SK海力士半導(dǎo)體（中國）有限公司12英寸集成電路生產(chǎn)線五期技術(shù)升級項目環(huán)評報告

江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司I1前言 1 2總論 12 3技改項目所地在環(huán)境特征分析 30 4現(xiàn)有項目分析 44 江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司II5五期項目工程分析 76 6區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀調(diào)查與評價 129 7區(qū)域污染源調(diào)查 141 8環(huán)境影響預(yù)測評價 143 9環(huán)境風(fēng)險評價 189 江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司III 10施工期環(huán)境影響分析 246 11公眾參與 251 12環(huán)保措施及可行性論證 260 13產(chǎn)業(yè)政策、清潔生產(chǎn)及循環(huán)經(jīng)濟分析 308 江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司IV14區(qū)域污染物排放總量控制 321 15廠址的可行性分析 324 16環(huán)境經(jīng)濟損益分析 335 17社會影響分析 34118環(huán)境監(jiān)測與管理 343 19結(jié)論與建議 34919.1結(jié)論 35019.2建議 354江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司1言主辦單位名稱：SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司(原名海力士—意法半導(dǎo)體有限公為SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司)?，F(xiàn)位于江蘇省無錫高新區(qū)綜合保江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司2在地塊為規(guī)劃的工業(yè)用地，符合江蘇省無錫高新技術(shù)開發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃；本項目符合《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2011年本)(修正)》的要求；符合規(guī)劃及區(qū)域環(huán)評中的選址要求；符合《省政府關(guān)于印發(fā)江蘇省生態(tài)紅線區(qū)域保護規(guī)劃的通知》的相關(guān)要求。本項目的建設(shè)，可以帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展、促進經(jīng)濟的發(fā)展，具有明本項目屬于技改項目，根據(jù)項目性質(zhì)和特點，本次評價將通過工程污染分析，確定本工程項目排放的污染源強及主要污染物；調(diào)查該項目周圍環(huán)境的主要環(huán)境要素的現(xiàn)狀，掌握環(huán)境基本情況，并預(yù)測項目對周圍環(huán)境的影響程度；評價建設(shè)項目污染防治措施；從環(huán)境保護的角度論證項目的可行性，指出存在的環(huán)境問題，提出相應(yīng)的防治對策，為項目的決策、設(shè)⑴遵循國家法律、法規(guī)，緊密結(jié)合當(dāng)前國家和行業(yè)的環(huán)保政策以及地方環(huán)保規(guī)劃要求，協(xié)助建設(shè)方采用先進的環(huán)保治理技術(shù)，確保污染物總量江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司3⑶做好工程分析，貫徹“清潔生產(chǎn)”及“循環(huán)經(jīng)濟”的原則，最大限度地減少污染物的排放量。通過環(huán)境影響預(yù)測，分析建設(shè)項目對環(huán)境的影⑷堅持可持續(xù)發(fā)展、經(jīng)濟建設(shè)和環(huán)境建設(shè)協(xié)調(diào)發(fā)展的原則；充分利用近年來項目所在地取得的環(huán)境監(jiān)測、環(huán)境管理等方面的成果，開展本項目⑸評價工作應(yīng)做到客觀、公正、真實可靠，為項目環(huán)境管理提供科學(xué)環(huán)保審批的原則進行評價。⑺早期介入原則：環(huán)評工作盡早介入工程前期工作中，重點關(guān)注技改⑻廣泛參與原則：廣泛吸收相關(guān)學(xué)科和行業(yè)的專家、有關(guān)單位和個人環(huán)境影響評價工作一般分三個階段，即前期準(zhǔn)備、調(diào)研和工作方案階段，分析論證和預(yù)測評價階段，環(huán)境影響評價文件編制階段。具體工作過江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司4江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司5為主，主要生產(chǎn)工藝流程不變，僅由于產(chǎn)品線寬要求，導(dǎo)致工藝重復(fù)次數(shù)物量增加，但該部分增加的廢水量及污染物量均經(jīng)廠內(nèi)預(yù)處理裝置處理達無錫新區(qū)再生水回用示范工程接管標(biāo)準(zhǔn)后，排入無錫新區(qū)再生水回用示范⑶項目性質(zhì)為技術(shù)改造，符合國家與地方的各項產(chǎn)業(yè)政策和相關(guān)規(guī)劃處于2002—2020)》的相關(guān)要求；符合《無錫新區(qū)總體發(fā)展規(guī)劃》的相關(guān)要求；符合《無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)發(fā)展規(guī)劃環(huán)境影響報告書》及其批復(fù)的相關(guān)要求；符合⑵廢氣：含氟廢氣、有機廢氣、酸堿廢氣、特殊氣體等以及化學(xué)品倉無組織揮發(fā)的氣體。行了調(diào)查、監(jiān)測、分析，在此基礎(chǔ)上進行了預(yù)測和綜合分析評價，得出以江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司6小時。本項目是在原廠區(qū)內(nèi)進行產(chǎn)品技術(shù)升級改造，主體工程、配套輔助公用工程、環(huán)保工程主要依托原有設(shè)施，部分設(shè)施會根據(jù)產(chǎn)能的調(diào)整進行析結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2011年本)(修正)》的要求；符合《江蘇省工業(yè)和信錫市人民政府辦公室關(guān)于轉(zhuǎn)發(fā)市經(jīng)信委無錫市制造業(yè)轉(zhuǎn)型發(fā)展指導(dǎo)目錄錫新區(qū)總體發(fā)展規(guī)劃》的相關(guān)要求；符合《無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)發(fā)展規(guī)劃環(huán)境影響報告書》及其批復(fù)的相關(guān)要求；符合《江蘇省生態(tài)紅線根據(jù)清潔生產(chǎn)分析，本項目的產(chǎn)品在國際國內(nèi)處于領(lǐng)先水平，項目污物達標(biāo)排放分析廢水)、、生活污水等。不同的廢水在生產(chǎn)車間內(nèi)按照清污分流、異質(zhì)分流的原則。