0.1 mW～200 W激光功率計(jì)規(guī)范

JJG249—202310.1mW~200W激光功率計(jì)檢定規(guī)程1范圍本規(guī)程適用于0.1mW~200W功率范圍且0.3μm~11μm波長(zhǎng)范圍內(nèi)激光功率執(zhí)行。2引用文件本規(guī)程引用下列文件:JJG2078激光功率計(jì)量器具檢定系統(tǒng)表GB/T11153—2012激光小功率計(jì)性能檢測(cè)方法凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)程;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)程。3概述激光功率計(jì)是用于測(cè)量激光輻射功率量值的儀器。激光功率計(jì)通常由激光功率探測(cè)器和顯示儀表組成。其工作原理是激光輻射功率被激光功率探測(cè)器探測(cè)后,直接或間接轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào),在顯示儀表中經(jīng)信號(hào)處理,顯示為被測(cè)激光功率量值,單位為W。激光功率計(jì)按測(cè)量原理可分為光電型和熱電型,按幾何構(gòu)造可分為平面型和空腔型,按光譜響應(yīng)特性可分為光譜響應(yīng)選擇型和光譜響應(yīng)平坦型,按是否具有自校準(zhǔn)功能還可分為相對(duì)型和絕對(duì)型。4計(jì)量性能要求4.1接收面響應(yīng)不均勻性:≤5%。4.2非線性:不超過±5%。4.3示值相對(duì)誤差:不超過±10%。5通用技術(shù)要求5.1標(biāo)志被檢儀器應(yīng)具有標(biāo)牌,標(biāo)明儀器的名稱、型號(hào)、制造廠商及出廠編號(hào)。5.2技術(shù)資料及附件應(yīng)提供必要的技術(shù)資料、附件、配件。5.3外觀應(yīng)無影響工作性能的電氣、光學(xué)及機(jī)械故障或損傷;各開關(guān)和按鍵應(yīng)標(biāo)志清晰、接觸良好、工作正常;屏幕應(yīng)顯示清晰。JJG249—202326.1.2.2激光器(選配輸出功率穩(wěn)定或監(jiān)測(cè)系統(tǒng))6.1.2.2激光器(選配輸出功率穩(wěn)定或監(jiān)測(cè)系統(tǒng))功率范圍:0.1mW~200W;使用時(shí)若可能產(chǎn)生危險(xiǎn)輻射,需有明確的防護(hù)要求或安全說明。6計(jì)量器具控制計(jì)量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。6.1檢定條件6.1.1環(huán)境條件環(huán)境溫度:23℃±5℃,檢定期間內(nèi)溫度變化不超過±2℃;相對(duì)濕度:≤80%;其他要求:檢定區(qū)域內(nèi)應(yīng)無影響測(cè)量結(jié)果的空氣波動(dòng)、電磁干擾和背景輻射干擾。6.1.2計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器和主要設(shè)備6.1.2.1標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)按JJG2078中2.4和2.5的規(guī)定,標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)應(yīng)滿足以下要求:功率范圍:0.1mW~200W;波長(zhǎng)范圍:0.3μm~11μm(或特定波長(zhǎng));Urel≤1.6%(k=2),量程區(qū)間:(0.1W,200W]。相對(duì)擴(kuò)展不確定度:Urel≤1.2%Urel≤1.6%(k=2),量程區(qū)間:(0.1W,200W]。波長(zhǎng):0.3μm~11μm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的特定波長(zhǎng),波長(zhǎng)變化不超過±2nm;輸出功率不穩(wěn)定度或功率監(jiān)測(cè)比不穩(wěn)定度(0.5h):不超過±0.5%。6.1.2.3激光衰減器波長(zhǎng)范圍:0.3μm~11μm(或特定波長(zhǎng))。