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序號描述及技術(shù)配置1.顯微轉(zhuǎn)移操作平臺1.顯微轉(zhuǎn)移操作平臺:a.四軸可調(diào)襯底載物平臺:XY方向行程20mm,轉(zhuǎn)移對位操作精度2μm;繞z軸手動調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)最大±90°,測微器精細調(diào)節(jié),行程5°,調(diào)節(jié)精度0.5°左右;繞x軸和y軸傾斜臺,調(diào)節(jié)方式手動轉(zhuǎn)輪,臺面厚度20mm,傾斜角度±2°。b.襯底載物平臺加熱系統(tǒng):樣品臺加熱最高溫度為240℃,使用PID溫度控制器,溫度控制穩(wěn)定性小于±1℃(穩(wěn)定性≦±0.1℃),帶加熱開關(guān)。c.四軸可調(diào)載玻片移動平臺:載玻片XYZ三軸可調(diào),80mm高穩(wěn)定性臺面,行程25mm,測微絲桿控制;Z軸為29mm直徑百刻線微分頭,便于精細升降操作;樣品送入手動旋轉(zhuǎn)臺,臺面直徑100mm,粗調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍360°,細調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍±5°,定位精度1~2°;d.支持真空自動吸附樣品,確保轉(zhuǎn)移過程中目標樣品位置精確固定;真空泵電磁閥控制,按鈕控制是否吸附樣品;真空泵:25L-35L/min流量;e.雙邊載玻片夾具:輔助夾具片2片,夾具片75*25*1.5mm;f.集成控制機箱:集成機柜包括電源、顯微鏡LED控制、溫度控制、真空開關(guān)控制,工作電壓220V,最大輸出功率800W;2.顯微成像光路系統(tǒng):a. 單筒顯微鏡:變倍比1:6.5,變倍范圍0.7X-4.5X,標準工作距離90mm,分辨率63-180lp/mm,95mm超長工作距離20倍物鏡,綜合最大放大倍率850~900倍;雙固定位設(shè)計,高倍放大下圖像無明顯抖動。b.白色LED照明:同軸照明系統(tǒng),選用高亮度單顆1WLED,色溫5500K,照明均勻;LED照明控制器90V-250V寬電壓,1WLED控制器,可調(diào)光;c.顯微相機:1920x1080高靈敏度CMOS傳感器,30fps速度保存;支持HDMI相機直接輸出到顯示器;曝光時間0.4ms~999ms,自動白平衡;支持WIFI數(shù)據(jù)傳輸;提供顯微相機操作軟件,支持電腦控制,可軟件測量顯微樣品尺寸及角度;工作溫度-10~50攝氏度。d.顯微觀察支架:一體式高穩(wěn)定性支架,長寬高240mm*100mm*100mm,重量20kg,支持沿xy方向50mm行程,可大范圍調(diào)節(jié)顯微鏡觀察位置;e.顯示器:24英寸1920*1200全高清專業(yè)顯示器??蛇x升級選項(OptionalAccessries)O11.二維材料光纖轉(zhuǎn)移模塊:可實現(xiàn)光纖頭的懸空固定,標配FC/SMA兩種適配接口,光纖頭XY移動行程13mm,旋轉(zhuǎn)范圍360°。通過夾具的設(shè)計可實現(xiàn)將二維材料精確定位轉(zhuǎn)移至光纖截面,可與常規(guī)轉(zhuǎn)移操作兼容。2.二維材料金剛石高壓對頂砧轉(zhuǎn)移模塊:E1-S通過特殊設(shè)計的夾具和樣品臺,可同時滿足二維材料常規(guī)轉(zhuǎn)移和金剛石對頂砧轉(zhuǎn)移(該模塊不含高壓DAC,可根據(jù)客戶尺寸進行樣品臺定制),可進一步滿足二維材料高壓實驗樣品的制備(含樣品臺高溫模塊),;O2多物鏡配置:5孔物鏡轉(zhuǎn)盤;95mm超長工作距離物鏡:5倍物鏡工作距離44mm,;10倍物鏡工作距離34mm;50倍物鏡工作距離20.1mm,2.樣品臺加熱最高溫度為300℃模塊(帶水冷模塊)3.標準室溫環(huán)境下,液晶顯示0.1度高精度PID控溫器及電源4.手套箱內(nèi)使用環(huán)境安裝(需提前溝通、確認安裝方案)5.配套阻尼式光學防震平臺,降低高倍操作下的環(huán)境擾動(長寬厚600*600*50mm臺面+6250元,長寬厚900*600*50mmO31.電動面內(nèi)旋轉(zhuǎn)模塊及控制器,應用方向雙層扭曲石墨烯及各類扭曲、錯位異質(zhì)結(jié)器件,最小旋轉(zhuǎn)精度0.01°2.電動樣品Z軸升降模塊及控制器,行程范圍20mm,速度范圍0.05-2mm/s,最小行程精度0.5um。應用方向:異質(zhì)結(jié)慢速貼合、手套箱內(nèi)自動貼合等3.電動X/Y兩軸精密位移平臺及控制器
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