微懸臂梁傳感器研究報(bào)告

電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院課程設(shè)計(jì)論文課程名稱傳感技術(shù)題目名稱微懸臂梁氣體傳感器研究

學(xué)號(hào)2705105018姓名張波指導(dǎo)老師太惠玲起止時(shí)間2010年5月1日至2010年5月30日2010年5月30日電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院課程設(shè)計(jì)任務(wù)書(shū)一、課程名稱___傳感技術(shù)_____________________二、課程設(shè)計(jì)題目_______微懸臂梁氣體傳感器研究_________________________________三、課程設(shè)計(jì)目的隨著MEMS技術(shù)（MicroElectro-MechanicalSystem）的飛速發(fā)展及其在傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用，以微懸臂梁為基礎(chǔ)構(gòu)成的生物化學(xué)傳感器成為傳感器領(lǐng)域的一個(gè)研究熱點(diǎn)與難點(diǎn)。該類型氣體傳感器的制備與檢測(cè)涉及材料、半導(dǎo)體工藝與電路等各個(gè)學(xué)科，因此本課程設(shè)計(jì)旨在通過(guò)對(duì)微懸臂梁氣體傳感器國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀的考察與分析，充分理解該類型傳感器的工作原理，并掌握其制備工藝與測(cè)試技術(shù)。四、課程設(shè)計(jì)要求本課程設(shè)計(jì)要求在查閱微懸臂梁氣體傳感器國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，掌握該類傳感器的傳感模式、表面修飾技術(shù)、MEMS工藝及檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)與制備等關(guān)鍵技術(shù)，并完成課程設(shè)計(jì)報(bào)告。五、課程設(shè)計(jì)任務(wù)和內(nèi)容材料，機(jī)理器件。檢測(cè)電路（1）理解微懸臂梁氣體傳感器的敏感機(jī)理；（2）學(xué)習(xí)微懸臂梁氣體傳感器的表面修飾技術(shù)和MEMS制備工藝；（3）學(xué)習(xí)微懸臂梁氣體傳感器后端檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)；（4）完成課程設(shè)計(jì)報(bào)告。六、參考文獻(xiàn)[1]J.Zhou,P.Li,Zeolite-modifiedmicrocantilevergassensorforindooraircontrol,SensorsandActuatorsB,2003,94(3):337-342[2]J.Zhou,P.Li,Self-excitedpiezoelectricmocrocantileverforgasdetection,MicroelectronicEngineering,2003,69(1):37-46[3]G.Zuo,X.X.Li,P.Li,TraceTNTvapordetectionwithanSAMfunctionpiezoresistiveSiO2microcantilever,AnanlyticaChemicalActa,2006,580:123-127[4]D.Ying,G.Wei,Y.Zheng,Thermally-excitedMEMScantileverresonatorforgassensing,NanotechnologyandPrecisionEngineering,2009,7(2):119-122指導(dǎo)教師簽名：太惠玲日期：2010年4月13日微懸臂梁氣體傳感器研究摘要:微機(jī)械諧振式傳感器已經(jīng)成為微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。