含氟廢水和酸性廢水經(jīng)廠內(nèi)現(xiàn)有預(yù)處理設(shè)施預(yù)處理達到無錫新區(qū)再生水回江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司7用示范工程接管標(biāo)準(zhǔn)后，排入無錫新區(qū)再生水回用示范工程，經(jīng)處理后，炭過濾—微濾(膜處理)工藝處理后回用；部分經(jīng)生化系統(tǒng)處理達新城污水處理廠的接管標(biāo)準(zhǔn)后，排入污水收集管網(wǎng)。生活污水排入新城污水處理②廢氣：本項目的廢氣種類比較多，按照生產(chǎn)工藝要求和廢氣處理的要求，分為含氟廢氣(PFC)、有機廢氣(VOC)、酸堿廢氣(硫酸等揮發(fā)的吸收凈化塔處理；有機廢氣采用焚燒處理工藝；特殊廢氣中砷烷、磷烷采磷酸、廢硝酸)、廢液(硫酸銨)、廢有機溶劑(ACT-935、THINNER、IPA、磷酸、廢硝酸)、廢液(硫酸銨)、廢有機溶劑(ACT-935、THINNER、IPA、江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司8市建設(shè)技術(shù)有限公司收集處置。建設(shè)項目噪聲源除來自于現(xiàn)有生產(chǎn)線、動力系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、制備，對所用的高噪設(shè)備進行防振基礎(chǔ)和減振措施，車間采用吸聲材料，廠進行了降噪隔聲處理。影響分析現(xiàn)狀監(jiān)測數(shù)據(jù)顯示：本次評價的地表水監(jiān)測斷面除氨氮外，其余各項SL。氨氮在要是上游來水水質(zhì)超標(biāo)及城市生活污水影響造成的。本項目酸性廢水、含氟廢水?dāng)M通過公司自建的污水處理站預(yù)處理達無錫新區(qū)再生水回用示范工程接管標(biāo)準(zhǔn)后，通過專門的管網(wǎng)排放進入無錫新區(qū)再生水回用示范工程，進行深度處理，達到《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(GB5749—2006)后經(jīng)專用管道回用于海力士公司及周邊單位，在新區(qū)范本項目除含氟廢水、酸性廢水外的其他工藝廢水、生活污水接入無錫市新城污水處理廠，是可行的。根據(jù)《無錫市高新水務(wù)有限公司新城水處m告書(報批稿)》水河排水口排入周涇浜，可調(diào)節(jié)周涇浜、伯瀆港水質(zhì)，項目尾水最終排入京江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司9根據(jù)環(huán)境影響預(yù)測結(jié)果，全年逐時氣象條件下，環(huán)境空氣保護目標(biāo)和面小時濃度滿足相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的要求；全年逐日氣象條件下，環(huán)境空氣保護目面日平均濃度均滿足相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的要求；長期氣象條件下，環(huán)境空氣保護目本項目執(zhí)行已批的衛(wèi)生防護距離：化學(xué)品倉庫(四期的)設(shè)置300米根據(jù)監(jiān)測結(jié)果，各噪聲測點晝、夜間噪聲均達到《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》根據(jù)預(yù)測結(jié)論，本項目建成后，在正常情況下，新增噪聲設(shè)施對廠界標(biāo)準(zhǔn)》GB底疊加后，廠界聲環(huán)境仍論本項目產(chǎn)生的大部分固體廢物均可通過各種途徑回收重復(fù)利用。少部處置后不會影響周圍的環(huán)境質(zhì)量。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司10價格、砷能滿足《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB/T14848—93)中的Ⅰ類標(biāo)準(zhǔn)，高酸鹽指數(shù)、揮發(fā)酚、硫酸鹽、氟化物、銅、六價格、砷均滿足《地下水質(zhì)項目所在地土壤各項指標(biāo)的現(xiàn)狀值均能達到《土壤環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》本項目對可能產(chǎn)生地下水影響的各項途徑均進行了有效預(yù)防，在確保各項防滲措施得以落實，并加強維護和廠區(qū)環(huán)境管理的前提下，可有效控制廠區(qū)內(nèi)的污染物下滲現(xiàn)象，避免污染地下水，因此項目不會對廠區(qū)所在本項目廢水均為接管考核量，共分為兩個部分，一是接入新城污水處理廠的考核量，一是接入新區(qū)再生水示范工程的考核量。接入新城污水處新區(qū)再生水示范工程的廢水及其污染物的排放量作為接入新區(qū)再生水示范本項目主要風(fēng)險物質(zhì)為氫氟酸、硫酸、氨和氯氣，主要風(fēng)險類型為泄本項目已經(jīng)設(shè)置圍堰、防火堤、事故池、消防水收集池等防范設(shè)置以及相應(yīng)的管理措施可極大的降低風(fēng)險發(fā)生的概率，減輕泄漏事故造成直接江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司11公眾參與調(diào)查結(jié)果表明：本項目得到了較多公眾的了解與支持，對該項目的建設(shè)，絕大多數(shù)人表示支持，無人表示反對。公眾要求建設(shè)單位重視環(huán)境保護，要嚴(yán)格執(zhí)行國家有關(guān)規(guī)定及標(biāo)準(zhǔn)，落實各項環(huán)保治理措施，江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司122總論江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司13域保護規(guī)劃的通知》(蘇政發(fā)(33)關(guān)于加強建設(shè)項目環(huán)評文件固體廢物內(nèi)容編制的通知(蘇環(huán)辦江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司14⑶《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則地面水環(huán)境》(HJ/T2.3—93)；收集貯存運輸技術(shù)規(guī)范》(HJ2025—2012)。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司15環(huán)境⑺關(guān)于海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司三期擴建工程環(huán)境影響報告書的⑻關(guān)于海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司三期擴建工程第一階段竣工環(huán)境⑼關(guān)于海力士—恒憶半導(dǎo)體有限公司再生水工程情況的報告，錫新管⑾海力士—恒憶半導(dǎo)體有限公司三期擴建項目第一階段竣工環(huán)境保護⑿關(guān)于海力士—恒憶半導(dǎo)體有限公司《180K片/月晶圓銅制程技改項⒀關(guān)于對海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司四期工程月產(chǎn)12英寸(線寬⒂關(guān)于SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司四期工程月產(chǎn)12英寸(線江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司16區(qū)城污水處理廠)；(23)無錫德寶水務(wù)含氟廢水(海力士五期)擴建工程環(huán)境影響報告表及⑴大氣江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司17⑹噪聲價工作等級及評價重點XiCP