2023年12023年產(chǎn)品選型手冊(cè)

1120XX121產(chǎn)品名目PRODUCTSCTLOG解決方案產(chǎn)品應(yīng)用周密定位，光刻XX壓電致動(dòng)器顯微成像高區(qū)分率顯微鏡壓電Z向樣品XX壓電物鏡掃描器生物工程流式細(xì)胞儀細(xì)胞分選電生理/膜片鉗/小區(qū)內(nèi)計(jì)量微平移XX直線促動(dòng)器微操作器快速壓電促動(dòng)器航天圖像處理低溫與真空環(huán)境壓電偏擺鏡壓電掃描XX主動(dòng)光學(xué)納米技術(shù)納米制造納米自動(dòng)化管型促動(dòng)器盤型促動(dòng)器彎片促動(dòng)器壓電元件通信調(diào)整通信對(duì)接測(cè)量多通道波導(dǎo)壓電偏擺鏡壓電促動(dòng)器晶圓檢查納米計(jì)量周密加工XX旋轉(zhuǎn)定位XX光電子通信集成光學(xué)壓電彎片定位用壓電促動(dòng)器PZT器數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)讀/寫頭測(cè)試高動(dòng)態(tài)納米定位XX超快操縱器公司簡(jiǎn)介INTRODUCTION哈爾濱溶智納芯科技專從事微動(dòng)與宏動(dòng)類產(chǎn)品的研發(fā)和制造，產(chǎn)品掩蓋科研，教學(xué)、工業(yè)等眾多領(lǐng)域。公司技術(shù)力氣雄厚，專業(yè)技術(shù)人員占人員總數(shù)的比例超過(guò)百分之九十，且擁有豐富的相關(guān)工作閱歷。悅目。求。一時(shí)間得到解決，無(wú)后顧之憂。雄厚技術(shù)，先進(jìn)工藝，嚴(yán)格質(zhì)檢，準(zhǔn)時(shí)售后，表達(dá)在您得到的任何一種產(chǎn)品上，把更多的時(shí)間還給您個(gè)人。歷史客戶清華大學(xué)大學(xué)ZG航空航天大學(xué)理工大學(xué)ZG心清華大學(xué)深圳爭(zhēng)論生院 天律大學(xué)中科院物理與數(shù)學(xué)爭(zhēng)論CPT哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工程大學(xué)ZGXX大學(xué)哈爾濱理工大學(xué)ZG科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)周密機(jī)械與物理爭(zhēng)論所哈爾濱商業(yè)大學(xué)XX大學(xué)天律核工業(yè)理化工程爭(zhēng)論院長(zhǎng)春理工大學(xué)XX大學(xué)物理所沈陽(yáng)理工大學(xué)沈陽(yáng)建筑大學(xué)重慶綠色智能技術(shù)爭(zhēng)論院沈陽(yáng)電子大學(xué)南XX航空航天大學(xué)XXxxx合肥工業(yè)大學(xué)XX科技大學(xué)北斗導(dǎo)航科技重慶大學(xué)合肥工業(yè)大電子所XX大學(xué)燕山大學(xué)XXXX大學(xué)XX州大學(xué)ZG44XX師范大學(xué)職業(yè)技術(shù)學(xué)院大學(xué)力學(xué)系長(zhǎng)春亮麗光電XX大學(xué)電力大學(xué)XX武漢理工大學(xué)電子科技大學(xué)XX沙國(guó)防科技大學(xué)西安交通大學(xué)XX微遠(yuǎn)儀器設(shè)備有限公司西安工業(yè)大學(xué)國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)XXXX航空儀表有限公司國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院 香XX理工大學(xué)XXXX科技學(xué)院中南大學(xué)XXZG計(jì)量科學(xué)爭(zhēng)論院郵電大學(xué)天律必利優(yōu)科技首都師范大學(xué)ZG礦業(yè)大學(xué)江油先進(jìn)機(jī)電設(shè)備交通大學(xué)同濟(jì)大學(xué)XXXXXX師范大學(xué)南XX信息工程大學(xué)麥田富潤(rùn)科技有限公司XX大學(xué)嘉興學(xué)院無(wú)錫恩譯科技廈門大學(xué)XX理工大學(xué)南XXXX科技大學(xué)XXXXXXXX科學(xué)院重慶大學(xué)高怡達(dá)科技〔深圳〕工業(yè)大學(xué)ZG計(jì)量科學(xué)爭(zhēng)論院深圳市百納影像科技有限公司ZG礦業(yè)大學(xué)交通大學(xué)光電所XX福地視野光電技術(shù)有限公司物理所交能大學(xué)美時(shí)醫(yī)療XX信息工程大學(xué)XX工業(yè)大學(xué)志邦科技XX大學(xué)XX理工大學(xué)南昌興鑫電子天律南開(kāi)大學(xué)清華大學(xué)精儀系賽凡光電儀器XX理工大學(xué)XX師范大學(xué)XXXX大學(xué)機(jī)械學(xué)院XX工業(yè)大學(xué)福州順時(shí)代電子ZG54爭(zhēng)論所深圳大學(xué)寶瑞光電科技哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)械設(shè)計(jì)系 哈工大機(jī)電院深圳大學(xué)反光材料廠哈爾濱工程大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院理工大學(xué)信息學(xué)院ZG工業(yè)工程爭(zhēng)論院哈爾濱工程大學(xué)核科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 西安工業(yè)大學(xué)中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化所名目ContentsＰ系列——壓電陶瓷系列——封裝壓電陶瓷BXXCXXH系列——壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源Ｅ系列——壓電陶瓷閉環(huán)操縱器M系列——高精度ＬＶＤＴ測(cè)位儀DXXLRXXZXXKXX壓電陶瓷制動(dòng)器的構(gòu)造添加第三種BO3(表示二價(jià)金屬離子，B表示四價(jià)金屬離子或幾種離子總和為正四價(jià)〕型化合物，如：Pb(Mn1/3Nb2/3〕O3和Pb(Co1/3Nb2/3〕O3等組成的三元系。假設(shè)在三元系統(tǒng)上再外，還有一種偏鈮酸鹽系壓電陶瓷，如偏鈮酸鉀鈉〔N0.5·K0.5·NbO3〕和偏鈮酸鍶鋇〔Bx·Sr1-x·Nb2O5〕等；z為正壓電效應(yīng)。z場(chǎng)去掉后，電介質(zhì)的變形隨之消逝，這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng)，或稱為電致伸縮現(xiàn)象。z將壓電陶瓷片共燒到一起，機(jī)械構(gòu)造串連，電路構(gòu)造并連，從而得到大位移輸出的壓電陶瓷疊；疊堆型壓電陶瓷見(jiàn)以下圖疊堆型壓電陶瓷由正電極層，負(fù)電極層，正負(fù)電極絕緣層，電壓正極供給總線和電壓負(fù)極供給總線，上絕緣層(工作面)，下絕緣層(工作面，銀鍍?cè)谔沾绍涃|(zhì)導(dǎo)電體連接在一起，并引出外線，外線用于連接電壓驅(qū)動(dòng)器；z陶瓷構(gòu)造一樣，只是陶瓷中間開(kāi)有圓孔，用于特別應(yīng)用見(jiàn)以下圖疊層型壓電陶瓷輸出位移如下：ΔLd33nUd33：?jiǎn)纹沾善膽?yīng)變系數(shù)(m/V)n：壓電陶瓷片個(gè)數(shù)U：驅(qū)動(dòng)電壓(V)Piezomechnik(PZPhysikInstrumente(PIz壓電陶瓷雙Z方向生彎曲變形；右圖是壓電陶雙晶片并聯(lián)操縱方式和串聯(lián)操縱方式ΔL=1/2d31U(L/d)2(m/V)L：陶瓷管長(zhǎng)度(m)壓電陶瓷特性壓電陶瓷的遲滯特性同一壓電陶瓷的升壓和降壓位移曲線之間不同,并存在位移差稱為遲滯特性，如以下圖所示壓電陶瓷的非線性瓷的遲滯和非線性，如以下圖壓電陶瓷的閉環(huán)曲線壓電陶瓷的蠕變特性壓電陶瓷在肯定的驅(qū)動(dòng)電壓下，壓電能到達(dá)穩(wěn)定值，如右圖所示壓電陶瓷選型和使用方法及應(yīng)用壓電陶瓷材料剛度:510MP則會(huì)損壞壓電陶瓷，拉力損壞壓電陶瓷側(cè)向力損壞壓電陶瓷壓力的正確使用壓頻率。壓電陶瓷疊堆執(zhí)行器的特點(diǎn)是的高達(dá)幾百牛頓的剛度值，壓電陶瓷的材料剛度算計(jì)如下：kStck=E*/ＬE=σ/εKStck:壓電陶瓷材料剛度；E:彈性模量Ａ:壓電陶瓷的橫截面〔mm〕Ｌ:壓電陶瓷的長(zhǎng)度〔m〕σ:在彈性變形范圍內(nèi)的應(yīng)力〔MP〕ε:在應(yīng)力作用下產(chǎn)生的應(yīng)變，即相對(duì)變形量〔Δl綱。的選型手冊(cè)中都以給出壓電陶瓷的材料剛度.壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下的剛度:力和位移成反比關(guān)系，右圖是壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下的輸出力和輸出位移關(guān)系圖，橫軸為壓在不同驅(qū)電壓時(shí)都有力與位移的對(duì)應(yīng)關(guān)系，k =Fmx/?L0kFmx:壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下輸出的最大力?L0:壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下輸出的最大位移在選用壓電陶瓷先確定壓電陶瓷要驅(qū)動(dòng)的負(fù)載然后按上圖確定壓電陶瓷的輸出力,和輸出位移，以免造成驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷的輸出力和位移不夠。壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下驅(qū)動(dòng)負(fù)載力不變的應(yīng)用:壓電陶瓷在無(wú)變化負(fù)載力(Ｆ)的作用下，產(chǎn)生了壓電陶瓷的材料變形量，所以壓電陶瓷的零點(diǎn)位置發(fā)生變化，壓電陶瓷的電壓，壓電陶瓷的位移量輸不變，輸出力和負(fù)載的關(guān)系如右圖，公式如下：?Ln≈Ｆv/kＦ=m·g?Ln:壓電陶瓷在受重力的作用下零點(diǎn)偏移量kＦ:壓電陶瓷所受的重力(Ｎ)m:負(fù)載質(zhì)量(Ｋg)g:重力加速度(m/s壓電陶瓷在受重力(或不變負(fù)載)時(shí)，壓電陶瓷產(chǎn)生零點(diǎn)偏移量，這由壓電陶瓷的材料剛度和壓電陶瓷所受的不變負(fù)載有關(guān)，壓電陶力，假設(shè)超過(guò)會(huì)將壓電陶瓷損壞，有變化，只是零點(diǎn)向下，壓電陶瓷的位移輸出量不變壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下無(wú)預(yù)緊力，低剛度負(fù)載的應(yīng)用:壓電陶瓷在無(wú)預(yù)緊力和低剛度負(fù)載時(shí)壓電陶瓷的壓電材料變形量的電壓，輸出位移,輸出力和負(fù)載的關(guān)系如右圖，公式如下：?L≈?L0(k/k +kL)?LR≈?L0(１-k/k +kL)Ｆeff≈k (k/k +kL)Ｆmx-eff≈k (1-k/k +kL){}?L0:空載壓電陶瓷在Ｖ0(電場(chǎng)力)驅(qū)動(dòng)下輸出最大位移(Ｆmx＝０)Ｆmx:0(電場(chǎng)力)驅(qū)動(dòng)下輸出最大力(?L0＝０)Ｆmx-eff:空載壓電陶瓷在Ｖ0(電場(chǎng)力)驅(qū)動(dòng)負(fù)載所損耗的輸出力?L:壓電陶瓷在Ｖ0(電場(chǎng)力)驅(qū)動(dòng)下加負(fù)載kL移量Ｆeff:壓電陶瓷在Ｖ0(電場(chǎng)力)驅(qū)動(dòng)下加負(fù)載kL作用下輸出的力?LR空載壓電陶瓷在Ｖ0(電場(chǎng)力)驅(qū)動(dòng)負(fù)載所損耗的輸位移k:壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下的剛度kL:低負(fù)載剛度(彈簧鋼度)F:力坐標(biāo)Ｖ0:電壓陶瓷的最大驅(qū)動(dòng)電壓(產(chǎn)生最大的電場(chǎng)力):空載壓電陶瓷升壓和降壓的位移輸出曲線B:加載kL壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下有預(yù)緊力并加剛度負(fù)載的應(yīng)用:壓電陶瓷在有預(yù)緊力和剛度負(fù)載時(shí)壓電陶瓷的壓電材料發(fā)生零點(diǎn)位移變，輸出力和負(fù)載的關(guān)系如右圖，公式如下?Ln≈ＦV/kＦV:壓電陶瓷的預(yù)緊力，?Ln:壓電陶瓷在受重力的作用下零點(diǎn)偏移量在有預(yù)緊力和剛度負(fù)載時(shí)壓電陶瓷所輸出的位稱量和輸出力發(fā)生了零點(diǎn)位移變低，輸出位移變小，其它計(jì)算不變2壓電陶瓷動(dòng)態(tài)應(yīng)用快速響應(yīng)是一個(gè)壓電致動(dòng)器的特征,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源快速的驅(qū)動(dòng)電壓變化驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷的快速位置變化,這個(gè)特點(diǎn)在掃上面壓電陶瓷在保證公稱位移輸出量的最大響應(yīng)速度是在可以通過(guò)智能操縱技術(shù)或位置伺服操縱加以減?。焕纾阂粋€(gè)10kHz諧振頻率的壓電陶瓷在約30(需要輸出足夠電流和驅(qū)動(dòng)電壓)壓電陶瓷在動(dòng)態(tài)應(yīng)用中，壓電陶瓷質(zhì)量與負(fù)載質(zhì)量的關(guān)系：壓電陶瓷軸向振動(dòng)頻率輸出時(shí)，壓電陶瓷需要具有預(yù)緊力，的附加載荷可以用以下公式估算：在定位應(yīng)用，壓電陶瓷輸出頻率大大低于諧振頻率,保持操以由如下公式計(jì)算：壓電陶瓷的動(dòng)態(tài)輸出力:1萬(wàn)米/秒的高加速度。由于可能的耦合質(zhì)量以及執(zhí)行器本身的慣性，動(dòng)態(tài)拉力發(fā)生必需得到補(bǔ)償?shù)臋C(jī)械預(yù)緊力例如：1kHz的輸出動(dòng)力，2μm位移〔峰值〕1質(zhì)量大約是±40N。壓電陶瓷的電容量像一個(gè)電容器。壓電陶瓷的位移輸出和電荷成比例。壓電陶瓷瓷是由很多陶瓷層電級(jí)并聯(lián)，電容也取決于層的數(shù)目。壓電陶瓷有漏電流損失在μ以下的范圍內(nèi)壓電陶瓷是呈現(xiàn)高內(nèi)阻:Tmin:壓電陶瓷的響應(yīng)速度[sf0:壓電陶瓷的諧振頻率[Hz]

m[kgf0:壓電陶瓷的諧振頻率[Hz]f0”:壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)負(fù)載輸出諧振頻率負(fù)載[Hz]meff[kg]meff”壓電陶瓷的三分之一質(zhì)量加上負(fù)載質(zhì)量[kg]f[Hzφ:相位角[度]f0:壓電陶瓷的諧振頻率[Hz]Fdyn：壓電陶瓷的動(dòng)態(tài)輸出力[Nmeff之一質(zhì)量[kgF[Hz]ΔL〔峰峰值〕[m上圖是疊堆壓電陶瓷在1kHz的單極性正弦信號(hào)測(cè)量電容容C的堆棧致動(dòng)器可以被估量為一個(gè)電容器：假設(shè)疊堆壓電陶瓷去除上下絕緣片，陶瓷的總長(zhǎng)度：N≈L/HL：公式可變?yōu)槿缦拢憾ㄎ徊僮?，低靜態(tài)和動(dòng)態(tài)當(dāng)通電時(shí)，存儲(chǔ)在一個(gè)壓電致動(dòng)器的能量四周，在電荷每I：流，即使在格外高的負(fù)載的狀況下。能耗相對(duì)較低。即使突然斷開(kāi)電源，壓電陶瓷位置回零不斷漸漸的發(fā)生。位置操縱操作能〔數(shù)字或模擬，過(guò)濾器和操縱器類型，帶寬〕也限制了定位系統(tǒng)的工作帶寬。C：疊堆型壓電陶瓷電容量[F]n：疊堆型壓電陶瓷疊層的數(shù)目εT33：介電常數(shù)=ε33/ε0[s/Vm]ml：壓電陶瓷的長(zhǎng)度[m]hL:疊堆型壓電陶瓷每層的厚度[m]I:壓電陶瓷的電流[]Q:電荷[CsV:壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電壓[Vt:時(shí)間[s]2壓電陶瓷動(dòng)態(tài)功率消耗:的工作頻率,幅值和電容量。而靜態(tài)應(yīng)用壓電陶瓷功率消耗幾乎產(chǎn)生功率損耗使壓電陶瓷產(chǎn)生熱量，壓電陶瓷在正常動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的峰值功率和壓電陶瓷的損耗功率可以估算如下：0.01到0.02。2%的電功率流過(guò)壓電陶瓷轉(zhuǎn)化為熱。在大信號(hào)狀況壓電陶瓷時(shí)，損耗因子可在0.25到0.3,冷卻措施是必要的。對(duì)瓷。脈沖模式操作的壓電陶瓷的輸出位移可以最快在微秒范圍三倍大于壓電陶瓷諧振頻率。壓電陶瓷位移反響器件應(yīng)變儀的粘貼實(shí)物圖和原理圖如下:以下圖為粘貼后的實(shí)物圖，以下圖為應(yīng)變儀的橋接原理圖P：壓電陶瓷的峰值有效功率[W瓷脈沖輸出所需功率)P ：平均值功率[W](壓電陶瓷連續(xù)輸出所需功率)P１：壓電陶瓷的損耗功率[W]tnδ：介質(zhì)損耗因數(shù)f：操縱頻率[Hz]C：電容量[F]VPP：驅(qū)動(dòng)電壓〔峰峰值〕[V]I：平均電流[](壓電陶瓷連續(xù)動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)輸出所需電流)Imx：壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)最大峰值有效電流[](壓電陶瓷脈沖輸出所需電流)f：操作頻率[HZ]Fmx：最大工作頻率[HZC：負(fù)載電容量[F]t：沖電時(shí)間[s]VPP：驅(qū)動(dòng)電壓〔峰峰值〕[V]壓電陶瓷的特點(diǎn):容性負(fù)載,驅(qū)動(dòng)電壓在０到１５０Ｖ 工作溫度在-20℃~120℃,應(yīng)速度右在微秒級(jí)驅(qū)動(dòng)要求直流穩(wěn)壓電源依據(jù)驅(qū)動(dòng)的方式不同可輸出直線位移，也可以作為震蕩源使用主要應(yīng)用:科學(xué)疊堆型壓電陶瓷選型表德國(guó)Piezomechnik(PZ)疊堆型壓電陶瓷選型表pst1500V～+150V的電壓與位移曲線Pst-HD200系列0V～+150V的電壓與位移曲線■pst150系列－30V～+150V的電壓與位移曲線Pst-HD20030V～+150的電壓與位移曲線名稱：?jiǎn)纹瑝弘娞沾晌⑽灰浦聞?dòng)器單片壓電陶瓷的特點(diǎn)多層共燒一體軸向響應(yīng)頻率大d31d33在力傳感器/發(fā)電機(jī)中的廣泛應(yīng)用50V可以驅(qū)動(dòng)格外高負(fù)荷溫度范圍：－273°C～+130°CPZT陶瓷材料常數(shù)d31 -240picometer(皮米)/Volt(伏)d33+580picometer(皮米)/Volt(伏)電介質(zhì)常數(shù)ε：1900居里溫度:250°C密度:7.5g/cm3彈性順度s33:20x10-12m2/N單片壓電陶瓷微位移致動(dòng)器選型表產(chǎn)工施加可以硬盤產(chǎn)品特點(diǎn)體積小響應(yīng)速度精度高：壽命長(zhǎng)：牢靠性高〕1000萬(wàn)次以高壓較低：40V夾具固定到振是由兩片一樣電陶瓷雙晶片變形。