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文檔簡介

集成電路工藝技術(shù)

系列講座集成電路工藝技術(shù)講座

第一講集成電路工藝技術(shù)引言和

硅襯底材料引霸言集梯成謹(jǐn)電高路牢工卻藝株技筆術(shù)撞發(fā)織展肆趨紛勢器悶件握等源比手例酒縮理小宜原閘理平鹽面世工琴藝單膨項囑工莖藝工俊藝憑整論合集便成圈電啄路死制接造掩環(huán)忽境講氣座能安背排集榨成識電堵路應(yīng)技面術(shù)俯發(fā)鴉展廟趨協(xié)勢特弱征木線友寬精不光斷混變首細(xì)失、揪集規(guī)成桂度敞不搞斷拿提嚇高摩禿爾玻定推律拌:燭芯恩片微上燥晶冠體碗管宋每復(fù)一赴年航半敗翻拒一摘番芯駝片獸和沃硅迎片歲面單積售不鍵斷替增甩大數(shù)散字挽電須路艇速章度廳不器斷換提族高結(jié)榜構(gòu)川復(fù)寒雜摔化喊、寨功嶼能熟多響元恭化芯較片論價勒格匆不彩斷雪降鳴低I個C秒技習(xí)術(shù)燥發(fā)虹展廁趨輕勢常(咐1北)特吵征而線蝴寬亞隨耀年欠代信縮挪小I雞C肌技彈術(shù)餐發(fā)鍵展頁趨洽勢箏(流1拴)特陡征呀線刑寬便隨置年珠代拆縮嘆小19881992199519971999200120022005CD(um)1.00.50.350.250.180.150.130.10I愉C避技客術(shù)寇發(fā)建展疲趨黎勢趕(辰1款)集御成克度影不廢斷所提唯高你-逝摩清爾威定鍛律I械C詞技挖術(shù)攀發(fā)忽展緩趨侵勢寶(津2殊)硅臨片叫大疤直貿(mào)徑菜化直徑mm(inch)75(3)100(4)125(5)150(6)200(8)300(12)引入年代197219751977198419901997I弓C窮技癥術(shù)街發(fā)煙展渡趨伐勢閘(啦3猛)C睜P套U茅運雙算泰能閑力年代CPU型號運算能力(MIPS)19822861198838681991486201995Pentium1001996Pentium-22501998Pentium-38002001Pentium-42000I筐C朝技省術(shù)松發(fā)騙展汁趨真勢螺(筒4織)結(jié)炸構(gòu)繞復(fù)溝雜匯化草功竭能栗多乘元田化B日i教p筍o鞠l覺a鈔rC敘M下O容SB變i曬C倚M筍O應(yīng)SD辛M朵O潔SB集C款DI麻C螞技際術(shù)今發(fā)讀展幣趨點勢灑(襖5相)芯孔片皂價銀格流不坊斷引降喝低M頁O全S范F磨E賞T下等肚比怎例加縮骨小基級本典長傳溝紹道埋M解O屯S錢F她E子T嶺器腳件弟特釀性短枯溝夏道瓶效圣應(yīng)*縫開圍啟倡電孫壓搏V閱t傻h熊下粥降*乞漏游極獅導(dǎo)剛致雅勢鋒壘絹下勉降*基源毯漏撐穿起通*積亞咐開歐啟段電冬流死增肌加基殼本申長抽溝犬道絕M莫O柜S朽F膨E鑰T凡器幣件VDPn緩+n燒+Q紗n價(沉y侮)拔=戰(zhàn)-椅[繳V林g豈-宿V琴(禁y錄)簽-渠2

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