標準解讀

《YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定 氣相色譜法》是一項針對半導體材料制備過程中所需高純度三氯氫硅內(nèi)雜質(zhì)檢測的標準。該標準規(guī)定了使用氣相色譜技術(shù)來定量分析三氯氫硅樣品中存在的其他類型氯硅烷（如二氯硅烷、四氯化硅等）的具體方法。

標準首先明確了適用范圍，指出其適用于評估用于生產(chǎn)單晶硅或硅薄膜沉積工藝中的原料——三氯氫硅的質(zhì)量。通過精確控制這些雜質(zhì)水平，可以有效保證最終產(chǎn)品的性能與質(zhì)量。

接下來，文件詳細描述了實驗所需的儀器設(shè)備及其操作條件，包括但不限于氣相色譜儀的選擇、柱子類型及規(guī)格、載氣種類與流速設(shè)定等參數(shù)。同時，對于樣品前處理步驟也有具體指導，比如如何進行稀釋以適應(yīng)進樣要求等。

在實際測試過程中，需要按照指定程序準備標準溶液和待測樣品，并將兩者分別注入氣相色譜系統(tǒng)中。通過比較兩者之間特定組分峰面積大小，結(jié)合已知濃度的標準曲線，即可計算出樣品中目標化合物的確切含量。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實施
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YS/T 1060-2015硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定氣相色譜法_第1頁
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文檔簡介

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T1060—2015

硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的

測定氣相色譜法

Determinationofotherchlorosilaneintrichlorosilaneforsiliconeqitaxy—

Gaschromatographicmethod

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1060—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位中鍺科技有限公司江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司昆明冶研新材料股份有限

:、、

公司

。

本標準主要起草人劉新軍劉英杰鄭華榮柯尊斌趙建為孔令群伍永勝張云暉楊紅燕

:、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1060—2015

硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的

測定氣相色譜法

1范圍

本標準規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷包括二氯二氫硅四氯化硅含量的氣相色譜測定

(、)

方法

。

本標準適用于硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷包括二氯二氫硅四氯化硅含量的測定測定下

(、)。

限為

0.002%。

2方法提要

三氯氫硅樣品在惰性氣體氮氣或氬氣保護下注入氣相色譜儀各組分經(jīng)色譜柱分離后用熱導池

(),,

檢測器檢測用峰面積歸一化法計算

,。

3試劑

31載氣氫氣體積分數(shù)

.,≥99.999%。

32惰性氣體體積分數(shù)

.,≥99.999%。

4儀器

41氣相色譜儀配有熱導池檢測器和相應(yīng)的色譜工作站檢測限為

.:(TCD),0.001%。

42色譜柱不銹鋼填充柱固定液為規(guī)格為?或其他等效色譜柱

.:,25%DC-550,3mm×2.5m,。

43微量注射器

.:10μL。

5干擾因素

51樣品宜置于冰箱中冷凍保存防止樣品揮發(fā)損失

.,。

52室內(nèi)濕度應(yīng)控制在以下防止環(huán)境濕度對樣品的影響

.40%,。

53惰性氣體操作箱內(nèi)的空氣應(yīng)用干燥高純惰性氣體如氮氣置換干凈否則樣品水解影響測試

.();,

結(jié)果

。

6分析步驟

警告移取三氯氫硅樣品時要防止樣品泄露建議在惰性氣體保護下轉(zhuǎn)移樣品并佩戴好防護

:,。,

用品

。

61準備

.

按照儀器操作規(guī)程開啟氣相色譜儀并設(shè)定儀器工作參數(shù)待基線平穩(wěn)后開始進樣分析

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