標準解讀

《GB/T 35316-2017 藍寶石晶體缺陷圖譜》是一項國家標準，主要針對藍寶石晶體中的各種缺陷類型進行了系統(tǒng)性的分類與描述。該標準定義了不同類型藍寶石晶體中可能出現的缺陷，并通過詳細的圖譜來幫助識別這些缺陷。它為從事藍寶石材料研究、生產以及應用的專業(yè)人士提供了一個統(tǒng)一的標準參考框架。

根據這項標準，藍寶石晶體內的缺陷被分為多個類別，包括但不限于位錯、氣泡、夾雜物等。對于每一種類型的缺陷，《GB/T 35316-2017》都提供了具體的特征說明和對應的顯微圖像或示意圖，以便于使用者能夠準確地識別并理解不同種類的缺陷形態(tài)及其對材料性能的影響。

此外，該標準還包含了關于如何制備適合觀察缺陷的樣品以及使用何種方法和技術來進行檢測的相關指南。這有助于確保不同實驗室之間在進行藍寶石晶體質量評估時采用一致的方法論，從而提高測試結果的一致性和可靠性。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2017-12-29 頒布
  • 2018-07-01 實施
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文檔簡介

ICS29045

H80.

中華人民共和國國家標準

GB/T35316—2017

藍寶石晶體缺陷圖譜

Collectionofmetallographsondefectsofsapphirecrystal

2017-12-29發(fā)布2018-07-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T35316—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準主要起草單位中國科學院上海光學精密機械研究所上海大恒光學精密機械有限公司中

:、、

國科學院新疆理化技術研究所新疆紫晶光電技術有限公司有色金屬技術經濟研究院江蘇浩瀚藍寶

、、、

石科技有限公司蘇州恒嘉晶體材料有限公司江蘇吉星新材料有限公司東莞市中鎵半導體科技有限

、、、

公司天津三安光電有限公司江西東海藍玉光電科技有限公司丹東新東方晶體儀器有限公司

、、、。

本標準主要起草人徐民杭寅潘世烈張方方趙興儉韋建賀東江吳成榮蔡金榮徐永亮

:、、、、、、、、、、

丁曉民王篤祥李國平趙松彬楊素心

、、、、。

Ⅰ

GB/T35316—2017

藍寶石晶體缺陷圖譜

1范圍

本標準規(guī)定了藍寶石晶體缺陷的術語和定義形貌特征及產生原因

、。

本標準適用于藍寶石單晶材料制備中各種缺陷的檢驗和分析

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

鍺晶體缺陷圖譜

GB/T8756

半導體材料術語

GB/T14264

硅材料原生缺陷圖譜

GB/T30453

3術語和定義

和界定的術語和定義適用于本文件

GB/T8756、GB/T14264GB/T30453。

4藍寶石晶體缺陷

41晶錠缺陷

.

411開裂crack

..()

4111形貌特征

...

生長的藍寶石晶體有時外形完整但晶體內部或邊壁處可觀測到數道裂紋嚴重時可見晶體碎裂成

,,

塊其形貌特征示例見圖圖

。1~4。

4112產生原因

...

晶體生長或退火時熱場不合理爐內溫度變化過快造成晶體內部熱應力過大而引起開裂晶體粘

,、;

連坩堝形成外部擠壓應力導致晶體邊壁處出現微裂紋無籽晶生長或原料雜質過多時極易產生局部

,;,

多晶導致晶體開裂

,。

412失透opaque

..()

4121形貌特征

...

生長的藍寶石晶體半透明或不透明

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