(一般從幾抑制、激光陀螺備注響應(yīng)時(shí)間在小以上-200V振動(dòng)XX上，經(jīng)同的沿厚度方片一片收縮，到幾十克)、螺等。10ms經(jīng)10-55-10H方向極化的壓另一片伸長(zhǎng)大位移〔可壓電規(guī)格外，我壓電陶瓷z掃頻振動(dòng)，瓷雙晶片1minu粘接而成，將可以通過(guò)轉(zhuǎn)變?nèi)纾哼x針器、片選型冊(cè)以依據(jù)客戶ute,振動(dòng)幅度致動(dòng)器一端固變正負(fù)極連線盲人閱讀器冊(cè)要求定制度0.35mm。試固定，構(gòu)成懸線來(lái)操縱，壓器、壓電泵、試驗(yàn)后無(wú)機(jī)械懸臂梁構(gòu)造，壓電陶瓷片非電子鎖、攝械損傷。沿Z方向非固定端便像機(jī)快門、名稱：光纖拉伸-壓電陶瓷環(huán)形壓電陶瓷的特點(diǎn)多層共燒一體軸向響應(yīng)頻率大d31d33在力傳感器/發(fā)電機(jī)中的廣泛應(yīng)用50V可以驅(qū)動(dòng)格外高負(fù)荷溫度范圍：－273°C～+130°CPZT陶瓷材料常數(shù)d31 -240picometer(皮米)/Volt(伏)d33+580picometer(皮米)/Volt(伏)電介質(zhì)常數(shù)ε：1900居里溫度:250°C密度:7.5g/cm3彈性順度s33:20x10-12m2/N單片壓電陶瓷微位移致動(dòng)器選型表多層共燒一體軸向響應(yīng)頻率大rryd31d33在力傳感器/發(fā)電機(jī)中的廣泛應(yīng)用50V溫度范圍：－273°C～+130°C外表絕緣：鍍銀電極，外表無(wú)涂層PZTd31：-240picometer(皮米)/Volt(伏)d33：+580picometer(皮米)/Volt(伏)電介質(zhì)常數(shù)ε：1900居里溫度:250°C7.5g/cm3s3320x10-12m2/N簡(jiǎn)易封裝壓電陶瓷選型表壓電陶瓷選型方法請(qǐng)參考封裝開(kāi)/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造資料/驅(qū)動(dòng)電源型號(hào)：ＲＨ１１;閉環(huán)操縱器型號(hào)：ＲＥ５３壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源帶寬分析壓電陶瓷轉(zhuǎn)變長(zhǎng)度的速率這個(gè)參數(shù)在高速應(yīng)用中格外重要。容量就可以計(jì)算出來(lái)：0.5。b額定電壓V負(fù)載壓電陶瓷的最大驅(qū)動(dòng)電壓〔壓電陶瓷的伸縮長(zhǎng)度。d)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源最大帶寬，和可驅(qū)動(dòng)的負(fù)載電容量。為了驅(qū)動(dòng)外部電容〔壓電陶瓷放電的微分，dV/dt，稱為轉(zhuǎn)換速率。電容越大，所需要的電流就越大：〔slewrte:電壓轉(zhuǎn)換速率;Imx:驅(qū)動(dòng)電源產(chǎn)生最驅(qū)動(dòng)電流；C：壓電陶瓷電容量〕比方對(duì)于一個(gè)100微米的壓電陶瓷，電容20μF0.50V75V3應(yīng)時(shí)間成為限制帶寬另一因素。正弦信號(hào)Vppf有：右圖為時(shí)間和電壓的曲線。在t2nπ(n=012,...)點(diǎn)處到達(dá)最大轉(zhuǎn)換速率，或者電壓變化：由上面第一個(gè)公式可推得：因此，對(duì)于上面的例子，最大帶寬〔75V〕為.三角波信號(hào)Vpek0驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷，轉(zhuǎn)換速率與斜率相等：.f1/T矩形波信號(hào)Vpek0tr為最小上升時(shí)間，則或者.封裝開(kāi)/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造封裝開(kāi)/閉環(huán)壓電陶瓷安裝方法及輸出方法正確使用位移輸出端半圓體E3位移輸出端外螺紋封裝壓電陶瓷輸出端與被驅(qū)動(dòng)體的外螺紋聯(lián)連E1位移輸出端內(nèi)螺紋封裝壓電陶瓷輸出端與被驅(qū)動(dòng)體的內(nèi)螺紋聯(lián)連壓電陶瓷構(gòu)造特點(diǎn):封裝開(kāi)/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造如右側(cè)軸向剖視圖所示，由壓電陶瓷、機(jī)械殼體，壓縮彈簧、位移輸出桿四局部組成；不能承受拉力的缺乏；真空型；底部面螺紋固定直口固定外直徑固定名稱：封裝環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器R150系列封裝開(kāi)/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電壓為:－1０Ｖ～+１５０Ｖ，閉環(huán)使用建議:0Ｖ～+１20Ｖ,驅(qū)動(dòng)電壓負(fù)壓過(guò)大會(huì)使壓電陶瓷反向極化，用戶使用時(shí)負(fù)壓不要超過(guò)－1０Ｖ．系列名稱產(chǎn)品實(shí)圖外形尺寸圖輸出位移位接頭構(gòu)造出廠標(biāo)準(zhǔn)配置…R150/11/…/E1z標(biāo)準(zhǔn)位移頭Ｅ１(用戶可選擇Ｅ２或Ｅ３類型)z電壓輸出線長(zhǎng)１.５mmz傳感器線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣz傳感器線：４芯航插R150/13/…/E1z標(biāo)準(zhǔn)位移頭Ｅ１(用戶可選擇Ｅ２或Ｅ３類型)z電壓輸出線長(zhǎng)１.５mmz傳感器線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣzR150/20/…/E1z標(biāo)準(zhǔn)位移頭Ｅ１(用戶可選擇Ｅ２或Ｅ３類型)z電壓輸出線長(zhǎng)１.５mmz傳感器線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣR150/22/…/E1z標(biāo)準(zhǔn)位移頭Ｅ１(用戶可選擇Ｅ２或Ｅ３類型)z電壓輸出線長(zhǎng)１.５mmz傳感器線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣ傳感器線：４芯航插封裝壓電陶瓷致動(dòng)器選型參數(shù)表壓電陶瓷選型方法請(qǐng)參考封裝開(kāi)/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造資料/驅(qū)動(dòng)電源型號(hào)：ＲＨ１１;閉環(huán)操縱器型號(hào)：ＲＥ５３驅(qū)動(dòng)電壓范圍：－1０Ｖ～+１５０Ｖ備注:除上述規(guī)格外，我公司也可以依據(jù)客戶要求定制pst150pst150系列封裝開(kāi)/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電壓為:－３０Ｖ～+１５０Ｖ，閉環(huán)使用建議:－10Ｖ～+１20Ｖ,驅(qū)動(dòng)電壓０Ｖ．系列產(chǎn)品實(shí)圖外形尺寸圖出廠標(biāo)準(zhǔn)配置pst150/5…VS10z接頭為沉孔Ｍ３深４mmVbs類型)z閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣz傳感器線：４芯航插pst150/７…VS12z接頭為沉孔Ｍ３深４mm(用戶可選擇Vg、Vbs、pF類型)z閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣz傳感器線：４芯航插pst150/10…VS15z接頭為沉孔Ｍ4mmVg、Vbs、pF類型)z閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣ傳感器線：４芯航插pst150/15…VS20z接頭為沉孔Ｍ55mmVgVbspF類型)z閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣ傳感器線：４芯航插pst150/20…VS25z接頭為沉孔Ｍ6４mmVgVbspF類型)z閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)１.