太陽能工藝流程

蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書簡本一、項(xiàng)目簡況項(xiàng)目名稱：蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)單位：蘇州阿特斯陽光電力科技建設(shè)規(guī)模：年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)性質(zhì)：外商獨(dú)資擴(kuò)建建設(shè)地點(diǎn)：江蘇省蘇州高新區(qū)鹿山路199號廠區(qū)二期廠房預(yù)留車間內(nèi)（一樓）投資總額9980萬美元占地面積：總占地66660m2（本項(xiàng)目車間5000m2），總綠化面積19205m2（不變）二、現(xiàn)有項(xiàng)目情況1、現(xiàn)有建設(shè)項(xiàng)目主體工程及產(chǎn)品方案現(xiàn)有建設(shè)項(xiàng)目主體工程及產(chǎn)品方案尺序號艱工程信名稱蕩（車輝間、付生產(chǎn)粒裝置劑或生兩產(chǎn)線銳）際產(chǎn)品溪名稱郊及規(guī)額格桐設(shè)計(jì)模能力灣年運(yùn)厘行時(shí)粒數(shù)像1聚太陽驚能電廁池片葛多晶果硅有春鉻生踏產(chǎn)線悄（6宵條線掌）召太陽飾能電葡池片意10累0M蒸W/尾a戲48胡00倡2饅太陽臥能電并池片結(jié)單晶糧硅無朗鉻生競產(chǎn)線陽（4鐵條線匙）輛太陽紗能電油池片蕩10倦0M椒W/昨a柳3熱太陽浙能電遍池組紫件組蠢裝線爭（6糟條線方）弄太陽赴能電鴨池組悶件壩10伶0M汽W/職a舉（6究條線圍）*現(xiàn)有一期項(xiàng)目申報(bào)并通過審批的100MW/a太陽能電池組件組裝項(xiàng)目目前尚未建設(shè)、生產(chǎn)，并將取消該項(xiàng)目，今后也不再建設(shè)、生產(chǎn)；2、現(xiàn)有項(xiàng)目公用配套工程現(xiàn)有項(xiàng)目公用配套工程一覽表量項(xiàng)目寸建設(shè)顧名稱撫設(shè)計(jì)懲能力州備注嗚貯運(yùn)砌工程蘿原料覽等利由供連應(yīng)商哀負(fù)責(zé)癥送貨挑汽車壞（8鄭t/珍d）旅產(chǎn)品若由本認(rèn)單位錢用?？p車輛方負(fù)責(zé)睡送貨吉汽車胖（5鄭t/低d）公公用貼工程夏給水撥、排筑水、德供熱眾、供欠汽、概供氣悟、供申電、牲綠化克等戲輸送史最大粉管徑簽25充cm吼雨污槽分流舅變壓鈔器最詢大輸蚊送5揪00氏KV簽A聰由高拜新區(qū)趟統(tǒng)一蹈供水隸12臣00暴萬度棍/年優(yōu)由高木新區(qū)油統(tǒng)一約供電雖綠化幣23齒68埋5平監(jiān)方米脖廠房研施工客時(shí)實(shí)糞施泥環(huán)保停工程辦廢氣足處理束酸堿私霧洗薦滌塔跟4套揪（4顧個(gè)可15頌米移排氣蠢筒）否一期堵項(xiàng)目隱已建咸設(shè)實(shí)例施尤（8己個(gè)排理氣筒汁）賢硅烷仍燃燒丑塔扎3套跨（3搜個(gè)宋15小米派排氣理筒）洋活性役炭吸延附塔看1套刷（1韻個(gè)副15茅米躲排氣吳筒）遵酸堿虧廢氣創(chuàng)洗滌喂塔處砍理系羅統(tǒng)1困套（梢1個(gè)裝25泰米瞞排氣蔥筒）搞二期刷擴(kuò)建蹦項(xiàng)目雪已建壺設(shè)實(shí)匆施也（5宇個(gè)排雜氣筒片）柳鉻酸安霧廢杯氣洗素滌+娘塔處夢理系芒統(tǒng)1玻套（頑1個(gè)乘25乘米振排氣盡筒）報(bào)有機(jī)許廢氣元活性眼炭吸慰附系蠻統(tǒng)1旁套（汽1個(gè)戴20類米界排氣頭筒）蠟硅烷正燃燒練塔1尋套（寺1個(gè)辰20鑒米為排氣嶺筒）銀多孔緣碳酸留鈣+奏活性段炭吸讓附塔松1套穩(wěn)（1描個(gè)史25壩米瓣排氣隱筒）趕制純惱水設(shè)兄施柴膜過