GB/T 21287-2021電子特氣三氟化氮

ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T21287—2021

代替GB/T21287—2007

電子特氣三氟化氮

Electronicspecialtygas—Nitrogentrifluoride

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T21287—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替電子工業(yè)用氣體三氟化氮與相比除結(jié)

GB/T21287—2007《》,GB/T21287—2007,

構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外主要技術(shù)變化如下

,:

更改了三氟化氮應(yīng)符合的技術(shù)要求見(jiàn)第章年版的第章

———(4,20073);

更改了抽樣判定和復(fù)驗(yàn)的要求見(jiàn)年版的

———、(5.1,20074.1);

更改了采樣的要求見(jiàn)年版的

———(5.2,20074.1.6);

增加了尾氣處理的要求見(jiàn)

———(5.3);

增加了試驗(yàn)方法的一般規(guī)定見(jiàn)

———(6.1);

更改了純度計(jì)算方法見(jiàn)年版的

———(6.2,20074.2);

更改了氧氬氮一氧化碳二氧化碳四氟化碳氧化亞氮六氟化硫含量的測(cè)定方法見(jiàn)

———+、、、、、、(

年版的

6.3,20074.3、4.4);

更改了水分含量的測(cè)定方法見(jiàn)年版的

———(6.4,20074.6);

更改了可水解氟化物的測(cè)定方法見(jiàn)年版的

———(6.5,20074.5);

更改了標(biāo)志包裝運(yùn)輸及貯存見(jiàn)第章年版的第章

———、、(7,20075);

更改了安全信息見(jiàn)年版的附錄

———(7.3,2007D)。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位昊華氣體有限公司中船重工邯鄲派瑞特種氣體有限公司西南化工研究設(shè)計(jì)

:、()、

院有限公司廣東華特氣體股份有限公司天津綠菱氣體有限公司福建久策氣體股份有限公司海寧市

、、、、

英德賽電子有限公司江西華特電子化學(xué)品有限公司浙江省化工研究院有限公司昊華氣體有限公司

、、、

西南分公司蘇州金宏氣體股份有限公司杭州市消費(fèi)者權(quán)益保護(hù)委員會(huì)秘書(shū)處杭州國(guó)家電子商務(wù)產(chǎn)

、、(

品質(zhì)量監(jiān)測(cè)處置中心上海申南特種氣體有限公司上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司大連大特氣體有

)、、、

限公司上海凡偉儀器設(shè)備有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司沈陽(yáng)中復(fù)科金壓力容器有限公司浙江

、、()、、

東開(kāi)半導(dǎo)體科技有限公司和立氣體上海有限公司昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司西南化工研

、()、、

究設(shè)計(jì)院有限公司武漢分公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司雙流分公司

、。

本文件主要起草人王娟付夢(mèng)月王少波孟祥軍傅鑄紅陳艷珊馬建修何經(jīng)余曹素英

:、、、、、、、、、

宋富財(cái)蘇子杰丁高松裴友宏韋杰廣史婉君張建君王新喜孫猛鬲春利張琦炎呂博文陳潔

、、、、、、、、、、、、、

吳靚方華依俊廷何波楊康黃輝宮兵王大為易達(dá)文李陽(yáng)梁永強(qiáng)梁成科高靜馬昌寧

、、、、、、、、、、、、、、

唐霞梅李光輝周鵬云黃超

、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2007GB/T21287—2007;

本次為第一次修訂

———。

Ⅰ

GB/T21287—2021

電子特氣三氟化氮

1范圍

本文件規(guī)定了電子級(jí)三氟化氮的技術(shù)要求檢驗(yàn)規(guī)則試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及安全信息

、、、、、

的要求

。

本文件適用于以無(wú)水氟化氫與液氨為原料制備提純或以氟化氫銨為原料制備提純得到的三氟

,

化氮

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的測(cè)定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

分析實(shí)