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位移檢測(cè)裝置5/28/2023一、旋轉(zhuǎn)變壓器(角位移檢測(cè)元件)旋轉(zhuǎn)變壓器是一種角度測(cè)量元件,它是一種小型交流電機(jī)。在結(jié)構(gòu)上與兩相繞組式異步電動(dòng)機(jī)相似,由定子和轉(zhuǎn)子組成,定子繞組為變壓器的原邊,轉(zhuǎn)子繞組為變壓器的副邊。激磁電壓接到定子繞組上,激磁頻率通常為400H、500H、1000H、3000H、5000H,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、動(dòng)作靈敏,對(duì)環(huán)境無(wú)特殊要求,維護(hù)方便,輸出信號(hào)幅度大,抗干擾性強(qiáng),工作可靠。5/28/2023工作原理:定子繞組輸入電壓5/28/2023設(shè)加到定子繞組的勵(lì)磁電壓為U1=Umsint,通過電磁耦合,將在轉(zhuǎn)子繞組中產(chǎn)生的感應(yīng)電壓為
U2=KU1sin=KUmsintsin式中K—變壓比(K=N1/N2為定子、轉(zhuǎn)子繞組的匝數(shù))Um—?jiǎng)?lì)磁最大電壓—?jiǎng)?lì)磁電壓角頻率—轉(zhuǎn)子與定子相對(duì)角位移,當(dāng)轉(zhuǎn)子磁軸與定子磁軸垂直時(shí),=0;當(dāng)轉(zhuǎn)子磁軸與定子磁軸平行時(shí),=90。5/28/2023二、感應(yīng)同步器工作原理:
利用電磁耦合原理,將位移或轉(zhuǎn)角變成電信號(hào)(極為普遍)。即使滑尺與定尺相互平行,并保持一定的間距。向滑尺通以交流激磁電壓,則在滑尺中產(chǎn)生激磁電流,繞組周圍產(chǎn)生按正弦規(guī)律變化的磁場(chǎng),由電磁感應(yīng),在定尺上感出感應(yīng)電壓,當(dāng)滑尺與定尺間產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí),由于電磁耦合的變化,使定尺上感應(yīng)電壓隨位移的變化而變化(相同頻率)。5/28/20235/28/2023定尺繞組產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)原理圖5/28/2023三、脈沖編碼器(角位移檢測(cè)元件)1、增量式脈沖編碼器5/28/20232、絕對(duì)式脈沖編碼器5/28/2023四、光柵組成:標(biāo)尺光柵:安裝在機(jī)床的移動(dòng)部件上指示光柵:安裝在機(jī)床的固定部件上它們之間保持0.05mm或0.1mm的間隙。相互平行5/28/2023分類:透射光柵反射光柵透射光柵:采用經(jīng)磨制的光學(xué)玻璃或在玻璃表面感光材料的涂層上刻成光柵線紋。
特點(diǎn):光源可以采用垂直入射光,光電元件直接接受光照。因此信號(hào)幅值比較大,信噪比好。光電轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,如線性密度200線/mm。缺點(diǎn):玻璃易破裂,熱脹系數(shù)與金屬部件不一致,影響測(cè)量精度。5/28/2023反射光柵:光柵和機(jī)床金屬部件的線膨脹系數(shù)一致,接長(zhǎng)方便。也可用鋼帶做成長(zhǎng)達(dá)數(shù)米的長(zhǎng)光柵。缺點(diǎn):為了使反射后的莫爾系數(shù)反差較大,每毫米內(nèi)線紋不宜多,常用4、10、25、40、50線/mm。
5/28/2023工作原理:5/28/2023若標(biāo)尺光柵和指示光柵的柵距相等,指示光柵在其自身平面內(nèi)相對(duì)于標(biāo)尺光柵傾斜一個(gè)很小的角度,兩塊光柵的刻線就會(huì)相交。當(dāng)燈光通過聚光鏡呈平行光線垂直照射在標(biāo)尺光柵上,在兩塊光柵線相交的鈍角平分線上,出現(xiàn)明暗交替、間隔相等的粗短條紋,稱之為橫向莫爾條紋。5/28/2023莫爾條紋的形成5/28/2023特點(diǎn):
●由于光柵的刻線可以制作十分精確,同時(shí)莫爾條紋對(duì)刻線局部誤差有均化作用,因此,柵距誤差對(duì)測(cè)量精度影響較小。也可采用信號(hào)。
●在檢測(cè)過程中,標(biāo)尺光柵與指示光柵不直接接觸,沒有磨損,因而精度可以長(zhǎng)期保持。
●光線刻線要求很精確,兩光柵之間的間隙及傾斜角都要求保持不變,制造調(diào)試比較困難。光學(xué)系統(tǒng)易受外界的影響產(chǎn)生誤差,同時(shí)又有灰塵、油、冷卻液等污物的侵入,易使光學(xué)系統(tǒng)變質(zhì)。5/28/2023五、磁柵磁柵又稱磁尺,是一種采用電磁方法記錄磁波數(shù)目的位置檢測(cè)裝置。組成:磁性標(biāo)尺、磁頭和檢測(cè)電路利用錄磁的原理將一定周期變化的方法,正弦波或脈沖電信號(hào),用錄磁磁頭記錄在磁性標(biāo)尺的磁膜上,作為測(cè)量的基準(zhǔn)。檢測(cè)時(shí),用拾磁磁頭將磁性標(biāo)尺上的磁信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),經(jīng)過檢測(cè)電路處理后,用以計(jì)量磁頭相對(duì)磁尺之間的位移量。5/28/2023磁尺測(cè)量裝置的組成和工作原理:
磁性標(biāo)尺是在非導(dǎo)磁材料如銅、不銹鋼、玻璃或其他合金材料的基體上,用涂敷、化學(xué)沉積或電鍍的一層10~20um的導(dǎo)磁材料(Ni-Co或Fe-Co合金),在它的表面上錄制相等節(jié)距周期變化的磁信號(hào)。磁信號(hào)的節(jié)距一般為0.05、0.1、0.2、1mm。為了防止磁頭對(duì)磁性膜的磨損,通常在磁性膜上涂一層厚1~2mm的耐磨塑料保護(hù)層。磁頭是進(jìn)行磁電轉(zhuǎn)換的變換器,它把反映空間位置的磁信號(hào)輸送到檢測(cè)電路中去。
普通錄音機(jī)上的磁頭輸出電壓幅值與磁通變化率成比例,屬于速度響應(yīng)型磁頭。根據(jù)數(shù)控機(jī)床的要求,為了在低速運(yùn)動(dòng)和靜止時(shí)也能進(jìn)行位置檢
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