微懸臂梁傳感器以其體積小、成本低、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)在生物化學(xué)領(lǐng)域獲得了廣泛的研究和初步應(yīng)用。本文綜述了微懸臂梁氣體傳感器的工作原理及敏感機(jī)理、介紹微懸臂梁表面修飾的關(guān)鍵技術(shù)、MEMS制備工藝主要方法、后端檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)和基于微懸臂梁氣體傳感器領(lǐng)域的研究狀況以及對(duì)基于微懸臂梁的諧振式氣體傳感器的發(fā)展方向和應(yīng)用前景的展望。關(guān)鍵詞：敏感機(jī)理、表面修飾、MEMS制備工藝、檢測(cè)電路。前言：傳感器是一種可以獲取有用信息并將其轉(zhuǎn)換成可用信號(hào)（光信號(hào)、電信號(hào)）的特殊裝置，它在信息處理系統(tǒng)中占有十分重要的地位，廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)、科研和生活的各個(gè)領(lǐng)域。氣體檢測(cè)在人們生產(chǎn)生活中的應(yīng)用十分廣泛,特別是在安全生產(chǎn)方面,如,礦井作業(yè)、毒氣的生產(chǎn)運(yùn)輸。氣體傳感器直接關(guān)系到人們的生命財(cái)產(chǎn)安全。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是基于微電子技術(shù)的微器件加工制造方法，其中懸臂梁結(jié)構(gòu)是最簡(jiǎn)單的微結(jié)構(gòu)，利用它可以探測(cè)到極小的位移或質(zhì)量的變化，這使得微懸臂梁成為高精度高靈敏氣體傳感器的理想選擇。隨著微加工技術(shù)的提高與薄膜技術(shù)的發(fā)展,近幾年微機(jī)電系統(tǒng)傳感器在氣體檢測(cè)方面受到廣泛關(guān)注。運(yùn)用MEMS技術(shù)的氣體傳感器種類很多，根據(jù)不同的檢測(cè)原理可以分為：1)根據(jù)氣體自身的光聲學(xué)和光學(xué)特性，結(jié)合MEMS結(jié)構(gòu)制作的傳感器，代表種類有聲光光譜法和光譜法；2)采用氣體敏感膜的化學(xué)吸附機(jī)理，代表種類有電導(dǎo)變化型、懸臂梁型和聲表面波型；3)針對(duì)易燃易爆氣體，采用的催化燃燒式檢測(cè)；4)從離子遷移譜原理改進(jìn)而來(lái)的高場(chǎng)不對(duì)稱波形離子遷移譜(FAIMS)技術(shù)。MEMS氣體傳感器相對(duì)于傳統(tǒng)的榆測(cè)手段，具有體積小、靈敏度高、響應(yīng)快、易于陣列集成等多方面優(yōu)勢(shì)，是未來(lái)氣體傳感器發(fā)展的一個(gè)主要方向。由于分子的吸附而導(dǎo)致的微懸臂梁彎曲偏轉(zhuǎn)量的變化主要是由于分子吸附在微懸臂梁表面后，在上下表面產(chǎn)生了不同的應(yīng)力。分子吸附在懸臂梁表面之前，懸臂梁上表面和下表面的應(yīng)力處于平衡，產(chǎn)生一個(gè)沿著微懸臂梁中間平面的徑向力，當(dāng)分子吸附到微懸臂梁上下表面后，它們對(duì)上下表面應(yīng)力的影響不一樣，基于懸臂梁彎曲的測(cè)量方法在生物和化學(xué)探測(cè)中更具有吸引力【1】。1微懸臂梁工作原理敏感機(jī)理：微懸臂梁作為氣體傳感器，在微懸臂梁的表面通常涂鍍金屬膜或有機(jī)聚合物作為化學(xué)敏感層，在微懸臂梁吸附了某種氣體后，通常會(huì)產(chǎn)生兩種物理量的變化:共振頻率或表面應(yīng)力。當(dāng)敏感層吸附氣體后，質(zhì)量產(chǎn)生變化，敏感層將氣體濃度的變化轉(zhuǎn)換為微懸臂梁共振頻率的頻移，頻移的大小即反映了吸附氣體的多少。