=CiiC0i江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司18m級級判據(jù)(ug/m3)(ug/m3)(%)121//霧//NH3/2廢氣排氣筒/3/(ug/m3)(ug/m3)(%)1//NH3/霧/2//NH3/霧/3NH3/由于本項目同種排氣筒排放的污染源強相同，故上表中同種排氣筒只江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司19目排氣筒較多，其中氯化氫的現(xiàn)狀占標(biāo)率已接近環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，因此本項級直接排入地表水，酸性廢水、含氟廢水排放進入無錫再生水回用示范工程管道回用于海力士公司及周邊單位；其他生產(chǎn)廢水經(jīng)預(yù)處理與生活污水混合，通過市政污水管網(wǎng)，匯入新城污水處理廠集中處理達標(biāo)后，排入京杭成后環(huán)境噪聲級增加不明顯，根據(jù)導(dǎo)則要求，本項目聲環(huán)境影響評價工作海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司全廠存在《建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)險源辨識結(jié)果，全廠構(gòu)成重大危險源；對照《建設(shè)項目管理名錄》中規(guī)定的需特殊保護地區(qū)、生態(tài)敏感與脆弱區(qū)及社會關(guān)注區(qū)所處地區(qū)，本項目選址不屬于環(huán)境敏感地區(qū)。根據(jù)以上分析，確定本次環(huán)境風(fēng)險評價工作等級劇毒危險性物質(zhì)一二一一二二二二區(qū)一一一一江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司20響評價等級本項目廢水排放強度大；本項目污水水質(zhì)復(fù)雜程度為中等；地下水環(huán)境評包氣帶巖土的滲透性能強巖(土)層單層厚度Mb≥1.0m，滲透系數(shù)K≤10-7cm/s，且分布連續(xù)、穩(wěn)定。中巖(土)層單層厚度0.5m≤Mb<1.0m，滲透系數(shù)K≤10-7cm/s，且分布連續(xù)、穩(wěn)定。弱巖(土)層不滿足上述“強”和“中”條件。位置與含水層易污染特征易含水層埋深淺的地區(qū)；地下水與地表水聯(lián)系密切地區(qū)；不利于地下水中污染中下水環(huán)境敏感特征生活供水水源地(包括已建成的在用、備用、應(yīng)急水源地，在建和規(guī)劃的水源地)準(zhǔn)保護區(qū)；除生活供水水源地以外的國家或地方政府設(shè)定的與地下水環(huán)境相關(guān)的保護區(qū)，如熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源保護區(qū)。生活供水水源地(包括已建成的在用、備用、應(yīng)急水源地，在建和規(guī)劃的水源地)準(zhǔn)保護區(qū)以外的補給徑流區(qū)；特殊地下水資源(如礦泉水、溫泉等)保護區(qū)以外境敏感區(qū)。區(qū)。污水排放總量(m3/d)大中小污水水質(zhì)指標(biāo)(個)污染物類型數(shù)≥2需預(yù)測的水質(zhì)指標(biāo)≥6污染物類型數(shù)≥2需預(yù)測的水質(zhì)指標(biāo)≥6江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司21目目場地的易污染特征目場地目水弱-強弱易大中復(fù)雜-中等小中大-中小復(fù)雜-中等大中大復(fù)雜-中等中中易大中復(fù)雜-中等小大中大復(fù)雜-中等中強易大弱中小中易小中中小中小大強易小大中小中中小大大江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司22本次評價工作重點：工程分析、污染防治措施及可行性論證、總量控業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》中居住區(qū)大氣中有害物質(zhì)的最高容許濃度標(biāo)準(zhǔn)；非環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(mg/m3)依據(jù)小時(一次)《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》PM《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》硫酸(霧)NH3《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》中的推薦值江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司23中異丙醇執(zhí)行前蘇聯(lián)居住區(qū)大氣中有害物質(zhì)的最大允許濃度。對于本項目有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)參照執(zhí)行。在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的特殊廢氣污染物主要為磷烷、砷烷、硅烷。關(guān)于本項目有毒有害氣體排放的統(tǒng)一控制標(biāo)準(zhǔn)，參照執(zhí)行《荷標(biāo)準(zhǔn)的強制性規(guī)章，而是政府和行業(yè)用來為每個工廠設(shè)備設(shè)置環(huán)境許可所(m)(mg/m3)(kg/h)(mg/m3)94硫酸(霧)(NER)另銅制程工段產(chǎn)生的硫酸霧的排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》排氣量mm2(m)霧江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司24灶頭數(shù)總投影面積(平方米)表2.5—5主要異味物質(zhì)的嗅覺閾值表(mg/m3)氨霧36建設(shè)項目銅制程過程產(chǎn)生的含銅廢水執(zhí)行《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》B含氟廢水污染物排放執(zhí)行無錫新區(qū)再生水回用示范工程接管標(biāo)準(zhǔn),具體指，回用至海力士公司及新區(qū)內(nèi)其他電子企業(yè)，尾水接管至梅村污水處理廠執(zhí)行其接管標(biāo)準(zhǔn)。其他廢水(有機廢水、生活污水等)排放執(zhí)行無錫新城污水處理TP排入城江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司25排放標(biāo)準(zhǔn)(mg/L)備注《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》排口0.3排水量要求江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司26/2、總砷要求車間處理設(shè)施排口達標(biāo)。準(zhǔn)，廠界執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348—2008)中3dBA聲排放標(biāo)準(zhǔn)采用地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(GB/T14848—93)，詳見表2.5—12。