GB/T 8757-2006砷化鎵中載流子濃度等離子共振測(cè)量方法

ICS77.040.01H17中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T8757-2006代替GB/T8757—1988砷化家中載流子濃度等離子共振測(cè)量方法Determinationofcarrierconcentrationingalliumarsenidebytheplasmaresonanceminimum2006-07-18發(fā)布2006-11-01實(shí)施中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局愛布中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T8757-2006本標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)GB/T8757—1988《種化鏢中載流子濃度等離子共振測(cè)量方法》的修訂本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T8757—1988相比主要有以下變動(dòng)：-原標(biāo)準(zhǔn)表述儀器要求使用了波數(shù)表示法.為了和其他條款的表述一致.改為波長(zhǎng)表示法；-原標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,為測(cè)定儀器的波長(zhǎng)精度和重復(fù)性，要測(cè)量聚苯乙烯膜的吸收帶10次。但未規(guī)定是按固定周期還是在每次測(cè)量前做這項(xiàng)工作，也沒有規(guī)定如果在這10次測(cè)量結(jié)果中出現(xiàn)一次或幾次不符合要求時(shí)應(yīng)如何處理,不便于實(shí)際操作。修改后規(guī)定為每次打開儀器按儀器說(shuō)明書的要求預(yù)熱一定時(shí)間后,在正式測(cè)量前進(jìn)行一次測(cè)量聚苯乙烯膜的吸收帶的校準(zhǔn)；原標(biāo)準(zhǔn)5.1式中的常數(shù)對(duì)于砷化鏢材料總是為零，故在表達(dá)式中取消。本標(biāo)準(zhǔn)自實(shí)施之日起代替GB/T8757—1988。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：北京有色金屬研究總院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：王彤涵。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：GB/T8757-1988。

GB/T8757-2006砷化家中載流子濃度等離子共振測(cè)量方法T范圍本標(biāo)準(zhǔn)適用于摻雜砷化鏢單品中載流子濃度的測(cè)量。測(cè)量范圍：n-GaAs1.0×10"cm-3～1.0×10"°cm_p-GaAs2.0×10"cm_a～1.0×10″cm-2原理在紅外光譜區(qū)域，重?fù)诫s半導(dǎo)體材料的反射率為波長(zhǎng)的函數(shù)，材料的載流子濃度和反射光譜的等離子體共振極小值波長(zhǎng)具有對(duì)應(yīng)關(guān)系,測(cè)量此波長(zhǎng)，根據(jù)公式可計(jì)算出載流子濃度儀器3.1雙光束紅外分光光度計(jì)或傅立葉紅外光譜儀,波長(zhǎng)范圍為2.5m～50m,或波數(shù)范圍為4000cm_1～200cm-1。如果波長(zhǎng)范圍較窄.則測(cè)量范圍相應(yīng)減小。3.2儀器的波長(zhǎng)和波長(zhǎng)重復(fù)性誤差不大于0.05gm。在10m處光譜分瓣率為0.02m或更好。3.3儀器應(yīng)配有反射附件,入射角不大于30°。儀器應(yīng)配有黑體材料制成的多種孔徑的光闌。4樣品4.1作為樣品的單晶片.表面必須研磨后進(jìn)行機(jī)械或化學(xué)拋光，使樣品表面在良好的光線下看上去平整光潔。4.2樣品的導(dǎo)電類型應(yīng)是已知的、5測(cè)量5.1儀器校準(zhǔn)5.1.1打開儀器,按說(shuō)明書的要求進(jìn)行預(yù)熱。測(cè)量厚度為300m～500m的聚苯乙烯膜的吸收光譜，核對(duì)3.303m吸收帶,其結(jié)果應(yīng)滿足條款3.2的要求。5.1.2安裝反射附件后測(cè)量100%線，其峰谷值差應(yīng)小于8%。5.2測(cè)量5.2.1選擇適當(dāng)?shù)膾呙杷俣?以滿足條款3.2的要求。測(cè)量并記錄樣品的反射光譜。如果反射譜線的極小值與任一邊的最大值之差小于10%，則應(yīng)提高儀器的放大倍數(shù)并重新記錄反射光譜，5.2.2在反射譜線的極小值兩側(cè)約0.5m～1m處分別作兩條與譜線相切