輪濾純憐水設(shè)逐施買（設(shè)肢計(jì)規(guī)誕模1神00看t/毀h）供一期姨項(xiàng)目相已建亂設(shè)實(shí)爸施奮膜過染濾制圾純水塞設(shè)施拜（設(shè)敏計(jì)規(guī)圓模2溪00紛t/咱h）遞二期憑擴(kuò)建綁項(xiàng)目哥已建遠(yuǎn)設(shè)實(shí)槐施英廢水額處理電酸堿穿廢水貴處理救+混噴凝沉甚淀系含統(tǒng)（見設(shè)計(jì)覽規(guī)模號10蔥0t前/h被）腳一期象項(xiàng)目玉已建察設(shè)實(shí)煙施及酸性蒙廢水蝴處理辛+混元凝沉寫淀系腦統(tǒng)（銳設(shè)計(jì)萄規(guī)模但20心0t著/h慶）原二期太擴(kuò)建雄項(xiàng)目蠅已建怖設(shè)實(shí)險(xiǎn)施瓦含氫卡氟酸促廢水海處理番設(shè)施批（設(shè)泊計(jì)規(guī)名模5樸0t買/h餅）盼含鉻烤酸廢糞水處養(yǎng)理設(shè)坐施帶（設(shè)燕計(jì)規(guī)灣模5油0t迎/h克）培廢水端（尾矩水）螺后續(xù)門處理羅系統(tǒng)省（設(shè)聚計(jì)規(guī)幕模2伍00臣t/賺h）右固廢辟處理案零排球放門有資鵝質(zhì)單戚位回棟收處捧理不鉤產(chǎn)生渠二次云污染甲危廢幟臨時(shí)車貯存駝場所煩50闖㎡完一、侍二期倦項(xiàng)目農(nóng)共建斧實(shí)施亮一般莫工業(yè)突固廢丘貯存罰場所反50纖㎡尚成品聽倉庫方10賢0㎡賞一般哲原料蜘倉庫嗚10頑0㎡壟氣罐請區(qū)警3完0㎡餐危險(xiǎn)紅品倉諸庫謹(jǐn)10認(rèn)0㎡擁噪聲植隔音洽設(shè)施緩、合假理布界局、勉廠界撐綠化謝隔音都已實(shí)尋施自輔助嘩工程燕辦公徑建筑家面積枯11某74治m畏2確已實(shí)寫施筍用餐泛地點(diǎn)若面積強(qiáng)10悠0m郊2航門衛(wèi)質(zhì)室棄1個(gè)賤依托孕工程跳蘇州粘新區(qū)冊第二呼污水迅處理娘廠貢設(shè)計(jì)獲日處答理8僑萬噸儉/天博，一蹦期4眠萬噸輝/天脅，運(yùn)纖營穩(wěn)貍定3、現(xiàn)有（一期）項(xiàng)目生產(chǎn)工藝流程簡述及產(chǎn)污環(huán)節(jié)罩均填路生所硅片腐蝕（制絨）、硅片腐蝕（制絨）、制純水廢水579.62清損耗 6.262洗96.3自來水硅片甩干硅片擴(kuò)散去硅玻璃硅片甩干加減反射膜硅片背面印刷銀鋁漿W3清排水烘干硅片背面印刷鋁漿烘干硅片正面印刷銀漿燒結(jié)刻蝕太陽能電池片純水、N2POCl3、N2、O2純水、HF純水、N2SiH4、NH3、N2銀鋁漿鋁漿銀漿CF4、O2G1HCl、HF、H2、異丙醇W1含HF、HCl廢水；W2含NaOH廢水S1含堿、異丙醇廢液W3清排水W5清排水G2Cl2、P2O5G4HF、SiF4W4含HF廢水G5NH3、SiH4S2少量廢鋁漿G6少量有機(jī)物S3少量廢鋁漿G7少量有機(jī)物S4少量廢銀漿G8有機(jī)物G3CF4、SiF4NaOH、異丙醇、HCl、HF、純水委外加工單晶硅片（單晶電池片）底孟悉香吐概捐確合悼一期型項(xiàng)目適主要業(yè)工序彩流程驕簡述梨：貞1.恩硅片砌腐蝕剪(制奶絨)往、清妨洗:甲P型閑單晶碰硅薄酒片，剖經(jīng)堿普腐蝕臉清洗挽烘干堤，制靈絨主林要是朋使用哪堿性朽溶液計(jì)腐蝕稼硅表凳面形毫成絨鎮(zhèn)面。哥清洗事主要疾是處雹理制詳絨后難的硅風(fēng)片表熊面，棗使其豪凈化亂，用書氫氟側(cè)酸清排洗殘襯留的屆堿性守物質(zhì)萌，接桐著用汽鹽酸飾去除止表面敏殘留宋的物別質(zhì)，期最后座再用華純水玻清洗鳴。此將過程喊有廢堪氣產(chǎn)舒生，仍廢氣版中含盾有是HC怠l、豆HF膜、H護(hù)2緒；此良工序辦還有費(fèi)堿性永廢水扎、酸料性廢珠水產(chǎn)宜生，貴堿性粒廢水保中主棒要含膠有氫犁氧化塵鈉，棗酸性雕廢水截中主磨要含后鹽酸半、卻氫氟青酸；積另外炭在堿晚腐蝕未過程繁還會圓有堿殺性廢抱液產(chǎn)棚生，各其中朗含有細(xì)較高駐濃度殊的異謀丙醇退。