廠務(wù)系統(tǒng)概述-

廠務(wù)系統(tǒng)概述莊士正整廠系統(tǒng)1.廠務(wù)系統(tǒng)功能1.1水系統(tǒng)在製程中的功能PCW製程冷卻水製程機(jī)臺(tái)冷卻UPW/DIW超純水補(bǔ)水/清洗/稀釋ChillWater冰水冷卻用冷源/空調(diào)用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自來(lái)水原水/一般用水1.2氣體系統(tǒng)在製程中的功能CDA壓縮乾燥空氣搬運(yùn)器/儀器之氣壓缸/一般沖吹GN2一般氮?dú)釶urge/CDABackup/潔淨(jìng)沖吹PN2純化氮?dú)釶urge/空間填充/超潔淨(jìng)沖吹其他B-GAS大宗氣體製程需求/Purge/空間填充/超潔淨(jìng)沖吹S-GAS特殊氣體製程Chamber填充需求/乾蝕刻製程需求1.3化學(xué)系統(tǒng)在製程中的功能Chemical化學(xué)藥品清潔清洗/濕式蝕刻製程需求1.4真空系統(tǒng)在製程中的功能PV製程真空基板吸引般移HV清潔真空塵屑吸引清潔/真空吸筆PumpLine製程高真空Chamber製程轉(zhuǎn)換之高真空建立Exhaust排氣系統(tǒng)Chamber製程轉(zhuǎn)換之廢氣排除Drain排水系統(tǒng)機(jī)臺(tái)製程使用之廢DI/Chemical排放1.5排氣/排水系統(tǒng)在製程中的功能2.廠務(wù)系統(tǒng)使用材質(zhì)2.1水系統(tǒng)使用材質(zhì)PCW製程冷卻水SUS304禁油處理/高壓軟管UPW/DIW超純水CPVC/PVDF/PFATubeChillWater冰水SUS304RW回收水SUS304CW自來(lái)水SUS304CDA壓縮乾燥空氣SUS304LAP/BA/316LBAGN2一般氮?dú)釹US316LBA/EPPN2純化氮?dú)釹US316LEP其他B-GAS大宗氣體SUS316LEP/PH2有時(shí)用雙套管(EP/AP)S-GAS特殊氣體SUS316LEP/雙套管/加熱套2.2氣體系統(tǒng)使用材質(zhì)-(除特氣外機(jī)臺(tái)端都可能用Teflon軟管)2.3化學(xué)系統(tǒng)使用材質(zhì)有機(jī)類化學(xué)藥品例如溶劑類→SUS316BA一般酸鹼化學(xué)藥品例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC其他化學(xué)藥品CPVC/PFA/PVDF/PTFE2.4真空系統(tǒng)使用材質(zhì)PV製程真空PVCSCH80/SUS304HV清潔真空PVCSCH80/SUS304PumpLine製程高真空SUS316BA/EPGEX一般排氣鍍鋅螺旋風(fēng)管2.5排氣系統(tǒng)使用材質(zhì)Solvent有機(jī)排氣SUS304全焊式不銹鋼風(fēng)管Acid/Ak酸鹼排氣不銹鋼TeflonCoating風(fēng)管(Tefpass)2.6排水系統(tǒng)使用材質(zhì)Drain一般排水PVC/PVCSCH80Solvent有機(jī)排氣水SUS304不銹鋼管Acid/Ak酸鹼排氣水PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA3.廠務(wù)系統(tǒng)流程3.1製程冷卻水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程原水補(bǔ)水膨脹水箱冰水出冰水進(jìn)板熱製程管線機(jī)臺(tái)冷卻進(jìn)水回水3.2冰水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大氣冰水主機(jī)冷媒循環(huán)RCUAHU其他空調(diào)箱DCC板熱冷卻水3.3純水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程CityWater自來(lái)水DMFilter去除鈣鎂Decarbonator去除CO2WATower去除碳酸鈣SATower去除碳酸鈣ROTankRO進(jìn)水槽HeatExchange熱交換器UVSterilizer紫外線殺菌SafetyFilter過(guò)濾器ROUnit逆滲透膜PermeatePit逆滲透底槽MixedBed去除SiO2MembraneDegasifier去除O2UPWTank純水儲(chǔ)槽Cooler冷卻器UVOxidizer破壞有機(jī)鏈UFUnit超限過(guò)濾膜H2UPWTank純水儲(chǔ)槽H2CoolerH2冷卻器H2M.D.H2去除膜H2DesolveMembraneH2除溶膜H2WUFUnit超限過(guò)濾膜P.O.U使用點(diǎn)回水回水3.4自來(lái)水/回收水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程自來(lái)水外管水表/隔離閥供應(yīng)管線使用點(diǎn)自來(lái)水空氣中水份冷盤/空調(diào)箱回收管線回收水槽回收水使用點(diǎn)3.5CDA/GN2/PN2系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程CDAGN2/PN2大氣空壓機(jī)蓄壓槽初級(jí)過(guò)濾器冷凍式乾燥機(jī)吸附式乾燥機(jī)精密過(guò)濾器大氣氮?dú)猱a(chǎn)生器液氮槽蒸發(fā)器減壓站過(guò)濾器純化器使用點(diǎn)一/二次管二次盤CQC使用點(diǎn)一/二次管二次盤CQC3.6其他大宗氣體/特氣系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程O2SpecialtyGas鋼瓶Cabinet氣瓶櫃VMB/P閥箱管線使用點(diǎn)液氧儲(chǔ)槽減壓站過(guò)濾器純化器CQCHe/Ar/Kr/H2…鋼瓶/BundleTrunker減壓站過(guò)濾器一/二次管二次盤使用點(diǎn)蒸發(fā)器使用點(diǎn)一/二次管二次盤純化器CQC管線3.7高真空/排氣系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程PumpingLineOthersExhaust機(jī)臺(tái)製程ChamberVacuumPump高真空管路ScrubberGEX機(jī)臺(tái)出口Damper風(fēng)管風(fēng)機(jī)高真空管路大氣Exhaust風(fēng)管機(jī)臺(tái)出口Damper風(fēng)管風(fēng)機(jī)Scrubber大氣3.8真空系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程PV製程機(jī)臺(tái)使用點(diǎn)真空管路真空儲(chǔ)槽真空PumpHV一/二次管二次盤配置需求使用點(diǎn)真空管路真空清潔儲(chǔ)槽真空Pump開關(guān)盒3.9化學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程Chemical化學(xué)品供應(yīng)槽車傳送系統(tǒng)供應(yīng)槽分配系統(tǒng)化學(xué)品儲(chǔ)槽VMB/P化學(xué)管路使用點(diǎn)回收管線廢液回收槽3.10廢水收集系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程DrainPipe機(jī)臺(tái)排