DB11∕T 2080-2023 建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)指南 集成電路制造

DB11北京市市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布 2 2 6 I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)指南集成電路制造本文件給出了集成電路制造建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)的一般規(guī)定、技術(shù)要求和GB20891非道路移動(dòng)機(jī)械用柴油機(jī)排氣污染物排放限值及測(cè)量方法（中國(guó)第三、四階段）GB36886非道路柴油移動(dòng)機(jī)械排氣煙度限值及測(cè)量方法HJ2.1建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則總綱HJ2.2環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則大氣HJ2.3環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則地表水環(huán)境HJ2.4環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則聲環(huán)境HJ610環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則地下水環(huán)境HJ819排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南總則HJ884污染源源強(qiáng)核算技術(shù)指南準(zhǔn)則HJ964環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則土壤環(huán)境（試行）HJ1200排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范工業(yè)固體廢DB11/501大氣污染物綜合排DB11/588埋地油罐防滲漏技1定的電路互連，集成在半導(dǎo)體晶片上，封裝在一個(gè)外殼內(nèi)，執(zhí)行特定功特種廢氣specialcontaminatede尾氣處理設(shè)備point-of-useab安裝在工藝生產(chǎn)設(shè)備附近，并對(duì)其排出的特種廢氣除公用工程外，建設(shè)項(xiàng)目在生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)過(guò)程中必需依4.1環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作分類應(yīng)符合《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類管理名錄》及北京市實(shí)施細(xì)化規(guī)定的4.3建設(shè)項(xiàng)目應(yīng)符合“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控、5.1環(huán)境影響因素識(shí)別與評(píng)價(jià)因子篩選2c)固體廢物：廢有機(jī)溶劑與含有機(jī)溶劑廢物、感光材料廢物、表面處理廢物、廢酸、廢堿等危5.2建設(shè)項(xiàng)目工程分析a)項(xiàng)目概況應(yīng)給出建設(shè)地點(diǎn)、建筑面積、建設(shè)性質(zhì)、四至范圍、總投資與環(huán)保投資、建設(shè)計(jì)劃及主要經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)等，說(shuō)明勞動(dòng)定員和工c)輔助工程應(yīng)給出純水制備系統(tǒng)、冷卻塔系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)、空氣凈化系統(tǒng)、應(yīng)急柴油發(fā)電系統(tǒng)等工程情況。如自建鍋爐，應(yīng)給出鍋爐建設(shè)位置、燃料d)公用工程應(yīng)給出市政配套給水、排水、供熱、供電、供氣等相關(guān)工程情況，說(shuō)f)儲(chǔ)運(yùn)工程應(yīng)給出主要原輔材料的儲(chǔ)運(yùn)情況，重點(diǎn)說(shuō)明硅烷站、特種氣體站、大宗氣體站、化學(xué)品存儲(chǔ)用房等儲(chǔ)運(yùn)工程的規(guī)模、位置、原輔材料存儲(chǔ)g)依托工程應(yīng)給出建設(shè)項(xiàng)目與其的依托關(guān)系，并說(shuō)明依托工程的合規(guī)性和可行性。按照HJ2.1的規(guī)定給出平面布置圖，b)給出薄膜制備、光刻、刻蝕、摻雜、金屬沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、封裝等各生產(chǎn)單元在生產(chǎn)廠5.2.1.3主要設(shè)備、原輔材料及3燃料的使用和消耗情況。