LED檢測(cè)方案推薦

LED檢測(cè)方案推薦第1頁(yè)/共34頁(yè)23D測(cè)量激光顯微鏡的測(cè)量能力接觸式表面粗さ測(cè)定機(jī)測(cè)定顕微鏡白色干渉計(jì)原子間力顕微鏡10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm1nm10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mmＺ高度ＸＹ平面激光顯微鏡

最大視野2.5mm、最大高度測(cè)量范圍10mm

0.1μm～300μm之間高度的測(cè)量是測(cè)量的極致范圍

牛牛文庫(kù)文檔分享第2頁(yè)/共34頁(yè)33D測(cè)量激光顯微鏡的觀察能力

牛牛文庫(kù)文檔分享第3頁(yè)/共34頁(yè)4推薦理由方案一優(yōu)勢(shì)：1、方案一總體資金投入小于方案二2、激光共聚焦測(cè)量顯微鏡（OLS4000）高精度高自動(dòng)化可解決高倍微分干涉顯微鏡分辨率不夠，原子力顯微鏡高分辨率時(shí)不能高分辨率觀察，臺(tái)階儀不能精確定位和測(cè)量顯微鏡測(cè)量光刻時(shí)精度不夠的問(wèn)題。從根本上解決以往一個(gè)檢查項(xiàng)目需在多臺(tái)設(shè)備上反復(fù)檢查的問(wèn)題，從而提高工作效率。并且由于只用一臺(tái)設(shè)備，后期維護(hù)方便、維護(hù)成本低廉。3、紅外高倍觀察顯微鏡（BX51IR）無(wú)輻射，可完成鑒定需要的同時(shí)保證安全性。4、配套激光共聚焦測(cè)量顯微鏡后，實(shí)驗(yàn)室配套的電鏡就只需能打成分就行，電鏡購(gòu)置成本可下降5-8萬(wàn)美元。缺點(diǎn)：1、紅外高倍觀察顯微鏡（BX51IR）分辨率低于X射線顯微鏡（X-RAY）。

牛牛文庫(kù)文檔分享第4頁(yè)/共34頁(yè)5推薦理由方案二優(yōu)點(diǎn)1、傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室配套方案，行業(yè)認(rèn)知度高。2、X-RAY做透視時(shí)，清晰度高于紅外顯微鏡。缺點(diǎn)1、總體投入過(guò)大。2、設(shè)備種類繁多，要求多名負(fù)責(zé)人員配合。3、部分設(shè)備檢測(cè)內(nèi)容有穿插，需要一個(gè)對(duì)所有設(shè)備都了解的總負(fù)責(zé)人。4、后期維護(hù)及耗材投入很高。

牛牛文庫(kù)文檔分享第5頁(yè)/共34頁(yè)6檢測(cè)項(xiàng)目詳細(xì)說(shuō)明--LED行業(yè)

牛牛文庫(kù)文檔分享第6頁(yè)/共34頁(yè)7檢查項(xiàng)目1、晶體結(jié)構(gòu)分布狀態(tài)（實(shí)驗(yàn)室檢查項(xiàng)目）2、拋光片表面拋光程度基材原料環(huán)節(jié)

牛牛文庫(kù)文檔分享第7頁(yè)/共34頁(yè)8拋光片表面拋光程度目前隨著工藝的完善，國(guó)內(nèi)外拋光片用高倍顯微鏡已無(wú)法區(qū)分出來(lái)，只能使用分辨率更高的激光共聚焦或原子力顯微鏡檢查。但原子力顯微鏡無(wú)法完成快速高分辨率檢查。

牛牛文庫(kù)文檔分享第8頁(yè)/共34頁(yè)9拋光片表面拋光程度檢查激光共聚焦測(cè)量顯微鏡力顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元鑒定型檢查高倍微分干涉顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約1.6萬(wàn)美元原子力顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元或原子力查找拋光片上的劃移線時(shí)非常的慢很困難。

牛牛文庫(kù)文檔分享第9頁(yè)/共34頁(yè)10晶體結(jié)構(gòu)及分布狀態(tài)檢查高倍顯微鏡只能看出晶體分布狀態(tài)，無(wú)法區(qū)分腐蝕的類型。激光共聚焦可通過(guò)三維圖分析。

牛牛文庫(kù)文檔分享第10頁(yè)/共34頁(yè)11晶體結(jié)構(gòu)分布狀態(tài)檢查高倍微分干涉顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約1.6萬(wàn)美元激光共聚焦測(cè)量顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元或鑒定型檢查原子力顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元（不含成分分析）腐蝕坑屬于微小孔。使用電鏡，樣品表面噴金有可能破壞孔洞結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致誤判。

牛牛文庫(kù)文檔分享第11頁(yè)/共34頁(yè)12檢查項(xiàng)目1、光刻質(zhì)量檢查2、圖形檢測(cè)3、整體外觀檢查晶圓處理環(huán)節(jié)

