微電子潔凈廠房運(yùn)行與管理

微電子潔凈廠房運(yùn)行與管理2007年2月華衛(wèi)群中國電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所微電子潔凈廠房運(yùn)行與管理

潔凈廠房相關(guān)一般概念

工程建設(shè)與高質(zhì)量的安裝工程

潔凈廠房管理及運(yùn)行微電子技術(shù)的重要性和發(fā)展趨勢目前、微電子工業(yè)的發(fā)展水平已成為衡量一個(gè)國家的科學(xué)技術(shù)水平和經(jīng)濟(jì)發(fā)展實(shí)力的重要標(biāo)志！自1958年世界上第一塊集成電路問世以來，特別是近20年來，幾乎每隔2~3年就有一代產(chǎn)品問世。我國的微電子行業(yè)的發(fā)展，近年也投入了大量的人力、物力、財(cái)力，先后建成多家有實(shí)力的公司。潔凈廠房的一般概念常識氣閘室、傳遞箱

7潔凈區(qū)2人身凈化用室

、物料凈化用室3單向流、非單向流

6潔凈度

5潔凈室1懸浮粒子、粒徑4凈化廠房的“三態(tài)”

8潔凈室---CLEANROOM空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

潔凈區(qū)---Clean

zone空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。

人身凈化、物料凈化用室人身凈化用室—Roomforcleaninghumanbody潔凈室工作人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。物料凈化用室—Roomforcleaningmaterial

物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

懸浮粒子、粒徑懸浮粒子—Airborneparticals用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在０.1um~5um的固體和液體粒子。粒徑

–Particalsize

由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體半徑。對離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀，采用當(dāng)量光學(xué)直徑。潔凈度--Cleanliness按單位容積空氣中某種粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。單向流、非單向流單向流---Unidirectionalflow沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。非單向流—non-nidirectionalflow凡不符合單向流定義的氣流。氣閘室、傳遞箱氣閘室—Airlock沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。傳遞箱—Passbox在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞另部件或小設(shè)備的開口,兩側(cè)裝有不能同時(shí)開啟的門扇并可設(shè)氣閘。潔凈廠房“三態(tài)”空態(tài)：asbuilt設(shè)施已建成，所有動力接通并運(yùn)行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。靜態(tài)：atrest設(shè)施已建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按用戶及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無人員。動態(tài)：operational設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。潔凈廠房管理與運(yùn)行隨著我國電子工業(yè)的飛速發(fā)展、特別是微電子工業(yè)以及產(chǎn)品的供過于求，各項(xiàng)產(chǎn)品的競爭日趨激烈，打贏這場競爭的關(guān)鍵是產(chǎn)品的質(zhì)量和價(jià)格。生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度水平是電子產(chǎn)品生產(chǎn)的前提條件，而廠房各項(xiàng)設(shè)施的低成本運(yùn)行則是產(chǎn)品價(jià)格的基礎(chǔ)。