注:使用激光衰減器時(shí)應(yīng)注意其使用波長(zhǎng),入射功率不應(yīng)超過其損傷閾值,保證激光衰減器與探測(cè)器及激光器出射窗口間無引起輻射危害的反射,無影響衰減量的干涉;當(dāng)激光器、輸出功率穩(wěn)定或檢測(cè)系統(tǒng)具有功率調(diào)節(jié)功能時(shí),激光衰減器為非必備項(xiàng)。6.2檢定項(xiàng)目與檢定方法6.2.1檢定項(xiàng)目檢定項(xiàng)目見表1。表1檢定項(xiàng)目一覽表檢定項(xiàng)目首次檢定后續(xù)檢定使用中檢查外觀與功能檢查+++接收面響應(yīng)不均勻性+--非線性+--示值相對(duì)誤差+++注:“+”表示須檢項(xiàng)目,“-”表示可不檢項(xiàng)目。JJG249—202336.2.2檢定方法6.2.2.1外觀與功能檢查按5.1~5.4規(guī)定的內(nèi)容,采用目視觀察與手動(dòng)試驗(yàn)相結(jié)合的方法檢查。6.2.2.2接收面響應(yīng)不均勻性檢定a.檢定裝置框圖接收面響應(yīng)不均勻性檢定裝置框圖見圖1。圖1接收面響應(yīng)不均勻性檢定裝置框圖b.檢定方法按圖1所示的框圖連接并調(diào)整檢定裝置。調(diào)整激光器或激光衰減器,使激光功率處于檢定量程內(nèi)任一擋位的30%~80%之間,調(diào)整激光束垂直入射到被檢激光功率計(jì)接收面。按GB/T11153—2012中5.3.2的規(guī)定,檢定用激光束直徑應(yīng)為被檢激光功率計(jì)接收面直徑或?qū)蔷€的1/20~1/5,檢定區(qū)域直徑應(yīng)不小于被檢激光功率計(jì)接收面直徑或?qū)蔷€的1/3。分別沿水平和垂直方向等間距移動(dòng)被檢激光功率計(jì),記錄每一位置的被檢激光功率計(jì)示值,示值應(yīng)扣除零點(diǎn)。各方向最少取3個(gè)等間隔測(cè)量點(diǎn),且測(cè)量點(diǎn)數(shù)應(yīng)為奇數(shù)。接收面響應(yīng)不均勻性檢定參考測(cè)量點(diǎn)位置示意圖如圖2所示,其中實(shí)心點(diǎn)為參考的測(cè)量點(diǎn)位置,虛線點(diǎn)為可增加的測(cè)量點(diǎn)位置。圖2接收面響應(yīng)不均勻性檢定參考測(cè)量點(diǎn)位置示意圖當(dāng)激光器輸出功率穩(wěn)定度達(dá)不到6.1.2.2的要求且無激光功率穩(wěn)定系統(tǒng)時(shí),應(yīng)使用激光器輸出功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行檢定,相應(yīng)的檢定方法見附錄D。c.數(shù)據(jù)處理按公式(1)計(jì)算被檢激光功率計(jì)的接收面響應(yīng)不均勻性:(1)ΔU=(1)式中:Pmax—被檢激光功率計(jì)測(cè)量各檢定位置的功率最大值;Pmin—被檢激光功率計(jì)測(cè)量各檢定位置的功率最小值;—P—被檢激光功率計(jì)測(cè)量各檢定位置的功率平均值。JJG249—202346.2.2.3示值相對(duì)誤差檢定a.檢定裝置框圖示值相對(duì)誤差檢定裝置框圖見圖3。圖3示值相對(duì)誤差檢定裝置框圖b.檢定方法按圖3所示的框圖連接并調(diào)整檢定裝置。調(diào)整激光器或激光衰減器使激光功率處于檢定功率范圍內(nèi),檢定量程內(nèi)每10倍擋位至少檢定一個(gè)功率點(diǎn)。調(diào)整激光束分別垂直入射到標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)和被檢激光功率計(jì)接收面中心,且檢定用激光束直徑均小于標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)和被檢激光功率計(jì)的接收面直徑。必要時(shí)設(shè)置光闌,以確保通過光闌的激光功率均能被標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)和被檢激光功率計(jì)全部接收。