)或遙控操作等措

施，實現(xiàn)人與危害現(xiàn)場的隔離。

6.2.5生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的劇毒氣體應進行機旁無害化處理后再排入公共排氣管道系統(tǒng)。

6.3操作

6.3.1密閉空間進行檢修時，應為檢修人員配備符合要求的個人防護用品，并配備現(xiàn)場監(jiān)護

人員。檢修人員進入前應進行塵毒吹掃、沖洗、收集、檢測合格后，方可進行檢修作業(yè)。檢

測氧氣濃度應符合GB8958要求。

6.3.2熒光粉生產(chǎn)中的硫化鋅制備反應釜的加料和放料操作，應與反應釜攪拌機連鎖，放料

前關(guān)閉，加料后啟動。

6.4有毒廢物處置

6.4.1散發(fā)有毒氣體的生產(chǎn)廢水，應盡量縮短在室內(nèi)穿過的距離，不應采用明溝排水。在外

排時應進行無毒化處理。

6.4.2從工作間（區(qū)）排出的含有塵、毒的廢氣、廢水、廢渣應進行相應的無害化治理，使

其符合相關(guān)的環(huán)保排放標準。

6.4.3生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的相互抵觸物質(zhì)應單獨無害化處理后再排入公共排放管道，不應混合

直排。

6.4.4生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的危險固體廢物不應隨意放置在車間或廠區(qū)內(nèi)，應設置專用庫房，使

用專用密閉容器儲存，交專業(yè)機構(gòu)集中處置。

7通風凈化系統(tǒng)設置

7.1在生產(chǎn)過程中可能突然逸出大量有害氣體或易造成急性中毒氣體的作業(yè)場所，應設置事

故通風裝置及與其連鎖的自動報警裝置。其通風換氣次數(shù)應不小于每小時12次。

7.2有塵、揮發(fā)性溶劑逸出的設備等的開口部位應設排風裝置。

7.3篩選設備應根據(jù)具體情況在卸料點、篩上物落料處及其本體部分按設備類型設罩并排

風：

（1）振動篩宜在篩子上設密閉排風罩。

（2）滾筒篩應設整體密閉排風罩。

（3）多段篩宜在篩箱側(cè)面設窄縫側(cè)吸罩。罩口風速控制在5m/s以內(nèi)。篩箱頂部應設可

開啟蓋板。

7.4混料機應采用密閉排風圍罩，或在進、出料口分別設置排風罩。

7.5袋裝粉料的拆包、倒包應在有負壓的專門裝置中進行。

7.6印制線路板生產(chǎn)中的鋸床、數(shù)控鉆（銑）床、開槽機、倒角機、帖膜機、蝕刻機、角磨

機、顯影機、凹蝕設備、電鍍設備、曝光機、紫外光固化機等散發(fā)粉塵、酸堿蒸汽或臭氧等

的設備，均應采取排風措施。

7.7電鍍槽、酸洗槽、除油槽、腐蝕槽及其他化學槽等應設槽邊側(cè)吸罩或吹吸式罩。蓄電池

板板化成槽應設上部排風罩或側(cè)吸罩。

7.8鍍鉻槽排風管路上應設置鉻液回收裝置。風管連接應嚴密。

7.9批量生產(chǎn)的噴漆或噴涂作業(yè)，應在有排風的噴漆室、噴涂室或噴漆柜、噴涂柜內(nèi)進行。

4

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大件生產(chǎn)的就地噴漆工作區(qū)應有良好通風。烘干箱（室）應設置上送下排式排風系統(tǒng)。

7.10產(chǎn)生磨削粉塵的設備，如工具磨床、砂輪機等應設局部排風除塵裝置。

7.11使用磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒氣體進行化學氣相淀積、

外延、摻雜、擴散、離子注入、刻蝕等工藝的作業(yè)場所，應設機械排風系統(tǒng)、事故排風系統(tǒng)

和泄漏報警裝置。泄漏報警裝置應與事故排風系統(tǒng)、工藝設備、操作閥等連鎖。工藝設備的

尾氣排放口應設置可靠的現(xiàn)場無害化處理裝置和局部排風裝置。

7.12半導體圓片粘片、硅片處理、熔蠟、熒光粉的配置和涂復、氣相清洗、紅外熱熔、熱

風平整等產(chǎn)生有機溶劑蒸汽的作業(yè)點，均應設排風裝置。

7.13濺射工藝過程和墊料散布過程中產(chǎn)生的爆炸性粉塵廢氣應進行單獨排風，在排氣管道

前端設置集塵裝置并使用惰性氣體保護，集塵裝置宜配備惰性氣體抑爆裝置。

7.14刻蝕工藝過程操作現(xiàn)場應單獨設置局部排氣裝置。

7.15在光刻過程中產(chǎn)生的有機廢氣、堿性廢氣宜分別使用不同的排氣系統(tǒng)，如不可行，其

排氣系統(tǒng)不應與其他排氣系統(tǒng)連接，以避免發(fā)生連鎖反應事故。

7.16裝聯(lián)工藝中的再流焊、波峰焊、浸錫焊以及手工焊接等作業(yè)點，應設排風裝置或煙霧

凈化裝置。

7.17電焊、氣焊等離子切割，熔鉛鍋等產(chǎn)生金屬蒸汽的工作點，應設下排風裝置。

7.18玻璃熱加工、芯柱壓制、高鉛玻璃電真空器件的熱加工、溶制鉛玻璃池爐觀察孔等處，

應設置強排風。

7.19使用滴汞電極的極譜儀時，應采用專用的極譜工作臺，工作間地坪應為深色，工作臺

附近地面應設收集汞的凹坑，地坪要有坡向凹坑的坡