有堿腐猜蝕的離反應(yīng)姥方程終式為墊：2貨N涉aO斧H+具Si黎+H奶2種O=習(xí)Na桐Si憲O匙3挖+2鳴H瞎2仁2.補(bǔ)硅片腐擴(kuò)散補(bǔ)：徑硅片爐擴(kuò)散芬也稱計(jì)磷擴(kuò)慢散，沾是在擊氧氣夫存在棚的條帆件下成，磷丸源分禾解在劑硅中棄擴(kuò)散婦而形臺成P榴-N辨結(jié)，限PO供Cl槳3午為電質(zhì)子級券純度友，在貿(mào)過程芹中所膚起作柔用是根為擴(kuò)娃散提云供磷油源，召各反秘應(yīng)化昆學(xué)式貼如下綢：樂5P些OC否l養(yǎng)3愿=3搶PC臂l令5量+P蜓2歉O睜5玻2P宗2么O押5笛+O范2喬+6和Si隔=4以P+雷6S絡(luò)iO家2違4P開Cl扣5齊+5看O祥2釘=2逢P(guān)帆2歐O付5穴+1份0C幟l裁2朗4P丙OC左l掠3瓜+3妻O陣2樹=2地P火2惠O攪5耕+6胃Cl玉2斬因而欲硅片鑼擴(kuò)散欣工序新,有泄廢氣厚產(chǎn)生戲，該觸廢氣奏成分答有P戶2爹O頂5昂、C貧l賺2貧等。殲3.鄰刻蝕趣：班主要悠是去辱除邊橋緣的錫N型樸硅，窄此工巾序?yàn)檎娓煞ㄒu刻蝕綢，主晴要是素利用冶四氟辱化碳繪和硅舊以及家氧氣壤的反隱應(yīng)來艘去除灘邊緣烤硅，受其化胸學(xué)反否應(yīng)式謎為：儀CF盒4陪+S蹄i+禍O掠2胸=S承iF喉4場↑松+C垂O耍2儲↑明因而爹此工恐序有你未反凱應(yīng)完煩全的箱四氟生化碳稅和反租應(yīng)生傲成的粱四氟圾化硅材氣體持逸出戶。災(zāi)4.曲去硅槍玻璃膜（P賞SG父）：廳主要穴是用橋氫氟躍酸腐漆蝕硅燕片表妻面的逃氧化射層，旨即清月除硅裹片表鎮(zhèn)面的濤Si當(dāng)O朵2靜層，稍反應(yīng)綿生成撕為微腫量的混Si決F患4擇和[土H絮2舉Si騎F職6法]欣2-巾少量震的絡(luò)粱合物據(jù)，其要一起燒進(jìn)入著酸性賊廢水蔑處理勤。因五而此雁工序氣會有罩少量消的氫向氟酸隆和四橡氟化抵硅揮翁發(fā)。殼5.暮加減邪反射貪膜：悠利用東硅烷場、氨候氣之未間的跪反應(yīng)訪在硅我片表打面形材成一其層加軋減反警射膜吼，N客2沈不發(fā)粘生反蜂應(yīng)，褲作為劈保護(hù)削氣體這，此鉆工序抬會有孩少量遞的氨抹氣和搶硅烷安揮發(fā)槳。雨6.班絲網(wǎng)偷印刷爬(即納在硅莖片上舞印刷燃鋁漿島、銀哥漿、隙銀鋁鎖漿)工：低使用清漿料敵印刷凳電極饒，使普之形酒成良小好接情觸,堡收集投電流船。主袍要是氧使用梳銀漿掀，鋁遭漿，傾銀鋁勁漿，耍一般完由金瓣屬粉偽末和點(diǎn)有機(jī)駱溶劑澆以及買固體敲樹脂格構(gòu)成挎，經(jīng)藝過燒端結(jié)后栽有機(jī)燥溶劑校和固刊體樹兔脂都揉被揮絡(luò)發(fā)，初剩余遵金屬巴與硅朽形成貨合金岡層。野7．慮燒結(jié)應(yīng)燒結(jié)耽工序菜主要形是將笨印刷屢好銀勢漿、鏡鋁漿垂、銀晚鋁漿塘的電熊極放穗入燒追結(jié)爐趨中，在使?jié){擾料中素的水落分、止樹脂哀及某按些有盒機(jī)物醬揮發(fā)濫出來今。扎燒結(jié)做自然傭冷卻嬸后即菠為成癢品單建晶硅蒜太陽倒能電飛池片版。峰（2涂）凳二期皺擴(kuò)建斥項(xiàng)目吵工藝鎮(zhèn)流程（多晶電池片）G10有機(jī)物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片G1鉻酸霧、HFG2HCl、HF、異丙醇W1含鉻、HF廢水W2HF、HCl廢水S1含鉻、異丙醇廢液三氧化鉻、HF、純水異丙醇、HCl燒結(jié)S4少量廢銀漿銀漿G9少量有機(jī)物S3少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機(jī)物S2少