復(fù)旦大學(xué)微納加工試驗室

復(fù)旦大學(xué)納加工實驗處罰條例草案）為護(hù)好實室作境復(fù)大微加實室根違情輕程及規(guī)果重度違實室章相條的戶（1）批（2）警（）過（4）除等個同別處。（）驗對下況給通批處，罰果報驗全用戶違用所課組并據(jù)規(guī)響后情停違用不過1周實室禁限1擅自帶未經(jīng)許可的個人物品（例如筆記本電腦等）進(jìn)入潔凈室。2未按潔凈室使用規(guī)章進(jìn)行穿戴潔凈用品或在潔凈室內(nèi)擅自脫帽、解扣以及從事其他未經(jīng)許可不規(guī)范行為的。3未經(jīng)允許擅自使用他人衣物或?qū)嶒炗闷返摹?不聽從實驗室統(tǒng)一培訓(xùn)安排且在不預(yù)先告知實驗室管理人員的情況下擅自更改個人培訓(xùn)日程從而影響培訓(xùn)效果的。5已開啟試劑未用完便開啟新的試劑，浪費試劑。6未按照記錄要求認(rèn)真填寫清洗間使用記錄表7在通風(fēng)內(nèi)做實驗過程中，上身前傾進(jìn)入通風(fēng)廚中。8通風(fēng)櫥使用完不關(guān)閉櫥窗或沒有整理通風(fēng)櫥臺面的。9使用完勻膠機(jī)和熱板等小型設(shè)備后不做清理，或未按要求關(guān)閉設(shè)備。10光刻區(qū)或者腐蝕區(qū)內(nèi)實驗過程中擦拭頭、臉等部位。11現(xiàn)光刻膠、電子束膠、顯影液被污染或者失效，未及時通報管理員。12用完大型設(shè)備不清潔臺面，造成工作臺面混亂，弄臟。13經(jīng)網(wǎng)上預(yù)約直接使用大型儀器設(shè)備。14按實驗設(shè)備使用要求記錄使用情況和主要技術(shù)參數(shù)和設(shè)備狀態(tài)的。15通風(fēng)廚外開啟光刻膠或者電子束膠瓶的。16現(xiàn)相關(guān)操作間環(huán)境濕度和溫度異常，而未及時向?qū)嶒炇夜芾韱T報告。17出不同實驗間，未隨手關(guān)門從而導(dǎo)致實驗門長時間敞開。（）驗對下況給警處，罰果報驗全用及違用所課組并據(jù)規(guī)響后情停違用1周月的驗門或和備用限造損的追責(zé)人應(yīng)任18學(xué)期內(nèi)多次（≥次）發(fā)生（一）中違規(guī)行為且屢教不改的。19經(jīng)允許擅自帶領(lǐng)無關(guān)人員進(jìn)入潔凈間。

20出實驗室未刷本人已授權(quán)門禁卡或者擅自刷卡給他人進(jìn)出的。21按實驗室安全管理要求，在非工作時段（即：工作日8:00前或晚后以及節(jié)假日）獨自一人進(jìn)入潔凈室工作的。22入或離開實驗室不關(guān)門。23經(jīng)設(shè)備管理員允許，擅自取用實驗耗材（例如，貴重蒸鍍材料、探針、掩膜版、硅片等）等進(jìn)行實驗的。24實驗前發(fā)現(xiàn)設(shè)備異常，未及時通知設(shè)備管理員而繼續(xù)使用設(shè)備在該情況下，由設(shè)備管理員發(fā)現(xiàn)設(shè)備異常而無法確定責(zé)任人時，根據(jù)設(shè)備使用記錄追究最后使用人的責(zé)任）25備培訓(xùn)完成尚未通過考核合格（≥3無誤使用）就獨立使用設(shè)備的。26器使用完后，未按操作規(guī)定將儀器恢復(fù)到待機(jī)狀態(tài)或者初始狀態(tài)。27型儀器使用完后，未按操作規(guī)定將儀器附屬設(shè)備（如：真空泵氮氣、工藝氣體）關(guān)閉。28驗進(jìn)行中操作者隨意離開實驗室導(dǎo)致設(shè)備處于無人監(jiān)管、具有潛在異?；蚴鹿曙L(fēng)險的。29有設(shè)備授權(quán)的用戶在未經(jīng)設(shè)備管理員允許的情況下，私自使用自己的卡刷開設(shè)備為未經(jīng)授權(quán)的用戶使用。30意預(yù)約設(shè)備機(jī)時，給其他用戶造成不便。31自進(jìn)入潔凈室的服務(wù)區(qū)內(nèi)進(jìn)行未經(jīng)許可操作的。32非緊急情況下穿戴潔凈服走出潔凈區(qū)。33未經(jīng)培訓(xùn)和設(shè)備管理員授權(quán)的情況下擅自使用無使用權(quán)限的儀器設(shè)備。34按清洗間化學(xué)品使用要求，擅自在其他區(qū)域進(jìn)行濕法化學(xué)處理。35學(xué)品沒有按類存放的。36按標(biāo)識回收化學(xué)廢液，將化學(xué)廢液直接倒入下水口的；個人使用的試劑不貼標(biāo)志或標(biāo)識。37學(xué)試劑瓶空瓶直接扔到垃圾桶的。38經(jīng)允許在通風(fēng)櫥外開啟、倒出光刻膠的39膠時，將膠滴到勻膠機(jī)、通風(fēng)櫥、地面上等沒有及時擦去的；涂膠后吸盤被膠沾污沒有及時清洗的。40經(jīng)設(shè)備管理員允許擅自調(diào)整儀器設(shè)定與參數(shù)。篡改標(biāo)準(zhǔn)工藝流程或工藝參數(shù)。41行清洗操作時，不按照操作規(guī)范佩戴個人防護(hù)用品（包括防酸堿手套，面罩等防護(hù)用品使用完畢，未按規(guī)定進(jìn)行清洗。42用公共器皿（如燒杯、量筒等）后，未及時清洗。（）驗對下況給記處，罰果報驗全用及違用所院，根違影和果況止規(guī)戶1-6月實室禁/和設(shè)使權(quán)，成驗損的究任相賠責(zé)。43學(xué)期內(nèi)多次（≥次）發(fā)生（二）中違規(guī)行為且屢教不改、造成惡劣影響和較嚴(yán)重后果的。44自調(diào)整儀器重要參數(shù)和設(shè)置，導(dǎo)致儀器故障或無法工作的。45按照設(shè)備操作規(guī)則或使用說明操作設(shè)備，導(dǎo)致設(shè)備故障或損壞的。46用中損壞設(shè)備儀器未立刻通知實驗室管理人員，未在使用記錄上注明設(shè)備儀器異常狀況說明。

47按實驗室化學(xué)品申報流程擅自帶入化學(xué)試劑、擅自帶實驗儀器等進(jìn)入潔凈室的，帶進(jìn)實驗室化學(xué)品沒有做好登記記錄的。48自帶出實驗室的實驗儀器、藥品、工具等。49作不當(dāng)導(dǎo)致實驗室發(fā)生安全或設(shè)備發(fā)生輕微事故。50按照化學(xué)藥品使用規(guī)范正確使用及處理化學(xué)藥品。51經(jīng)允許在專用計算機(jī)上安裝其它軟件的。52實驗室或者使用實驗室計算機(jī)玩游戲、上網(wǎng)聊天等娛樂活動的。（）驗對下況給除處，罰果報驗全用及違用所院，根違影和果況止規(guī)戶6以或久的驗門或/和設(shè)備用限造實室失追責(zé)人應(yīng)償任53學(xué)期內(nèi)多次（≥次）發(fā)生（三）中違規(guī)行為且屢教不改、造成惡劣影響和嚴(yán)重后果的。54自將未經(jīng)許可的化學(xué)品帶入實驗室并造成人身傷害或財產(chǎn)損失的。55于違反實驗室規(guī)定導(dǎo)致實驗室發(fā)生重大安全或設(shè)備事故，例如，特氣泄漏，火災(zāi)等。56生重大安全或設(shè)備事故時，不及時通知相關(guān)人員，不采取相應(yīng)措施，導(dǎo)致發(fā)生人員，財產(chǎn)損失。57意破壞或偷竊實驗室內(nèi)物品。58于違反實驗室規(guī)定（例如，晚上離開時沒有鎖門）導(dǎo)致實驗室發(fā)生事故或財產(chǎn)損失。59經(jīng)管理人員允許，私自修改、復(fù)制、散發(fā)微納加工實驗室的相關(guān)軟件、技術(shù)資料或竊取其他用戶技術(shù)資料或?qū)嶒灲Y(jié)果。注：

部分條例、化學(xué)試劑、設(shè)備具有附屬處罰條例，可按照附屬處罰條例處罰。如：紫外勻膠機(jī)、顯影液年部現(xiàn)、備屬罰例(1)外勻膠處罰例：1勻膠機(jī)普通違規(guī)停止權(quán)限1個月。如：用完勻膠機(jī)沒有將吸盤拿下來，沒有清洗

吸盤；勻膠后有很多殘膠附在鋁箔上未更換鋁箔；用完勻膠機(jī)后沒有關(guān)閉泵（即沒刷卡下機(jī)膠不是紫外光刻類膠（紫外光刻類膠：光刻機(jī)、制版機(jī)、納米壓印機(jī)設(shè)備用膠其他相關(guān)違規(guī)現(xiàn)象。2勻膠機(jī)特殊違規(guī)停止權(quán)限6個月如使勻膠機(jī)吸入很多光刻膠，影響真空和轉(zhuǎn)速的；用大吸盤勻膠小樣品（例2寸吸盤勻膠2cm品不正常使用使勻膠機(jī)吸入很多膠的。3說明勻膠機(jī)處罰會累積，如：第一次被處罰停止權(quán)限1月（6個月二次被處罰為停止權(quán)限月（12月第三次處罰為停止權(quán)限月（月依次疊加。(2)影液處條例正膠顯影液TMAH次用正膠顯影液后續(xù)登記用量，碎片顯影，每次倒出顯影液不能超過30mL（30mL可以影3次碎片，若樣品多于片，可將原顯