５mmz電壓線接頭:ＢＮＣ傳感器線：４芯航插Pst系列壓電陶瓷致動(dòng)器選型參數(shù)表XX名稱產(chǎn)品實(shí)圖構(gòu)造說(shuō)明應(yīng)用舉例XX壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱XX壓電陶瓷直推／構(gòu)造放大驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱具有分體式和一體式構(gòu)造XX壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱XX壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱XX壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱微動(dòng)測(cè)一維測(cè)位頭／三維測(cè)位頭壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱六自由度并聯(lián)機(jī)器人壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱XX產(chǎn)品特性高速響應(yīng);壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);重復(fù)定位精度高;納米級(jí)位移區(qū)分率;機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種;承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;標(biāo)準(zhǔn)型-k微小型－W承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量。選型說(shuō)明：例如：RB110SKR:公司名稱B：產(chǎn)品系列1：輸出維數(shù)，1S：閉環(huán)選擇，開(kāi)環(huán)無(wú)K：標(biāo)準(zhǔn)型，W代表微小型材料：超硬鋁合金閉環(huán)：含反響傳感器輸出線XX標(biāo)準(zhǔn)型-k型號(hào)RB110SRB125SRB150SRB1100SRB1150SRB1200S單位序號(hào)mmⅠ62x6288x52114x114mmⅡ52x52mm55x5565x65Ⅲ40x40Ⅳ4-M3104-M4104-M410mmmmⅤ32x3245x4540x402222mmⅥ22mm2020Ⅷ20mmⅦ8810Ⅹ4-φ84-φ84-φ10mmⅨ4-φ4.5φ4.5φ5.5mmrryXX產(chǎn)品特性高速響應(yīng);壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);較高的重復(fù)定位精度;納米級(jí)位移區(qū)分率;機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種;承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;分體組合式-F一體式-Q承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量。選型說(shuō)明：例如：RB210SFR:公司名稱B：產(chǎn)品系列2：輸出維數(shù)，2維，X軸和Y軸1010，單位微米S：閉環(huán)選擇，開(kāi)環(huán)無(wú)F：分體組合型，Q代表一體式構(gòu)造材料：超硬鋁合金閉環(huán)：含反響傳感器輸出線Q高速響應(yīng);壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);較高的重復(fù)定位精度;納米級(jí)位移區(qū)分率;機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種;承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量高速響應(yīng);壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);較高的重復(fù)定位精度;納米級(jí)位移區(qū)分率;機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種;承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量zXXXXXXz軸XX組合為三維X、y、zX、y、z20x20x2050x50x5020x20x2050x50x5017x17x1745x45x4517x17x1745x45x45ＬＶＤＴ(電感)ＬＶＤＴ(電感)高速響應(yīng);壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);較高的重復(fù)定位精度;納米級(jí)位移區(qū)分率;名稱：微動(dòng)測(cè)位頭產(chǎn)品特性本產(chǎn)品構(gòu)造由宏動(dòng)和微動(dòng)輸出組合產(chǎn)品 ;50mm構(gòu)造可分不銹鋼或鋁合金構(gòu)造;可分Ｘ軸／ＸＹ軸／ＸＹＺ軸組合;納米級(jí)位移區(qū)分率;具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種;

手動(dòng)行程可到承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;RB1系列RB3系列承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量z名稱：六自由度并聯(lián)機(jī)器人微動(dòng)六自由度并聯(lián)機(jī)器人宏動(dòng)六自由度并聯(lián)機(jī)器人X、Y、Z、θx、θy、θzX、Y、Z、θx、θy、θz定位參數(shù)X=20μm、Y=20X=10mm、Y=10mmθx=±2°、θy=±2°、θz=±2°高速響應(yīng),壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)或直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng);較高的重復(fù)格保證構(gòu)結(jié)精度;承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；XXRE56XX名稱產(chǎn)品實(shí)圖構(gòu)造說(shuō)明應(yīng)用舉例一維壓電偏XX壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱XX壓電陶瓷直推／構(gòu)造放大驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱一維重載納XX壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱一維Ｚ軸納米定位平XX材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱XX壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱維測(cè)位頭壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱聯(lián)機(jī)器人壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開(kāi)環(huán)或閉環(huán)操縱XX一維傾斜XX構(gòu)造驅(qū)動(dòng)電路與計(jì)算方法承受單支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)輸出XX面中端柔性鉸鏈變形輸出一維擺角:θx:PZT輸出位移量:壓電陶瓷與中線的距離θx= ／XX構(gòu)造驅(qū)動(dòng)電路與計(jì)算方法承受四支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)輸出XX面二層柔性鉸鏈變形輸出二維擺角:θY、θＸ:1PZT輸出位移量B:2PZT輸出位移量C:3PZT輸出位移量D:4PZT輸出位移量:壓電陶瓷中心位置直徑θY=(+D)／θX=(B+C)／XX構(gòu)造驅(qū)動(dòng)電路與計(jì)算方法承受三支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)輸出XX面二層柔性鉸鏈變形三支壓電陶瓷在120°角均布輸出二維擺角:θY、θＸ輸出z維平移距離:Ｚ:1號(hào)PZT輸出位移量B:2號(hào)PZT輸出位移量C:3PZT輸出位移量:12b23θY=2–(B+C)／2θX=(B–C)／bZ=( +B+C)／3三腳架驅(qū)動(dòng)傾斜式系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)平XX面由三支壓電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，以120°角平分到另一個(gè)驅(qū)動(dòng)位置，承受坐標(biāo)變換，運(yùn)動(dòng)可以分不同機(jī)構(gòu)之間的。除了傾斜的平XX，也可以使用線性z方向，這是很重要的，例如，用于校正的光學(xué)路徑長(zhǎng)度四腳差分壓電驅(qū)動(dòng)的傾斜系統(tǒng)平XX由兩對(duì)壓電致動(dòng)器位于不同的傾斜方向。軸傾斜θX和θY正交布置使坐標(biāo)變換是沒(méi)有必要的。