采用被檢激光功率計(jì)→標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)→標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)→被檢激光功率計(jì)的順序交替測(cè)量同一激光束,被檢激光功率計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)分別至少測(cè)量3次,記錄激光功率標(biāo)準(zhǔn)值和被檢激光功率計(jì)示值,功率示值應(yīng)扣除零點(diǎn)。c.數(shù)據(jù)處理按公式(2)計(jì)算被檢激光功率計(jì)的示值相對(duì)誤差:Δ=(2)式中:Pdut,i—被檢激光功率計(jì)第i次測(cè)量功率示值;Ps,i—標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)第i次測(cè)量功率標(biāo)準(zhǔn)值;n—測(cè)量次數(shù),n≥3。按公式(3)計(jì)算被檢激光功率計(jì)的修正因子:C=,ii(3)6.2.2.4非線性檢定a.檢定方法按6.2.2.3的檢定裝置框圖和檢定方法,按公式(3)計(jì)算被檢激光功率計(jì)在檢定量程內(nèi)每10倍擋位的修正因子,各修正因子的最大值和最小值分別記為Cmax和Cmin。b.數(shù)據(jù)處理按公式(4)計(jì)算被檢激光功率計(jì)在檢定量程內(nèi)非線性的絕對(duì)值:ΔN=(4)JJG249—20235式中:Cmax—被檢激光功率計(jì)檢定量程內(nèi)各擋位修正因子的最大值;Cmin—被檢激光功率計(jì)檢定量程內(nèi)各擋位修正因子的最小值;—C—被檢激光功率計(jì)檢定量程內(nèi)各擋位修正因子的平均值。6.3檢定結(jié)果的處理經(jīng)檢定合格的激光功率計(jì)出具檢定證書;檢定不合格的激光功率計(jì)出具檢定結(jié)果通知書,并注明不合格項(xiàng)目。6.4檢定周期激光功率計(jì)檢定周期一般不超過1年。JJG249—20236附錄A檢定記錄格式原始記錄編號(hào):證書編號(hào):一、被檢儀器信息第頁/共頁送檢單位名稱送檢單位地址聯(lián)系人電話儀器名稱制造廠商儀器型號(hào)出廠編號(hào)二、檢定所用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置名稱測(cè)量范圍不確定度證書編號(hào)有效期至三、檢定環(huán)境及地點(diǎn)溫度℃地點(diǎn)相對(duì)濕度%其他四、檢定項(xiàng)目及檢定結(jié)果1.外觀與功能檢查記錄檢查內(nèi)容有無備注標(biāo)志技術(shù)資料及附件外觀安全防護(hù)說明2.接收面響應(yīng)不均勻性檢定記錄激光束直徑:mm測(cè)量點(diǎn)間隔:mm位置左中右上——中下——最大值:最小值:平均值:接收面響應(yīng)不均勻性:%JJG249—20237第頁/共頁3.示值相對(duì)誤差檢定記錄波長(zhǎng):nm量程:W測(cè)量次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)功率值被檢功率值示值相對(duì)誤差修正因子123平均值測(cè)量不確定度波長(zhǎng):nm量程:W測(cè)量次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)功率值被檢功率值示值相對(duì)誤差修正因子123平均值測(cè)量不確定度4.非線性檢定記錄檢定量程擋位修正因子修正因子最大值:修正因子最小值:修正因子平均:非線性:檢定員:核驗(yàn)員:檢定日期:年月日J(rèn)JG249—20238附錄B檢定證書/檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式B.1檢定證書內(nèi)頁格式第頁/共頁檢定證書編號(hào):1.檢定所用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置名稱測(cè)量范圍不確定度證書編號(hào)有效期至2.檢定環(huán)境及地點(diǎn)溫度℃地點(diǎn)相對(duì)濕度%其他3.檢定項(xiàng)目及檢定結(jié)果檢定波長(zhǎng):nm量程:W檢定項(xiàng)目檢定結(jié)果外觀與功能檢查接收面響應(yīng)不均勻性非線性示值相對(duì)誤差測(cè)量不確定度檢定結(jié)論:檢定員:核驗(yàn)員:檢定日期:年月日J(rèn)JG249—20239B.2檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式第頁/共頁檢定結(jié)果通知書編號(hào):1.