GB/T 26249-2010電子工業(yè)用氣體硒化氫

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２６２４９—２０１０

電子工業(yè)用氣體硒化氫

犌犪狊犲狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犎狔犱狉狅犵犲狀狊犲犾犲狀犻犱犲

２０１１０１１４發(fā)布２０１１０５０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２６２４９—２０１０

前言

本標準的附錄Ａ和附錄Ｂ為規(guī)范性附錄。附錄Ｃ為資料性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ１）歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、上海華愛色譜分析技術有限公司、河

北保定市北方特種氣體有限公司。

本標準主要起草人：周澤義、方華、莊鴻濤、李建浩、周鵬云、徐少兵。

Ⅰ

書

犌犅／犜２６２４９—２０１０

電子工業(yè)用氣體硒化氫

１范圍

本標準規(guī)定了硒化氫的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于硒鋁、硒鎂合金化合物水解、單質硒與氫高溫反應等方法獲得并經精制得到的硒化氫

產品。它主要用于太陽能電池、半導體和集成電路生產的外延、離子注入和摻雜。

分子式：Ｈ２Ｓｅ。

相對分子質量：８０．９７５８８（按２００７年國際相對原子質量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體中濕度的測定第１部分：電解法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ／Ｔ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ／Ｔ２６５７１特種氣體儲存期規(guī)范

《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》（國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布，２０００年）

３技術要求

硒化氫的技術要求應符合表１的規(guī)定。

表１技術指標

項目指標

－２

硒化氫（Ｈ２Ｓｅ）純度（體積分數(shù)）／１０≥９９．９９

－６

氫（Ｈ２）含量（體積分數(shù)）／１０≤２０

－６

氧＋氬（Ｏ２＋Ａｒ）含量（體積分數(shù)）／１０≤１０

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數(shù)）／１０≤２０

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數(shù)）／１０－６≤１０

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數(shù)）／１０≤１０

總烴（以甲烷計）含量（體積分數(shù)）／１０－６≤１０

－６

硫化氫（Ｈ２Ｓ）含量（體積分數(shù)）／１０