數(shù)字式激光球面干涉儀校準規(guī)范

JJF1739—20191數(shù)字式激光球面干涉儀校準規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于數(shù)字式激光球面干涉儀的校準。2引用文件本規(guī)范引用了下列文件:JJF1100—2016平面等厚干涉儀校準規(guī)范GB/T2831—2009光學(xué)零件的面形偏差I(lǐng)SO14999-4:2015光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的干涉測量第4部分:ISO10110規(guī)定的公差說明和評估(Opticsandphotonics—Interferometricmeasurementofopticalelementsandopticalsystems—Part4:Interpretationandevaluationoftoler-ancesspecifiedinISO10110)凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用本規(guī)范。3術(shù)語和定義GB/T2831—2009、ISO14999-4:2015界定的及以下術(shù)語和定義適用于本規(guī)范。3.1面形偏差surfaceformdeviation被測光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面的偏差。3.2峰谷值peak-to-valley(PV)value面形偏差最大值減去最小值,簡稱PV值。3.3PVr值robustpeak-to-valley(PVr)value面形偏差的36項Zernike多項式擬合面PV值加上3倍擬合殘差(面形偏差減去36項Zernike多項式擬合面)的均方根值。注:Zernike多項式定義按ISO14999-4:2015附錄B標準定義。3.4球面元件F數(shù)Fnumberofsphericaloptics球面曲率半徑與通光口徑的比值。注:被測球面元件F數(shù)應(yīng)當小于或等于數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭F數(shù),才能實現(xiàn)數(shù)字式激光球面干涉儀全口徑校準。建議選取F數(shù)最接近(略小于)被校準數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭F數(shù)的被測球面元件,同時光腔長度應(yīng)盡可能短以提升測量重復(fù)性。4概述數(shù)字式激光球面干涉儀主要用于球面光學(xué)元件面形偏差的測量。數(shù)字式激光球面干涉儀通過其球面鏡頭產(chǎn)生參考光和測試光,測試光入射到被測球面元件表面并反射回來,攜帶被測球面元件面形偏差信息的光波與參考光形成干涉條JJF1739—20192紋,采用移相技術(shù)和干涉儀球面鏡頭F數(shù)相匹配的解相位算法,對干涉條紋進行處理得到被測球面元件面形偏差信息,可提供面形偏差圖和PV、rms、PVr等數(shù)值。數(shù)字式激光球面干涉儀的工作原理結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。圖1數(shù)字式激光球面干涉儀工作原理結(jié)構(gòu)示意圖1—數(shù)字式激光球面干涉儀;2—被測球面元件;3—計算機5計量特性5.1示值誤差示值誤差通常以PVr值(見附錄A)表示,其最大允許值見表1。表1PVr最大允許值及測量重復(fù)性要求準確度級別λ/40λ/20λ/10PVr最大允許值15.8nm31.6nm63.3nm測量重復(fù)性≤3.2nm≤6.3nm≤12.7nm注:λ=632.8nm。5.2測量重復(fù)性校準時測量重復(fù)性應(yīng)滿足測量重復(fù)性要求,具體要求見表1。注:校準工作不判斷合格與否,上述計量特性要求僅供參考。6校準條件6.1環(huán)境條件校準室內(nèi)溫度為(20±2)℃,溫度變化1h不超過0.2℃。相對濕度:30%~65%。實驗室應(yīng)無影響測量的振動、空氣擾動和塵埃。校準前被校數(shù)字式激光球面干涉儀在檢測實驗室內(nèi)溫度平衡時間不少于24h,校準用標準器溫度平衡時間不少于4h。6.2校準用標準器校準用標準器見表2。