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司27項目砷銅8.5~9土壤、底泥環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)均采用《土壤環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB15618—銅鉛鉻鎳汞砷染防治與環(huán)境保護目標(biāo)⑴采用先進、清潔的生產(chǎn)工藝，物耗、能耗達到國際先進水平，提高⑵控制大氣污染物對環(huán)境影響，敏感點滿足環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)要求，保證江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司28滿足區(qū)域污染物總量控制要求。本項目控制污染目標(biāo)為項目建成后污染物必須做到達標(biāo)排放，污染物排放總量考慮在無錫市內(nèi)平衡。排污口設(shè)置必須符合《江蘇省排污口設(shè)置(m)(人)12345 6北78北9北江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司29(m)(人)江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司303技改項目所地在環(huán)境特征分析況長江三角洲(長)江(太)湖間走廊部分，江蘇省東南部。東鄰蘇州，距。寧高速公路、312國道、滬寧鐵路、京杭大運河穿境而過，距離長江口岸是高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)、無錫(太湖)國際科技園、無錫空港產(chǎn)業(yè)園、中國(無錫)工業(yè)博覽園、中國吳文化博覽園、國際教育生活社區(qū)。新區(qū)下轄旺莊街道、碩放街道、江溪街道、梅村街道、鴻山街道和新安街道六個無錫市位于長江流域太湖地區(qū)北部，太湖地區(qū)在印支運動形成褶皺基長江和錢塘江沿岸沙灘的發(fā)育，逐漸形成的平原。本地區(qū)屬太湖平原，地的淤積物和湖積物為主。本地區(qū)屬江蘇省地層南區(qū)，地層發(fā)育完全，基底未出露，中侏羅紀(jì)巖漿開始活動，噴出蓋在老地層上和侵入各系巖層中。第四紀(jì)全新統(tǒng)(Qh)現(xiàn)代沉積遍及全區(qū)，泥盆紀(jì)有少量分布，為紫紅色砂礫巖，石灰礫巖，石上層土壤類型為太湖平原黃土狀物質(zhì)的黃泥土，土層較厚，耕作層有機質(zhì)江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司31本地區(qū)地下水層為松散巖類孔隙含水巖組，潛水含水層為瀉湖相亞粘有臺風(fēng)、暴風(fēng)、連陰雨、干旱、寒潮、冰雹和大風(fēng)等。由于受太湖水體和宜南丘陵山區(qū)復(fù)雜地形等的影響，局部地區(qū)小氣候條件多種多樣，具有南北農(nóng)業(yè)皆宜的特點，作物種類繁多。根據(jù)無錫市多年氣象資料監(jiān)測，各氣溫水量氣溫5℃氣溫形成一大水鄉(xiāng)特色，新區(qū)外圍較大河流為京杭大運河、下甸橋外貿(mào)倉庫以下古運河。區(qū)內(nèi)原有許多小河浜，隨著開發(fā)區(qū)建設(shè)的發(fā)展，大多數(shù)河浜已填平，僅剩少量的斷頭浜，代之而形成目前的以地塊為格局的排水管網(wǎng)系江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司32統(tǒng)，雨水和清排水通過雨水管網(wǎng)與京杭大運河等相通，污水管網(wǎng)則經(jīng)提升太湖流域行政區(qū)劃分屬江蘇、浙江、上海、安徽三省一市，其中江蘇湖流域自古以來的水利基礎(chǔ)。流域內(nèi)河道水系以太湖為流域的中心，分上游和下游兩個系統(tǒng)。上游有發(fā)源于天目山南北麓的苕溪水系，發(fā)源于湖西茅山及界嶺腳下的南河水系及洮滆水系；下游主要為平原河網(wǎng)水系，東部通道和航道；北部沿江水系，主要河道有瀏河、望虞河、錫澄運河、德勝系，主要為人工開挖疏浚的入杭州灣的河道，有長山河、海鹽塘、鹽官下京杭大運河北起北京，南至杭州，經(jīng)北京、天津兩市及河北、山東、江蘇、浙江四省，溝通海河、黃河、淮河、長江、錢塘江五大水系。全長京杭大運河貫穿無錫全境，經(jīng)直湖港與太湖相通，經(jīng)錫澄運河與長江京杭大運河(無錫段)劃分為江南(京杭)運河無錫市工業(yè)、農(nóng)業(yè)用錫廢水排放的雨污通道,因此京杭運河(無錫段)上沒有飲用水取水口、養(yǎng)江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司33殖水產(chǎn)區(qū)域等敏感目標(biāo)。本項目廢水排入新城污水處理廠，集中處理后排放京杭大運河，不會影響到太湖的水質(zhì)。近年來，無錫市已規(guī)劃建設(shè)與望。于入湖河道水位，開閘放湖水進入河道進行泄洪排澇。非汛期，關(guān)閉太湖河道水位，所以可確保所有河道污水不入湖。京杭大運河與下游的望虞河立交(望虞河是“引江濟太”的清水通道),與望虞河不相通。京杭運河的下游支流如伯瀆港等，均在與望虞河的交匯處建有閘門，在望虞河引水時南水北調(diào)東線將在江蘇省江水北調(diào)工程基礎(chǔ)上進行擴大延伸。以江都抽水站為起點，京杭大運河為輸水主干線逐級提水北送，連通沿途作為調(diào)蓄水庫的洪澤湖、駱馬湖、南四湖、東平湖，再繼續(xù)向北送水；南水北調(diào)東線的第一期工程江蘇三陽河是一條與大運河平行的河道，將在目前江都抽水站的東邊再建一座大型抽水站，將長江水翻入三陽河北上至江蘇省寶應(yīng)縣匯入大運河。因此，南水北調(diào)工程與京杭(江南)大運河無錫段沒有為東部東西向引排河，又是蘇錫通航要道。西起無錫市南門運河清明橋東江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司34㈠新建、改建、擴建化學(xué)制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍洗滌用品；㈢向水體排放或者傾倒油類、酸液、堿液、劇毒廢渣廢液、含放射性體污水、工業(yè)廢渣以及其他廢棄物；物毒殺水生生物；(蘇政辦發(fā)〔2012〕221號)，本項目所在地不屬于該通知中的一、二級范無錫市自然條件優(yōu)越，各種生物資源品種繁多，種植業(yè)以糧油作物為主，林業(yè)以松、杉、竹為主。近期由于經(jīng)濟開發(fā)，原始生態(tài)植破壞嚴(yán)重，殘存無幾。近幾年，市政府加強生態(tài)保護和綠化工程的工作力度，綠色通道建設(shè)成績顯著，全市城鄉(xiāng)綠化日新月異。目前，無錫市森林覆蓋率為而言，全市森林資源城市西片較為豐富、東部區(qū)域相對薄弱，綠化分布城鎮(zhèn)較為豐富、村莊相對薄弱，中心城區(qū)街頭綠地數(shù)量不足、布局不均。生仍不容忽視。評價區(qū)原屬太湖平原農(nóng)業(yè)區(qū)，主要種植水稻、蔬菜業(yè)農(nóng)作物，地帶性植被屬落葉林帶，隨著近年來經(jīng)濟的高速發(fā)展，人類社會經(jīng)濟活動的日益江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司35項目周邊區(qū)域的動物類別有脊椎動物、無脊椎動物、昆蟲等。野生動物主要有鳥類、鼠類、蟻類、蛇類、蛙類等，但受人類的干擾影響會產(chǎn)生本項目位于無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)內(nèi)，根據(jù)《江蘇省生態(tài)紅線長廣溪濕地公園、太湖(無錫市區(qū))重要保護區(qū)、陽山水蜜桃種質(zhì)資源保護區(qū)、貢湖沙渚飲用水水源保護區(qū)、貢湖錫東飲用水水源保護區(qū)、錢橋低山生態(tài)公益林、望虞河(無錫市區(qū))清水通道維護區(qū)、鵝真蕩(無錫市區(qū))域保護區(qū)范圍內(nèi)，且距離均較遠(大于8km)，其中相應(yīng)較近的有貢湖錫東kmkm與江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司36無錫市各大板塊、蘇南六大開發(fā)區(qū)中實現(xiàn)爭先進位。