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W5清排水純水、N2G6HF、SiF4W4含HF廢水純水、HFG5CF4、SiF4CF4、O2POCl3、N2、O2W3清排水純水、N2硅片正面印刷銀漿烘干硅片背面印刷鋁漿烘干硅片背面印刷銀鋁漿加減反射膜硅片甩干去硅玻璃硅片擴(kuò)散刻蝕硅片甩干硅片腐蝕（制絨）清洗（多晶電池片）G10有機(jī)物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片G1鉻酸霧、HFG2HCl、HF、異丙醇W1含鉻、HF廢水W2HF、HCl廢水S1含鉻、異丙醇廢液三氧化鉻、HF、純水異丙醇、HCl燒結(jié)S4少量廢銀漿銀漿G9少量有機(jī)物S3少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機(jī)物S2少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W5清排水純水、N2G6HF、SiF4W4含HF廢水純水、HFG5CF4、SiF4CF4、O2POCl3、N2、O2W3清排水純水、N2硅片正面印刷銀漿烘干硅片背面印刷鋁漿烘干硅片背面印刷銀鋁漿加減反射膜硅片甩干去硅玻璃硅片擴(kuò)散刻蝕硅片甩干硅片腐蝕（制絨）清洗謹(jǐn)二期嘆擴(kuò)建趕項(xiàng)目窗主要嗎工序否流程筍簡述媽1.菊硅片若腐蝕蓄(制條絨)弟、清僑洗：呀二期吐擴(kuò)建押項(xiàng)目給使用勉原材返料為世P型守多晶網(wǎng)硅薄丹片，槍使用爪堿腐億蝕已救無法端滿足賓產(chǎn)品慢質(zhì)量憤需求從，因裂此本最擴(kuò)建凍項(xiàng)目蘭使用宗鉻酸悉腐蝕沖硅表鵲面形確成絨對面（動使用右濃度腐約在手1.遮25川%）婦。清噴洗主謙要是浴處理橫制絨混后的逮硅片胸表面盞，使秤其凈見化，鋪用氫場氟酸代清洗鄰殘留囑的堿框性物單質(zhì)，禿接著乓用鹽告酸去奮除表孕面殘法留的偽物質(zhì)折，最篩后再撕用純棋水清倚洗。蕉此過甲程有篩廢氣臘產(chǎn)生木，廢疑氣中漠含有詢鉻酸挪霧、今HC醋l、灑HF揮、H洪2協(xié)；此臥工序東還有哭含鉻勸廢水滾、含蘿氟廢鋸水、式酸性深廢水焰產(chǎn)生報(bào)，同腳時(shí)產(chǎn)淋生一平定的盲廢液雅，其略中含價(jià)有較弓高濃劣度的會異丙蟲醇。勉2.戰(zhàn)硅片扮擴(kuò)散聲：所硅片艱擴(kuò)散餓也稱胞磷擴(kuò)饑散，披是在恐氧氣捎存在起的條牙件下蹤，磷句源分伙解在被硅中破擴(kuò)散偶而形籮成P毅-N天結(jié)，斃PO攀Cl賺3紙為電佛子級而純度塞，在牌過程謹(jǐn)中所瞎起作稿用是虜為擴(kuò)面散提異供磷紋源，翁各反坐應(yīng)化局學(xué)式朱如下慨：辣5P罪OC州l漲3菊=3岸PC皮l蒼5蛙+P校2此O減5拍2P食2務(wù)O因5稼+O通2真+6芽Si睡=4鐘P+睬6S塊iO尾2圓4P戚Cl全5玻+5南O低2竊=2錫P腦2般O賭5缸+1披0C乳l兔2話4P謀OC鳳l棄3芳+3寒O睜2頃=2肝P匆2業(yè)O撇5食+6嘴Cl克2逆因而瞇硅片風(fēng)擴(kuò)散襯工序箱,有屠廢氣六產(chǎn)生串，該結(jié)廢氣填成分歡有P日2獵O慌5蝦、C歸l化2橋等。螺3.墊刻蝕贊：膚主要急是去斤除邊闊緣的齒N型海硅，揪此工異序?yàn)檎崭煞煽涛g基，主昂要是怖利用絹四氟掃化碳芒和硅恭以及廁氧氣逝的反燒應(yīng)來躬去除水邊緣寺硅，聲其化駕學(xué)反宇應(yīng)式資為：沸CF菠4敏+S釘i+燒O摸2熊=S組iF紗4滅↑密+C差O雄2汽↑慌因而螺此工攻序有聽未反主應(yīng)完被全的已四氟萄化碳丈和反灶應(yīng)生逢成的算四氟談化硅貢氣體況逸出姥。墓4.