JJF1739—20193表2校準用標準器序號校準項目準確度級別校準用標準器名稱技術(shù)指標1示值誤差λ/40標準球面反射鏡PVr≤10.5nm(λ/60)λ/20λ/10PVr≤21.0nm(λ/30)2測量重復(fù)性λ/40標準球面反射鏡PVr≤10.5nm(λ/60)λ/20λ/10PVr≤21.0nm(λ/30)7校準項目和校準方法首先檢查數(shù)字式激光球面干涉儀外觀和各部分相互作用,確定沒有影響校準計量性能的因素后再進行校準工作。7.1示值誤差7.1.1直接比較法直接比較法適用于準確度為λ/10級和λ/20級球面干涉儀的校準。首先根據(jù)數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭F數(shù)選擇與之匹配的標準球面反射鏡,λ/10級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇PVr小于或等于21.0nm(λ/30)的標準球面反射鏡,λ/20級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇PVr小于或等于10.5nm(λ/60)的標準球面反射鏡,并且數(shù)字式激光球面干涉儀解相位算法需要與F數(shù)相匹配。然后將標準球面反射鏡安裝在調(diào)整架上,通過精密調(diào)整使干涉條紋為零條紋或者條紋數(shù)最少(此時標準球面反射鏡曲率半徑中心與干涉儀球面鏡頭焦點重合,即共焦位置),通過軟件去除常數(shù)項、傾斜項和Power項后,得到數(shù)字式激光球面干涉儀面形測量結(jié)果M(i,j),被校準數(shù)字式激光球面干涉儀的測量面形偏差I(lǐng)(i,j)按式(1)計算求得:I(i,j)=M(i,j)(1)式中:I(i,jnm;M(i,j)———數(shù)字式激光球面干涉儀直接比較測量得到的面形偏差,nm。按PVr定義計算數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差I(lǐng)(i,j)的PVr值,見式(2),最后將PVr值作為數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差示值誤差的校準結(jié)果。PVr=PV36Zernikes+3×σ36ZernikeResid(2)式中:PV36Zernikes—36項Zernike多項式擬合面PV值;σ36ZernikeResid—數(shù)字式激光球面干涉儀測量得到的面形偏差減去36項Zernike多項式擬合面后擬合殘差的均方根值。JJF1739—201947.1.2三位置法圖2三位置法測量示意圖L(i,j)—數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭透射波前誤差;R(i,j)—數(shù)字式激光球面干涉儀參考面面形偏差;S(i,j)—標準球面反射鏡的面形偏差三位置法適用于λ/40級數(shù)字式激光球面干涉儀的校準。首先根據(jù)數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭F數(shù)選擇與之匹配的標準球面反射鏡,并且數(shù)字式激光球面干涉儀解相位算法需要與F數(shù)相匹配。然后將標準球面反射鏡安裝在調(diào)整架上,調(diào)整使標準球面反射鏡頂點位于數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭焦點位置(即貓眼位置),如圖2(a)所示,精密調(diào)整標準球面反射鏡使干涉條紋為零條紋或條紋數(shù)最少,通過軟件去除常數(shù)項、傾斜項和Power項后,得到數(shù)字式激光球面干涉儀貓眼位置面形測量結(jié)果M0(i,j);然后將標準球面反射鏡移動到共焦位置,精密調(diào)整標準球面反射鏡使干涉條紋為零條紋,進行0°位置共焦測量,如圖2(b)所示;最后將標準球面反射鏡繞光軸旋轉(zhuǎn)180°,精密調(diào)整標準球面反射鏡使干涉條紋為零條紋,進行180°位置共焦測量,如圖2(c)Power項后分別得到0°和180°位置共焦測量結(jié)果。