牛牛文庫(kù)文檔分享第12頁(yè)/共34頁(yè)13光刻質(zhì)量檢查高倍顯微鏡只能平面檢查（如下圖），某些細(xì)節(jié)觀察需通過(guò)三維的激光或電鏡圖像去分析。（如有圖

牛牛文庫(kù)文檔分享第13頁(yè)/共34頁(yè)14光刻質(zhì)量檢查高倍微分干涉顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約1.6萬(wàn)美元激光共聚焦測(cè)量顯微鏡力顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元或特殊部位觀察電子顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元（不含成分分析）

牛牛文庫(kù)文檔分享第14頁(yè)/共34頁(yè)15圖形檢測(cè)目前高品質(zhì)LED使用激光共聚焦檢查，避免臺(tái)階儀無(wú)法精確定位問(wèn)題和測(cè)量顯微鏡不能高精度測(cè)高問(wèn)題。

牛牛文庫(kù)文檔分享第15頁(yè)/共34頁(yè)16圖形檢測(cè)測(cè)量顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約4萬(wàn)美元激光共聚焦測(cè)量顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元或臺(tái)階儀市場(chǎng)價(jià)格約2萬(wàn)美元鑒定型檢查

牛牛文庫(kù)文檔分享第16頁(yè)/共34頁(yè)17整體外觀檢查

牛牛文庫(kù)文檔分享第17頁(yè)/共34頁(yè)18整體外觀檢查立體顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約0.6萬(wàn)美元

牛牛文庫(kù)文檔分享第18頁(yè)/共34頁(yè)19檢查項(xiàng)目1、針痕檢查晶圓針測(cè)環(huán)節(jié)

牛牛文庫(kù)文檔分享第19頁(yè)/共34頁(yè)20針痕檢查目前主流實(shí)用高倍顯微鏡通過(guò)平面圖像間接判斷真痕深度，激光測(cè)量顯微鏡除了能實(shí)現(xiàn)高倍顯微鏡工作外，還能滿足高端產(chǎn)品直接測(cè)量真痕深度的要求。

牛牛文庫(kù)文檔分享第20頁(yè)/共34頁(yè)21針痕檢查激光共聚焦測(cè)量顯微鏡力顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元針痕深度直接測(cè)量高倍微分干涉顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約1.6萬(wàn)美元通過(guò)針痕的平面尺寸間接判斷針痕深度

牛牛文庫(kù)文檔分享第21頁(yè)/共34頁(yè)22檢查項(xiàng)目1、框架及晶圓切割檢查2、貼片狀態(tài)檢查3、鍵合高度、引腳尺寸測(cè)量4、封裝檢查構(gòu)裝工序環(huán)節(jié)

牛牛文庫(kù)文檔分享第22頁(yè)/共34頁(yè)23框架及晶圓外觀檢查

牛牛文庫(kù)文檔分享第23頁(yè)/共34頁(yè)24框架及晶圓外觀檢查立體顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約0.6萬(wàn)美元檢查前一道過(guò)程中是否有劃傷和異物。確認(rèn)切割狀態(tài)。測(cè)試顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約4萬(wàn)美元。超視野檢查。

牛牛文庫(kù)文檔分享第24頁(yè)/共34頁(yè)25貼片狀態(tài)檢查確認(rèn)貼片是否偏離框架位置

牛牛文庫(kù)文檔分享第25頁(yè)/共34頁(yè)26貼片狀態(tài)檢查立體顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約0.6萬(wàn)美元

牛牛文庫(kù)文檔分享第26頁(yè)/共34頁(yè)27鍵合高度、引腳尺寸測(cè)量測(cè)金球高測(cè)金球直徑測(cè)金線高度

牛牛文庫(kù)文檔分享第27頁(yè)/共34頁(yè)28鍵合高度、引腳尺寸測(cè)量測(cè)試顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約4萬(wàn)美元。測(cè)高、測(cè)金球。激光共聚焦測(cè)量顯微鏡力顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約18萬(wàn)美元可兼容測(cè)量功能

牛牛文庫(kù)文檔分享第28頁(yè)/共34頁(yè)29封裝檢查露金線未露金線

牛牛文庫(kù)文檔分享第29頁(yè)/共34頁(yè)30封裝檢查高倍微分干涉顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約1.6萬(wàn)美元

牛牛文庫(kù)文檔分享第30頁(yè)/共34頁(yè)31封裝檢查X射線顯微鏡（X-RAY）市場(chǎng)價(jià)格約8萬(wàn)美元紅外高倍觀察顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約4萬(wàn)美元穿透式觀察

牛牛文庫(kù)文檔分享第31頁(yè)/共34頁(yè)32檢查項(xiàng)目1、外觀檢查2、FA失效分析立體顯微鏡市場(chǎng)價(jià)格約0.6萬(wàn)美元產(chǎn)品測(cè)試及工藝改進(jìn)高倍微分干涉顯微鏡市場(chǎng)價(jià)