板去硅浙玻璃錢（P決SG晃）：領(lǐng)主要刊是用赴氫氟虛酸腐租蝕硅蠢片表面面的酷氧化閣層，晉即清壁除硅拴片表晝面的演Si議O似2航層，花反應(yīng)夢生成平為為仇微量司的S石iF倉4弓和[瞎H抄2隊(duì)Si嘴F嘆6膽]犯2-棄少量饑的絡(luò)錯(cuò)合物糾，其伏一起夸進(jìn)入僑酸性折廢水棉處理閉。因光而此貫工序累會有驕少量廊的氫萍氟酸集和四待氟化翅硅揮烏發(fā)。竊5.續(xù)加減斗反射晝膜：貪利用個(gè)硅烷賊、氨紐氣之礦間的貢反應(yīng)較在硅訂片表統(tǒng)面形籮成一發(fā)層加慌減反晝射膜蜜，N川2翻不發(fā)脈生反吸應(yīng)，聞作為唯保護(hù)邁氣體瓦，此岸工序宵會有襖少量葡的氨界氣和蛋硅烷爛揮發(fā)追?？?.拋絲網(wǎng)頂印刷滿(即搜在硅威片上叔印刷高鋁漿鞏、銀堆漿、遮銀鋁馬漿)選：汽使用帽漿料選印刷眠電極題，使乓之形寺成良嗓好接蓋觸,富收集凍電流石。主啄要是輝使用演銀漿敬，鋁雖漿，悟銀鋁易漿，肢一般耐由金配屬粉萌末和烘有機(jī)燒溶劑虎以及斗固體材樹脂春構(gòu)成傭，經(jīng)仿過燒冒結(jié)后演有機(jī)債溶劑料和固赤體樹露脂都棍被揮憶發(fā)，某剩余諷金屬砌與硅趴形成謀合金葡層。并7．正燒結(jié)遼盈帝拆陽礙碧塌畝抗阻底們鎖魔舅刊臣竄碰坐袖杯如池傷冷燒結(jié)削自然孫冷卻觀后即盲為成際品單催晶硅傳太陽欠能電郊池片慈。玩4、罩現(xiàn)有摸項(xiàng)目惹污染同物排材放割“姜三本角帳括”姨現(xiàn)有葡項(xiàng)目繡污染概物躺“攏三本乒帳織”姜一覽龜表（補(bǔ)一期怠+二正期）婆類別奉項(xiàng)目活一期踐（已難建）遼二期若（在架建）跨公司隱目前截排放傳總量乒t/庭a聯(lián)核準(zhǔn)卸總量爆t/柿a莫排放略總量責(zé)t/圣a壤核準(zhǔn)敏總量壯t/歷a均排放翁總量徒t/掘a泳核準(zhǔn)遇總量將t/省a活廢氣智鉻酸喘霧跪0家0頌0.塔01賠2掏0.逮01糾2探0.高01杜2久0.摟01洞2盆氟化徹物爽（F曬）俘0.灶06會4*碌0.恒40甲7恨0.咬40晚7呼0.才40淺7涌0.欣47淡1*對0.租47污1墾HC紙l磚0.甲36怎0.角36呼0.賤36們0.干36遠(yuǎn)0.攜72牌0.鑒72粱異丙洪醇紗0.亭04制*托0.噴2辦0.精2壺0.早2睛0.捷20肯4*照0.納20微4郊Cl根2符0.朋11咬5丸0.眼11限5較01億15碰01亦15翁0.筍23洗0.茂23及P謝2闊O污5傅0.路29畢3卸0.佩29警3顆0.愁29精3省0.稱29短3谷0.抄58菜6駕0.肥58程6畏N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6制純水廢水579.62.損耗 6.26296.3G1鉻酸霧G2HClG3HFW1含鉻、HF、HCl廢水S1含鹽酸、氫氟酸、鉻酸廢液三氧化鉻、HF、HCl、純水（多晶電池片）G11有機(jī)物G4Cl2G5P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S6少量廢銀漿銀漿G10少量有機(jī)物S5少量廢鋁漿鋁漿G9少量有機(jī)物S4少量廢鋁銀漿銀鋁漿G8NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W6清排水純水、N2W3清排水W4含磷廢水G6CF4、SiF4S3含CF4廢液G7HF、SiF4W5含HF廢水太陽能電池片洗滌塔1純含P廢水2水回用循環(huán)量240純水設(shè)備純0.352水1321.564蘇制純水廢水579.62州損耗 6制純水廢水579.62.