主要生產(chǎn)單元、工序、設(shè)備及原輔材料等可參照附5.2.1.4與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境a)給出與現(xiàn)有工程的關(guān)系，分析闡明現(xiàn)有工程環(huán)境保護(hù)措施及處理效果、污染物排放及達(dá)標(biāo)情b)給出現(xiàn)有工程履行環(huán)境影響評(píng)價(jià)、竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收、排污許可手續(xù)等情況，明確存在的主5.2.2.1繪制包含產(chǎn)排污環(huán)節(jié)的生產(chǎn)流程圖，以及各生產(chǎn)單元主要工序的產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)圖，按照生產(chǎn)單元和主要工序給出主要原輔材料、產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)a)集成電路圓片制造項(xiàng)目，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品用途及圓片規(guī)格、特征線寬等關(guān)鍵參數(shù)分析污染物產(chǎn)排b)集成電路封裝項(xiàng)目，應(yīng)根據(jù)不同封裝形式分析污染物產(chǎn)排情況。確排水去向，給出水平衡圖。核算工業(yè)用水重復(fù)利用率、純5.2.2.3對(duì)含氯、氟、氨、磷、砷等物質(zhì)和銅、鎳、銀等重金屬的原輔材料，以及有機(jī)溶劑中的5.2.3.2核算方法可采用類比法、實(shí)測(cè)法、物料衡算法、產(chǎn)污系數(shù)法、排污系數(shù)法等，重點(diǎn)說(shuō)明核算a)優(yōu)先采用類比法或物料衡算法，采用類比法的應(yīng)從產(chǎn)品用途、圓片規(guī)格、特征線寬、封裝形式、生產(chǎn)工藝、工程規(guī)模、污染控制措施等方5.2.3.3重點(diǎn)產(chǎn)污環(huán)節(jié)應(yīng)按照以下要求分析：5.3環(huán)境現(xiàn)狀調(diào)查與評(píng)價(jià)5.3.1根據(jù)建設(shè)項(xiàng)目特點(diǎn)，可能產(chǎn)生的環(huán)境影響和區(qū)域環(huán)境特征，識(shí)別現(xiàn)狀調(diào)查與評(píng)價(jià)的重點(diǎn)環(huán)境要45.4主要環(huán)境影響和保護(hù)措施5.4.1.1依據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南（污染影響類試行）》開(kāi)展各環(huán)境要素環(huán)生態(tài)保護(hù)措施等，包括工程措施和管理措施，b)刻蝕、金屬沉積、封裝等生產(chǎn)單元產(chǎn)生的酸性廢5.4.3.1說(shuō)明廢水的主要收集方式、處理工藝、處理能力、去除效率等。5.4.3.3分析廢水達(dá)標(biāo)排放情況及環(huán)境影響。5.4.4.1給出噪聲源、產(chǎn)生強(qiáng)度、降噪措施、排放強(qiáng)度、持續(xù)時(shí)間。5.4.4.2分析廠界和環(huán)境保護(hù)目標(biāo)達(dá)標(biāo)的可行性。5.4.5.1給出固體廢物產(chǎn)生環(huán)節(jié)、名稱、屬性（一般工業(yè)固體廢物、危險(xiǎn)廢物等）和產(chǎn)生量，明確收5b)按照HJ610的規(guī)定，給出化5.4.7.1按照HJ169的規(guī)定a)有毒有害氣體的存儲(chǔ)使用；b)危險(xiǎn)化學(xué)品的存儲(chǔ)使用；5.5環(huán)境管理與監(jiān)測(cè)計(jì)劃5.6環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論從生態(tài)環(huán)境保護(hù)角度，給出建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響可行或不671121給水2排水3供熱12341231811111111911力備涉及清洗工序的生廢氣主要污染物、廢水主要污染物、主要危險(xiǎn)廢廢氣主要污染物見(jiàn)表D.1，廢水主要污染物見(jiàn)表D.2，主要危險(xiǎn)酸性廢氣處理酸性廢氣處理氨酸性廢氣處理酸性廢氣處理氨含氟廢水處理系統(tǒng)含氟廢水處理系統(tǒng)含氰及其他含其他含金屬?gòu)U水處理含氰及其他含其他含金屬?gòu)U水處理水循環(huán)冷卻水排水量/水量/900-019-16336-054-17336-055-17336-058-17336-062-17336-057-17336-063-17336-054-17336-055-17336-062-17元336-062-17336-055-17900-015-13廢氣污染源源強(qiáng)核算見(jiàn)表E.1，廢水污染源源強(qiáng)核算見(jiàn)表E.2，噪聲污染源源強(qiáng)核算見(jiàn)表E.3，固體廢物污染源源強(qiáng)m3/hmg/m3%m3/hmg/m3等氨生產(chǎn)廢水處理氨m3/dmg/L%m3/dmg/L等h按照4.2說(shuō)明專項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置情況，填寫名稱，并依據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)F.2.2規(guī)劃情況、規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)情況、規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響種類和用量。明確勞動(dòng)定員及工作制度，給出平面按照5.2.2簡(jiǎn)述工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)，繪制流程圖、標(biāo)注產(chǎn)排污環(huán)節(jié)。開(kāi)展水平衡分析、原輔材F.4區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境