微懸臂梁表面應(yīng)力的變化是由于敏感層分子和吸附分子間力的相互作用，使微懸臂梁產(chǎn)生彎曲。由此，微懸臂梁有兩種不同的工作模式：靜態(tài)工作模式和諧振工作模式，下面分別進(jìn)行介紹。1.1靜態(tài)工作模式【2】如果把待檢測(cè)的分子吸附在微懸臂梁的一個(gè)表面，而另外一個(gè)表面不吸附待測(cè)分子，由于分子之間的相互作用會(huì)在微懸臂梁上下表面引起應(yīng)力差，從而導(dǎo)致微懸臂梁彎曲。微懸臂梁上下表面的應(yīng)力差(σ1～σ2)可以通過(guò)Stoney方程[1]來(lái)計(jì)算。σ1-σ式中：L和t分別是微懸臂梁的長(zhǎng)度和厚度，Δd是微懸臂梁自由端的位移而E和ν則是所用材料的楊氏模量和泊松比。由上述方程我們可以看出，Δd與(σ1～σ2)成正比，為了提高微懸臂梁的靈敏度，必須把微懸臂梁的一個(gè)表面修飾為對(duì)目標(biāo)分析物不敏感，而另外一個(gè)表面修飾為對(duì)目標(biāo)分析物具有高親合力，以產(chǎn)生大的上下表面應(yīng)力差。靜態(tài)工作模式一般結(jié)合光學(xué)讀出方法來(lái)讀出微懸臂梁的彎曲量，一個(gè)典型的例子如圖1。1.2諧振工作模式微懸臂梁在氣體中或者在真空中工作時(shí)可以將其作為弱阻尼的機(jī)械振蕩器。使用交變電場(chǎng)或磁場(chǎng)激勵(lì)可以使其振蕩。諧振工作模式的常用方法是微懸臂梁吸附待測(cè)物引起質(zhì)量變化，從而導(dǎo)致微懸臂梁諧振頻率偏移，通過(guò)測(cè)量頻率偏移量的大小，就可以反映出微懸臂梁吸附待測(cè)物的多少。微懸臂梁的諧振行為可以用胡克定律來(lái)描述。對(duì)矩形微懸臂梁，其彈性系數(shù)k可由公式【2】得到k=Ewt3/4l3【2】其中：w、t、l分別是微懸臂梁的寬度、厚度和長(zhǎng)度，E是構(gòu)成微懸臂梁的材料的彈性模量。忽略環(huán)境介質(zhì)的阻尼效應(yīng)，則微懸臂梁的基頻諧振頻率f0為：f0=12π其中：m0是懸臂梁的有效質(zhì)量。設(shè)懸臂梁吸附了待測(cè)生物化學(xué)分子之后，發(fā)生了質(zhì)量改變?chǔ)，懸臂梁諧振頻率變?yōu)閒1則由上面公式可以得到：?m=k4π2(1.3讀出技術(shù)微懸臂梁傳感器的一個(gè)重要組成部分是一套能夠?qū)⑽冶哿旱挠嘘P(guān)變化實(shí)時(shí)輸出的讀出系統(tǒng)。微懸臂梁的讀出方法主要有光學(xué)方法和電學(xué)方法兩類。其中光學(xué)方法常用的是光束偏轉(zhuǎn)法，電學(xué)方法包括壓阻法、壓電法和電容法等。1.3.1光束偏轉(zhuǎn)法光束偏轉(zhuǎn)法的測(cè)量原理如圖1所示，激光二極管發(fā)出的激光束打在懸臂梁的自由端，以自由端上的金屬層作為反射鏡，將入射的激光反射出去，通過(guò)位置敏感探測(cè)器(PSD)接收反射光，PSD輸出的電信號(hào)通過(guò)信號(hào)處理電路計(jì)算出入射在PSD上光束的位置，從而可以反映微懸臂梁的彎曲變化。1.3.2壓阻法壓阻效應(yīng)是指半導(dǎo)體材料在應(yīng)力作用下,禁帶寬度發(fā)生變化,引起載流子的濃度和遷移率發(fā)生變化,從而使材料的電阻率發(fā)生變化。1.3.3壓電法當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時(shí),內(nèi)部就會(huì)產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,同時(shí)在某兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷；當(dāng)外力撤去后，晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)；當(dāng)外力作用方向改變時(shí)，電荷的極性也隨之改變；晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。