檢定所用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置名稱測(cè)量范圍不確定度證書編號(hào)有效期至2.檢定環(huán)境及地點(diǎn)溫度℃地點(diǎn)相對(duì)濕度%其他3.檢定項(xiàng)目及檢定結(jié)果檢定波長(zhǎng):nm量程:W檢定項(xiàng)目檢定結(jié)果檢定結(jié)論外觀與功能檢查接收面響應(yīng)不均勻性非線性示值相對(duì)誤差測(cè)量不確定度檢定不合格項(xiàng):不合格項(xiàng)說明:檢定員:核驗(yàn)員:檢定日期:年月日J(rèn)JG249—202310附錄C激光功率計(jì)示值相對(duì)誤差和修正因子檢定不確定度評(píng)定示例C.1測(cè)量模型激光功率計(jì)示值相對(duì)誤差檢定的測(cè)量模型為公式(C.1):Δ=Pdut-PsPs(C.1)激光功率計(jì)修正因子檢定的測(cè)量模型為公式(C.2):C=式中:Pdut—被檢激光功率計(jì)的測(cè)量示值;Ps—激光功率標(biāo)準(zhǔn)值。PsPdut(C.2)C.2不確定度來源激光功率計(jì)示值相對(duì)誤差和修正因子檢定的不確定度主要來自7個(gè)方面:標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)的不確定度、被檢激光功率計(jì)的重復(fù)性、被檢激光功率計(jì)的接收面響應(yīng)不均勻性、被檢激光功率計(jì)的非線性、激光器輸出功率穩(wěn)定度、背景輻射噪聲、環(huán)境溫度濕度等。其中,標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)的不確定度是輸入量Ps的影響量,由上級(jí)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)其檢定的結(jié)果給出;被檢激光功率計(jì)的重復(fù)性、接收面響應(yīng)不均勻性和非線性為輸入量Pdut的影響量,引入的不確定度由被檢儀器自身的計(jì)量性能決定;激光器輸出功率穩(wěn)定度、背景輻射噪聲和環(huán)境溫度濕度影響輸入量Ps或Pdut,產(chǎn)生檢定激光功率計(jì)示值相對(duì)誤差和修正因子的不確定度。以上各不確定度分量互不相關(guān),相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度表示為公式(C.3):uc,rel=(c1·us)2+(c2·ur)2+(c2·uu)2+(c2·un)2+(c3·ul)2+(c3·ub)2+(c3·uh)2(C.3)式中:us—標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度;ur—被檢激光功率計(jì)測(cè)量重復(fù)性引入的相對(duì)不確定度分量;uu—被檢激光功率計(jì)接收面響應(yīng)不均勻性引入的相對(duì)不確定度分量;un—被檢激光功率計(jì)非線性引入的相對(duì)不確定度分量;ul—激光器輸出功率穩(wěn)定性引入的相對(duì)不確定度分量;ub—背景雜散輻射引入的相對(duì)不確定度分量;uh—環(huán)境溫度濕度引入的相對(duì)不確定度分量;c1—功率標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度影響的靈敏系數(shù);c2—功率被檢示值對(duì)相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度影響的靈敏系數(shù);c3—檢定光源和環(huán)境條件對(duì)相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度影響的靈敏系數(shù)。根據(jù)公式(C.1)和公式(C.2)可知,靈敏系數(shù)c1、c2和c3均為1。