半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

文獻(xiàn)排版存檔編號(hào)：[UYTR-OUPT28-KBNTL98-UYNN208]文獻(xiàn)排版存檔編號(hào)：[UYTR-OUPT28-KBNTL98-UYNN208]半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放原則公布上海市環(huán)保局上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局DB31-02-01實(shí)施-××-××公布半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放原則Thed公布上海市環(huán)保局上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局DB31-02-01實(shí)施-××-××公布半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放原則Thedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustry（公布稿）DB31/374—上海市地方原則ICS目次TOC\o"1-2"\h\z

前言為貫徹《中華人民共和國(guó)環(huán)保法》、《中華人民共和國(guó)水污染防治法》、《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》、《中華人民共和國(guó)海洋環(huán)保法》，加強(qiáng)半導(dǎo)體公司污染物的排放控制，保障人體健康，維護(hù)生態(tài)平衡，結(jié)合上海市實(shí)際狀況，制訂本原則。本原則重要有下列特點(diǎn)：1）合用于半導(dǎo)體公司水污染物、大氣污染物排放的管理；2）水污染物排放根據(jù)功效區(qū)執(zhí)行分級(jí)原則；3）大氣污染物排放不根據(jù)功效區(qū)進(jìn)行分級(jí)；4）對(duì)現(xiàn)有半導(dǎo)體公司規(guī)定達(dá)成揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）排放原則的時(shí)限，對(duì)其它污染源不再按建設(shè)時(shí)間規(guī)定排放限值。半導(dǎo)體公司的噪聲控制、固體廢物控制按國(guó)家和我市的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。本原則實(shí)施之日起，半導(dǎo)體公司水污染物排放按本原則執(zhí)行，不再執(zhí)行DB31/199-1997《污水綜合排放原則》；半導(dǎo)體公司大氣污染物排放按本原則執(zhí)行，不再執(zhí)行GB16297-1996《大氣污染物綜合排放原則》。本原則為初次公布。本原則由上海市環(huán)保局提出并歸口。本原則由上海市環(huán)境科學(xué)研究院和上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)負(fù)責(zé)起草。本原則由上海市人民政府10月13日同意。本原則由上海市環(huán)保局負(fù)責(zé)解釋。半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放原則范疇本原則規(guī)定了半導(dǎo)體公司的水污染物和大氣污染物排放原則值。本原則合用于半導(dǎo)體公司的水污染物排放管理、大氣污染物排放管理，以及半導(dǎo)體公司建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)保設(shè)施設(shè)計(jì)、竣工驗(yàn)收及其投產(chǎn)后的污染控制與管理。規(guī)范性引用文獻(xiàn)下列原則和本原則表5、表6所列分析辦法原則及規(guī)范所含的條款通過本原則的引用而成為本原則的條款，與本原則同效。GB3095環(huán)境空氣質(zhì)量原則GB3097海水水質(zhì)原則GB3838地表水環(huán)境質(zhì)量原則GB/T12997水質(zhì)采樣方案設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)定GB/T12998水質(zhì)采樣技術(shù)指導(dǎo)GB/T12999水質(zhì)采樣樣品的保存和管理技術(shù)規(guī)范GB13271鍋爐大氣污染物排放原則GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測(cè)定與氣態(tài)污染物采樣辦法GB16297大氣污染物綜合排放原則HJ/T91地表水和污水監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范HJ/T92水污染物排放總量監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范當(dāng)上述原則和規(guī)范被修訂時(shí)，應(yīng)使用其最新版本。