三個位置測量完成后,代入式(3)計算得到數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差I(lǐng)(i,j):I(i,j)=R(i,j)+Δ(i,j)(3)=[M1(i,j)+M2(i,j)-M3(-i,-j)](3)JJF1739—20195式中:R(i,j)———數(shù)字式激光球面干涉儀參考面面形偏差,nm;Δ(i,j)———數(shù)字式激光球面干涉儀系統(tǒng)測量面形偏差,包括其內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及算法引入的誤差,nm。式(3)中,M1(i,j)、M2(i,j)和M3(-i,-j)為三個位置對應(yīng)干涉測量結(jié)果,分別表示如下:M1(i,j)為貓眼位置測量結(jié)果M0(i,j)與繞其數(shù)據(jù)中心旋轉(zhuǎn)180°后的數(shù)據(jù)M0(-i,-j)之和:M1(i,j)=M0(i,j)+M0(-i,-j)=R(i,j)+Δ(i,j)+R(-i,-j)+Δ(-i,-j)M2(i,j)為0°位置共焦測量結(jié)果:M2(i,j)=R(i,j)+S(i,j)+Δ(i,j)式中:S(i,j)———標準球面反射鏡的面形偏差,nm。(4)(5)M3(-i,-j)為180°位置共焦測量數(shù)據(jù)M3(i,j)繞其數(shù)據(jù)中心旋轉(zhuǎn)180°后結(jié)果,M3(i,j)如式(6)所示:M3(i,j)=R(i,j)+S(-i,-j)+Δ(i,j)(6)最后按式(2)計算數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差I(lǐng)(i,j)的PVr值,將PVr值作為示值誤差校準結(jié)果。7.2測量重復(fù)性按7.1.1的方法進行測量,重復(fù)測量n次(n≥10),按式(7)計算面形偏差PVr的標準偏差:s=(xi-x)2(7)式中:s—標準偏差,nm;xi—第i次測量的PVr值,i=1,2,3,…,n,nm;x—n次測量的PVr值的算術(shù)平均值,nm;n—測量次數(shù)。8校準結(jié)果表達錄E。9復(fù)校時間間隔由于復(fù)校時間間隔的長短是由數(shù)字式激光球面干涉儀的使用情況、使用者、儀器本身質(zhì)量等諸因素所決定的。因此,送校單位可根據(jù)實際使用情況自主決定復(fù)校時間間隔。建議一般為1年。JJF1739—20196附錄APVr值A(chǔ).1PVr值根據(jù)PVr的定義,光學(xué)元件的面形偏差可以采用36項Zernike多項式擬合波面來描述面形偏差的低頻部分,而高頻部分則采用3倍擬合殘差均方根來描述。對于圓形孔徑,數(shù)字式激光波面干涉儀容易根據(jù)PVr定義計算出PVr值。A.2PVr值校準示例圖A.1為三位置法中貓眼、0°和180°位置共焦測量結(jié)果,根據(jù)式(3)得到λ/40級數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差校準結(jié)果,如圖A.2所示。(a)貓眼位置(b)0°位置共焦測量(c)180°位置共焦測量圖A.1三位置法三個位置的測量結(jié)果圖A.2分別給出了該λ/40級數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差的36項Zernike多項式擬合面形和擬合殘差,其中36項Zernike多項式擬合面形的PV值是10.68nm,擬合殘差的rms值是0.65nm,所以根據(jù)式(2)得到PVr=10.68nm+3×0.65nm=12.6nm。PV:16.95nm,rms:1.97nmPV:10.68nmrms:0.65nm(a)測量面形偏差結(jié)果(b)36項Zernike擬合面形(c)擬合殘差圖A.2PVr值求解示例圖JJF1739—20197附錄B三位置法公式推導(dǎo)根據(jù)干涉測量原理,同時假設(shè)數(shù)字式激光球面干涉儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)和算法會引入系統(tǒng)誤差Δ(i,j),則貓眼位置測量結(jié)果見式(B.1)[如圖2(a)]:M0(i,j)=[WR(i,j)-WC(i,j)]+Δ(i,j)={[2L(i,j)+2nR(i,j)]-[L(-i,-j)+(n-1)R(-i,-j)+(n-1)R(i,j)+L(i,j)]}+Δ(i,j)=[L(i,j)-L(-i,-j)+(n+1)R(i,j)-(n-1)R(-i,-j)