潔凈廠房管理與運(yùn)行

潔凈廠房的一般設(shè)計(jì)原則2潔凈廠房的運(yùn)行管理重點(diǎn)3潔凈廠房的運(yùn)行管理體會5潔凈廠房的系統(tǒng)組成

1潔凈廠房的節(jié)能改造及措施41、潔凈廠房的系統(tǒng)組成。風(fēng)機(jī)(Fan)：空氣調(diào)節(jié)處理機(jī)組：過濾器(Filter)：自動控制系統(tǒng)(BA)：環(huán)境參數(shù)監(jiān)控儀器儀表：2、潔凈廠房的一般設(shè)計(jì)原則位置選擇及平面布置：含塵低、無有害氣體、遠(yuǎn)離鐵路等，最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)。工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊：只布置必要的工藝設(shè)備以及工序和工作室噪聲的合理控制：潔凈室必須≤65dB(A),維護(hù)結(jié)構(gòu)良好隔聲性能、采用低噪聲產(chǎn)品、風(fēng)管風(fēng)速宜按規(guī)定選用。微震控制：建筑要求：1、建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。2、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少塵等要求。3、管線需暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)豎井、技術(shù)夾道。2、潔凈廠房的一般設(shè)計(jì)原則空氣凈化的一般設(shè)計(jì)規(guī)定：1、空氣潔凈度等級應(yīng)滿足工藝的要求。2、不同潔凈度級別選用不同氣流流型。3、溫度、濕度宜根據(jù)工藝要求合理確定。4、選用高效真空吸塵器或集中式真空吸塵系統(tǒng)。5、壓差控制應(yīng)不小于5Pa。6、根據(jù)潔凈度要求合理選用空氣處理用過濾器，2、潔凈廠房的一般設(shè)計(jì)原則給水排水一般原則：1、給排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾道或技術(shù)夾層內(nèi)。2、可能結(jié)露的管道應(yīng)采取防護(hù)措施。3、管道穿越墻壁、樓板和吊頂時(shí)應(yīng)設(shè)套管，并可靠密封。4、超純水、冷卻循環(huán)水、自來水等。5、排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、濃度和水量等條件分別設(shè)置、達(dá)標(biāo)排放。2、潔凈廠房的一般設(shè)計(jì)原則氣體管路的一般規(guī)定：1、氣體管道的布置干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)宜與水、電管線共架，并應(yīng)設(shè)在其上部。2、高純氣體管道應(yīng)按流量、壓力或生產(chǎn)需要確定管徑，最小不宜小于∮6×1mm。3、穿越樓板或墻壁處不應(yīng)有焊縫。4、入口控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)等宜集中設(shè)置在入口室。2、潔創(chuàng)凈廠遵房的塵一般席設(shè)計(jì)芝原則5、管餓道材型料和顫閥門每的選蜻用應(yīng)狀滿足剝生產(chǎn)促工藝猾對氣每體純鋪度、瓦露點(diǎn)凳的要鴿求和俯使用機(jī)特點(diǎn)精。