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文檔簡介

10萬級干凈室干凈室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室,是指將肯定空間范圍內(nèi)之空而所賜予特別設(shè)計之房間。干凈室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染掌握的根底。沒有干凈室,污染敏感零件不行能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,干凈室被定義為序以掌握空氣懸浮微粒濃度,從而到達(dá)適當(dāng)?shù)奈⒘8蓛舳燃墑e。及壓力等性能之特性。分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是掌握每立方米將小于微米粒徑的微塵數(shù)量掌握在3500個以下,就到達(dá)了國際無塵標(biāo)AA10001K也要求工藝、建筑及其他專業(yè)實(shí)行相應(yīng)的措施:不但要有合理的設(shè)計,而且還要施中到達(dá)干凈度要求的四個必要條件簡要論述。一、送風(fēng)干凈度要保證送風(fēng)干凈度符合要求,關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級過濾器的性能和安裝。≥%,B≥%,C,D≥μm[2]≥μm粒子)95~%。效率越高,過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應(yīng)本著既要滿足低性能過濾器、高級別干凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來:100A;1~100B;100~1C二、氣流組織能有效的帶走。依據(jù)不同的干凈度要求,選擇不同的送、回風(fēng)方式。三、送風(fēng)量或風(fēng)速塵粒最大允許數(shù)/立方米塵粒最大允許數(shù)/升塵粒最大允許數(shù)/立方米塵粒最大允許數(shù)/升四、靜壓差別地相鄰房間或套間維持肯定地正壓,負(fù)壓干凈室的干凈度才能得以維持。干凈室正壓值是指門窗全部關(guān)閉狀態(tài)下,室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);系統(tǒng)關(guān)閉時先關(guān)排風(fēng)機(jī),再關(guān)回風(fēng)機(jī)和送風(fēng)機(jī),以防止干凈室在系統(tǒng)開啟和關(guān)閉時受到污染。到達(dá)要求并具備應(yīng)有的抗污染干擾力量。干凈度級別≥μm≥5μm ≥μm≥5μm1003,52029 100100035,200293 100010,000352,0002,930 9968100,0003,520,00029,300 9,96283300,00010,560,00087,900 29,8852491000,00035,200,000293,000 99,616829塵埃最大允許數(shù)/3微生物最大允許數(shù)相當(dāng)于干凈級別≥ ≥5mm浮游菌/m3 沉降菌皿ISO1003,500051ISO510,000350,0002,0001003ISO7100,0003,500,00020,00050010ISO8300,000300,00010,500,00060,00015ISO9ISO14644最高濃度極限〔顆粒數(shù)/m〕近似對應(yīng)分級傳統(tǒng)規(guī)格ISO1102ISO210024104ISO31,0002371023581ISO410,0002,3701,0203528310ISO5100,00023,70010,2003,52083229100ISO61,000,000237,000102,00035,2008,3202931,000ISO7352,00083,2002,93010,000ISO83,520,000832,00029,300100,000ISO935,200,0008,320,000293,000懸浮粒子最大允許數(shù)/立方米(a)干凈度級別靜態(tài)(b)動態(tài)(b)≥μm(d) ≥5μm≥μm(d)≥5μmA35001(e)35001(e)B(c)35001(e)3500002023C(c)3500002023350000020230D(c)35000002,0000不作規(guī)定(f)不作規(guī)定(f)外表微生物浮游菌沉降菌〔f90mm〕

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