]+Δ(i,j)(B.1)式中:WR(i,j)———參考面反射波前,nm;WC(i,j)———貓眼位置標準球面反射鏡頂點反射波前,nm;R(i,j)———數(shù)字式激光球面干涉儀參考面面形偏差,nm;L(i,j)———數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭透射波前誤差,nm;n—數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭材料折射率;Δ(i,j)———數(shù)字式激光球面干涉儀系統(tǒng)測量面形偏差,包括其內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及算法引入的誤差,nm。將貓眼位置測量結(jié)果M0(i,j)與繞其數(shù)據(jù)中心旋轉(zhuǎn)180°后的數(shù)據(jù)M0(-i,-j)進行求和,得到:(B.2)M1(i,j)=M0(i,j)+M0(-i,-j)(B.2)=R(i,j)+Δ(i,j)+R(-i,-j)+Δ(-i,-j)同理,0°位置共焦測量結(jié)果見式(B.3)[如圖2(b)]:M2(i,j)=[WR(i,j)-WS(i,j)]+Δ(i,j)={[2L(i,j)+2nR(i,j)]-[2L(i,j)+2(n-1)R(i,j)-2S(i,j)]}+Δ(i,j)=R(i,j)+S(i,j)+Δ(i,j)(B.3)式中:WS(i,j)———0°位置標準球面反射鏡反射波前,nm;S(i,j)———標準球面反射鏡面形偏差,nm。180°位置共焦測量結(jié)果見式(B.4)[如圖2(c)]:M3(i,j)=[WR(i,j)-WS'(i,j)]+Δ(i,j)={[2L(i,j)+2nR(i,j)]-[2L(i,j)+2(n-1)R(i,j)-2S(-i,-j)]}+Δ(i,j)=R(i,j)+S(-i,-j)+Δ(i,j)(B.4)JJF1739—20198式中:WS'(i,j)———180°位置標準球面反射鏡反射波前,nm。三個位置測量完成后,由式(B.5)計算得到數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏I(i,j):I(i,j)=R(i,j)+Δ(i,j)(B.5)=[M1(i,j)+M2(i,j)-M3(-i,-j)](B.5)式中:M3(-i,-j)—把180°位置共焦測量結(jié)果M3(i,j)繞其數(shù)據(jù)中心旋轉(zhuǎn)180°后的數(shù)據(jù)。最后按式(B.6)計算數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差I(lǐng)(i,j)的PVr值:PVr=PV36Zernikes+3×σ36ZernikeResid(B.6)JJF1739—20199附錄C數(shù)字式激光球面干涉儀直接比較法校準不確定度評定示例C.1測量方法λ/10級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇PVr小于或等于21.0nm(λ/30)的標準球面反射鏡進行校準,而λ/20級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇PVr小于或等于10.5nm(λ/60)的標準球面反射鏡進行校準。在數(shù)字式激光球面干涉儀主機上安裝干涉儀球面鏡頭,然后將F數(shù)與之匹配的標準球面反射鏡安裝在調(diào)整架上與干涉儀球面鏡頭構(gòu)成零位干涉腔。待干涉腔穩(wěn)定后,精密調(diào)整使干涉條紋為零條紋或最少條紋數(shù),重復(fù)測量10次。例:λ/10級數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭F數(shù)為0.75、面形偏差標稱值為λ/10(PVr),選用PVr小于或等于10.5nm(λ/60)的標準球面反射鏡進行校準,重復(fù)測量10次。C.2測量模型由測量原理和方法,得到測量模型:I(i,j)=M(i,j)(C.1)PVr=PV36Zernikes+3×σ36ZernikeResid(C.2)式中:I(i,j)—數(shù)字式激光球面干涉儀的測量面形偏差,nm;M(i,j)———數(shù)字式激光球面干涉儀直接測量得到的面形偏差,nm;PV36Zernikes—36項Zernike多項式擬合面PV值;s36ZernikeResid—數(shù)字式激光球面干涉儀測量得到的面形偏差減去36項Zernike多項式擬合面后擬合殘差的均方根值。