6、氣油體純您度≧99效.9俗99劇%、露得點(diǎn)＜-7片6℃，應(yīng)搬選用思電化沫學(xué)拋險(xiǎn)光管己（31鉆6L或30彩4），孩隔膜奧閥或迅波紋誦管閥可；純鏈度≧99瓜.9炭9%、露鈔點(diǎn)＜-6鴨0℃，應(yīng)液選用短電化脂學(xué)拋眼光管恥（30危4），倆閥門揚(yáng)可用鈔球閥爛。7、管芝道連仰接除吹鍍鋅使管外屆，應(yīng)醋采用列氬弧區(qū)焊接薦，采尊用對會焊或務(wù)承插武焊接須。8、閥所門與獸管道善連接邁密封剝材料郵宜采林用金閉屬墊千或聚支四氟婚乙烯墊墊。3、潔差凈廠色房的陷運(yùn)行嘴管理銀重點(diǎn)廠房段運(yùn)行概安全鞠：1、送鐮、排位風(fēng)系觸統(tǒng)。2、特評氣管西路的船監(jiān)控艦及報(bào)薯警。3、各脆種壓可力管兩道的對定期堵巡視膚。4、潔扔凈室穩(wěn)的溫艷度、醫(yī)濕度粉、潔健凈度尚和正工壓的壤控制濾。設(shè)施鉛穩(wěn)定鉗運(yùn)行:定期侵巡視趨，定沈期保就養(yǎng)，君定期埋整固械。高效彈、低躁耗運(yùn)移行：此根據(jù)因現(xiàn)場群情況葡和設(shè)傍備工磨藝需伏求制組定和啄實(shí)施溜節(jié)能淺改造佛。4、潔膏凈廠久房的鞭節(jié)能劃改造快及措兩施能源襖是國俗家建艱設(shè)、暖人們終生活磚中必艇不可辛少的針，而刻能源頓利用盆率是劉一個(gè)馬國家貿(mào)科技哄水平遲的一疏個(gè)象桐征，唱開淚發(fā)新鏡能源總，提頁高能袖源的裕利用奧率是筑為保樓證經(jīng)彈濟(jì)發(fā)捉展的詠首要忽任務(wù)猛。中周央空狡調(diào)它絕是以近消耗塘電能裁為動草力，佳為人浪們提棄供舒淋適的易工作毯環(huán)境清和生寫活環(huán)壇境，會但是掌中央衫空調(diào)沃耗電菊量在捕整個(gè)薪單位識平均遠(yuǎn)占用逗電量站的40％悲以上罪，所甘以對冤中央艘空調(diào)啊進(jìn)行味節(jié)能咸設(shè)計(jì)融與節(jié)析能改旦造，爸對節(jié)捎約能策源是呢十分伍重要銀的。4、潔難凈廠微房的滾節(jié)能肥改造朗及措溉施中央掙空調(diào)棍由制程冷主取機(jī)、伸冷卻君水泵魄機(jī)組幻玉、冷蹲凍泵側(cè)機(jī)組其等幾北個(gè)部箏分組澆成，掀其作忙用就扁是制岸冷、鐮熱交旨換為旗空調(diào)廊室提蛇供冷奪空氣湯及新費(fèi)鮮空幻玉氣。對于克中央姑空調(diào)曾來說韻，按劇照國遲家標(biāo)莫準(zhǔn)，冊系統(tǒng)鈔的最題大負(fù)榮載能服力是析按照趁氣溫肢最高舌，負(fù)偵荷最鎮(zhèn)大的盤工作印環(huán)境面來設(shè)始計(jì)的融，就華系統(tǒng)叛本身皮來說帝，存友在著憐很大蔑的儲梳備空阻間，龍而實(shí)診際上族系統(tǒng)煎又很帆少在榜這些榨極限長條件語下工陰作。根據(jù)呼有關(guān)伶資料翻統(tǒng)計(jì)彎，中忘央空嬸調(diào)設(shè)館備97忽%的時(shí)紋間在70嫁%負(fù)荷誦以下妨波動績運(yùn)行袍，所灰以實(shí)供際負(fù)濕荷總盯不能篇達(dá)到備滿負(fù)錘荷（圈即通譜常所生說的奏‘大均馬拉勸小車'）；聾特別金是冷立氣需政求量冒較少耍的情凱況下散，主車機(jī)負(fù)春荷量渠低。4、潔引凈廠陡房的膀節(jié)能繞改造仆及措獵施節(jié)能牽降耗收要體屢現(xiàn)合途理使溫用，卡保障夠科研仰生產(chǎn)知的基那本需惡要。中央公空調(diào)廊節(jié)能竄的原原理、具方法叫及節(jié)膏能的巡壽效果流，重末點(diǎn)是莖變頻孫器在畏節(jié)能尸中的命應(yīng)用況。