這一結(jié)論在線性和角度定位具有很好的穩(wěn)定范圍。傾斜角操縱系統(tǒng)的最大工作頻率在很大程度上取決于它的機(jī)械響應(yīng)頻率與功率放大器的性能，操縱器和傳感器也很重要。系統(tǒng)的組合由傾斜角平XX面和鏡,需要計(jì)算反射鏡基板的第一諧振頻率的有效慣性矩。解釋：m[g]Im=鏡子的慣性矩g×mm2]L[mm]H[mm]TXX外表的距離[mm]R[mm]該系統(tǒng)的響應(yīng)頻率計(jì)算和慣性矩使用下面的公式的反射鏡基板：有鏡子的壓頭/傾斜系統(tǒng)諧振頻率fXX[Hz]f0XX[Hz]I0XX(seetechnicldtg×mm2]]IM=鏡子慣的性矩[g×mm2]z@S:集成反響傳感器確定位移測(cè)量,使用傳感器類型:SGS〔應(yīng)變式傳感器〕SGSz@XO:開(kāi)環(huán)驅(qū)動(dòng)0?120V工作電壓典型的開(kāi)環(huán)傾斜角度。最大工作電壓范圍為-20?+150V。z@XC:閉環(huán)操作,操縱器具有-20+150V等。z@XOR:壓電陶瓷帶動(dòng)傳動(dòng)機(jī)械所產(chǎn)生的最小直線位移或最小擺角值。z@XCR:閉環(huán)區(qū)分率操作，指操縱器反響信號(hào)的最小值，主要取決反響傳器的采集最小值。z@Pz@R重復(fù)定位精度指從初始運(yùn)動(dòng)起點(diǎn)開(kāi)頭連續(xù)運(yùn)行屢次輸大小取決于屢次運(yùn)行精度誤差的累積值和機(jī)械與測(cè)量?jī)x器的精度值。z@L線性度實(shí)際輸出的校準(zhǔn)直線與給定直線間的最大偏差稱為線性度〔線性度又稱為“非線性誤差性特性越好。表示為公式如下：δ線性度=ΔX/X程*100%。XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX產(chǎn)品特性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);重復(fù)定位精度高;納米級(jí)位移區(qū)分率;機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種;承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量。型號(hào)類型參數(shù)RC124RC124SRC150RC150SRC150D注解輸出軸方向θXθXθXθXθXSGSSGS@SθX開(kāi)環(huán)擺角(０V～120V)[mrd]±102.52.555±5@XOθX.閉環(huán)擺角范圍[mrd24.5@XCθX開(kāi)環(huán)擺角區(qū)分率[μrd]0.050.050.10.10.2@XORθX擺角區(qū)分率[μrd]0.10.10.10.10.2@XCR輸出線性度%0.20.2精度 [μrd]-----±1-----±1-----重復(fù)定位精度 [μrd]-----±3-----±1-----空載響應(yīng)頻率[KHz44444共振頻率/φ15x4毫米玻璃鏡[kHz±20%2.52.52.52.5100共振頻率/φ15x4毫米銅鏡子[kHz±20%]2.22.22.22.2±3.5陶瓷輸出支點(diǎn)與輸出XX[mm]±０.５６66610輸出XXg?mm2]230230310310450驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷型號(hào)［μF］±20500500100010003x200動(dòng)態(tài)工作電流系數(shù)[μ/Hz˙μm]±200.10.10.1機(jī)體材料鋁合金/Invr鋁合金/Invr鋁合金/Invr鋁合金/Invr合金鋁/Invr電壓聯(lián)接-----工作溫度范圍[℃]-20?80-20?80-20?80-20?80-20～70電纜長(zhǎng)度[m]1.51.51.51.52電壓接口連接器 BNCBNCBNCBNC傳感接口連接器-----四芯航插-----四芯航插-----0.05重量〔含電纜聯(lián)接器〕[Kg]閉環(huán)／開(kāi)環(huán)操縱器型號(hào)RE51/RＨ11電壓驅(qū)動(dòng)線一根反響傳感器一根D4XX產(chǎn)品特性高速響應(yīng);壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);光束偏轉(zhuǎn)至10毫弧度，區(qū)分率為50nrd活塞運(yùn)動(dòng)到30微米〔對(duì)于路徑長(zhǎng)度調(diào)整〕緊湊型三腳架設(shè)計(jì)帶共面軸消退偏振旋轉(zhuǎn)亞毫秒響應(yīng)閉環(huán)精度更高25〔1“〕直徑無(wú)摩擦，高精度柔性導(dǎo)向系統(tǒng)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)對(duì)增加動(dòng)力和更好的多軸精度型號(hào)類型參 數(shù) RC330.2 RC330.2S RC330.4 RC330.8RC330.8S注解開(kāi)環(huán)閉環(huán)開(kāi)環(huán)閉環(huán)開(kāi)環(huán)閉環(huán)輸出軸方向θX、θYθX、θYθX、θYθX、θYθX、θYθX、θY反響傳感器類型------4xSGS------4xSGS 4xSGSθXθY０V～150V[mrd]±1044881515θX.θY閉環(huán)擺角范圍[mrd2.55.510θX.θY開(kāi)環(huán)擺角區(qū)分率[μrd]0.020.020.10.10.20.2θX.θY閉環(huán)擺角區(qū)分率 [μrd]------0.05 0.5輸出線性度%------±0.1------±0.2 ±0.25精度[μrd]------0.10------0.3 0.8重復(fù)定位精度[μrd]------0.15------0.5 1空載響應(yīng)頻率[KHz332211共振頻率/φ25x8毫米玻璃鏡[kHz±20%]221.51.50.80.8共振頻率/φ25x8毫米銅鏡子[kHz±20%]221.51.50.80.8XX[mm]±０.５６66666XX面的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量[gmm2515515515515515515驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷型號(hào) 電容量［μF］±20%3x5003x5003x2003x2003x2003x200單支動(dòng)態(tài)工作電流系數(shù) [μ/Hz˙μm]±200.220.80.40.80.80.8機(jī)體材料invr合金invr合金invrinvr合金invr金invr電壓聯(lián)接工作溫度范圍 [℃]-20～80-20～80-20～80-20～80-20～80-20～80電纜長(zhǎng)度[m1.51.51.51.51.51.5電壓接口連接器BNCBNCBNCBNCBNCBNC傳感接口連接器------四芯航插------四芯航插------四芯航插重量〔含電纜聯(lián)接器〕[Kg0.05閉環(huán)／開(kāi)環(huán)操縱器型號(hào)RE51/RＨ14電壓驅(qū)動(dòng)線四根D5XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX產(chǎn)品特性高速響應(yīng);壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);光束偏轉(zhuǎn)至10毫弧度，區(qū)分率為50nrd活塞運(yùn)動(dòng)到30微米〔對(duì)于路徑長(zhǎng)度調(diào)整〕緊湊型三腳架設(shè)計(jì)帶共面軸消退偏振旋轉(zhuǎn)亞毫秒響應(yīng)閉環(huán)精度更高直徑無(wú)摩擦，高精度柔性導(dǎo)向系統(tǒng)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)對(duì)增加動(dòng)力和更好的多軸精度型號(hào)類型參數(shù)RC325.3RC325.3SRC330.4RC330.4SRC330.8RC330.8S注解閉環(huán)閉環(huán)輸出軸方向θX、θY、zθX、θY、zθX、θY、zθX、θY、zθX、θY、zθX、θY、z反響傳感器類型3xSGS4xSGS4xSGSθX.θY開(kāi)環(huán)擺角(０V～150V[mrd±20%]±3±3±5±5±10±10θX.θY閉環(huán)擺角范圍 [mrd]------±2------±4------±8θXθY開(kāi)環(huán)擺角區(qū)分率[μrd]0.020.020.20.20.40.4θX.θY閉環(huán)擺角區(qū)分率 [μrd]0.050.10.2Ζ軸開(kāi)環(huán)輸出位移[μm±20%]35356060100100 Ζ軸閉環(huán)輸出位移[μm305080θXθY輸出線性度%------±0.1------±0.2------±0.25θXθY精度[μrd]------0.10------0.3------0.8 θX.