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文檔簡介
第一章.認(rèn)識(shí)半導(dǎo)體和測(cè)試設(shè)備(1)本章節(jié)包括以下內(nèi)容,晶圓(Wafers)、晶片(Dice)和封裝(Packages)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)的總體認(rèn)識(shí)模擬、數(shù)字和存儲(chǔ)器測(cè)試等系統(tǒng)的介紹負(fù)載板(Loadboards)、探測(cè)機(jī)(Probers)、機(jī)械手(Handlers)和溫度控制單元(Temperatureunits)吉一、辮晶圓堵、晶惱片和掘封裝嗎示媽伸1隱94電7年盯,第恭一只攻晶體專管的呀誕生付標(biāo)志斑著半栗導(dǎo)體婚工業(yè)橋的開展始,明從那臟時(shí)起兼,半鴿導(dǎo)體疲生產(chǎn)畫和制聞造技拾術(shù)變喘得越電來越搏重要匪。以喂前許內(nèi)多單覽個(gè)的恢晶體罪管現(xiàn)亮在可信以互朱聯(lián)加閉工成晨一種液復(fù)雜毒的集喜成的甲電路富形式沫,這呢就是貝半導(dǎo)終體工姑業(yè)目架前正論在制樣造的淡稱之蔬為"雀超大袍規(guī)模泰"(果VL赴SI厘,V痛er繼y軟La診rg概e浙Sc巷al蛛e夫In池te畢gr榆at騾io迫n)監(jiān)的集妹成電妖路,福通常跟包含簡上百佛萬甚璃至上澆千萬榨門晶處體管滔。幕畝株萌半賀導(dǎo)體顛電路蘆最初恨是以綿晶圓娃形式尖制造橫出來扭的。驕晶圓減是一講個(gè)圓齒形的箭硅片霸,在鏈這個(gè)恢半導(dǎo)方體的箱基礎(chǔ)晚之上抗,建拆立了逢許多惜獨(dú)立治的單膛個(gè)的茶電路洗;一斯片晶閣圓上嶺這種雜單個(gè)洪的電勵(lì)路被燈稱為致di辛e(鋤我前賢面翻豆譯成粱"晶看片"言,不者一定米準(zhǔn)確仍,大露家還敵是稱繁之為桃di丸e好扭了)革,它孕的復(fù)魄數(shù)形斷式是捕di獅ce壟.每對(duì)個(gè)d裂ie父都是撓一個(gè)俘完整錘的電榨路,極和其齒他的都di穗ce魚沒有費(fèi)電路凍上的潑聯(lián)系番。嗎偉儀部當(dāng)倘制造裕過程伏完成擴(kuò),每梳個(gè)d砌ie楊都必摔須經(jīng)拘過測(cè)刪試。為測(cè)試暢一片萌晶圓暖稱為嫩"C叮ir遍cu斧it帽p賤ro覺bi罵ng勺"(獻(xiàn)即我死們常粥說的嗓CP腳測(cè)試駛)、判"W塔af晌er粘p倒or拾bi劣ng車"或敲者"師Di落e振so該rt勾"。雖在這抓個(gè)過它程中配,每右個(gè)d率ie興都被友測(cè)試暮以確彈保它道能基低本滿刊足器藏件的宇特征戶或設(shè)惰計(jì)規(guī)縣格書賠(S莖pe佩ci窯fi免ca厘ti應(yīng)on撐),域通常岔包括鑒電壓診、電驕流、抹時(shí)序喉和功語能的爆驗(yàn)證風(fēng)。如尋果某授個(gè)d執(zhí)ie剃不符搭合規(guī)害格書疫,那鄙么它歡會(huì)被煌測(cè)試狐過程腔判為層失效賭(f項(xiàng)ai畫l)毀,通護(hù)常會(huì)桌用墨昨點(diǎn)將谷其標(biāo)層示出卵來(導(dǎo)當(dāng)然岔現(xiàn)在瞞也可基以通奏過M臟ap日in延g圖南來區(qū)鵝分)鉤。套葡疫辰在棍所有潤的d缺ie略都被移探測(cè)氏(P站ro扶be日d)歉之后骨,晶豈圓被日切割寄成獨(dú)帽立的副di服ce播,這捧就是鮮常說攔的晶匆圓鋸極解,料所有京被標(biāo)煤示為禁失效會(huì)的d堂ie亡都報(bào)歲廢(學(xué)扔掉適)。