無錫新區(qū)連續(xù)九年位無錫新區(qū)建成了國家集成電路設(shè)計無錫產(chǎn)業(yè)化基地、國家火炬計劃軟件產(chǎn)業(yè)基地和國家級科技創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心，成為國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)出口基地是江蘇目前投資總量最大的外商獨資項目，技術(shù)填補國內(nèi)空白、達到國際目前，全區(qū)已形成了鋰電池、硬盤、數(shù)碼相機、液晶顯示產(chǎn)品、電子新的世紀(jì)，無錫新區(qū)圍繞無錫爭創(chuàng)全省“兩個率先”先導(dǎo)區(qū)和示范區(qū)的要求，高舉率先發(fā)展旗幟，堅持科學(xué)的發(fā)展觀，全力推進無錫國際制造業(yè)基地核心區(qū)和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)高地建設(shè)，向國內(nèi)一流的開放園區(qū)和國際有江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司37業(yè)開發(fā)區(qū)規(guī)劃2009高新區(qū)規(guī)劃范圍為西至京杭運河、滬寧鐵路、滬寧高速公路；北至旺程與醫(yī)療、精細化工和新材料。無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)總體規(guī)劃見無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)功能定位以產(chǎn)業(yè)特點鮮明、區(qū)域功能完善、人文環(huán)境優(yōu)越、經(jīng)濟社會和諧為主要特點的長三角示范、國內(nèi)領(lǐng)先、發(fā)展目標(biāo)為：國際先進制造業(yè)集聚區(qū)，國家科技創(chuàng)新先導(dǎo)區(qū)，蘇南國際物流集散區(qū)，和諧宜人新無錫樣板區(qū)。區(qū)內(nèi)工業(yè)重點發(fā)展科技含量高的江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司38高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，門類為電子信息、光機電、生物工程及醫(yī)療、精細化工、本技改工程屬于電子信息產(chǎn)業(yè)，因此本項目的建設(shè)符合開發(fā)區(qū)產(chǎn)業(yè)定發(fā)展的需求，部分工業(yè)用地向生活性用地置換、調(diào)整。高新區(qū)是以電子信息、光機電、生物工程及醫(yī)療、精細化工和新材料五大高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)為主代化科技型產(chǎn)業(yè)園區(qū)。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司39水廠聯(lián)合供水。。thC組擴建和梅村片區(qū)金橋東路西側(cè)區(qū)域。其供熱主干管一路沿新光路、江海路架設(shè)無錫友聯(lián)熱電股份有限公司位于無錫市新區(qū)梅村鎮(zhèn)薛典東路伯瀆港H江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司40務(wù)范圍主要是梅村片區(qū)金橋東路東側(cè)區(qū)域及華友工業(yè)園，其供熱主干管沿SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司處于友聯(lián)熱電和協(xié)聯(lián)熱電供熱服務(wù)況高新區(qū)滬寧高速公路以西工業(yè)廢水及生活污水全部進去新城污水處理廠處理，滬寧高速公路以東工業(yè)廢水及生活污水全部進入梅村污水處理廠水處理廠收水范圍內(nèi)最遠端為梅村北面新世界國際紡織城，污水干管總長吳江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司41廠的處理范圍：北至太湖大道，西南至京杭大運河，東南至無錫機場，東北至滬寧城際公路(扣除南站片區(qū)和旺莊路片區(qū)蘆村污水處理廠收水范圍用示范工程概況生物醫(yī)藥、精細化工和新材料為重點的五大支柱產(chǎn)業(yè)。無錫新區(qū)范圍內(nèi)除鴻山片區(qū)外，其余片區(qū)內(nèi)的污水皆已初步形成較為完整的污水收集系統(tǒng)，產(chǎn)業(yè)我國微電子工業(yè)的南方基地，這里集聚著華晶電子集團、中國電子科技集員。鑒于無錫新區(qū)現(xiàn)有多家微電子企業(yè)，且微電子企業(yè)的用水量較大，污水排放量較大，給新區(qū)新城污水處理廠造成了較大的壓力。為確保海力士與海力士平行的地塊，建設(shè)無錫新區(qū)再生水回用示范工程，規(guī)模為30000(含氟廢水和酸性廢水)，進行深度處理，達到《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GB海力士公司及周邊企業(yè)。再生水回西氣東輸天然氣管道已進入無錫，經(jīng)無錫天然氣門站調(diào)壓后已進入高江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司42新區(qū)，高新區(qū)居民已全部使用天然氣作為生活熱源，部分企業(yè)已使用天然家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)規(guī)劃審查意見硫酸霧的企業(yè)。優(yōu)化新洲生態(tài)園和城鐵站前社區(qū)等集中居住區(qū)周圍的工業(yè)㈡進一步升級改造產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)。根據(jù)規(guī)劃發(fā)展目標(biāo)和產(chǎn)業(yè)導(dǎo)向要求，加快推進污染企業(yè)的布局調(diào)整、升級改造和污染整治。嚴(yán)格入?yún)^(qū)項目環(huán)境準(zhǔn)太湖流域污染防治規(guī)定。㈢抓緊制定硫酸霧影響大氣環(huán)境質(zhì)量和重金屬廢水污染河道底泥的綜合整治方案，作為規(guī)劃實施的重要內(nèi)容。提高工藝廢氣排放企業(yè)和重金屬的污水排放跟蹤監(jiān)測和管控。㈤做好開發(fā)區(qū)及新洲生態(tài)園、梁鴻濕地等重要生態(tài)環(huán)境敏感目標(biāo)的規(guī)㈥在規(guī)劃實施過程中，每隔五年左右進行一次環(huán)境影響跟蹤評價。在項目所在地大氣環(huán)境質(zhì)量功能區(qū)劃定為二類區(qū)，執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量根據(jù)江蘇省水利廳和江蘇省環(huán)保廳制訂的《江蘇省地表水環(huán)境功能區(qū)江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司43類區(qū)標(biāo)準(zhǔn)分別為：晝間65dB(A)、夜間55dB(A)和晝間70dB(A)、夜間江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司444現(xiàn)有項目分析SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司原為海力士—意法半導(dǎo)體有限公司，工商行政管理局新區(qū)分局批準(zhǔn)變更為SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司。