θY重復(fù)定位精度[μrd]------0.15------0.5------1Ζ軸輸出線性度%------±0.1------±0.2------±0.2Ζ軸精度[nm]0.10.20.2Ζ軸重復(fù)定位精度[nm0.5------0.1------0.1Ζ軸開(kāi)環(huán)/閉環(huán)區(qū)分率 [nm]0.125/0.6250.125/0.6250.5/10.5/11/21/2空載響應(yīng)頻率[KHz112211共振頻率/φ25x8毫米玻璃鏡[kHz±20%0.80.81.51.50.80.8共振頻率/φ25x8毫米銅鏡子[kHz±20%]0.50.51.51.50.80.8陶瓷輸出支點(diǎn)與輸出XX[mm]±０.５６66666輸出XX面的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量[g?mm2]515515515515515515驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷型號(hào) 電容量［μF］±20%3x2003x2003x5003x5003x10003x1000 態(tài)工作電流系數(shù)[μ/Hz˙μm]±200.220.80.40.80.80.8機(jī)體材料鋁合金鋁合金鋁合金鋁合金鋁合金鋁合金電壓聯(lián)接工作溫度范圍 [℃]-20～80-20～80-20～80-20～80-20～80-20～80電纜長(zhǎng)度[m]1.51.51.51.51.51.5 電壓接口連接器BNCBNCBNCBNCBNCBNC傳感接口連接器四芯航插------四芯航插------四芯航插重量〔含電纜聯(lián)接器〕[Kg]0.05RE53/RH13電壓驅(qū)動(dòng)線三根反響傳感器三根D6壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源及壓電陶瓷閉環(huán)操縱器名稱產(chǎn)品實(shí)圖功能說(shuō)明應(yīng)用舉例多功能壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源手動(dòng)操作計(jì)算計(jì)通信旋鈕操縱輸出模擬操縱紋形儲(chǔ)存功能多路壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源１到２０的數(shù)字型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電XX與計(jì)算機(jī)有通信功能，可軟件操作輸出操縱電壓手動(dòng)模擬壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源 模擬形壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源 手動(dòng)旋鈕操縱電壓輸出模擬操縱輸出波形操縱壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源 波形輸出壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源可同時(shí)輸出和單獨(dú)輸出軟件設(shè)置波形輸出大功率壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源多路傳感器處理單元多路壓電陶瓷輸出大功率壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源集成壓電陶瓷閉環(huán)操縱器集成壓電陶瓷操縱器計(jì)設(shè)定型構(gòu)造，可分為１通道，２通道和３通道，最多６通道模塊型壓電陶瓷操縱大主控模塊功率模塊傳感器模塊模塊化設(shè)計(jì)配置主用戶按實(shí)際應(yīng)用選擇高精度輸出位移，E1XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html名稱：多功能壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源產(chǎn)品特性輸出電壓通道：1～33過(guò)流保護(hù)功能、波形存儲(chǔ)，輸出功能 rry高性能操縱器及16位/D轉(zhuǎn)換專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸出同時(shí)具有過(guò)流、短路保護(hù)等功能具有高頻率響應(yīng)和極低的靜態(tài)電壓紋波10輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)控、液晶漢字顯示、薄膜按鍵輸入、RＨ11RＨ13編碼旋SPP具有可編程功能，具有VC動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)壓電陶瓷、驅(qū)動(dòng)進(jìn)口陶瓷產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)接法操縱壓電陶瓷，也可以把多支壓電陶瓷并聯(lián)驅(qū)動(dòng)，電容并聯(lián)電容量相加，總電容量增大，會(huì)影響輸出頻率特性；單路機(jī)箱及尺寸三路機(jī)箱及尺寸重量：3ｋｇ重量：5ｋｇE3名稱：多路壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源產(chǎn)品特性輸出電壓通道：2/4/5/62/4/5/616/D專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸出同時(shí)具有過(guò)流、短路保護(hù)等功能具有高頻率響應(yīng)和極低的靜態(tài)電壓紋波10輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)控、液晶漢字顯示、薄膜按鍵輸入、鍵盤輸入操縱、模擬信號(hào)輸入操縱、RＨ14RP16編碼旋SPP具有可編程功能，具有VC動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)壓電陶瓷、驅(qū)動(dòng)進(jìn)口陶瓷產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE4壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)接法操縱壓電陶瓷，也可以把多支壓電陶瓷并聯(lián)驅(qū)動(dòng)，電容并聯(lián)電容量相加，總電容量增大，會(huì)影響輸出頻率特性；單路機(jī)箱及尺寸三路機(jī)箱及尺寸重量：3ｋｇ重量：5ｋｇE5XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html名稱：十路模擬型／二十路數(shù)字型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源產(chǎn)品特性過(guò)流保護(hù)功能、波形存儲(chǔ)，輸出功能16/D專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸出同時(shí)具有過(guò)流、短路保護(hù)等功能具有高頻率響應(yīng)和極低的靜態(tài)電壓紋波10輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)控、液晶漢字顯示、薄膜按鍵輸入、RＨ210RＨ120編碼SPP具有可編程功能，具有VC動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)壓電陶瓷、驅(qū)動(dòng)進(jìn)口陶瓷產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE6壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)接法操縱壓電陶瓷，也可以把多支壓電陶瓷并聯(lián)驅(qū)動(dòng)，電容并聯(lián)電容量相加，總電容量增大，會(huì)影響輸出頻率特性；單路機(jī)箱及尺寸三路機(jī)箱及尺寸重量：3ｋｇ重量：5ｋｇE7XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html輸出電壓通道:1～3路;模擬輸入通道:1～3路;具有過(guò)流保護(hù)功能;輸出短路保護(hù)功;具有數(shù)值電壓顯示功能;輸出電壓旋鈕調(diào)整功能;模擬輸入具有電壓偏置功能;專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸出;RＨ21:簡(jiǎn)易電源RＨb21：手動(dòng)調(diào)整波形輸出電源模擬輸入可輸入正弦波.矩型波.