庭圖2黎顯示香的是誤一個(gè)采從晶魄圓上趕鋸解好下來增沒有仗被標(biāo)頸黑點(diǎn)籃的d史ie置,它起即將覽被封國裝成潛我們添通常尋看到么的芯逮片形混式。具注:溜本標(biāo)泳題系失列連驢載內(nèi)挨容及牛圖片培均出問自《筑Th送e秒Fu雕nd扯am貌en刺ta哪ls進(jìn)O黃f緞Di攀gi糖ta腰l肚Se躬mi鐮co迷nd苦uc基to燃r蛇Te忌st浩in暴g》化第一瀉章.偉認(rèn)識(shí)歪半導(dǎo)文體和斤測(cè)試信設(shè)備介(2駝)祖
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斧
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討三、掙半導(dǎo)隱體技掘術(shù)賀
迎
嚼
荒倉有一鎖系列選的方糾法被吃用來高生產(chǎn)材和制丟造數(shù)漸字半矛導(dǎo)體銅電路徐,這質(zhì)些方辰法稱掛為半葵導(dǎo)體宗技術(shù)良或工妻藝,扎常用土的技鞋術(shù)或版工藝擊包括棉:純TT煎L讓(T享ra墻ns肯is絨to述r-柔Tr涌an役si并st仿or澇L擠og吼ic癢a謹(jǐn).k圍.a間.醉bi隸po絨la堪r盒l(wèi)o親gi嫌c)溫,柜EC凡L野(E左mi能tt冷er跑C電ou咳pl催ed燭L巖og壤ic恐),蛛S喇OS纖(敘Si熔li她co決n呼on亡S流ap墊ph粒ir擊e)禮,雕an唇d冶CM結(jié)OS鏟(嬌Co模mp典li胡me覽nt著ar饑y攝Me爹ta秤l-淡Ox繞id蘿e扎Se刃mi爛co恒nd昌uc口to申r)候。不脅管什吼么技刮術(shù)或件工藝憲,出販來的所產(chǎn)品浙都要累經(jīng)過印測(cè)試槳,這運(yùn)里我六們關(guān)豐注數(shù)頓字若TT枝L繪和狠CM刃OS循電路載。瞎第一睡章.搶認(rèn)識(shí)合半導(dǎo)皮體和容測(cè)試悔設(shè)備取(4造)餡
單四、深數(shù)字易和模鳥擬電芹路換
涼
風(fēng)
俊陸過去峰,在陵模擬文和數(shù)速字電真路設(shè)巡計(jì)之受間,藥有著灘顯著朝的不第同。價(jià)數(shù)字買電路惡控制桑電子蔽信號(hào)龜,表甘現(xiàn)為直邏輯東電平?!袄?棒”疑和軌“姓1兆”胖,它鑄們被呈分別康定義演成一緞種特暴殊的紛電壓旬分量瓣,所帖有有咐效的怪?jǐn)?shù)字旅電路漸數(shù)據(jù)況都用條它們速來表咳示,診每一佳個(gè)鴿“雹0集”依或糟“虜1體”榴表示強(qiáng)數(shù)據(jù)倉的一橫個(gè)比譜特(倍bi太t婦)位決,任為何數(shù)妙值都羞可以信由按醉照一券定順棵序排付列的墊“拆0姐”忘“狂1愛”雕比特仗位組季成的裂二進(jìn)洲制數(shù)與據(jù)來居表示殖,數(shù)呆值越科大,標(biāo)需要身的比哲特位蔥越多繭。每鋪8竟個(gè)比左特一太組構(gòu)屋成一溜個(gè)頑By捆te祥,數(shù)傷字電伶路中歇的數(shù)堅(jiān)據(jù)經(jīng)似常以李By疏te犁為單衣位進(jìn)該行處就理。步
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務(wù)
嗓
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妖
懶
真
粱而在獄“蕩數(shù)字河”這時(shí)鐘裙上,盜只有夏最小日增量蓮以上偶的值暫才能筑被顯岡示,斬而比確最小似增量橡小的耳值則狡無法缸顯示錫。如墾果有緒更高鋸的精編度需討求,技則需宰要增冊(cè)加數(shù)熄據(jù)位老,每碼個(gè)新勵(lì)增的道數(shù)據(jù)詞位表茶示最愚小的斷時(shí)間背增量炒。辨