因此,相對(duì)JJG249—202311合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度表示為公式(C.4):uc,rel=u+u+u+u+u+u+u(C.4)相對(duì)合成擴(kuò)展不確定度表示為公式(C.5):Uc,rel=k·uc,rel(k=2)(C.5)C.3不確定度評(píng)定示例C.3.1標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度根據(jù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的檢定證書,本次檢定采用的標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)的相對(duì)擴(kuò)展不確定度Urel=1.2%(k=2)。因此,標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度為us==0.60%。采用B類評(píng)定方法。C.3.2被檢激光功率計(jì)測(cè)量重復(fù)性引起的相對(duì)不確定度分量采用被檢定激光功率計(jì)對(duì)激光輻射源連續(xù)測(cè)量6次,測(cè)量結(jié)果見表C.1。表C.1被檢定激光功率計(jì)重復(fù)性測(cè)量結(jié)果測(cè)量次數(shù)123456測(cè)量結(jié)果/mW9.989.989.989.989.989.97根據(jù)6次測(cè)量結(jié)果,相對(duì)實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差為0.04%。以3次測(cè)量的平均值作為檢定結(jié)4數(shù)據(jù)舍入修約,被檢激光功率計(jì)測(cè)量重復(fù)性引入的相對(duì)不確定度分量為ur= ≈0.03%。采用A類評(píng)定方法。3C.3.3被檢激光功率計(jì)接收面響應(yīng)不均勻性引入的相對(duì)不確定度分量沿水平和垂直方向等間距移動(dòng)二維位移臺(tái),記錄每一位置的被檢激光功率計(jì)測(cè)量示值,見表C.2。表C.2被檢定激光功率計(jì)接收面響應(yīng)不均勻性測(cè)量結(jié)果單位:mW位置左中右上—9.94—中9.949.979.94下—9.95—接收面響應(yīng)不均勻性為0.31%,誤差區(qū)間半寬度a=≈0.16%。不均勻性誤差服從均勻分布,k取3,則被檢激光功率計(jì)接收面響應(yīng)不均勻性引入的相對(duì)不確定度分量uu=≈0.09%。采用B類評(píng)定方法。C.3.4被檢激光功率計(jì)非線性引入的相對(duì)不確定度分量利用標(biāo)準(zhǔn)激光功率計(jì)在功率10mW、100mW下檢定被檢功率計(jì),修正因子分別為C10=1.017,C100=1.018。根據(jù)公式(4),被檢激光功率計(jì)的非線性為0.10%。誤差區(qū)間半寬度a==0.05%。非線性誤差服從均勻分布,k取3。被檢激光功JJG249—202312率計(jì)非線性引入的相對(duì)不確定度分量un=≈0.03%。采用B類評(píng)定方法。C.3.5激光器輸出功率穩(wěn)定性引入的相對(duì)不確定度分量激光功率計(jì)檢定裝置利用激光功穩(wěn)儀穩(wěn)定激光功率,激光功穩(wěn)儀將激光功率穩(wěn)定在0.1%以內(nèi)。按照均勻分布,k取3。激光器輸出功率穩(wěn)定性引入的相對(duì)不確定度分量ul≈0.06%。采用B類評(píng)定方法。C.3.6背景雜散輻射引入的相對(duì)不確定度分量實(shí)驗(yàn)室背景雜散輻射功率約10μW,測(cè)量10mW的激光時(shí),對(duì)激光功率測(cè)量的影0.1%響幅度為0.1%。按照均勻分布,k取3。背景雜散輻射引入的相對(duì)不確定度分量ub=0.1% ≈0.06%。采用B類評(píng)定方法。3C.3.7環(huán)境條件影響的相對(duì)不確定度分量實(shí)驗(yàn)室為恒溫恒濕環(huán)境,檢定期間溫度控制在±0.2℃之內(nèi),相對(duì)濕度在±2%以內(nèi)。對(duì)激光功率測(cè)量的影響幅度為0.1%。按照反正弦分布,k取2。環(huán)境條件影響的相對(duì)不確定度分量uh≈0.07%。采用B類評(píng)定方法。