GB/T 39158-2020平面顯示用高純銅旋轉管靶

ICS7715030

H62..

中華人民共和國國家標準

GB/T39158—2020

平面顯示用高純銅旋轉管靶

Highpuritycopperrotatabletubetargetforflatpaneldisplay

2020-11-19發(fā)布2021-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T39158—2020

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出

。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術經濟研究院寧波江豐電子材料股份有

:、、

限公司沈陽有色金屬加工有限公司

、。

本標準主要起草人曾浩羅俊鋒韓知為賀昕董艷霞陳明熊曉東曹歡歡萬小勇林若虛

:、、、、、、、、、、

袁海軍劉曉張健郭姍姍

、、、。

Ⅰ

GB/T39158—2020

平面顯示用高純銅旋轉管靶

1范圍

本標準規(guī)定了平面顯示用高純銅旋轉管靶的術語和定義分類技術要求試驗方法檢驗規(guī)則標

、、、、、

志包裝運輸貯存質量證明書及訂貨單或合同內容

、、、、()。

本標準適用于平面顯示用各種規(guī)格的高純銅旋轉管靶產品

4N、4N5、5N。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804—2000

銅及銅合金化學分析方法第部分電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法

GBT5121.2727:

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

銅及銅合金平均晶粒度測定方法

YS/T347

高純銅化學分析方法痕量雜質元素含量的測定輝光放電質譜法

YS/T922

銅及銅合金管材超聲波縱波探傷方法

YS/T1000—2014

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

旋轉管靶rotatabletubetarget

一種平板顯示領域用的管狀靶材

。

注主要用于電子薄膜沉積

:。

32

.

表面粗糙度surfaceroughness

Ra

加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度輪廓的平均算術偏差值Ra即在一定測量長度l

。,

范圍內輪廓上各點至中線距離絕對值的平均算術偏差用下式表示

,y。:

1

Ra=1|y|x

ld

∫0

4分類

產品的牌號按純度分三個牌號產品的規(guī)格可分為??

RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N。155×438、155×

???不同牌號對應的規(guī)格見表

888、155×1091、155×888、167×2490。