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冬
悼鑒有的冒電路度里既葛有數(shù)歸字部騎分也腦有模揪擬部男分,訓(xùn)如騾AD冠轉(zhuǎn)換懸器(雁AD蔽C果)將燈模擬土信號(hào)帝轉(zhuǎn)換羅成數(shù)受字信堅(jiān)號(hào),災(zāi)DA醋轉(zhuǎn)換附器(美DA替C愧)則沿相反蓮,我鍋們稱粱之為參“乓混合寫信號(hào)絕電路裂”戚(矩Mi皇xe謠d尾Si筋gn員al柱D川ev償ic山es日)。驅(qū)另一聞種描廚述這懲種混總合電嫁路的膨方法午則基勁于數(shù)胃字部振分和住模擬昨部分丙占到玉電路明的多炊少:院數(shù)字承部分晶占大聰部分案而模距擬部裂分所雨占比騰例較完少歸孝于數(shù)苦字電作路,棒反之叢則歸犬于模環(huán)擬電雖路。部
哲第一踢章.逃認(rèn)識(shí)晨半導(dǎo)那體和時(shí)測(cè)試異設(shè)備濾(5翠)榨
貫五、饒測(cè)試鑰系統(tǒng)磨的種罵類悶一般馳認(rèn)為死測(cè)試可系統(tǒng)冰都是梁通用殲的,辮其實(shí)住大部乘分測(cè)這試系囑統(tǒng)的批設(shè)計(jì)詞都是娃面向然專門田類型皂的集辱成電森路,歲這些塌專門陵的電則路包毒括:寒存儲(chǔ)狡器、神數(shù)字悠電路南、模呈擬電天路和唉混合皂信號(hào)皺電路刮;每傍種類貫型下迷還可擠以細(xì)才分成弄更多脊種類苗,我爽們這囑里只籌考慮茶這四拔種類烘型。折
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羞
餐
跨我演們一享般認(rèn)裕為存苗儲(chǔ)器炸是數(shù)套字的用,而潑且很翁多介DC辟測(cè)試轎參數(shù)守對(duì)于傘存儲(chǔ)站類和兼非存洋儲(chǔ)類彩的數(shù)童字器龍件是革通用娘的,粉雖然洲如此攪,存年儲(chǔ)器盟的測(cè)貞試還良是用堅(jiān)到了脅一些培獨(dú)特優(yōu)的功嘩能測(cè)涉試過偷程。循帶內(nèi)沖存的頭自動(dòng)銅測(cè)試叮系統(tǒng)燥使用擠一種歌算法銳模式穩(wěn)生成印器(跑AP笨G鬧,瘦al酷go茂ri在th易mi礎(chǔ)c發(fā)pa請(qǐng)tt胞er皺n妙ge壯ne單ra滅to箭r移)去疤生成灶功能額測(cè)試明模型倉,使覽得從畜硬件伐上生壽成復(fù)銹雜的返功能緒測(cè)試婦序列忘成為惑可能次,這拔樣我檢們就責(zé)不用些把它鬧們當(dāng)理作測(cè)塔試向健量來占保存霧。存料儲(chǔ)器情測(cè)試睡的一沒些典景型模鏟型包驗(yàn)括:川棋盤進(jìn)法、錘反棋雕盤法瓦、走句0員、走肝1湊、蝶稅形法擴(kuò),等找等許……洞
竹AP斧G莊在器砍件的婦每次廈測(cè)試資時(shí)生船成測(cè)夠試模行型,撤而不魚帶內(nèi)吐存的偶測(cè)試蔽系統(tǒng)腹將預(yù)習(xí)先生裹成的螞模型飄保存麻到向毒量存合儲(chǔ)區(qū)暢,然植后每數(shù)次測(cè)半試時(shí)蹦從中掃取出泊數(shù)據(jù)遮。存載儲(chǔ)器輕測(cè)試之通常圖需要宰很長綢的測(cè)忍試時(shí)豬間去農(nóng)運(yùn)行膠所要獸求的拳測(cè)試丹模型柜,為筋了減蹦少測(cè)虎試成住本,搞測(cè)試墳儀通心常同椅時(shí)并悔行測(cè)誘試多親顆器父件。炮
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