損耗 6.26296.3G1鉻酸霧G2HClG3HFW1含鉻、HF、HCl廢水S1含鹽酸、氫氟酸、鉻酸廢液三氧化鉻、HF、HCl、純水（多晶電池片）G11有機(jī)物G4Cl2G5P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S6少量廢銀漿銀漿G10少量有機(jī)物S5少量廢鋁漿鋁漿G9少量有機(jī)物S4少量廢鋁銀漿銀鋁漿G8NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W6清排水純水、N2HF、純水CF4、O2POCl3、N2、O2W2清排水純水、N2硅片正面印刷銀漿烘干硅片背面印刷鋁漿烘干硅片背面印刷銀鋁漿加減反射膜硅片甩干去硅玻璃硅片擴(kuò)散刻蝕硅片甩干硅片腐蝕（制絨）清洗喜本項(xiàng)單目有國鉻生落產(chǎn)工嚇?biāo)嚵骼p程圖漆簡述象：零由于玻本項(xiàng)刃目有德鉻生揮產(chǎn)線半在工懇藝、互設(shè)備找上基渴本與余現(xiàn)有耕項(xiàng)目嘩同相隱，只悟有在逼原輔眾料上棒不在哭使用蓮異丙投醇（謊經(jīng)工敬藝探王索可緒不用率該異辦丙醇穩(wěn)，不娃會影監(jiān)響產(chǎn)卸品品顛質(zhì)）綢，因吉此本嘉項(xiàng)目躍有鉻遙生產(chǎn)歇線工躬藝簡膚述可蕉見本則報(bào)告內(nèi)書現(xiàn)貞有項(xiàng)臭目有師鉻生沃產(chǎn)線拘工藝衰簡述必。唱（2姨）無或鉻多來晶硅景生產(chǎn)疼工藝束流程G5酸霧（NOx）、HF、硫酸霧、SiF4W6含（N）、HF酸性廢水W7堿性廢水G6HFW7酸性（HF）廢水空氣1、HNO3、HF、H2SO4、純水2、KOH、純水3、HF、純水去硅玻璃S2含磷廢液W5含磷廢水純水、HFW4清排水G1酸霧（NOx）、HFG2HCl、HFW1含（N）、HF廢水W2堿性廢水W3含酸（HF、HCl）廢水S1含硝酸、氫氟酸、鹽酸廢液純水空氣1、HNO3、HF、純水2、KOH、純水3、HF、HCl、純水（多晶電池片）G10有機(jī)物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S5少量廢銀漿銀漿G9少量有機(jī)物S4少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機(jī)物S3少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3G5酸霧（NOx）、HF、硫酸霧、SiF4W6含（N）、HF酸性廢水W7堿性廢水G6HFW7酸性（HF）廢水空氣1、HNO3、HF、H2SO4、純水2、KOH、純水3、HF、純水去硅玻璃S2含磷廢液W5含磷廢水純水、HFW4清排水G1酸霧（NOx）、HFG2HCl、HFW1含（N）、HF廢水W2堿性廢水W3含酸（HF、HCl）廢水S1含硝酸、氫氟酸、鹽酸廢液純水空氣1、HNO3、HF、純水2、KOH、純水3、HF、HCl、純水（多晶電池片）G10有機(jī)物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S5少量廢銀漿銀漿G9少量有機(jī)物S4少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機(jī)物S3少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3、SiH4SiH4、NH3、N2POCl3、N2、O2硅片正面印刷銀漿烘干硅片背面印刷鋁漿烘干硅片背面印刷銀鋁漿加減反射膜干燥硅片擴(kuò)散干燥硅片腐蝕（制絨）清洗序本項(xiàng)帖目無暈鉻生金產(chǎn)工說藝流身程圖和簡述敲：棗本工工藝為晶無鉻完多晶踏硅工我藝，音是目念前較浴先進(jìn)野工藝如，無疼重金肉屬污風(fēng)染問半題，瞇具體窗如下森：材1.羨硅片憲腐蝕鑄(制賽絨)戴、清簽洗：蹦本項(xiàng)哥目使侍用原姻材料賓為P旦（硅便片類記型）誼型多幣晶硅肉薄片迫，使啟用硝號酸、鄰氫氟蔑酸、館鹽酸器的混誕合酸尤（按點(diǎn)一定鈴比例展配比干）腐雨蝕硅徹表面鼻形成繞絨面劫。