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實驗6電子探針(能譜儀)結構原理及分析方法一、實驗目的與任務1)構。過探。二、電子探針的結構特點及原理電子針X射線顯微分析儀(簡稱電子探針)利用約1Pm微區(qū)內(nèi)激素征X射線,根征X和定分電鏡子針構掃似外實驗這部分內(nèi)容將參室與X射檢。三、實驗方法及操作步驟對含量元析用察定濃。件()樣品電樣表的析位儀的。()加速壓電為3V選元則于發(fā)電壓,一般選擇加速電壓為分析元素臨界激發(fā)電壓的2~3致樣側,使X射線激發(fā)體積增大同加度元。()電子流征X射線的高X射線強度必大束擇應控制束流條取。析(1析驅動分光譜儀的晶體連續(xù)改變衍射角錄X射隨波。電子探針分析的元素范圍可從鈹(序數(shù)4)到鈾(序數(shù)92,檢測的最低濃度(靈敏度)大致為0.0。()半析的征X正效熒應征X射線強度的影響。實際上,只有樣品是由原子序數(shù)相鄰的兩種元素才誤因用到。()定分析。樣品原子對人射電子的背散射,使能激發(fā)X樣要性量正由的X射原子作收際的X射樣品中由激的的X射線,當其能量征X射界激發(fā)能量發(fā)素征X射線,結果使得兩種元素的特征X射度發(fā)生變化由X征X射線稱次X射線光X,此光。3.分析征X信較適合于分析分。實驗散像二像析實—1。圖實6a是Al-4.0%Cu(質(zhì)量分數(shù))合金的背散射電子像,被選定的直線通過胞狀a-A1實—b是CuKX實—a和6b可見的X射線強度所對應的位置是富Cu的A12Cu在a-A1部X的強度較低說明其固溶的Cu狀cA1晶粒界面內(nèi)側約10m的Cu。分析使入射電子束在樣品表面選定的微區(qū)內(nèi)作光柵掃描,譜儀固定接收某一元素的特征X可微素分示物元偏。元征X位置該元素含高集)低化。實2與實6—1相同的樣實6—2b可以清晰地顯示Cu元在樣品微的。五、實驗內(nèi)容,、作、。六、思考
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