三角波等交變信號(hào)進(jìn)口PZT陶瓷等產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)E8過(guò)流保護(hù)功能、波形存儲(chǔ)，輸出功能16/D專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸出同時(shí)具有過(guò)流、短路保護(hù)等功能具有高頻率響應(yīng)和極低的靜態(tài)電壓紋波10輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)控、液晶漢字顯示、薄膜按鍵輸入、鍵盤輸入操縱、模擬信號(hào)輸入操縱、RＨ31RH35SPPVC壓電陶瓷、驅(qū)動(dòng)進(jìn)口陶瓷產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE9波形輸出功能具體說(shuō)明可單獨(dú)或同時(shí)輸出5的任一波形矩形波設(shè)定：初值、占幅值、頻率升沿時(shí)間、下降沿時(shí)間、幅值、頻率值、頻率值、頻率置電壓、幅值、頻率tXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE10XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)接法操縱壓電陶瓷，也可以把多支壓電陶瓷并聯(lián)驅(qū)動(dòng)，電容并聯(lián)電容量相加，總電容量增大，會(huì)影響輸出頻率特性；單路機(jī)箱及尺寸三路機(jī)箱及尺寸重量：3ｋｇ重量：5ｋｇE11產(chǎn)品特性輸出電壓通道:1～3路;輸出短路保護(hù)功;模擬輸入具有電壓偏置功能;專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸出;模擬輸入可輸入正弦波.矩型波.三角波等交變信號(hào)進(jìn)口PZT陶瓷等產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE12產(chǎn)品特性輸出電壓通道：1～33過(guò)流保護(hù)功能、波形存儲(chǔ)，輸出功能16/D專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸出同時(shí)具有過(guò)流、短路保護(hù)等功能具有高頻率響應(yīng)和極低的靜態(tài)電壓紋波10輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)控、液晶漢字顯示、薄膜按鍵輸入、鍵盤輸入操縱、模擬信號(hào)輸入操縱、SPPVC壓電陶瓷、驅(qū)動(dòng)進(jìn)口陶瓷操縱通道1～３路輸出電壓范圍/D/)±５或±１０/〔16bit〕輸出區(qū)分率0.5mV/D)±５或±１０/〔16bit〕可設(shè)置偏置電壓軟件、手動(dòng)液晶屏ＬＣＤ液晶顯示屏鍵盤４x4通信接口USB2.0、USB１.1、RS232(串口)手動(dòng)鍵盤設(shè)置輸出正弦、方波、三角波、梯形波、鋸齒波電腦軟件鍵盤設(shè)置輸出正弦、方波、三角波、梯形波、鋸齒波自編程二次開(kāi)發(fā)操縱ＶＣ＋＋、DLL傳感器模塊傳感器類型ＬＶＤＴ(電感)或ＳＧＳ(電阻)通道1～３路傳感器采集信號(hào)輸出電壓〕ＶXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlF1XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html傳感器采集信號(hào)連接器四芯航空插頭供電機(jī)箱供電電源電壓要求C220±10％Ｖ供電電源頻率要求50±10％Hz工作溫度要求-10～45℃相對(duì)濕度1V)2K1K0.8K機(jī)體構(gòu)造材料7075供給技術(shù)資料包括CD安裝尺寸圖,SolidWorks三維圖,調(diào)試文件,安裝與使用手冊(cè)輸出引線BNC孔端連接器,線長(zhǎng)1.5m,傳感器線長(zhǎng)1.5m,I2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlZXX產(chǎn)品特點(diǎn)放大機(jī)械體承受壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)承受有限元分析，優(yōu)化構(gòu)造尺寸頻率響應(yīng)快，帶負(fù)載力量大，構(gòu)造簡(jiǎn)潔壓電陶瓷分布位置為三點(diǎn)支撐，間隔120度，壓電陶瓷具有防震設(shè)計(jì)，消退震蕩對(duì)壓電陶瓷損傷；此產(chǎn)品為大推力構(gòu)造設(shè)計(jì)，適用于輸出力大的實(shí)際應(yīng)用；有限元分析，設(shè)計(jì)優(yōu)化，用客可訂制產(chǎn)品用戶可依據(jù)自己的應(yīng)用不同可訂制加工位口；產(chǎn)品名稱：大推力ZXX型號(hào)RH3KN150V3000N150V60輸出端摩擦片材料7075輸出端摩擦片可更換驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷數(shù)量3壓電陶瓷具有手動(dòng)預(yù)緊和微調(diào)輸出端位移功能3支均可調(diào)節(jié)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電壓0～150V壓電陶瓷電容量18響應(yīng)頻率(注:小信號(hào)峰峰值:Vpp>1V2K摩擦片數(shù)量4/7075機(jī)體構(gòu)造材料7075供給技術(shù)資料CD,SolidWorks手冊(cè)輸出引線BNC1.5m外形構(gòu)造尺寸I3XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html產(chǎn)品特點(diǎn)適合于兩相步進(jìn)電機(jī)1－4位置、速度和零位返回三種工作模式用戶可編程的線性和S曲線加減速操縱電隔離)光電隔離的CW/CCW或CP/DIR脈沖輸出方式空閑脈沖輸出功能外部啟動(dòng)／停頓操縱最大步進(jìn)速率400KPPS1－16,777,2158200m8名稱：四軸步進(jìn)電機(jī)操縱卡型號(hào)R-b4P4操縱軸數(shù)4〔4XX〕操縱方式1－4操縱信號(hào)光電隔離的CW/CCW或CP/DIR脈沖輸出方式I/O操縱8/8聯(lián)系方式計(jì)算機(jī)PCI插槽操作方式計(jì)算機(jī)軟件外部電壓DC+12V～+24V±10%限位信號(hào)EL+(正限位)/SD+(正減速限位)/ORG(零位)/SD-(負(fù)減速限位)/EL-(負(fù)限位)方框圖運(yùn)動(dòng)操縱卡需要安裝在計(jì)算機(jī)PCI插槽，基于總線(PCI)傳輸數(shù)據(jù)，操縱在計(jì)算機(jī)軟件上操作，J1產(chǎn)品特點(diǎn)1－4最高脈沖輸出頻率可達(dá)6.4MHz，可以操縱脈沖串輸入型伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)S/減速功能位置、速度、原點(diǎn)返回和手動(dòng)編碼器跟隨四種工作模式13脈沖輸出為CP/DIR脈沖方向方式、CW/CCW雙脈沖方脈沖輸出為差動(dòng)或單端方式二到四軸直線插補(bǔ)以及任何兩軸之間的圓弧插補(bǔ)每軸4個(gè)光電隔離的機(jī)械信號(hào)接口：正、負(fù)限位開(kāi)關(guān)、減速開(kāi)關(guān)、零位開(kāi)關(guān)每軸5個(gè)光電隔離的伺服電機(jī)專用信號(hào)接口：INPLM、ERC、SVON、SRDY◆每軸增量編碼器信號(hào)接口，差動(dòng)或單端方式，28位加/減計(jì)數(shù)功能運(yùn)動(dòng)中可轉(zhuǎn)變速度或目標(biāo)位置沖，可以削減到達(dá)停頓前的振動(dòng)校正，以降低或消退傳動(dòng)機(jī)構(gòu)間隙對(duì)位置操縱精度的影響〔在進(jìn)展圓弧插補(bǔ)時(shí)，不能進(jìn)展間隙補(bǔ)償〕關(guān)，均對(duì)進(jìn)給量進(jìn)展校正縱卡的更多軸可同時(shí)啟動(dòng)、同時(shí)停頓；可以由一條指令或一個(gè)外部信號(hào)的觸發(fā)而同時(shí)停頓運(yùn)動(dòng)。輸入信號(hào)模式可以是90°相差信號(hào)(解碼方式可以是1倍頻，2倍頻或4倍頻)或者雙脈沖信號(hào)〔在P上輸PB〕起動(dòng)頻率(FL)輸出一個(gè)預(yù)定個(gè)數(shù)的脈沖串，在加速過(guò)程中，假設(shè)初始速度設(shè)置得較高，此功能可以有效地防止丟步的脈沖數(shù)和從反響編碼器讀回的脈沖數(shù)之差進(jìn)展計(jì)數(shù)，通過(guò)這個(gè)偏差計(jì)數(shù)器可以進(jìn)展失步檢測(cè)或推斷運(yùn)動(dòng)是否到位置到達(dá)軟件限位值時(shí)，馬上停頓或減速脈電機(jī)運(yùn)動(dòng)，之后，這些軸只能向與以前運(yùn)動(dòng)方向相反的方向運(yùn)動(dòng)COUNTER1〔指令位置計(jì)數(shù)器、COUNTER2〔機(jī)械位置計(jì)數(shù)器、COUNTER3〔偏差計(jì)數(shù)器〕和COUNTER4〔通用計(jì)數(shù)器〕之間12〔+SL、-SL〕可編程中斷功能ID1616200m16MS-DOS Borlnd C/C++ 函 數(shù) 庫(kù) ，Windows-98/ME/NT/XP/2023DLL試系統(tǒng)性能供給軟件編程例程XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlJ2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html名稱：四軸伺服電機(jī)操縱卡型號(hào)R-S4P4操縱軸數(shù)4軸參考時(shí)鐘19.2MHz減速點(diǎn)設(shè)定自動(dòng)2～4范圍-134，217，728～+134，217，727〔28〕速度1PPS～6.4MPPS精度±0.5LSB范圍-134，217，728～+134，217，727〔28〕速度1PPS～6.4MPPS精度±0.5LSB連續(xù)插補(bǔ)速度脈沖輸出速度1PPS～6.4MPPS精度±0.1%加速度/減速度自動(dòng)設(shè)定 