噴打淋清狠洗處月理制捆絨后誼的硅信片表敵面，追使其卷凈化勻；然錄后再腹用氫隊(duì)氧化燦鉀（反濃度念65忍%）棗腐蝕睛并噴網(wǎng)淋清洲洗，帶接著巧用氫慮氟酸難、鹽忙酸的種混合奸酸（盟按一踩定比鏟例配泉比）股去除企表面暴殘留四的物洲質(zhì)，掀最后準(zhǔn)再用霉純水肅噴淋荒清洗問。此片過程也有廢眼氣產(chǎn)燙生，立廢氣督中含暗有氮層氧化膨物、駕硫酸撞霧、店HC王l、曬HF桃、H每2忍；此南工序瓦還有瞎含N桃廢水仔、含持氟廢柴水、符酸性脹廢水暮產(chǎn)生伸，同賄時(shí)產(chǎn)拐生一遲定的包廢液敲。經(jīng)是以上讀清洗問后進(jìn)腐行空復(fù)氣干撤燥。娃2.退硅片半擴(kuò)散度：扮硅片夾擴(kuò)散預(yù)也稱峰磷擴(kuò)壟散，建是在督氧氣穩(wěn)存在櫻的條筍件下史，磷胸源分廚解在喚硅中嫂擴(kuò)散刊而形臺成P夜-N臨結(jié)，煎PO異Cl佩3視為電雨子級根純度誼，在卡過程工中所楚起作唇用是難為擴(kuò)版散提受供磷德源，北各反凳應(yīng)化原學(xué)式縱如下貧：捐5P曠OC棍l稠3格=3業(yè)PC戀l瘡5警+P諒2提O治5辦2P懷2密O莊5哄+O印2煉+6尋Si糟=4央P+涉6S嫌iO師2參4P慮Cl券5蛛+5芝O椅2休=2冷P襪2澡O拘5流+1西0C歉l疲2混4P仍O(shè)C吃l沸3暢+3板O搶2習(xí)=2智P幣2愧O屬5粱+6刃Cl插2柴因而哥硅片判擴(kuò)散美工序圾,有繳廢氣災(zāi)產(chǎn)生恭，該幅廢氣繪成分鮮有P撒2救O罪5腐、C彼l之2束等。島3.胡去硅垃玻璃冬：匙本工惕藝分哲為三攀段腐計(jì)蝕，米先用愈硝酸躍、氫怪氟酸壞、硫匪酸的使混合炕酸（辮按一揮定比濟(jì)例配原比）星腐蝕府硅片歐表面等的氧彈化層介，再烤用純竟水噴殲淋清區(qū)洗，蜘再用抓氫氧捷化鉀端（濃燭度4宇5%冶）腐坦蝕后釘純水菠噴淋收清洗稍，最梁后用趴氫氟紫酸、飄硫酸祥的混孩合酸牲（按山一定根比例執(zhí)配比疫）腐點(diǎn)蝕后敢純水收噴淋役清洗拋，以天上工與序?yàn)橥浊宄摴杵砻娓嗟腟釣iO俗2制層，置反應(yīng)動生成樓為為波微量換的S鹽iF計(jì)4予和[杜H殊2敵Si切F落6風(fēng)]模2-貌少量穴的絡(luò)黎合物快，以做上清氏洗廢筒水分博別進(jìn)文入含菠N廢韻水處猾理設(shè)惜施處何理及幣酸堿棗廢水禾處理魯設(shè)施湊處理敏。因皆而此該工序加會有說少量怖的氮辰氧化度物、起硫酸顏霧、揀HC摘l、歌HF普和四女氟化草硅揮纏發(fā)。艇5.說加減占反射漆膜：火利用啟硅烷右、氨清氣之羊間的謝反應(yīng)少在硅勉片表坐面形盤成一叮層加傲減反蛾射膜若，N銷2乓不發(fā)圓生反杯應(yīng)，些作為再保護(hù)磨氣體盡，此臭工序譽(yù)會有謊少量提的氨壘氣和防硅烷張揮發(fā)廚。均6.配絲網(wǎng)朗印刷倚(即衰在硅艱片上員印刷李鋁漿鑄、銀涂漿、嫂銀鋁含漿)照：命使用千漿料傅印刷描電極軟，使?jié)欀紊谐闪祭搴媒臃灿|,迎收集辜電流倉。主百要是誠使用階銀漿助，鋁濫漿，盈銀鋁蜘漿，蜓一般域由金俊屬粉禁末和汁有機(jī)此溶劑撥以及尊固體丸樹脂桃構(gòu)成移，經(jīng)向過燒輝結(jié)后疫有機(jī)外溶劑殃和固伶體樹孔脂都例被揮慧發(fā)，誠剩余服金屬您與硅渣形成隱合金夠?qū)?。燦7．怒燒結(jié)悟考睜遙夕嘗艘氏幻箏眨肥種哥氣取塑般帥傭渣賊風(fēng)移只政燈燒結(jié)眨自然響冷卻將后即場為成扣品單鼓晶硅沃太陽要能電雕池片爭。慰4、睡資源橋及能原源消諷耗搭本項(xiàng)弦目原描輔材欣料及遷能源萍序號胡原輔奏料名滋稱標(biāo)年耗限量襲1愁原料掛硅片伙（S愛i）鏟90校0t趣（約曠72駁00觀萬片堂）片2原輔料券氮?dú)馓?9奇9.疤99稀%)皆69愛0癢t（幸約8突5萬遍m胞3員）專3頓硅烷嶼(9捏9.女99鬼9%淋)劃28爐00裁kg材4椒氨氣責(zé)(9愉9.夏99佩9%所)塘20忽40森kg怨5播CF莊4六(9望9.牲99旬9%企)貌6.添04蠶8齊t（求約剩37艱60局m雨3蒜）門6舍氧氣沾(9街9.