C.3.8不確定度合成根據(jù)以上列出的7個(gè)不確定度主要來源,相對(duì)不確定度分量匯總?cè)绫鞢.3所示。表C.3相對(duì)不確定度分量匯總表不確定度來源不確定度分量不確定度上級(jí)標(biāo)準(zhǔn)us0.60%測(cè)量重復(fù)性u(píng)r0.03%面響應(yīng)不均勻性u(píng)u0.09%非線性u(píng)n0.03%光源穩(wěn)定性u(píng)l0.06%背景雜散輻射ub0.06%環(huán)境條件uh0.07%合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度uc0.62%根據(jù)公式(C.3)可得,相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度:uc,rel=0.62%≈0.7%則相對(duì)合成擴(kuò)展不確定度:Uc,rel=k·uc,rel=1.4%(k=2)JJG249—202313附錄D使用激光器輸出功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)檢定的說明當(dāng)激光器輸出功率穩(wěn)定度達(dá)不到6.1.2.2的要求且無激光功率穩(wěn)定系統(tǒng)時(shí),應(yīng)使用激光器輸出功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行檢定。使用激光器輸出功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)時(shí),功率監(jiān)測(cè)比不穩(wěn)定度應(yīng)達(dá)到6.1.2.2的要求,相應(yīng)的檢定裝置框圖、檢定方法和數(shù)據(jù)處理說明如下。D.1接收面響應(yīng)不均勻性檢定D.1.1檢定裝置框圖使用激光器輸出功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的接收面響應(yīng)不均勻性檢定裝置框圖見圖D.1。圖D.1使用激光器輸出功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的接收面響應(yīng)不均勻性檢定裝置框圖D.1.2檢定方法按圖D.1所示的框圖連接并調(diào)整檢定裝置,調(diào)整激光分束器使分束激光垂直入射到監(jiān)測(cè)激光功率計(jì)接收面中心,調(diào)整激光束垂直入射到被檢激光功率計(jì)接收面中心。被檢激光功率計(jì)和監(jiān)測(cè)激光功率計(jì)應(yīng)具有相同或相近的響應(yīng)速度。調(diào)整激光器或激光衰減器使入射到被檢激光功率計(jì)的功率處于檢定量程內(nèi)任一擋位的30%~80%,檢定用激光束直徑應(yīng)為被檢激光功率計(jì)接收面直徑或?qū)蔷€的1/20~1/5,檢定區(qū)域直徑應(yīng)不小于被檢激光功率計(jì)接收面直徑或?qū)蔷€的1/3。分別沿水平和垂直方向等間距移動(dòng)被檢激光功率計(jì),保持監(jiān)測(cè)激光功率計(jì)位置不變。同時(shí)讀取并記錄每一位置的被檢激光功率計(jì)示值和激光功率監(jiān)測(cè)值,激光功率計(jì)示值應(yīng)扣除零點(diǎn)。各方向最少取3個(gè)等間隔測(cè)量點(diǎn),且測(cè)量點(diǎn)數(shù)應(yīng)為奇數(shù)。D.1.3數(shù)據(jù)處理按公式(D.1)計(jì)算激光功率監(jiān)測(cè)比:R=(D.1)式中:P—被檢激光功率計(jì)測(cè)量示值;V—激光功率監(jiān)測(cè)值。按公式(D.2)計(jì)算被檢激光功率計(jì)的接收面響應(yīng)不均勻性:ΔU=(D.2)JJG249—202314式中:Rmax—被檢激光功率計(jì)在各檢定位置監(jiān)測(cè)比的最大值;Rmin—被檢激光功率計(jì)在各檢定位置監(jiān)測(cè)比的最小值;—R—被檢激光功率計(jì)在各檢定位置監(jiān)測(cè)比的平均值。D.2示值相對(duì)誤差檢定D.2.1檢定裝置框圖使用激光器輸出功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的示值相對(duì)誤差檢定裝置框