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場效應(yīng)管,簡稱FET(FieldEffectTransistor)。(a)
輸入電阻高,可達(dá)107~1015W。(b)
起導(dǎo)電作用的是多數(shù)(一種)載流子,又稱為單極型晶體管。(c)
體積小、重量輕、耗電省、壽命長。(d)
噪聲低、熱穩(wěn)定性好、抗輻射能力強(qiáng)和制造工藝簡單。(e)
在大規(guī)模集成電路制造中得到了廣泛的應(yīng)用。場效應(yīng)管的主要特點(diǎn)1-5場效應(yīng)管(FieldEffectTransistors,FET)場效應(yīng)管,簡稱FET(FieldEffectTransistor)。(a)
輸入電阻高,可達(dá)107~1015W。(b)
起導(dǎo)電作用的是多數(shù)(一種)載流子,又稱為單極型晶體管。(c)
體積小、重量輕、耗電省、壽命長。(d)
噪聲低、熱穩(wěn)定性好、抗輻射能力強(qiáng)和制造工藝簡單。(e)
在大規(guī)模集成電路制造中得到了廣泛的應(yīng)用。場效應(yīng)管的主要特點(diǎn)1-5-2絕緣柵場效應(yīng)管(InsulatedGateFET)MOS場效應(yīng)管增強(qiáng)型耗盡型N溝道P溝道N溝道P溝道MOSFET(MetalOxideSemiconductorFET)結(jié)型場效應(yīng)管(JFET)N-溝道P-溝道MOS管增強(qiáng)型耗盡型N-溝道P-溝道N-溝道P-溝道場效應(yīng)管SiO2結(jié)構(gòu)示意圖P型硅襯底源極S柵極G漏極D增強(qiáng)型MOS場效應(yīng)管(EnhancementMOS)襯底引線BN+N+DBSG傳統(tǒng)符號1.
N溝道增強(qiáng)型DSGSiO2結(jié)構(gòu)示意圖N型硅襯底源極S柵極G漏極D襯底引線BP+P+DBSG符號2.
P溝道增強(qiáng)型MOSDSG兩端的MOS電容器結(jié)構(gòu)(a)平板電容器(b)負(fù)柵壓偏置的MOS電容器(c)有空穴累積層的MOS電容器gategate(a)正柵壓偏置的MOS電容器(P型襯底)(b)正等程度的正柵壓偏置的MOS電容器(P型襯底)(c)較大正柵壓偏置的MOS電容器(P型襯底)(a)正柵壓偏置的MOS電容器(N型襯底)(b)中等負(fù)柵壓偏置的MOS電容器(N型襯底)(c)較大負(fù)柵壓偏置的MOS電容器(N型襯底)增強(qiáng)型NMOS的工作原理SiO2結(jié)構(gòu)示意圖P型硅襯底耗盡層襯底引線BN+N+SGDUDSID
=0
D與S之間是兩個PN結(jié)反向串聯(lián),無論D與S之間加什么極性的電壓,總有一個PN結(jié)是反向偏置,漏極電流均接近于零。(1)UGS=0,UDS>0增強(qiáng)型NMOS管的工作原理P型硅襯底N++BSGD。耗盡層ID=0(2)0<UGS
<VT
由柵極指向襯底方向的電場使空穴向下移動,電子向上移動,在P型硅襯底的上表面形成耗盡層。仍然沒有漏極電流。UGSN+N+UDS1.增強(qiáng)型NMOS管VT:使
NMOS管導(dǎo)通的開啟電壓。柵極和P型硅片相當(dāng)于以二氧化硅為介質(zhì)的平板電容器d電場EV
平板電容器EdPtypeVTN:thresholdvoltage,thegatevoltagerequiredtoturnonthetransistorV反型層P型硅襯底N++BSGD。UDS耗盡層ID
柵極下P型半導(dǎo)體表面形成N型導(dǎo)電溝道,當(dāng)D、S加上正向電壓后可產(chǎn)生漏極電流ID。
(3)UGS>VTN型導(dǎo)電溝道N+N+UGS1.增強(qiáng)型NMOS管
通過控制UGS來控制導(dǎo)電溝道的寬度,從而控制電流ID。OxidePtypeGSDG耗盡層OxidePtypeSDOxidePtypeGSDOxidePtypeGSD(3)uGS>VTN4321051015UGS
=5V6V4V3V2V增強(qiáng)型
NMOS
管的特性曲線
飽和區(qū)擊穿區(qū)可變電阻區(qū)2.E型場效應(yīng)管的特性曲線輸出特性ID/mA0123246UGS
/
VVT轉(zhuǎn)移特性UDS/VID/mA截止區(qū)UDS=10Vprocessconductionparameter,N溝道EMOS直流分析Vth是增強(qiáng)型MOSFET開始形成反型層所需的vGS值,稱為開啟電壓。對E型NMOS管,Vth為正值,對E型PMOS管,VGS(th)為負(fù)值。反型層出現(xiàn)后,SD極間出現(xiàn)導(dǎo)電溝道,vGS越大,導(dǎo)電溝越厚,載流子濃度越大,導(dǎo)電能力越強(qiáng),溝道電阻越小。E型PMOS管和NMOS管
的UGS和UDS電壓極性相
反,iD方向也相反。輸出
特性曲線的形狀相似輸出特性曲線處于第三象限E型PMOSFET工作原理結(jié)構(gòu)示意圖P型硅襯底源極S漏極D柵極G襯底引線B耗盡層3.N溝道耗盡型MOSFETN+N+正離子N型溝道SiO2DBSG傳統(tǒng)符號
制造時,在二氧化硅絕緣層中摻入大量的正離子,形成原始導(dǎo)電溝道簡化符號D型NMOSFET工作原理D型NMOS管
和E型NMOS
管結(jié)構(gòu)基本相
同,區(qū)別僅在
于導(dǎo)電溝道事
先存在,在
UGS=0的時候,
iD也不等于0。
當(dāng)UGS=VP
時,導(dǎo)電溝道
消失,iD=0。vGS=0時iD>0D型MOSFET的伏安方程:恒流區(qū)VP表示夾斷電壓。增強(qiáng)型管用Vth表示開啟電壓。耗盡型p-溝道MOSFETCMOS(ComplementaryMOSFET)多晶硅:由大量結(jié)晶方向不相同的硅單晶體組成的硅晶體幾乎不導(dǎo)電溝道長度調(diào)制效應(yīng)溝道長度調(diào)制系數(shù)擊穿效應(yīng)當(dāng)Vds大到一定程度,漏極與襯底間的PN結(jié)發(fā)生雪崩擊穿,導(dǎo)致漏極電流大大增加。N溝道EMOS做
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