墊99統(tǒng)%)暴14插2棗.8客56隱t(迷約1諒2.悟5萬五m表3奴）鼓7烘三氯薪氧磷庭（庫99久%起）埋3.猶92澤t（至約載23喘33愧m雙3慕）擺8堤銀漿萍42沸00痛kg維9紫鋁漿瘋54太00隸0k往g畝10桐銀鋁茂漿長42失00彈kg應(yīng)11煙鹽酸毫（3壤6%垃）謹(jǐn)13喊4.破56復(fù)8t奇12劑氫氟呀酸（愁40淡%分縱析純突）咐44蝕9.揉14譽(yù)88瞞t低13荒三氧怎化鉻搞（9腦9.葡5%仔）蝦91桐.2季t申14系硝酸生（6蒙5%爛分析梨純）兩36卵5.約04割t秩15尖氫氧能化鉀去（4聽5%誠分析硬純）依30罩.1刪2t理16村硫酸飛（9捧8%損工業(yè)激級）掌2.市52折t下17拍水處限理藥邪劑吉聚合伏氯化專鋁（攻工業(yè)柴級、威固體碑）爽25發(fā)噸信18衣高分絞子混炸凝劑娛（工顯業(yè)級淘、固畝體）交0.斬3噸看19巴氫氧擺化鈉褲(9編0%邁工業(yè)處級、跑固體麥)波16旋噸肚19柿Ca嘗Cl硬2費(fèi)(7輕0%池工業(yè)匆級)邊13式噸婚20低能源糖水辣26社.3嘩7萬語21怠電秧12恒00掘萬度筑5、夏主要直生產(chǎn)慧設(shè)備于、公進(jìn)用及稿貯運(yùn)華設(shè)備貌本項(xiàng)凡目主尋要設(shè)參備表流序靠號召設(shè)備熄名稱柄規(guī)格羅（型功號）制數(shù)量產(chǎn)備注陳1依生產(chǎn)書設(shè)備蘇有鉻溝線小擴(kuò)散綁前清決洗機(jī)圾/粒8臺儀新增停2未擴(kuò)散蘆爐猛/撒4臺焦3蔑擴(kuò)散謠后清借洗機(jī)君/訴4臺委4達(dá)PE透CV景D鍍婦膜機(jī)弓SL孟PC咬-7尚1H吩R4他4臺漂5籌等離桶子刻剩蝕機(jī)孕M4嗚22萍00恒1僑6臺紹6觸絲網(wǎng)拼印刷撐機(jī)淘J1員76殺2C馳LD韻/C孤UL秤4臺草7巾燒結(jié)錦爐筆PV拜D-沖60菌0爪4臺純8離甩干消機(jī)現(xiàn)/卡8臺翁9告無鉻宋線揚(yáng)擴(kuò)散以前清止洗機(jī)圖/猜1臺頸1舉0刷擴(kuò)散想爐宿/群1臺呈1宅1楊擴(kuò)散州后清爪洗機(jī)球/炒1臺計(jì)1涼2買PE蛇CV萬D鍍賭膜機(jī)高/術(shù)1臺簽1正3委絲網(wǎng)膠印刷掌機(jī)身/而1臺危1唐4圾燒結(jié)訓(xùn)爐徑/鋸1臺托1嘉5谷輔助當(dāng)設(shè)備株冷凍屆機(jī)陜/喉2臺皂新增泄1鴉6陵空壓座機(jī)瞧/束6臺犬1帶7顯組合悟式空獵調(diào)凈嗽化系些統(tǒng)輝0-世20歇T爸4套站18舊通風(fēng)睛系統(tǒng)晌（風(fēng)憶機(jī)）瘋4套靈為備司用腐48貓?zhí)讗?9族水泵弟/運(yùn)10俱臺喉2妥0凍氮?dú)饩?、氧攀氣朋儲襯罐逮氧氣早20字m滿3煙1戲個(gè)把依托毒21片氮?dú)庾?0滅m男3委1譜個(gè)媽22構(gòu)膜過社濾制周純水飾設(shè)施快設(shè)計(jì)悲能力張20秀0t朱/h正1套疤2際3教含N跌廢水掩膜過柄濾純展水設(shè)周施者1脖0波0偉t/敗d纏1套燒新增窮2評4愉含P桑廢水呆膜過你濾純株水設(shè)掠施白1歷0t注/扒d浪1套冠26柴環(huán)保豐設(shè)備搭酸性渡廢水權(quán)處理滿+混勒凝沉鼓淀系廢統(tǒng)壺設(shè)計(jì)國能力預(yù)20飼0t雅/h址1套雄依托扇27躺含氫藍(lán)氟酸基廢水脹處理扔設(shè)施航設(shè)計(jì)舒能力犬50麥t/筍h掩1套拆28畢含鉻塵酸廢翅水處姐理設(shè)低施貍設(shè)計(jì)鄙能力亡50結(jié)t/廁h勺1套瘋29狀廢水艦（尾鳥水）傻深度格處理講系統(tǒng)韻（中迷水回柱用）掏設(shè)計(jì)顏能力睜20稻0t渠/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