GB/T 30652-2023硅外延用三氯氫硅

ICS29045

CCSH.83

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T30652—2023

代替GB/T30652—2014

硅外延用三氯氫硅

Trichlorosilaneforsiliconepitaxial

2023-08-06發(fā)布2024-03-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T30652—2023

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替硅外延用三氯氫硅與相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和

GB/T30652—2014《》,GB/T30652—2014,

編輯性改動(dòng)外主要技術(shù)變化如下

,:

更改了適用范圍見第章年版的第章

a)(1,20141);

增加了術(shù)語和定義一章見第章

b)(3);

更改了部分技術(shù)指標(biāo)要求見年版的

c)(4.1,20143.2);

增加了部分項(xiàng)目的試驗(yàn)方法見第章年版的第章

d)(5,20144);

更改了組批的規(guī)定見年版的

e)(6.2,20145.2);

增加了檢驗(yàn)項(xiàng)目見

f)(6.3);

更改了取樣和制樣的要求見年版的

g)(6.4,20145.3);

更改了檢驗(yàn)結(jié)果的判定見年版

h)(6.5,20145.4);

更改了標(biāo)志的要求見年版的

i)(7.1,20146.1);

更改了標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存等的要求見第章年版的第章

j)、、、(7,20146)。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草單位洛陽中硅高科技有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司上海億鈳氣

:、、

體有限公司南京國(guó)盛電子有限公司唐山三孚電子材料有限公司上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司上海

、、、、

晶盟硅材料有限公司新疆大全新能源股份有限公司陜西有色天宏瑞科硅材料有限責(zé)任公司武漢新

、、、

硅科技潛江有限公司宜昌南玻硅材料有限公司中電晶華天津半導(dǎo)體材料有限公司昊華氣體有限

、、()、

公司新疆新特新能材料檢測(cè)中心有限公司青海中航硅材料有限公司沁陽國(guó)順硅源光電氣體有限公

、、、

司江西晨光新材料股份有限公司

、。

本文件主要起草人萬燁趙雄嚴(yán)大洲劉見華張園園李素青李建新李飛明馮永平孫任靖

:、、、、、、、、、、

張斌顧廣安于生海鄧遠(yuǎn)紅徐巖李楷東劉文明李明達(dá)付夢(mèng)月邱艷梅邊紅利史雋濤梁秋鴻

、、、、、、、、、、、、。

本文件于年首次發(fā)布本次為第一次修訂

2014,。

Ⅰ

GB/T30652—2023

硅外延用三氯氫硅

1范圍

本文件規(guī)定了硅外延用三氯氫硅的技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯

(SiHCl3)、、、、、、

存隨行文件及訂貨單內(nèi)容

、。

本文件適用于以三氯氫硅為原料精制提純而制得的硅外延用三氯氫硅以下簡(jiǎn)稱產(chǎn)品

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

硅單晶電阻率的測(cè)定直排四探針法和直流兩探針法

GB/T1551

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

危險(xiǎn)貨物運(yùn)輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項(xiàng)目順序

GB/T16483

硅單晶中族雜質(zhì)含量的測(cè)定低溫傅立葉變換紅外光譜法

GB/T24581Ⅲ、Ⅴ

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

GB/T26571

工業(yè)三氯氫硅

GB/T28654

硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷鎳銅鉬砷和銻量

GB/T29056、、、、、、、、、、、

的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

用區(qū)熔拉晶法和光譜分析法評(píng)價(jià)多晶硅棒的規(guī)程

GB/T29057

化學(xué)品分類和標(biāo)簽規(guī)范第部分皮膚腐蝕刺激

GB30000.19