項目的性質(zhì)、規(guī)模、地點、采用的生產(chǎn)工藝、排放污染物總量及環(huán)境保護對策措施進行項目建設(shè)，如建設(shè)項目的生產(chǎn)工藝、產(chǎn)能、污染防治措施等項目為主體一并向江蘇省環(huán)境保護廳書面提交試生產(chǎn)申請，在項目試生產(chǎn)期限間按規(guī)定程序向國家環(huán)境保護總局申請環(huán)境保護驗收。無錫海力士項江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司45程部、江蘇省環(huán)保廳、無錫市環(huán)保局和無錫新區(qū)規(guī)劃建設(shè)環(huán)保局組成竣工驗造項目竣工環(huán)境保護驗收意見的函，對《海力士—意法半導(dǎo)體有限公司二形期擴建工程第一1江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司46國)有限公司四期工程固體廢棄物項目產(chǎn)排量調(diào)整專項環(huán)境影響修編報告環(huán)保驗收(蘇環(huán)驗[2015]98號)。了無錫市環(huán)保局的竣工環(huán)保驗收(錫環(huán)管新驗[2015]74號)。現(xiàn)有工程的相關(guān)資料均參考《海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司四期工)等相關(guān)內(nèi)容。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司47的批審工驗建成12英寸生產(chǎn)線，規(guī)模號程程工藝收程5/////(甲類)倉庫收，程江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司48產(chǎn)品方案程稱容庫WmWmW498m2、W16:500m2房頂以保溫材料構(gòu)建。①給水：凈水場占地面積10300m2，設(shè)計供水能力35000m3/d，二期建成四期建成一套含氟廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計能力7000m3/d)。熱江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司49稱容電電源由開發(fā)區(qū)經(jīng)廠區(qū)變電站供給，占地面積13459m2，全廠年使用量為氣理理分類收集后，委托有資質(zhì)單位回收或處置。措施進行降集成電路的生產(chǎn)工藝制造流程是網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，在生產(chǎn)過程中反復(fù)重復(fù)氧化、擴散、離子注入、光刻、刻蝕等過程。各個過程需要不同的原輔材料N膜的過程，產(chǎn)生的二氧化硅用以作為擴散、離子注入的調(diào)節(jié)層，或介質(zhì)隔離層。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司50①銅的物理氣相沉積(PVD)用高能粒子(由電場加速的正離子)沖擊固體靶的表面，靶原子與這些高能粒子交換能量后從表面飛出，沉積在硅片(陽極)上的工藝過程叫②電鍍銅(EP)③化學(xué)機械拋光(CMP)CMP工藝的基本原理是將待拋光的硅片在一定的下壓力及研磨液粒的機械磨削及化學(xué)氧化劑的腐蝕作用來完成對工件表面材料的去除，并獲得光潔表面。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司51等含氟廢氣、有機廢氣 等等成形層生長江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司52廢氣、有機廢氣C2F廢氣、有機廢氣C2F2、光刻膠、顯等C2F2、光刻膠、顯廢氣、有機廢氣廢氣、有機廢氣等等江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司53r硫酸、硫酸銅、氯化銅盤(來自化學(xué)氣相沉積工序)(去內(nèi)聯(lián)層絕緣工序)動力消耗生產(chǎn)晶圓使用原輔材料品種繁多，質(zhì)量要求嚴(yán)格。根據(jù)海力士公司提江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司541/2/34BOELAL15(BOE緩沖蝕刻液)56789HNO3HSS(ABBRASIV)研磨液Ce鈰磨HSSADDITIVESi硅磨磨LSTRINSE去污劑L江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司55ridineL程程程混合氣江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司561m3/a2純水m3/a3電a4氣m3/a567m3/a功率(KW)描曝光機蘭掩膜版儲存機2蘭涂膠顯影機步進式光刻機蘭KLAOVERLA套刻機4蘭掩膜版交換機1蘭機1蘭3施施現(xiàn)有工程項目產(chǎn)生的廢水分為生產(chǎn)廢水和生活污水兩大類。排水系統(tǒng)江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司57①雨水：采用有組織雨水收集后排入廠區(qū)雨水管道，經(jīng)高新技術(shù)開發(fā)②生產(chǎn)廢水：包括含氟廢水、酸性廢水；有機廢水(堿性廢水、有機不同的廢水在生產(chǎn)車間內(nèi)按照清污分流、異質(zhì)分流的原則，把含氟廢水、酸性、有機廢水、冷凝水、冷卻水廢水分開并通過各自不同的處理系統(tǒng)進行預(yù)處理。其中含氟廢水和酸性廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站預(yù)處理達到無錫新區(qū)再生水回用示范工程的接管標(biāo)準(zhǔn)后，通過專門的管網(wǎng)收集，排入再司及周邊企業(yè)。有機廢水經(jīng)分質(zhì)處理，其中顯影廢水經(jīng)預(yù)處理(氮氨轉(zhuǎn)化)后與高氮廢水混合吹脫，吹脫后的廢水和堿性廢水、有機廢水混合后部分進入生物處理系統(tǒng)處理，經(jīng)處理達標(biāo)后排入市政截留管網(wǎng)，排放至無錫新城污水處1234－5江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司58含氟廢水處理系統(tǒng)MAU含銅廢水處理系統(tǒng)4均化池流動性介質(zhì)HTN備堿廢水處理池M/FMBR理廠超純水設(shè)備含氟廢水處理系統(tǒng)MAU含銅廢水處理系統(tǒng)4均化池流動性介質(zhì)HTN備堿廢水處理池M/FMBR理廠超純水設(shè)備NPW121001857冷卻塔0UPW理eam洗滌裝置SNSN江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司5912”12”酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣酸/堿廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣12”12”酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣酸/堿廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣有機廢氣VOCMainScrubber施現(xiàn)有工程工藝廢氣主要分為一般排氣(熱排氣)、酸堿廢氣、特殊廢氣(含磷烷、砷烷和硅烷的有毒廢氣)、有機廢氣和含氟廢氣五類。排氣筒位酸/堿廢氣特殊廢氣酸/堿廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣12”酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣酸/堿廢氣特殊廢氣含氟廢氣有機廢氣VOC廢氣82個m江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司6018個2342個5施噪聲主要來源于空壓機產(chǎn)生的噪聲，還有真空泵、離心風(fēng)機等設(shè)備噪聲。本項目已通過建筑物隔聲、采取消音減振等降噪措施，并在廠區(qū)內(nèi)空余場地進行集中綠化后，廠界噪聲可達到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)12真空泵(電機)3455江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司6112345678937118////2////現(xiàn)有項目工程竣工驗收情況公司現(xiàn)已完成四期工程、銅技改工程及危險廢棄品(甲類)倉庫工程，江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司62K無錫市環(huán)保局的竣工環(huán)保驗收(錫環(huán)管新驗[2015]74號)。4.3現(xiàn)有工程存在的環(huán)境問題及“以新帶老”措施段因?qū)嶋H產(chǎn)生的固體廢(關(guān)于對SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司四期工程固體廢棄物項目產(chǎn)排7月通過了省環(huán)保廳的竣工環(huán)保驗收(蘇環(huán)驗[2015]98號)。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司63廢氣處理設(shè)施損壞而無法滿足竣工驗收監(jiān)測標(biāo)準(zhǔn)，故已向省廳提出試生產(chǎn)火災(zāi)原因為人為操作失誤導(dǎo)致。海力士公司在安全方面，加強人員管理并制定業(yè)務(wù)流程及操作流程，要求每一操作人員都必須按照操作規(guī)范進行，在化學(xué)品儲存、使用區(qū)域設(shè)置報警系統(tǒng)，能在第一時間偵測到化學(xué)品善。07)號)：工測的條件。項目較好地執(zhí)行了“三同時”制度，建立了環(huán)境管理組織體系污染物氯化氫、氟化物和無組織排放的氯化氫、臭氣濃度超標(biāo)外，項目所廢零排放。除廢氣污染物氯化氫、氟化物、氨總量超出省廳批復(fù)的總量控制指標(biāo)，其余各類污染物排放總量均滿足江蘇省環(huán)保廳環(huán)評批復(fù)中的總量氣濃度做到了達標(biāo)排放；廢氣污染物氯化氫、氨、氟化物年排放總量均達施因：江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司64調(diào)整二次處理設(shè)施中噴淋水循環(huán)周期(按換水量計算)，將現(xiàn)有用水基ubber理。情況江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司65項目口監(jiān)測值范圍量//mg/m3mg/m3////量//mg/m3mg/m3////項目量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3標(biāo)標(biāo)量//mg/m3標(biāo)標(biāo)量//mg/m3標(biāo)標(biāo)江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司66項目量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3氯化氫、硫酸霧、氮氧化物排放濃度、排放速率均滿足《大氣污染物綜合江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司67項目監(jiān)測值范圍量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3標(biāo)mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司68項目監(jiān)測值范圍量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司69項目監(jiān)測值范圍量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放濃度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司70表4.3—5酸堿廢氣(氯化氫)驗收補充監(jiān)測情況監(jiān)測值范圍量//mg/m3氨//后經(jīng)整改，補測的廠界下風(fēng)向無組織排放氯化氫濃度滿足《大氣污染江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司71臭氣濃度(無量綱)氯化氫(mg/m3)情況驗收監(jiān)測期間:總磷、氨氮濃度均符合中水廠接管標(biāo)準(zhǔn)要求；含酸廢水排入中水廠接管口銅86／616~10／銅56/526~9/江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司72②有機廢水收集池的總砷濃度未檢出，符合《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》//474/8/6~9//L江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司73／8／驗收監(jiān)測期間：廠界噪聲監(jiān)測點位的晝夜間噪聲監(jiān)測值均滿足《工業(yè)復(fù)落實情況容123456789江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司74江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司75驗收監(jiān)測期間，各類環(huán)保治理設(shè)施運行正常。項目所測的各類廢水、各類廢水、廢氣污染物的排放總量均滿足江蘇省環(huán)保廳環(huán)評批復(fù)中的總量環(huán)保廳的竣工環(huán)保驗收(蘇環(huán)驗[2015]98號)。海力士為進一步降低項目對周圍環(huán)境產(chǎn)生的影響，本次技改項目主要級處理裝置為水洗滌(處理含氟廢氣、特殊廢氣)，三級處理裝置位于排氣筒前部，其中酸堿廢氣采用逆流式循環(huán)吸收凈化塔處理、含氟廢氣及特殊江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司76項目工程分析5.1項目名稱、項目性質(zhì)、建設(shè)地點及投資總額建設(shè)單位：SK海力士半導(dǎo)體(中國)有限公司江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司77實施淘汰集成電路芯片集成電路芯片取得國家環(huán)境保護總局的批復(fù)，環(huán)通過環(huán)境保護部組織月，環(huán)驗[2008]23號集成電路芯片鋁制程淘汰線寬54nm/44nm鋁制程程收程20nm級132K片/月，8號/////品(甲類)倉庫程20nm級132K片/月，程程江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司78同時在現(xiàn)有生產(chǎn)車間內(nèi)對部分生產(chǎn)線機臺進行技術(shù)改造。廠區(qū)平面布置詳入廠交通樞紐。在海力士－意法路(原春豐路)中段設(shè)置一個人流入口，⑵生產(chǎn)區(qū)。廠區(qū)正中間在行政辦公樓西側(cè)現(xiàn)已建成一幢三層結(jié)構(gòu)的芯ABFAB以保溫材料構(gòu)建。本期項目(即五期項目)不新增生產(chǎn)廠房，僅新增2棟超凈純水制取車間、廢水處理站和廢物倉庫，變電站和中央辦公大樓之間V江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司79。