C.3測量不確定度來源和傳播公式根據(jù)PVr定義,得到PVr不確定度傳遞公式:u(PVr)=u2(PV36Zernikes)+9×u2(σ36ZernikeResid)(C.3)其中,36項Zernike多項式擬合面形的PV值的不確定度不超過被測標準球面反射鏡面形偏差,擬合殘差的rms值引入的不確定度近似為0,因此直接比較法測量結(jié)果不確定度可簡化為:u(PVr)≈u(PV36Zernikes)=u(I)=cu+cu(C.4)儀測量重復(fù)性引入的不確定度u2。C.4標準不確定度評定其中,c1=c儀測量重復(fù)性引入的不確定度u2。C.4標準不確定度評定C.4.1標準球面反射鏡引入的不確定度分量u1C.4.1.1標準球面反射鏡面形偏差測量結(jié)果引入的不確定度分量u11標準球面反射鏡面形偏差不超過λ/60,約為10.55nm,假設(shè)服從均勻分布,則:u11=10.55nm/3=6.09nmC.4.1.2標準球面反射鏡因校準室溫度變化引入的不確定度分量u12JJF1739—201910標準球面反射鏡通常選擇融石英或微晶這類熱膨脹系數(shù)極小的材料,在校準環(huán)境條件下溫度影響是微小量。所以溫度引起的測量不確定度忽略不計:u12=0nmC.4.2數(shù)字式激光球面干涉儀測量重復(fù)性引入的不確定度分量u2差s=2.14nm。u2=2.14nmC.4.3主要標準不確定度度匯總表測量不確定度分量及計算結(jié)果見表C.1。表C.1主要標準不確定度匯總表不確定度來源標準不確定度符號標準不確定度標準球面反射鏡u16.09nm標準球面反射鏡面形偏差u116.09nm校準室溫度變化u120nm測量重復(fù)性u22.14nmC.5合成標準不確定度C.6擴展不確定度uc=6.092+2.142nm=6.46nm取k=2,數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差PVr值的擴展不確定度為:U=kuc=2×6.46nm=12.9nmJJF1739—201911附錄D數(shù)字式激光球面干涉儀三位置法校準不確定度評定示例D.1測量方法λ/40級數(shù)字式激光球面干涉儀采用PVr小于或等于10.5nm(λ/60)的標準球面反射鏡進行三位置法校準。在數(shù)字式激光球面干涉儀主機上安裝干涉儀球面鏡頭,然后將F數(shù)與之匹配的標準球面反射鏡安裝在調(diào)整架上與干涉儀球面鏡頭構(gòu)成零位干涉腔。待干涉腔穩(wěn)定后,精密調(diào)整使干涉條紋為零條紋或最少條紋數(shù)。按照7.1.2的測量步驟分別得到貓眼位置、0°位置共焦測量和180°位置共焦測量數(shù)據(jù)。例:λ/40級數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭F數(shù)為0.75、面形偏差標稱值為λ/40(PVr),選用PVr小于或等于10.5nm(λ/60)的標準球面反射鏡進行校準,每個位置重復(fù)測量10次。D.2測量模型數(shù)字式激光球面干涉儀面形偏差按下式計算:I(i,j)=[M1(i,j)+M2(i,j)-M3(-i,-j)]PVr=PV36Zernikes+3×σ36ZernikeResid式中:(D.1)(D.2)I(i,j)—數(shù)字式激光球面干涉儀測量面形偏差,nm;M1(i,j)———貓眼位置測量面形偏差與其繞數(shù)據(jù)中心旋轉(zhuǎn)180°后的數(shù)據(jù)求和得到的結(jié)果,nm;M2(i,j)———0°位置共焦測量結(jié)果,nm;M3(-i,-j)—180°共焦位置測量數(shù)據(jù)M3(i,j)繞其數(shù)據(jù)中心旋轉(zhuǎn)180°后的結(jié)果[M3(i,j)為180°位置共焦測量結(jié)果,nm],nm。D.3測量不確定度來源和傳播公式根據(jù)PVr定義,得到PVr不確定度傳遞公式:u(PVr)=u2(PV36Zernikes)+9×u2(σ36ZernikeResid)(D.3)其中,36項Zernike多項式擬合面形的PV的不確定度不超過被測標準球面反射鏡面形偏差,擬合殘差的rms值引入的不確定度近似為0。