GB/T 31352-2014藍寶石襯底片翹曲度測試方法

ICS7704099

H21..

中華人民共和國國家標準

GB/T31352—2014

藍寶石襯底片翹曲度測試方法

Testmethodsforwarpofsapphiresubstrates

2014-12-31發(fā)布2015-09-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31352—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會和全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位江蘇協(xié)鑫軟控設備科技發(fā)展有限公司中國科學院上海光學精密機械研究所北

:、、

京合能陽光新能源技術有限公司

。

本標準主要起草人薛抗美魏明德黃修康杭寅夏根平肖宗杰

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31352—2014

藍寶石襯底片翹曲度測試方法

1范圍

本標準規(guī)定了藍寶石切割片研磨片拋光片以下簡稱藍寶石襯底片翹曲度的測試方法

、、()。

本標準適用于直徑厚度為不小于的藍寶石襯底片翹曲度的測試

50.8mm~304.8mm,200μm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

硅片翹曲度非接觸式測試方法

GB/T6620

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

翹曲度warp

自由無夾持晶片中位面與中位面基準平面之間的最大和最小距離的差值

。

32

.

中位面基準平面mediansurfacereferenceplane

由指定的小于晶片標稱直徑的直徑圓周上的個等距離點決定的平面

3。

4方法提要

41接觸式測試

.

將藍寶石襯底片置放在基準環(huán)的個支點上支點形成一個基準平面利用低壓力位移指示器沿

3,3,

規(guī)定路徑測量藍寶石襯底片偏離基準平面的距離記錄成對位移指示器的讀數(shù)并求其差值針對一系列

,,

成對數(shù)值的差值取其最大值與最小值的差值除以該得值即表示襯底片的翹曲度

2,。

42非接觸式測試

.

將藍寶石襯底片置放在基準環(huán)的個支點上支點形成一個基準平面利用非接觸式位移傳感器

3,3,

沿規(guī)定路徑測量藍寶石襯底片偏離基準平面的距離記錄成對位移指示器的讀數(shù)并求其差值針對一系

,,

列成對數(shù)值的差值取其最大值與最小值的差值除以該得值即表示襯底片的翹曲度

,2,。

43白光干涉式測試

.

激光照射藍寶石襯底片表面光經過反射相互疊加干涉干涉圖經光學成像系統(tǒng)記錄開始高低形

,,,

貌測量物鏡在Z軸方向上不斷微小的移動在每個移動位置上