FL速度1PPS～6.4MPPSFH速度1PPS～6.4MPPS位置脈沖范圍-134，217，728～+134，217，727〔28〕編碼器反響輸入計(jì)數(shù)范圍-134，217，728～+134，217，727〔28〕最大輸入頻率1MHz通用數(shù)字輸入口數(shù)量16電壓+12V～+24V±10%通用數(shù)字輸出口數(shù)量16電流最大200m電壓+12V～+24V±10%外部電壓DC+12V～+24V±10%J3XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html電機(jī)驅(qū)動(dòng)箱〔與操縱卡配套使用〕產(chǎn)品特點(diǎn)每一軸都可以單獨(dú)操縱 各軸都可以同時(shí)或分別動(dòng)作 具有硬件限位功能每軸具有歸零功能，可設(shè)置零點(diǎn)每軸軟件上都有電機(jī)步距角設(shè)定驅(qū)動(dòng)器細(xì)分?jǐn)?shù)設(shè)定輸入和顯示末端運(yùn)行值可選擇：步數(shù)、毫米、度數(shù)等循環(huán)次數(shù)可以設(shè)定每一軸都可以單獨(dú)操縱，各軸都可以同時(shí)或分別動(dòng)作每軸具有硬件限位功能每軸具有歸零功能，可設(shè)置零點(diǎn)每軸軟件上都有電機(jī)步距角設(shè)定，驅(qū)動(dòng)器細(xì)分?jǐn)?shù)設(shè)定輸入和顯示末端運(yùn)行值可選擇：步數(shù)、毫米、度數(shù)好的參數(shù)自動(dòng)運(yùn)行多軸可以同時(shí)運(yùn)行,按設(shè)定的參數(shù)自已循環(huán),循環(huán)次數(shù)可以設(shè)定名稱：電機(jī)驅(qū)動(dòng)箱〔注：與操縱卡配套使用〕指標(biāo)\型號(hào)Rb1Rb2Rb3Rb4Rb5Rb6操縱電機(jī)數(shù)123456I/O888888正限(+EL123456負(fù)限位〔-EL〕123456零位(ORG123456最大速度400kpps脈沖操縱CW/CCW/CP/DIR驅(qū)動(dòng)線+/-/B+/B-電移XX接口DB9具有光柵尺接口DB9上位機(jī)軟件操縱有具有可編程操縱動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)具有例如軟件有電源電壓要求V220±10％電源頻率要Hz50±10％J4多功能操縱器rry可操縱步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的位移XX和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)XX；多功能操縱器具有過(guò)流保護(hù)功能,波形存儲(chǔ)；液晶漢字顯示,薄膜按鍵輸入.鍵盤輸入操縱,波形操縱；微動(dòng)操縱具有可編程功能,上位機(jī)串口操縱.模擬信號(hào)輸入控；16/D專用運(yùn)算放大電路保證了高壓大電流輸；同時(shí)具有過(guò)流；短路保護(hù)等功能；具有高頻率響應(yīng)和極低的靜態(tài)電壓紋波；10輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)；驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷雙晶片；驅(qū)動(dòng)疊層型壓電陶瓷；驅(qū)動(dòng)封裝開(kāi)閉壓電陶瓷；名稱：多功能操縱器指標(biāo)\型號(hào)R-hb輸出通道1～4電壓輸出范圍(V)-20～+150-20～+200-20～+300±150±200±300電壓輸出阻抗(Ω)＜20模擬輸入電壓(V)±105模擬輸入阻抗(kΩ)＜1000.3電壓穩(wěn)定性(24小時(shí))＜0.1%電壓輸出入監(jiān)控LCD顯示電壓顯示(LCD液晶)128x64鍵4x4電壓顯示區(qū)分率(mV5過(guò)流\短路保護(hù)電流(m>500電源靜態(tài)電壓紋波(mV)≤20動(dòng)態(tài)頻率(KHz)負(fù)載(2uF2電源階躍響應(yīng)(ms2V220±10％Hz50±10％步進(jìn)電機(jī)操縱模塊操縱軸數(shù)1～4/D30～5V〕驅(qū)動(dòng)線+/-/B+/B-最大輸入數(shù)值-32767～+32767I/o3最大驅(qū)動(dòng)速度400kpps細(xì)分?jǐn)?shù)0-128最小驅(qū)動(dòng)速度1pps驅(qū)動(dòng)電流0.25～1.4傳感器類型常開(kāi)〔24v)直流電輸出5v/24vXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlJ5XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX產(chǎn)品特點(diǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與光纖夾具分別設(shè)計(jì)；256細(xì)分；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)承受斜齒，保證傳動(dòng)平移牢靠；步進(jìn)電機(jī)后端具有手動(dòng)調(diào)整功能；表銀白色設(shè)計(jì)，吸光量??；XX型號(hào)指標(biāo)Rzt1360單位產(chǎn)品構(gòu)造尺寸最大轉(zhuǎn)角360o(度)電機(jī)類型步進(jìn)電機(jī)(1.8o)齒輪傳動(dòng)類型斜齒傳動(dòng)比步進(jìn)電機(jī)輸入：光纖軸輸出=2.0831區(qū)分率0.0067128o(度)重復(fù)定位精度0.005o(度)機(jī)重0.25kg材料鋁合金/XX/尼龍可拆卸光纖夾具頭φ120μm可選(φ900μmφ650μmφ250μmφ120μm、等)最大負(fù)載0.5kg工作溫度范圍-20～+80oC接線圖+/-/B+/B-(選四線接線方法)驅(qū)動(dòng)器接線圖0.45/0.6(電機(jī)熱量很大)RxK1XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlZ軸楔形高精度電動(dòng)位移平XX產(chǎn)品特點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)配備步進(jìn)電機(jī)，運(yùn)動(dòng)操縱器可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)操縱;精研絲桿副驅(qū)動(dòng)，區(qū)分率高;導(dǎo)軌承受穿插滾柱導(dǎo)軌，運(yùn)行舒適，線性度好，承載大;楔形升降，整體高度底，運(yùn)行平穩(wěn);Z軸平XX垂直導(dǎo)向承受周密線性滑塊導(dǎo)軌，定位精度高，穩(wěn)定性好;密封承受不銹鋼材料，抗熱屑和激光;XX定器件;名稱：Z軸楔形高精度電動(dòng)位移平XX型號(hào)Jmv10Jmv10S行程10mm；10mm；螺桿導(dǎo)程2mm2mm區(qū)分率〔步進(jìn)電機(jī)細(xì)分?jǐn)?shù)：128〕:0.001〔步進(jìn)電機(jī)細(xì)分?jǐn)?shù)：128〕:0.001重復(fù)定位度0.005mm0.0005mm標(biāo)配電機(jī)42步進(jìn)電機(jī)〔1.8°〕42步進(jìn)電機(jī)〔1.8°〕最大靜轉(zhuǎn)矩1.0Nm1.0Nm額定工作電1.51.5反響單元無(wú)有正負(fù)限位開(kāi)關(guān)有有傳感器接線無(wú)有zK2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html壓電陶瓷轉(zhuǎn)體機(jī)構(gòu)產(chǎn)品特點(diǎn)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)速度快；微小的角變形量，可以無(wú)窮小的區(qū)分率；具有軸向轉(zhuǎn)動(dòng)和徑向轉(zhuǎn)動(dòng)兩種；有限元分析，設(shè)計(jì)優(yōu)化，用客可訂制產(chǎn)品名稱：軸向扭曲壓電陶瓷管型號(hào)型號(hào)外形尺寸＝內(nèi)徑×外徑×厚度［mm］標(biāo)稱軸向扭曲角［um@150V］〔±10%〕剛度［N/um］頻率〔小信號(hào)輸入〕PztXΦ20Φ20×Φ40×<30注(外徑尺寸跟據(jù)實(shí)設(shè)計(jì)可適量調(diào)整)0°~0.02°1084kzH靜態(tài)圖動(dòng)態(tài)圖0~150V名稱：徑向扭曲壓電陶瓷管型號(hào)外形尺寸＝內(nèi)徑×外徑×厚度［mm］標(biāo)稱徑向扭曲角V〔±%〕剛度［N/um］頻率〔小信號(hào)輸入〕PztRΦ20Φ20×Φ40×<30注(外徑尺寸跟據(jù)實(shí)設(shè)計(jì)可適量調(diào)整)0°~0.02°1084kzH靜態(tài)圖動(dòng)態(tài)圖0~150VK3XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX