LCD行業(yè)-使用及儲(chǔ)存作業(yè)規(guī)范

主題：文件編號(hào)：WE060文件版本：AMASK使用及儲(chǔ)存作業(yè)規(guī)范頁(yè)次：01/05本頁(yè)版次：0＊＊＊＊＊＊目錄＊＊＊＊＊＊項(xiàng)目?jī)?nèi)容頁(yè)次目錄01/05修訂履歷02/051目的03/052范圍03/053圖陽(yáng)片裝置作業(yè)內(nèi)容03/054圖陽(yáng)片之儲(chǔ)存04/055注意事項(xiàng)05/05制訂審核核準(zhǔn)＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ001A主題：文件編號(hào)：WE060文件版本：AMASK使用及儲(chǔ)存作業(yè)規(guī)范頁(yè)次：02/05本頁(yè)版次：0＊＊＊＊＊＊修訂履歷＊＊＊＊＊＊文件版本修訂記錄：版本工程變更號(hào)生效日期變更要旨AISO9001﹕2000體系改版后初次發(fā)行。頁(yè)次修訂狀況：頁(yè)次123456789101112131415版次頁(yè)次161718192021222324252627282930版次頁(yè)次313233343536373839404142434445版次頁(yè)次464748495051525354555657585960版次頁(yè)次版次工程變更號(hào)變更要旨＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ002A主題：文件編號(hào)：WE060文件版本：AMASK使用及儲(chǔ)存作業(yè)規(guī)范頁(yè)次：03/05本頁(yè)版次：01.目的﹕制定MASK使用及儲(chǔ)存作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)﹐保證生產(chǎn)線生產(chǎn)順利進(jìn)行。2.范圍﹕適用于本公司MASK使用及儲(chǔ)存作業(yè)指導(dǎo)。3.MASK安裝作業(yè)內(nèi)容﹕3–1作業(yè)輔助材料與治﹑工具﹕掩膜玻璃(14"x16"x12mm)﹑無(wú)塵紙﹑分析純乙醇﹑NITTO耐熱膠帶﹑透明膠帶﹑SODAGLASS16"x18".t=3mm﹑框架﹑菲林﹑干版﹑鉻版﹑六角扳手一組﹑MASK對(duì)位機(jī)一部。3–2操作前檢查﹕3-2-1氣壓供應(yīng)4~6kg/cm2。 3-2-2氣缸工作氣壓1.35~2.35kg/cm2(電源開(kāi)啟后檢查)。3-2-3三組計(jì)量尺是否定位于14mm處。3-2-4計(jì)量尺升降座是否在下的位置﹐該二組計(jì)量尺是否定位在外側(cè)之定位梢上。3-2-5MASKPUSH及RETICLELOCK二開(kāi)關(guān)是否處于OFF位置。3-2-6操作臺(tái)﹑陽(yáng)片﹑干版﹑絡(luò)版框架及SODAGLASS是否清潔﹐并在裝置前以無(wú)塵紙沾分析純乙醇擦拭干凈。3–3圖陽(yáng)片張貼﹕3-3-1取待使用曝光之圖陽(yáng)片﹐清潔后﹐勻稱置于清潔后之圖陽(yáng)片框架的SODAGLASS上﹐玻璃流向記號(hào)朝前﹐膜面朝上﹐且圖陽(yáng)片邊緣到SODAGLASS邊緣距離一致﹐用透明膠帶固定四角。3-3-2清潔膜面﹐用清潔后之掩膜玻璃壓住菲林﹐用耐熱膠帶將菲林貼于SODAGLASS上。3–4MASK安裝(含干版﹑絡(luò)版﹑已貼圖陽(yáng)片之SODAGLASS)3-4-1依所需曝光之MASK﹐將已貼好菲林之SODAGLASS或干版(鉻版)裝置于MASK框架上﹐裝上壓塊于四周﹐壓住SODAGLASS或干版(鉻版)﹐但不把壓塊旋緊﹐以便對(duì)位調(diào)整。3-4-2放置MASK框架于操作臺(tái)上﹐框架之倒角朝左下角﹐并打開(kāi)操作臺(tái)電源開(kāi)關(guān)(CIRCUITON)。3-4-3電源開(kāi)啟后﹐依序?qū)ETICLELOCK開(kāi)關(guān)拔至ON位置﹐此時(shí)框架已定位﹐再將MASKPUSH開(kāi)關(guān)拔至ON位置﹐此時(shí)SODAGLASS左右及上方氣壓缸動(dòng)用。 3-4-4提起操作臺(tái)下方計(jì)量尺升降座﹐并將二組計(jì)量尺固定于前方定位梢﹐此時(shí)便進(jìn)入MASK定位調(diào)整狀態(tài)。 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ003A主題：文件編號(hào)：WE060文件版本：AMASK使用及儲(chǔ)存作業(yè)規(guī)范頁(yè)次：04/05本頁(yè)版次：0 3-4-5打開(kāi)操作平臺(tái)左﹑右接目鏡之護(hù)蓋﹐并調(diào)整"+"字計(jì)號(hào)至對(duì)位狀態(tài)﹐并固定﹐再調(diào)整其焦距至檢視清晰。3-4-6交互調(diào)整三組計(jì)量尺﹐右側(cè)為X軸調(diào)整﹐操作平臺(tái)下側(cè)二組為Y軸及水平調(diào)整﹐調(diào)節(jié)至目鏡中左﹑右"+"字記號(hào)勻稱位于陽(yáng)片之對(duì)位記號(hào)內(nèi)為止。3-4-7MASK準(zhǔn)確對(duì)位后﹐則以內(nèi)六角扳手將SODAGLASS或干版(鉻版)四邊壓塊謹(jǐn)慎上緊固定﹐并檢查位準(zhǔn)是否偏移﹐必要時(shí)重新松開(kāi)壓塊調(diào)整對(duì)位﹐自3-4-6起再操作一次﹐直至固定對(duì)位無(wú)誤為止。3-4-8通知品管人員作MASK裝置確認(rèn)﹐合格后依下流程謹(jǐn)慎取下框架﹐流程如下﹕A將計(jì)量尺歸位至14mm位。B放下計(jì)量尺升降座并定位于外側(cè)。C將MASKPUSH開(kāi)關(guān)拔至OFF。D將RETICLELOCK開(kāi)關(guān)拔至OFF。E取下框架并放置于臺(tái)車上。F將裝好的MASK送至曝光機(jī)進(jìn)行生產(chǎn)。G繼續(xù)裝置作業(yè)﹐自3-4-1重復(fù)動(dòng)作(電源已開(kāi))。H蓋上目鏡護(hù)蓋﹐待下一型號(hào)﹐如需停線﹐則關(guān)閉電源。3–5MASK之清潔﹕ 3-5-1將待用之MASK放在框架上﹐放時(shí)雙手托住MASK底部?jī)蛇吘墿o將其輕輕放在MASK架上﹐然后用氮?dú)鈽尨迪穿o對(duì)殘余臟點(diǎn)再用沾有分析純乙醇之無(wú)塵紙輕輕沾取﹐最后再用氮?dú)鈽尨迪茨っ嬷覊m。3-5-2若在作業(yè)過(guò)程中抽檢顯影玻璃發(fā)現(xiàn)有臟點(diǎn)引起的不良﹐須暫停曝光機(jī)﹐用粘有分析純乙醇紙粘取臟點(diǎn)或?qū)⒅潦弥罬ASK邊緣再粘取﹐若臟點(diǎn)還存在﹐則需要將框架從曝光機(jī)中取一重復(fù)3-5-1的動(dòng)作。 3-5-3使用完MASK后將MASK框架放在操作臺(tái)上﹐用六角扳手小心地將壓塊松開(kāi)﹐將貼在黑色邊框上的膠帶撕下來(lái)﹐用沾有丙酮之無(wú)塵紙將貼過(guò)膠帶處輕輕擦拭干凈﹐最后用氮?dú)鈽尨迪锤蓛鬗ASK正反兩面﹐用干凈之塑料保護(hù)膜貼上。4.MASK之取﹑放及儲(chǔ)存﹕4–1將已貼上保護(hù)膜的圖陽(yáng)片裝入塑料袋中﹐此操作需兩個(gè)人操作﹐一人輕輕托住圖陽(yáng)片邊緣﹐另一人將塑料袋之開(kāi)口敞開(kāi)﹐再將圖陽(yáng)片慢慢送入塑料袋中﹐然后雙手托住塑料袋將其插入搬送盒中﹐取圖陽(yáng)片時(shí)動(dòng)作與此相反。4–2將已貼上保護(hù)膜的干(鉻)版裝箱﹐打開(kāi)箱蓋﹐雙手托住干(鉻)版邊緣﹐慢慢將版順著格子插進(jìn)箱子﹐然后蓋上蓋子。取干(鉻)版時(shí)動(dòng)作與此相反。 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ003A主題：文件編號(hào)：WE060文件版本：AMASK使用及儲(chǔ)存作業(yè)規(guī)范頁(yè)次：05/05本頁(yè)版次：0 4–3將搬送盒送往治具室IQC檢驗(yàn)區(qū)﹐搬送時(shí)要提住搬送盒的提手﹐豎直搬送。4–4檢驗(yàn)OK之MASK貼合格標(biāo)簽﹐由治具管理員將其取出﹐雙手托住其邊緣﹐然后用手分別抓住MASK上﹑下兩邊﹐豎直插入存放柜中﹐(圖陽(yáng)片則水平插入存放柜中)插入時(shí)要輕推。5.注意事項(xiàng)﹕5–1圖陽(yáng)片粘貼需注意膠帶不可拉扯變形﹐以免圖陽(yáng)片貼上SODAGL