1.3.4電容法電容法的測(cè)量原理是如果改變兩塊平行板之間的距離，則兩塊平行板之間的電容就會(huì)改變。將懸臂梁作為可動(dòng)的平行板，則懸臂梁彎曲的變化就可以通過(guò)電容的變化來(lái)表征。2懸臂梁的設(shè)計(jì)與制造（MEMS簡(jiǎn)單制備工藝）2.1懸臂梁設(shè)計(jì)考慮因素設(shè)計(jì)懸臂梁時(shí)，需要重點(diǎn)考慮的參數(shù)是靈敏度、噪聲、彈性系數(shù)、響應(yīng)頻率等。一個(gè)高性能的懸臂梁通常需要具有高靈敏度、低噪聲、高響應(yīng)頻率和低彈性系數(shù)。這些參數(shù)取決于懸臂梁的幾何形狀、材料的機(jī)械性質(zhì)以及制作懸臂梁的工藝條件等。這些要求并不能全部滿足，比如降低彈性系數(shù)同時(shí)會(huì)降低響應(yīng)頻率，在設(shè)計(jì)時(shí)要根據(jù)使用場(chǎng)合綜合考慮【3】。懸臂梁的設(shè)計(jì)主要考慮了不同結(jié)構(gòu)的懸臂梁在流體中的穩(wěn)定性以及懸臂梁光束的質(zhì)量。懸臂梁使用低壓化學(xué)（LPCVD）法生長(zhǎng)的氮化硅作為結(jié)構(gòu)材料腐蝕掉硅沉底之后，減少懸臂梁的變形化硅的時(shí)候必須采取合適的生長(zhǎng)條低氮化硅的薄膜應(yīng)力和應(yīng)力梯度。氮化硅度是1.5μm,首先使用光刻，然后使用蝕（RIE）在氮化硅薄膜上形成懸臂梁案。在懸臂梁的上表面淀積上一層厚度金膜，在生物和化學(xué)探測(cè)中可以通過(guò)A成的或者生物分子固定在懸臂梁表面。為了達(dá)到光學(xué)讀出所要求的反射率，金屬層的厚度一般為50~150nm。最后腐蝕掉硅襯底，釋放得到懸臂梁。懸臂梁制造過(guò)程的主要步驟如圖2，不同結(jié)構(gòu)的懸臂梁如圖3。圖2懸臂梁制作過(guò)程的主要步驟圖3不同結(jié)構(gòu)形狀的懸臂梁2.2敏感材料與微懸臂梁的固定技術(shù)微懸臂梁傳感技術(shù)的一個(gè)關(guān)鍵和難點(diǎn)是生化敏感材料與梁的固定。這種固定既要考慮檢測(cè)的可靠性與靈敏度，不能使生物分子失活；還要考慮解吸附與梁的重復(fù)利用問(wèn)題。固定方法有吸附法、包埋法、交聯(lián)法、共價(jià)鍵結(jié)合法等，這些方法各有優(yōu)缺點(diǎn)，如常用的吸附法操作簡(jiǎn)單，但結(jié)合力弱；共價(jià)鍵結(jié)合法連接牢固，可重復(fù)使用，是目前研究中最活躍的一類方法，但該法比其它方法反應(yīng)劇烈，生物分子活性損失更加嚴(yán)重【4】。3微懸臂梁的表面修飾微懸臂梁諧振式氣體傳感器有三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù):激勵(lì)、檢測(cè)和表面修飾。微懸臂梁的表面修飾是指吸收氣體分子的敏感層的制作。在微懸臂梁表面制作特定氣體的敏感層是實(shí)現(xiàn)氣體傳感器的關(guān)鍵步驟,因?yàn)槊舾袑又苯佑绊憘鞲衅鞯撵`敏度和可重復(fù)性。如何制作與懸臂梁表面緊密連接又穩(wěn)定可靠的敏感層已成為微懸臂梁氣體傳感器目前最主要的挑戰(zhàn)。希望用于吸收氣體分子的敏感膜平坦、均勻、緊湊,以避免影響懸臂梁的機(jī)械特性,同時(shí)產(chǎn)生均衡的應(yīng)力變化,而且,反應(yīng)過(guò)程必須具有可重復(fù)性。通常,需要淀積Au等重金屬作為敏感層的基底或者作為氣體吸收反應(yīng)的催化劑,并通過(guò)蒸發(fā)或者濺射工藝來(lái)控制敏感層的厚度和分布情況。目前,已形成多種制作敏感層的技術(shù)和工藝,例如:單分子層自組裝技術(shù)、旋轉(zhuǎn)涂膠法和溶膠—凝膠法等。利用單分子自組裝技術(shù)(SAMS)可以自動(dòng)生成均勻、質(zhì)密、穩(wěn)定的由不同鏈長(zhǎng)的分子合成的具有特定化學(xué)性質(zhì)的單分子層。