術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義合用于本原則：半導(dǎo)體公司semiconductorindustry指從事半導(dǎo)體分立器件或集成電路的制造、封裝測(cè)試的公司。特殊保護(hù)水域specialprotectedwaterarea指經(jīng)國(guó)家或上海市人民政府同意的自然保護(hù)區(qū)范疇內(nèi)水域；GB3838中II類水域；由我市各區(qū)、縣人民政府規(guī)定的居民集中式生活飲用水取水口衛(wèi)生防護(hù)帶水域。廢氣解決設(shè)施exhaustgascontroldevices指解決廢氣的濕式洗滌塔、焚燒塔、吸取塔、冷凝塔或其它設(shè)備，但不涉及工藝中設(shè)備自帶的預(yù)解決設(shè)備。密閉排氣系統(tǒng)closedventsystem指可將設(shè)備或設(shè)備組件排出或逃逸的空氣污染物捕集并輸送至廢氣污染防治設(shè)備，使傳送的氣體不直接與大氣接觸的系統(tǒng)?，F(xiàn)有污染源和新污染源existingpollutuionsourceandnewpollutionsource現(xiàn)有污染源指2月1日前建設(shè)的半導(dǎo)體公司。新污染源指2月1日起建設(shè)（涉及改、擴(kuò)建）的半導(dǎo)體建設(shè)項(xiàng)目。建設(shè)項(xiàng)目的建設(shè)（涉及改、擴(kuò)建）時(shí)間，以環(huán)境影響報(bào)告書（表）同意日期為準(zhǔn)。技術(shù)內(nèi)容水污染物排放原則原則分級(jí)特殊保護(hù)水域內(nèi)不準(zhǔn)新建排污口。原有排污口執(zhí)行表1中的A原則和表2中的特殊保護(hù)水域原則。排入GB3838中III類水域和排入GB3097中第二類海域的污水執(zhí)行表1中的A原則和表2中的一級(jí)原則。排入GB3838中IV、V類水域和排入GB3097中第三類海域的污水執(zhí)行表1中的B原則和表2中的二級(jí)原則。排入設(shè)立二級(jí)污水解決廠的排水系統(tǒng)的污水執(zhí)行表1中的B原則和表2中的三級(jí)原則。原則值分類本原則將污染物按其性質(zhì)及控制方式分成二類。第一類污染物，不分污水排放方式和受納水體的功效類別，一律在車間或車間解決設(shè)施排放口采樣，其最高允許排放濃度應(yīng)達(dá)成本原則規(guī)定。第二類污染物，在排放單位排放口采樣，其最高允許排放濃度應(yīng)達(dá)成本原則規(guī)定。本原則對(duì)氟化物、懸浮物（SS）、生化需氧量（BOD5）、化學(xué)需氧量（CODCr）、氨氮、總有機(jī)碳（TOC）6項(xiàng)污染物均規(guī)定了以日均值計(jì)的最高允許排放濃度和以瞬時(shí)值計(jì)的最高允許排放濃度兩項(xiàng)指標(biāo)，這6項(xiàng)污染物的排放應(yīng)同時(shí)恪守上述兩項(xiàng)指標(biāo)。其它污染物的最高允許排放濃度以日均值計(jì)。原則值半導(dǎo)體公司的水污染物排放執(zhí)行表1和表2的規(guī)定。表1第一類污染物最高允許排放濃度(日均值)單位：mg/L序號(hào)污染物A原則B原則1總鎘（按Cd計(jì)）2總鉻（按Cr計(jì)）3六價(jià)鉻（按Cr6+計(jì)）4總砷（按As計(jì)）（砷化鎵工藝）5總鉛（按Pb計(jì)）6總鎳（按Ni計(jì)）7總銀（按Ag計(jì)）表2第二類污染物最高允許排放濃度單位：mg/L（pH值除外）序號(hào)污染物特殊保護(hù)水域原則一級(jí)原則二級(jí)原則三級(jí)原則1氟化物（按F計(jì)）810(13)10(13)202總銅（按Cu計(jì)）113硫化物（按S計(jì)）1114總氰化物（按CN-計(jì)）5pH6~96~96~9－6懸浮物（SS）50(65)70(91)100(130)－7生化需氧量（BOD5）15(20)20(26)30(39)－8化學(xué)需氧量（CODCr）60(78)80(104)100(130)－9氨氮（NH3-N）810(13)15－10總有機(jī)碳（TOC）18(23)20(26)30(39)－注：表中括號(hào)內(nèi)的原則限值為瞬時(shí)值；無(wú)括號(hào)的原則限值，除pH值外，其它均為日均值。