真空基礎(chǔ)知識課件

1.真空基礎(chǔ)知識2006-05-29

真空：低于一個大氣壓的氣體狀態(tài)。1643年，意大利物理學(xué)家托里拆利(E.Torricelli)首創(chuàng)著名的大氣壓實驗，獲得真空。自然真空：氣壓隨海拔高度增加而減小，存在于宇宙空間。人為真空：用真空泵抽掉容器中的氣體。1.1真空基礎(chǔ)知識2真空量度單位1標準大氣壓=760mmHg=760(Torr)1標準大氣壓=1.013x105Pa1Torr=133.3Pa1mbar=100Pa1.1真空基礎(chǔ)知識3真空技術(shù)的應(yīng)用

電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、加速器、表面物理、微電子、材料科學(xué)、醫(yī)學(xué)、化工、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、日常生活等各個領(lǐng)域。1.1真空基礎(chǔ)知識51.2真空泵基本原理介紹1654年，德國物理學(xué)家葛利克發(fā)明了抽氣泵，做了著名的馬德堡半球試驗。

原理：當泵工作后，形成壓差，p1>p2，實現(xiàn)了抽氣。6真空泵的分類氣體傳輸泵:是一種能將氣體不斷地吸入并排出泵外以達到抽氣目的的真空泵，例如旋片機械泵、羅茨泵、油擴散泵、渦輪分子泵。氣體捕集泵:是一種使氣體分子短期或永久吸附、凝結(jié)在泵內(nèi)表面的真空泵，例如分子篩吸附泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫泵和吸氣劑泵。1.2真空泵基本原理介紹7極限壓強(極限真空)最高工作壓強工作壓強范圍（）泵能正常工作的壓強范圍幾種常用真空泵的工作壓強范圍旋片機械泵蘿茨泵擴散泵渦輪分子泵

濺射離子泵

低溫泵真空泵的主要參數(shù)1.2真空泵基本原理介紹氣體傳輸泵氣體捕獲泵9工作過程是：吸氣—壓縮—排氣。定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。主要參量是：抽速和極限壓強。由于極限壓強較高，常用做前級泵(預(yù)抽泵)。1.2真空泵基本原理介紹1.旋片機械泵幾種常用真空泵的工作原理10旋片式機械泵1.2真空泵基本原理介紹111.2真空泵基本原理介紹2.羅茨泵工作原理圖131.2真空泵基本原理介紹1大齒輪2軸承3密封圈4抽氣口5轉(zhuǎn)子6油密封圈7注油壺8連接器9馬達10驅(qū)動軸11圓形離心潤滑器12出氣口13導(dǎo)油管14起重機眼14羅茨泵極限壓力為5*10-3mbar，正常工作壓力范圍為5*10-2mbar，它的進氣口壓力為10mbar。1.2真空泵基本原理介紹151.3真空保養(yǎng)1.真空檢漏沒有一種真空設(shè)備能夠完全密封，做不到也沒有必要完全密封；造成的漏點包括：焊接、法蘭、蓋板、工藝氣體管道等；只要達到而且能夠保持達到我們所需的真空工藝，就能滿足生產(chǎn)需要。171.3真空保養(yǎng)2.檢漏步驟開機對各接頭法郎快速粗噴He氣；找到最大漏處，用袋子加100%He氣，調(diào)節(jié)測量范圍，讀出漏率；對懷疑處逐點噴氣5~6秒，并隔離檢查注意:進行檢漏前，必須先關(guān)閉所有的放氣閥等進氣部件He氣:氦氣為無色無味，不可燃氣體，空氣中的含量約為百萬分之5.2.181.3真空保養(yǎng)3.泵浦保養(yǎng)真空油根據(jù)實際情況定期更換排氣過濾器檢查更換轉(zhuǎn)子葉片檢查并更換油水熱交換器系統(tǒng)檢查氣震過濾器檢查或更換進氣過濾器檢查或更換排氣葉片等“8”字型轉(zhuǎn)