因此三位置法測量結(jié)果不確定度為:u(PVr)≈u(PV36Zernikes)=u(I)(D.4)=cu2(M1)+cu2(M2)+cu2(M3)(D.4)=cu+cu+cu即貓眼位置測量引入的不確定度分量u1、0°位置共焦測量引入的不確定度分量u2和180°位置共焦測量引入的不確定度分量u3。其中,c即貓眼位置測量引入的不確定度分量u1、0°位置共焦測量引入的不確定度分量u2和180°位置共焦測量引入的不確定度分量u3。JJF1739—201912D.4標準不確定度評定D.4.1貓眼位置測量引入不確定度分量u1主要包含貓眼位置測量重復(fù)性引入不確定度分量u11和調(diào)整誤差引入不確定度分量u12。D.4.1.1貓眼位置測量重復(fù)性引入不確定度分量u11根據(jù)貓眼位置實驗數(shù)據(jù)M1(i,j),由貝塞爾公式得到實驗標準差s=0.15nm。實際測量以單次測量值作為測量結(jié)果,則u11=0.15nmD.4.1.2貓眼位置調(diào)整誤差引入不確定度分量u12貓眼位置需要反復(fù)精密調(diào)整使得條紋對稱且條紋數(shù)最少,調(diào)整誤差主要指光軸位置偏差,即貓眼位置測量數(shù)據(jù)像素中心與實際光軸位置存在偏差δ1,可采用貓眼測量數(shù)據(jù)與其數(shù)據(jù)中心偏離δ1后的數(shù)據(jù)進行差分來估計誤差影響。實驗中光軸位置誤差不超過4個像素,服從均勻分布,則uδ1=4pixel/3=2.31pixel通過貓眼測量數(shù)據(jù)差分方法得到結(jié)果PVr值與定位誤差之間的靈敏度系數(shù)為1.23nm/pixel,則貓眼位置調(diào)整誤差引入的不確定度分量為:u12=2.31pixel×1.23nm/pixel=2.84nmD.4.20°位置共焦測量引入的不確定度分量u2主要包含測量重復(fù)性引入的不確定度分量u21、標準球面反射鏡因校準室溫度變化引入的不確定度分量u22和調(diào)整誤差引入的不確定度分量u23。D.4.2.10°位置共焦測量重復(fù)性引入的不確定度分量u21根據(jù)0°位置共焦實驗數(shù)據(jù)M2(i,j),由貝塞爾公式得到實驗標準差s=0.20nm。實際測量以單次測量值作為測量結(jié)果,則u21=0.20nmD.4.2.2標準球面反射鏡因校準室溫度變化引入的不確定度分量u22標準球面反射鏡通常選擇融石英或微晶這類熱膨脹系數(shù)極小的材料,在校準環(huán)境條件下溫度影響是微小量。所以溫度引起的標準器測量不確定度忽略不計,即u22=0nmD.4.2.30°位置共焦調(diào)整誤差引入的不確定度分量u230°位置共焦調(diào)整誤差較小,在這里可以忽略不計,即u23=0nmD.4.3180°位置共焦測量引入的不確定度分量u3主要包含測量重復(fù)性引入的不確定度分量u31、標準球面反射鏡因校準室溫度變化引入的不確定度分量u32、旋轉(zhuǎn)角度誤差引入的不確定度分量u33和旋轉(zhuǎn)偏心誤差引入的不確定度分量u34。D.4.3.1180°位置共焦測量重復(fù)性引入的不確定度分量u310.23nm。根據(jù)180°位置共焦實驗數(shù)據(jù)M3(i,j),由貝塞爾公式得到實驗標準差0.23nm。JJF1739—201913實際測量以單次測量值作為測量結(jié)果,則u31=0.23nmD.4.3.2標準球面反射鏡因校準室溫度變化引入的不確定度分量u32標準球面反射鏡通常選擇融石英或微晶這類熱膨脹系數(shù)極小的材料,在校準環(huán)境條件下溫度影響是微小量。所以溫度引起的標準器測量不確定度忽略不計,即u32=0nmD.4.3.3180°位置共焦測量旋轉(zhuǎn)角度誤差引入的不確定度分量u33180°位置共焦測量旋轉(zhuǎn)角度誤差屬于調(diào)整誤差的一種,測量過程中實際旋轉(zhuǎn)角度會與理論旋轉(zhuǎn)角度存在差異,即引入旋轉(zhuǎn)角度誤差δ2。實驗中旋轉(zhuǎn)角度誤差不超過0.1°,服從均勻分布,則uδ2=0.1°/3=0.06°通過仿真分析得到旋轉(zhuǎn)角度誤差的靈敏度系數(shù)為1.97nm/(°),則旋轉(zhuǎn)角度誤差引入的不確定度分量為u33=0.06°×1.97nm/(°)=0.12nmD.4.3.4180°位置共焦測量旋轉(zhuǎn)偏心誤差引入的不確定度分量u34180°位置共焦測量旋轉(zhuǎn)偏心誤差屬于調(diào)整誤差的