這些單分子層非常適合用來(lái)將氣體分子吸收在基底上。對(duì)于一般的陣列懸臂梁來(lái)說(shuō),可以將懸臂梁插入一排與陣列的尺寸相匹配的玻璃毛細(xì)管,每一個(gè)懸臂梁對(duì)準(zhǔn)一個(gè)毛細(xì)管,毛細(xì)管里充滿了要涂的液體,液體通過(guò)毛細(xì)管緩緩的流向懸臂梁,從而完成懸臂梁的表面修飾。該方法可以成功地將很多材料淀積在懸臂梁上,例如:聚合體溶液和自組裝單分子層等。由于用毛細(xì)管陣列需要手動(dòng)操作,因而,不適合很大數(shù)量的懸臂梁陣列,而且,利用毛細(xì)管制作的敏感層會(huì)覆蓋懸臂梁的雙面,這也是制作單面敏感層應(yīng)該避免的情況。定位噴液是一種快速可靠的方法。注射噴頭位于水平放置的懸臂梁上方,可以利用一個(gè)壓電注射控制系統(tǒng)使液滴依次滴到懸臂梁上面。定位噴液法可以通過(guò)注射液滴的數(shù)量來(lái)準(zhǔn)確控制敏感層的厚度。4后端檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)4.1微懸臂梁結(jié)構(gòu)框圖圖4微懸臂梁結(jié)構(gòu)框圖如圖4，系統(tǒng)工作過(guò)程為微懸臂梁固定在支架上，利用計(jì)算機(jī)程序通過(guò)數(shù)據(jù)采集卡的模擬輸出端口為微懸臂梁上的壓電薄膜加上正弦電壓激勵(lì)信號(hào)。保持激勵(lì)信號(hào)的幅值不變，由計(jì)算機(jī)控制數(shù)據(jù)采集卡的輸出端發(fā)出的信號(hào)頻率在給定區(qū)間內(nèi)從一端向另一端以足夠小的頻率間隔逐漸增加，并在每個(gè)頻率保持一定時(shí)間。從而使微懸臂梁振動(dòng)，使其表面的壓電薄膜表面應(yīng)力發(fā)生變化，產(chǎn)生微弱的壓電電流。這個(gè)電流送至前置放大器進(jìn)行放大并轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，然后經(jīng)二級(jí)放大后，輸出的電壓信號(hào)反映了該頻率下微懸臂梁的振幅。此電壓信號(hào)經(jīng)數(shù)據(jù)采集卡采集到計(jì)算機(jī)中，記錄下來(lái)。4.2激勵(lì)電路設(shè)計(jì)將電流信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，然后通過(guò)前置放大、二級(jí)放大二次放大。如圖5圖5信號(hào)放大流程微懸臂梁上的壓電薄膜產(chǎn)生的電流信號(hào)很微弱，如此微弱的信號(hào)要交由后級(jí)電路使用必須使用前置放大器【5】。并且分析了各種電阻構(gòu)成的放大器隨頻率的變化情況，選擇前置放大電路的反饋電阻為100k。4.3放大檢測(cè)電路如圖6圖6放大檢測(cè)電路對(duì)于上圖理想的運(yùn)算放大器，放大倍數(shù)為A=10k1k*100k5結(jié)束語(yǔ)微懸臂梁傳感器以其體積小、成本低、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)獲得了越來(lái)越多的研究與應(yīng)用，為生化物質(zhì)的檢測(cè)提供了一種新方法，具有誘人的應(yīng)用前景和很大的市場(chǎng)潛力。但是微懸臂梁傳感器還存在許多問(wèn)題，如檢測(cè)的可靠性與靈敏度有待提高，如何實(shí)現(xiàn)定量分析等。微懸臂梁傳感器的一個(gè)重要發(fā)展方向是將其與分析化學(xué)、計(jì)算機(jī)、電子學(xué)、材料科學(xué)與生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等交叉，可以組建芯片實(shí)驗(yàn)室，實(shí)現(xiàn)化學(xué)分析檢測(cè)，有可能導(dǎo)致化學(xué)分析領(lǐng)域的一場(chǎng)革命?；谖冶哿簹怏w傳感器已經(jīng)顯示出了優(yōu)越的性能,它們的主要優(yōu)點(diǎn)在于高精度、低功耗、與IC工藝兼容易于實(shí)現(xiàn)、成本低、體積小易于操作、能實(shí)現(xiàn)陣列化等。到目前為止,微懸臂梁諧振式氣體傳感器的精度已經(jīng)可以和其他傳統(tǒng)的氣體檢測(cè)方式相媲美,陣列化是基于微懸臂梁的諧振式氣體傳感器的無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì),它可以提高檢測(cè)精度,還可以用來(lái)實(shí)現(xiàn)多種氣體的同時(shí)測(cè)量。因此,基于單芯片集成的電學(xué)檢測(cè)方法、高選擇性和可重復(fù)性的敏感層、增大陣列(>100甚至成千上萬(wàn))是當(dāng)前微懸臂梁諧振式氣體傳感器發(fā)展的主要方向?，F(xiàn)階段制約微懸臂梁諧振式氣體傳感器發(fā)展的主要問(wèn)題在于懸臂梁的表面修飾即敏感層材料的選取和敏感層制作。目前,由于可用的優(yōu)良的化學(xué)試劑有限,懸臂梁傳感器的發(fā)展需要更成熟的表面修飾技術(shù)和理論支持;另一方面,到目前為止基于懸臂梁的傳感器還沒(méi)有得到廣泛應(yīng)用的成熟的產(chǎn)品問(wèn)世。但大批的科研工作者們正積極從事于懸臂梁的表面修飾和氣體敏感膜的研究,這無(wú)疑展示了基于微懸臂梁的諧振式傳感器的市場(chǎng)價(jià)值。可以確信,基于微懸臂梁的諧振式氣體傳感器必將會(huì)得到廣泛的應(yīng)用。參考文獻(xiàn)：張海霞.郭輝.張大成.徐嘉佳.郝一龍集成化MEMS工藝設(shè)計(jì)技術(shù)的研究[期刊論文]-納米技術(shù)與精密工程鮑海飛，李昕欣，王躍林．微懸臂梁法向彈性系數(shù)的標(biāo)定方法與分析[J]．測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)，2006，20(1)：21—26．唐潔．壓電微懸臂粱傳感技術(shù)的研究[D]．天津：天津大學(xué)2005。MinYue,HenryLin,DanielEetal.,A2-DMicrocantileverArrayforMultiplexedBiomolecularAnalysis[J].JournalofMiccroelectromechanicalSystems,13,(2):APRIL2004.ArakawaET,LavrikNV,RajicSetal,Detectionanddifferentiationofbiologicalspeciesusingmicrocalorimetricspectroscopy[J].Ultramicroscopy,2003,97:459-465.自春禮，田芳，羅克．掃描力顯微術(shù)[M]．北京：科學(xué)出版社，2000．課程設(shè)計(jì)總結(jié)：在本次課程設(shè)計(jì)中，我的主題是關(guān)于微懸臂梁氣體傳感器的工作原理及敏感機(jī)理、介紹微懸臂梁表面修飾的關(guān)鍵技術(shù)、MEMS制備工藝主要方法、后端檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)和基于微懸臂梁氣體傳感器領(lǐng)域的研究狀況以及對(duì)基于微懸臂梁的諧振式氣體傳感器的發(fā)展方向和應(yīng)用前景的展望。這不僅使我們加強(qiáng)了本學(xué)期傳感技術(shù)這門(mén)課程的學(xué)習(xí)，而且更加深入地讓我們了解了具體的這種微懸臂梁傳感器的各種工作機(jī)理，對(duì)傳感器有了深層次的認(rèn)識(shí)，為我們的學(xué)習(xí)增添了幾分色彩。同時(shí)也鍛煉了我們自己查閱資料文獻(xiàn)獲取知識(shí)的能力，將為我們以后自主學(xué)習(xí)奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。在此感謝學(xué)校給我們提供了有力的學(xué)習(xí)平臺(tái)