北側(cè)的主入口開始在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置一環(huán)型道路，小客車、自行車從大門進入后，停車布置在接待中心前的停車場，貨車經(jīng)道路直接送到車間和化學(xué)品等倉庫裝卸，人流和物料運輸不交叉。現(xiàn)已基本建成，噴泉、綠化小品為主的綠化，廠內(nèi)道路兩側(cè)采取大面積綠化，路邊以喬木結(jié)合灌木為主，廠界種植以喬不新增綠地。環(huán)保工程均主要依托原有設(shè)施，部分根據(jù)產(chǎn)能的調(diào)整進行了改造及擴建，江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司80稱容12英寸超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線進行產(chǎn)品升級，生產(chǎn)能力135K庫處理能力。熱電m氣理理分類收集后，委托有資質(zhì)單位回收或處置。不擴建固廢倉庫，依托現(xiàn)有工程，所有廢物分類收集后，委托有江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司81多，企業(yè)間競爭日趨激烈，產(chǎn)品的利潤空間不斷縮小。半導(dǎo)體企業(yè)要想生新產(chǎn)品投放市場，保證市場的占有率；同時，在生產(chǎn)的過程中，必須降低物耗、能耗、水耗等，將清潔生產(chǎn)技術(shù)應(yīng)用于整個工藝生產(chǎn)全過程，也成完整的集成電路生產(chǎn)包括掩膜設(shè)計、硅片制造、芯片加工(前工序)、集成電路的制造工藝和傳統(tǒng)產(chǎn)品的制造工藝有所不同，其生產(chǎn)工藝制刻蝕等過程。各個過程需要不同的原輔材料和制造參數(shù)，一個典型工藝流⑴清洗：集成電路芯片生產(chǎn)的清洗包括硅片的清洗和工具的清洗。清洗工序需要消耗大量的高純水，同時經(jīng)過特殊過濾和純化的半導(dǎo)體化學(xué)試清洗的主要過程是：硅片先按照各自的工藝設(shè)計要求放入各種藥液槽進行表面化學(xué)處理，然后送入清洗槽，將其表面粘附的藥液清洗干凈后進江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司82 常用的清洗方式是將硅片沉浸在液體槽內(nèi)或使用液體噴霧清洗，為取得更好的清洗效果，通常采用超聲波激勵和擦片措施，即在有機溶劑清洗藥液清洗槽N膜的過程，產(chǎn)生的二氧化硅用以⑶擴散：擴散是在硅表面摻入純雜質(zhì)原子的過程。通常使用三氟化硼⑷離子注入：離子注入也是一種給硅片摻雜的過程。它的基本原理是把摻雜物質(zhì)(原子)離子化后，在數(shù)千到數(shù)百萬伏特電壓的電場下得到加⑸光刻：光刻包括預(yù)處理涂膠、曝光、顯影。涂膠是在硅片表面通過硅片高速旋轉(zhuǎn)均勻涂上光刻膠的過程；曝光是使用光刻機，并透過光掩膜版對涂膠的硅片進行曝光，使部分光刻膠得到曝光，另外部分光刻膠得不江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司83到曝光，從而使得曝光過后的光刻膠產(chǎn)生光化學(xué)反應(yīng)；顯影是對曝光后的成了圖形。預(yù)選擇性地去除，使用的方法就是濕法腐蝕或干法刻蝕。濕法腐蝕或干法刻濕法腐蝕是通過化學(xué)反應(yīng)的方法對基材或其他材料腐蝕的過程，對不腐蝕硅(Si)——使用氫氟酸加硝酸(HF—HNO3)腐蝕氮化硅(Si3N4)——使用熱磷酸(熱H3PO4)干法刻蝕是在高密度等離子氣氛中選擇性腐蝕基材或其他材料過程，江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司84于具有三層或更多層金屬的集成電路芯片制造生產(chǎn)。在已形成圖案的芯片蝕、化學(xué)氣相沉積(CVD)等工藝，并經(jīng)清洗后晶圓片送入銅制程工藝。①銅的物理氣相沉積(PVD)用高能粒子(由電場加速的正離子)沖擊固體靶的表面，靶原子與這些高能粒子交換能量后從表面飛出，沉積在硅片(陽極)上的工藝過程叫在真空室中充入氬氣，熱陰極通電發(fā)射電子，陽極加一定正電壓，從而在陰極和陽極之間放電，產(chǎn)生等離子體。外加磁場可使等離子體在中軸江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司85②電鍍銅(EP)。。為江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司86選擇性透過銅選擇性透過銅電場、圖5.4—5電鍍銅(EP)工藝設(shè)備構(gòu)造示意圖③化學(xué)機械拋光(CMP)(Slurry，由超細二氧化硅顆粒、化學(xué)氧化劑和純水組成的混合液，與鋁制程的研磨液成分相同)的存在下相對于一個拋光墊作旋轉(zhuǎn)運動，借助磨江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司87液染物有含銅廢水。與其穩(wěn)定性達到最完善的指標(biāo)。說明個主要工序不斷循環(huán)的制造過程，期間會穿插加入其它工序，與海力士公因此，從生產(chǎn)工藝流程上看，技改項目與現(xiàn)有項目完全相同，只是由流程江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司88光刻膠、顯影液、純水等等TMB、TEOS、C2F2、光刻膠、顯影液、純水等等C2F2、光刻膠、顯影液、純水等成形層生長江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司89C2F2、光刻膠、顯影液、純水等等C2F2、光刻膠、顯影液、純水等等等一道工藝完成后，均需進行清洗，產(chǎn)生清洗廢水，清洗廢水含酸、堿、有機物、、氟、高氮等，光刻后的清洗水為顯影廢水。江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司90r硫酸、硫酸銅、氯化銅環(huán)r硫酸、硫酸銅、氯化銅環(huán) (來自化學(xué)氣相沉積工序)(去內(nèi)聯(lián)層絕緣工序)引入管經(jīng)水表計量后接入廠區(qū)連成環(huán)狀管網(wǎng)，保證廠區(qū)用水水量。本項目超純水主要用于：生產(chǎn)硅片的清洗、腐蝕工藝；生產(chǎn)刀具和石英制品的清洗；化學(xué)品配送系統(tǒng)等。生產(chǎn)中的后道清洗純水返回制備車間重新制江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司91 中和罐濾器濾水泵水泵江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司92純水回用濾器純水方法。反滲透法的工作原理為，將預(yù)處理后的含鹽溶液加壓來克服滲透壓力，同時在隔膜一邊另外加壓以獲得生產(chǎn)能力，所以在隔膜的低壓側(cè)產(chǎn)生滲透作用。這種滲透(流過隔膜的液體)通常為近似于大氣壓的，減少的液體中的鹽量。而在隔膜另一側(cè)將產(chǎn)生含鹽量得到增加的濃鹽水并被處理掉。在源液供給量保持不變的情況下，通過改變反滲透組塊的排列方式，離子交換法是水處理中軟化和除鹽的主要方法之一。離子交換設(shè)備是國際應(yīng)用非常成熟的脫鹽處理設(shè)備，廣泛用于軟化水及純化水制備中，延用至今，仍然有著廣闊的市場前景和發(fā)展?jié)摿?。離子交換的實質(zhì)是不溶性離子化合物(離子交換劑)上的可交換離子與溶液中的其它同性離子的交冷卻水系統(tǒng)為開式循環(huán)系統(tǒng)，全年平均為942240m3/d，冷卻水泵一期江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司93含氟廢水22000m3/d(包含銅制程的含銅廢水296m3/d)和酸性廢水水回用示范工程，進行深度處理。處理后的再生水達到《生活飲用水衛(wèi)生石過濾方式，廢水透過砂子的空隙，雜質(zhì)與其他懸浮物被截留，達到凈化