對主環(huán)機(jī)進(jìn)保行變纖頻控暴制，遣節(jié)能饑效果也最佳綢。對冷旺凍泵限、冷咽卻泵帽進(jìn)行崖變流填量控盜制，曠加裝映變頻下器后疑，節(jié)眾能率旺可以怨達(dá)到60調(diào)%，節(jié)紛能率址最佳肆。4、潔臉凈廠鐮房的饑節(jié)能纖改造濱及措筆施送、型排風(fēng)派風(fēng)機(jī)弱工作濟(jì)、值青班變字風(fēng)量城調(diào)節(jié)劈燕。盡量址采用疲高效引、低勢阻力爭末端鋒過濾林器，撈并且釋前級牢保護(hù)欄過濾姑器配課備適配當(dāng)。根據(jù)兼不同饒季節(jié)寬，在疲保證喉工藝尚要求誘的前鵲提下接，適燃當(dāng)調(diào)直整房羞間的哀溫、朝濕度炕控制糖指標(biāo)需。壓差瓦控制光適當(dāng)饒可以雹降低恥標(biāo)準(zhǔn)2P耍a左右褲。5、潔籌凈廠卻房的乎運(yùn)行屆管理吊體會微電淹子行儀業(yè)有想其顯犁著的疑特點(diǎn)肚，在瞞廠房獄的運(yùn)陵行管掌理方饑面要把求很奪高，幅必須縱保證寸常年堪連續(xù)咽工作局，持船續(xù)運(yùn)疲轉(zhuǎn)，榮任何血一次束短暫關(guān)的停礙機(jī)都禾會帶月來巨傾大的揉損失箭。運(yùn)行每、保抽障的嗎壓力洞非常趣大。智機(jī)器礦可以搏人為嘴減少鐵故障野率到劑最少皆，但練是不申可能史沒有炸故障李發(fā)生艙，而評且發(fā)京生往雕往是匆突如慰其來汪。樹立吃力爭打使設(shè)腎備故漂障率無最低破的工拒作思濕路。5、潔剩凈廠棗房的花運(yùn)行涌管理蠶體會加強(qiáng)四現(xiàn)場遵設(shè)備搞操作桐規(guī)程排、應(yīng)哄急故援障處逼理的皮學(xué)習(xí)淚和實(shí)景踐。制定刑并且亮嚴(yán)格臺執(zhí)行堵現(xiàn)場透巡查霉制度屠。定期狗做好特設(shè)備汗的耗劈燕件更智換、茶保養(yǎng)偵，并煉做好癥設(shè)備尼檔案耽維修堵記錄世。工藝可間定練期進(jìn)避行環(huán)撐境參瓜數(shù)測程試，役及時(shí)翼發(fā)現(xiàn)勺問題緞，及戶時(shí)處找理。落實(shí)軌技術(shù)拔、維誰修人破員快省速反傲應(yīng)機(jī)遵制，新現(xiàn)場讓問題轉(zhuǎn)無論很何時(shí)令，必棄須最聞短時(shí)狂間到狹達(dá)并炮著手遲處理工程臉建設(shè)水與高避質(zhì)量特的安許裝工盈程高質(zhì)率量的乒建設(shè)勵工程物從藍(lán)墓圖到鳥工程機(jī)竣工唯，交蘇付使場用，園正常碧生產(chǎn)迎，都經(jīng)離不較開高恩質(zhì)量者的安側(cè)裝做到保證鏡。前期爹可行第性研踢究階肆段開煉始，捆就要背做好蝕周密悟的項(xiàng)躺目進(jìn)庫展計(jì)外劃和掌人員房誠配備跳。工程犯安裝音階段制，要丘成立療項(xiàng)目方專案呢小組熊，落疼實(shí)施贈工技乳術(shù)組約織，叮協(xié)調(diào)許網(wǎng)絡(luò)陡，專炸業(yè)施揭工方疼案。摘盡量稼花更牢多時(shí)祖間做月好前克期準(zhǔn)憲備。工程再建設(shè)駱與高含質(zhì)量連的安像裝工麻程對設(shè)宗計(jì)圖痰紙上疾的某曲些局摸部方呀案，追不迷橡信，方可以瞞切實(shí)繭依據(jù)批現(xiàn)場扭情況誼、安駕裝使住用的為經(jīng)驗(yàn)俗和使唯用單尿位的道具體懷要求摧來提裝出改金進(jìn)意廉見或伍建議國，這著對建株設(shè)單夜位來霧講是銳非常蔑值得梨的。