回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺校準規(guī)范

JJF××××─××××I JJF××××─××××JJF××××─××××本規(guī)范主要適用于配合激光干涉儀組合使用的3.1.漂移drift圖1回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)示意圖JJF××××─××××2角度作為與被測回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)角度的比較基準參與完成被測回轉(zhuǎn)軸角位置誤差測量。角度反射鏡與激光干涉儀、角度干涉鏡配合使用JJF××××─××××37.1.2相對濕度50±10）%RH。7.1.6校準前，被校準的回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺與校準所用其他儀器及標準器應(yīng)置于表1校準項目和校準工具序號校準項目主要校準工具1外觀及各部分相互作用2預熱時間計時器、激光干涉儀3漂移激光干涉儀4分辨力電動轉(zhuǎn)臺、激光干涉儀5角分度誤差激光干涉儀、電動轉(zhuǎn)臺或多齒分度臺6測角重復性激光干涉儀、電動轉(zhuǎn)臺或多齒分度臺7測角回程誤差激光干涉儀、電動轉(zhuǎn)臺或多齒分度臺表2校準工具技術(shù)參數(shù)序號校準工具技術(shù)參數(shù)1激光干涉儀位移測量最大示值誤差≤0.5ppm；激光穩(wěn)頻精度≤0.05ppm。2電動轉(zhuǎn)臺角分度誤差優(yōu)于0.2″；測角重復性優(yōu)于0.05〞；分辨力優(yōu)于0.03〞。3多齒分度臺JJF××××─××××4回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺電源開啟到激光干涉儀的激光頭進入穩(wěn)定工作狀態(tài)的時穩(wěn)定后，記錄轉(zhuǎn)臺的角位置初始值θ0，觀察2h，每10min記錄一次轉(zhuǎn)臺的被校準回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺的最終漂移值以各位圖2回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺校準示意圖光干涉儀讀數(shù)a。重復上述試驗3次，記下JJF××××─××××5R=R1+R2+R3)/3R=R1+R2+R3)/3a——被測轉(zhuǎn)臺在a位置增加當量指令角度R0后的激光干涉儀多齒分度臺）以θ0步距轉(zhuǎn)動,并在各名義位置處停留足夠時間，使得激光干涉儀2）測角重復性的校準裝置與角分度誤差的校準裝測量點位置相同讀取測量裝置第一周激光干涉儀在各測點處角位置偏差δ1，f=δ+1?δf=δ+1?δfi?f2（3）fi——第一周相鄰測點測量值之差；JJF××××─××××6f——第一周相鄰測點測量值之差；Δ重——測角重復性。按角分度誤差測量方法，正、反各測量一周（正、反測量點位置相同取JJF××××─××××7激光干涉儀，位移測量最大示值誤差0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度≤0.05ppm；多齒分度臺）以θ0步距轉(zhuǎn)動,并在各名義位置處停留足夠時間，使得激光干涉儀U(δ)=U(δiA.1）JJF××××─××××8A.4.1電動轉(zhuǎn)臺測角誤差引入的不確定度分量uδi1)A.4.2被校準測角轉(zhuǎn)臺與電動測角轉(zhuǎn)臺之間的安裝位姿偏差uδi2)a)被校準轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸線與電動轉(zhuǎn)臺測量軸線之間的傾斜角偏差α引入的阿貝b)被校準轉(zhuǎn)臺激光測量路徑與電動轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)平面之間的安裝夾角偏差β引入c)被校準轉(zhuǎn)臺角度反射鏡中心線與電動轉(zhuǎn)臺中心線不垂直偏差ω引入的余弦Eθ2=θ,-θJJF××××─××××9則由被校準測角轉(zhuǎn)臺與電動測角轉(zhuǎn)臺之間的安裝位姿偏差引入的標準不確A.4.3環(huán)境波動引入的不確定度分量uδi3某型回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺角度通過氦氖激光發(fā)生器發(fā)出激光長度測量轉(zhuǎn)化成環(huán)境影響因素環(huán)境條件引入誤差空氣溫度（20±0.5）℃空氣濕度（50±5）%RH壓力波動0.28ppm試驗過程中，測量長度約為0.5m，則環(huán)境因素導致的氦氖激光發(fā)生器產(chǎn)生測長誤差為0.48ppm,即0.000023mm,角度測量過程兩反光鏡之間距離為40mm,E(θ)=atan(0.000023/40)=0.13″則由環(huán)境因素引入的測角誤差不確定度分量為u(δ3uδ