大氣污染物排放原則原則體系本原則設(shè)立下列三項(xiàng)指標(biāo)：通過排氣筒排放的污染物最高允許排放濃度。通過排氣筒排放的污染物，按排氣筒高度規(guī)定的最高允許排放速率。任何一種排氣筒應(yīng)同時(shí)恪守上述兩項(xiàng)指標(biāo)，超出其中任何一種均為超標(biāo)排放。揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）解決設(shè)施的最低解決效率。原則值位于GB3095中一類區(qū)的污染源嚴(yán)禁排放表3所列的大氣污染物。大氣污染物排放的最高允許排放濃度和最高允許排放速率執(zhí)行表3的規(guī)定。揮發(fā)性有機(jī)物解決設(shè)施的最低解決效率執(zhí)行表4的規(guī)定。半導(dǎo)體公司產(chǎn)生的大氣污染物應(yīng)由密閉排氣系統(tǒng)導(dǎo)入廢氣解決設(shè)施后排放，不應(yīng)有無(wú)組織排放存在。表3大氣污染物排放限值序號(hào)污染物最高允許排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率排氣筒高度(m)排放速率(kg/h)1硫酸霧101520302氯化氫151520303氟化氫1520304氨-152030205揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)100a--a現(xiàn)有污染源自1月1日起執(zhí)行該限值；新污染源自2月1日起執(zhí)行該限值。表4揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）解決設(shè)施的最低解決效率合用范疇解決設(shè)施的最低解決效率揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）排放速率>h88％aa現(xiàn)有污染源自1月1日起執(zhí)行該限值；新污染源自2月1日起執(zhí)行該限值。為減少全氟化物（PFCs）排放對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的影響，集成電路制造公司宜制訂PFCs排放的年削減計(jì)劃，通過優(yōu)化工藝、原料替代、循環(huán)運(yùn)用、污染治理等方法減少PFCs的排放。其它規(guī)定排氣筒高度不應(yīng)低于15m。排氣筒高度除應(yīng)恪守表3所列排放速率原則值外，還應(yīng)高出周邊200m半徑范疇的建筑5m以上，不能達(dá)成該規(guī)定的排氣筒，應(yīng)按其高度對(duì)應(yīng)的表3所列排放速率原則值嚴(yán)格50%執(zhí)行。兩個(gè)排放相似污染物（不管其與否由同一生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生）的排氣筒，若其距離不大于其幾何高度之和，應(yīng)合并視為一根等效排氣筒。若有三根以上的近距離排氣筒，且排放同一種污染物時(shí)，應(yīng)以前兩根的等效排氣筒，依次與第三、四根排氣筒取等效值。等效排氣筒的有關(guān)參數(shù)計(jì)算辦法同GB16297-1996中附錄A。若某排氣筒的高度處在本原則列出的兩個(gè)值之間，其執(zhí)行的最高允許排放速率以內(nèi)插法計(jì)算；當(dāng)某排氣筒高度不不大于本原則列出的最大值（30m）時(shí)，應(yīng)按本原則列出的最大排氣筒高度對(duì)應(yīng)的最高允許排放速率執(zhí)行。內(nèi)插法的計(jì)算公式同GB16297-1996中附錄B。公司內(nèi)部設(shè)立的鍋爐，其大氣污染物排放應(yīng)執(zhí)行GB13271。監(jiān)測(cè)采樣點(diǎn)污水采樣點(diǎn)位設(shè)立應(yīng)符合HJ/T91的規(guī)定，在排放口應(yīng)設(shè)立排污口標(biāo)志、污水水量計(jì)量裝置。污水監(jiān)測(cè)采樣方案設(shè)計(jì)應(yīng)符合GB/T12997的規(guī)定。廢氣排氣筒中氣態(tài)污染物監(jiān)測(cè)的采樣點(diǎn)數(shù)目及采樣點(diǎn)位置的設(shè)立，按GB/T16157執(zhí)行。新建（涉及改、擴(kuò)建）的項(xiàng)目應(yīng)在廢氣解決設(shè)施的進(jìn)口和出口預(yù)設(shè)采樣孔。采樣頻率污水樣品采集應(yīng)符合GB/T12997、GB/T12998和GB/T12999的規(guī)定。污水的采樣頻率應(yīng)符合HJ/T91的規(guī)定。排氣筒中廢氣樣品采集（不涉及氨的排放速率監(jiān)測(cè)）以持續(xù)1h的采樣獲取平均值；或在1h內(nèi)，以等時(shí)間間隔采集4個(gè)樣品，并計(jì)平均值。特殊狀況下廢氣的采樣時(shí)間和頻次若某排氣筒的排放為間斷性排放，排放時(shí)間不大于1h，應(yīng)在排放時(shí)段內(nèi)實(shí)施持續(xù)采樣，或在排放時(shí)段內(nèi)以等時(shí)間間隔采樣2-4個(gè)樣品，并計(jì)平均值；氨的排放速率監(jiān)測(cè)應(yīng)按生產(chǎn)周期擬定監(jiān)測(cè)頻率，生產(chǎn)周期在8h以內(nèi)的，每2h采集一次，生產(chǎn)周期不不大于8h的，每4h采集一次，取其最大測(cè)定值；在進(jìn)行污染事故排放監(jiān)測(cè)時(shí)，按需要設(shè)立的采樣時(shí)間和采樣頻次，不受上述規(guī)定限制；建設(shè)項(xiàng)目環(huán)保設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)的采樣時(shí)間和頻次，根據(jù)國(guó)家環(huán)?？偩种朴喌慕ㄔO(shè)項(xiàng)目環(huán)保設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)方法執(zhí)行。監(jiān)測(cè)工況規(guī)定在對(duì)污染源的日常監(jiān)督性監(jiān)測(cè)中，采樣期間的工況應(yīng)與當(dāng)時(shí)的運(yùn)行工況相似，排污單位的人員和實(shí)施監(jiān)測(cè)的人員都不應(yīng)任意變化當(dāng)時(shí)的運(yùn)行工況。建設(shè)項(xiàng)目環(huán)保設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)的工況規(guī)定按照國(guó)家環(huán)?？偩种朴喌慕ㄔO(shè)項(xiàng)目環(huán)保設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)方法執(zhí)行。分析辦法污染物的分析辦法按表5和表6執(zhí)行。表5水污染物分析辦法序號(hào)污染物分析辦法辦法來(lái)源1總鎘原子吸取分光光度法GB7475等離子發(fā)射光譜法1)2總鉻高錳酸鉀氧化—二苯碳酰二肼分光光度法GB7466火焰原子吸取分光光度法1)等離子發(fā)射光譜法1)3六價(jià)鉻二苯碳酰二肼分光光度法GB7467續(xù)表序號(hào)污染物分析辦法辦法來(lái)源4總砷二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB7485硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法GB/T11900新銀鹽分光光度法1)原子熒光法1)等離子發(fā)射光譜法1)氫化物發(fā)生－原子吸取分光光度法1)5總鉛原子吸取分光光度法GB7475等離子發(fā)射光譜法1)6總鎳火焰原子吸取分光光度法GB11912等離子發(fā)射光譜法1)7總銀火焰原子吸取分光光度法GB11907等離子發(fā)射光譜法1)8氟化物離子選擇電極法GB7484離子色譜法HJ/T849硫化物亞甲基藍(lán)分光光度法GB/T16489直接顯色分光光度法GB/T17133碘量法HJ/T60氣相分子吸取光譜法1)10總氰化物硝酸銀滴定法異煙酸－吡唑啉酮分光光度法吡啶－巴比妥酸分光光度法GB748611總銅原子吸取分光光度法GB7475等離子發(fā)射光譜法1)12pH值玻璃電極法GB6920便攜式pH計(jì)法1)13懸浮物重量法GB11901續(xù)表序號(hào)污染物分析辦法辦法來(lái)源14生化需氧量(BOD5)稀釋與接種法GB748815化學(xué)需氧量(CODCr)重鉻酸鉀法GB11914節(jié)能加熱法1)氯氣校正法1)快速密閉催化消解法1)16氨氮(NH3-N)納氏試劑分光光度法GB7479水楊酸分光光度法GB7481蒸餾和滴定法GB7478氣相分子吸取光譜法1)17總有機(jī)碳(TOC)非色散紅外線吸取法GB13193燃燒氧化－非分散性紅外吸取法HJ/T71注：暫采用下列辦法，待國(guó)標(biāo)或上海市地方原則公布后，執(zhí)行對(duì)應(yīng)的原則。1)《水和廢水監(jiān)測(cè)分析辦法》（