工程怕建設(shè)臺與高繁質(zhì)量墓的安趕裝工疼程安裝艷工程顯施工扯中幾痕點(diǎn)建恒議：1、清占洗工等作不膠夠肢潔循凈工男程的雁施工融應(yīng)在弓建筑心施工嫂基本競完工,外門悄窗裝船好,地坪犧做好,吊架晉預(yù)留度好,并且偷做了主清掃匯工作架后才昨能開貝始。贊而且律風(fēng)管宴成型榴前必功須對菠板材刪進(jìn)行執(zhí)清洗,去除齊板面臺上的扁油污,風(fēng)管侍成型膏并揩得試干辮凈后庭再用蜂吸塵諷器吸桂去浮銹塵,然后君將風(fēng)救管的絞開口系處用背塑料距薄膜算包封狹好。宇有的處建設(shè)電單位層及施蠟工單稼位為肝了趕順進(jìn)度,往往鹿在條弟件未催具備聲的情倒況下懲就開海始施經(jīng)工,還有難的甚伐至就襲干脆先省去廳了風(fēng)季管的租清洗脅工作,導(dǎo)致廚風(fēng)管栽受污容嚴(yán)重?cái)[。另請外,對高女效過道濾器授的安歉裝,施工袍規(guī)范扭中明丸確規(guī)高定,必須鍵在室鴿內(nèi)清棚潔,系統(tǒng)叨空吹12小以從上,然后伏再室謀內(nèi)清辣潔后遇馬上略安裝邪。然盒而,在調(diào)珍試中爐發(fā)現(xiàn),有的腹施工喊單位路在室眉內(nèi)很穗臟,甚至羅空調(diào)妙箱也持很臟年的情蛙況下,就安裙裝了堅(jiān)高效譜過濾倍器,這必懼將會避降低胳高效糕過濾服器的躺使用惡壽命努。工程趨建設(shè)逼與高罪質(zhì)量牢的安藝裝工欣程2、風(fēng)傍管密劫封做竊得不區(qū)好喜由濃于凈序化空質(zhì)調(diào)系俱統(tǒng)的冰特殊雪性,對風(fēng)片管嚴(yán)框密性壘和不咽易產(chǎn)草塵有漠更高朵的要僅求。燥凈化鐘空調(diào)極系統(tǒng)喉內(nèi)因喪增加而了三筍道過儲濾器,系統(tǒng)勺的阻村力幾氣乎比荷一般垮空調(diào)房誠系統(tǒng)休的壓芝頭大迅一倍,這就桶導(dǎo)致效系統(tǒng)識投入占運(yùn)轉(zhuǎn)裁時(shí)，掠風(fēng)管盯所經(jīng)適過的狡非潔位凈區(qū)坡中含勸塵濃割度較面高的考空氣禮就會敘滲入掉系統(tǒng)迅而直燈接影帆響室皮內(nèi)潔重凈度騾，因漲此風(fēng)崖管的慰嚴(yán)密林性顯養(yǎng)得格裂外重跟要?？骑L(fēng)管估漏風(fēng)墾主要艱存在姨于風(fēng)的管咬爐口、畜法蘭蝕間和既法蘭牧翻邊侮處，依對這忠些地岸方如莖不采繁取密架封措暈施，獸漏風(fēng)叉將相懼當(dāng)嚴(yán)蹄重。要調(diào)試橋中發(fā)同現(xiàn)，些有些該凈化幻玉系統(tǒng)笨機(jī)組辟總風(fēng)糊管測偷得總貧風(fēng)量曾與風(fēng)帽口風(fēng)窮量總岡和相蠶差很獵大，閃這主升要就堵是由衰于風(fēng)葵管漏透風(fēng)引動起的根，因訴此施爬工中激務(wù)必惹引起顆重視月，從鵲而提清高施悶工質(zhì)仗量。工程宵建設(shè)艦與高虛質(zhì)量皇的安近裝工踢程3、高計(jì)效過假濾器岔安裝膛不當(dāng)和高效感過濾坐器是炎潔凈來空調(diào)旦系統(tǒng)捷的主謙要設(shè)政備。念由于議濾紙貪非常宏精細(xì)疑，易辨損壞絹，因鹽此只社能在籌安裝董現(xiàn)場萬安裝柿?xí)r現(xiàn)驅(qū)拆高調(diào)效過傻濾器富包裝圓，應(yīng)里按說棟明書等要求滔取出自。高秧效過昏濾器矛安裝猛時(shí)，隙施工畫人員縣除了螞要避掌免將啦其損遭傷外廈，還財(cái)要注柳意安炮裝時(shí)禾須將雖壓緊垂螺栓嗓擰緊婚，而渡且施矩力要稻均勻碧，另綁外，緊在邊餅框搭廢接處啞封條垮應(yīng)打魚入足爹夠的哈密封熊膠，揭否