標準解讀
《GB/T 21287-2007 電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》是一項國家標準,旨在規(guī)范電子工業(yè)中使用的三氟化氮氣體的質(zhì)量要求、試驗方法以及包裝、標志、運輸和儲存等方面。該標準適用于電子工業(yè)領域內(nèi)作為清洗劑或蝕刻氣體的三氟化氮。
根據(jù)標準規(guī)定,三氟化氮氣體需要滿足一定的純度要求,具體來說,對于不同級別的產(chǎn)品,其主要成分(即三氟化氮)含量應達到特定百分比以上,并且對雜質(zhì)如氧氣、水分等有嚴格的限制。此外,還定義了幾種不同等級的產(chǎn)品以適應各種應用場景的需求。
在檢測方面,《GB/T 21287-2007》詳細描述了測定三氟化氮純度及其他相關(guān)指標的方法,包括但不限于氣相色譜法、質(zhì)譜法等現(xiàn)代分析技術(shù)的應用。這些測試手段確保了產(chǎn)品質(zhì)量符合既定規(guī)格。
關(guān)于包裝與標識,《GB/T 21287-2007》也給出了明確指導,要求采用專用容器進行充裝,并在外包裝上清晰標注產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠家信息、生產(chǎn)日期及批號等內(nèi)容,以便于識別和追溯。同時強調(diào),在整個物流過程中必須遵守安全操作規(guī)程,防止泄漏或其他意外事故的發(fā)生。
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文檔簡介
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犌86
中華人民共和國國家標準
犌犅/犜21287—2007
電子工業(yè)用氣體三氟化氮
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20071214發(fā)布20080701實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
書
犌犅/犜21287—2007
目次
前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ
1范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
2規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
3要求!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
4試驗方法!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!2
5包裝、標志、貯運及安全!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!5
附錄A(資料性附錄)切割氣路流程示意圖!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!7
附錄B(資料性附錄)測定三氟化氮中一氧化碳的氣路切換裝置流程示意圖!!!!!!!!!!8
附錄C(規(guī)范性附錄)可水解氟化物和總酸度的測定!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!9
附錄D(資料性附錄)三氟化氮的化學性質(zhì)和物理參數(shù)!!!!!!!!!!!!!!!!!!12
Ⅰ
書
犌犅/犜21287—2007
前言
本標準根據(jù)SEMI(半導體材料和設備國際組織)的《三氟化氮》(SEMIC3.39—0304)2004年版標
準,并結(jié)合我國三氟化氮生產(chǎn)的實際情況制定。
本標準的附錄C為規(guī)范性附錄,附錄A、附錄B、附錄D為資料性附錄。
本標準由全國半導體材料和設備標準化技術(shù)委員會氣體分會(SAC/TC203/SC1)提出并歸口。
本標準由湖北沙隆達天門農(nóng)化有限責任公司、中國船舶重工集團公司第七一八研究所負責起草。
本標準參加起草單位有:核工業(yè)理化研究院特氣中心、中核紅華特種氣體有限公司、黎明化工研究
院、國家標準物質(zhì)研究中心、西南化工研究設計院等。
本標準主要起草人:余啟富、宋再卿、劉新明、戴龍俠、方治文、牛學坤、金美蘭、任清貴、王少楠。
本標準為首次發(fā)布。
Ⅲ
犌犅/犜21287—2007
電子工業(yè)用氣體三氟化氮
1范圍
本標準規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體———三氟化氮的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運
輸、儲存和安全。
本標準適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學
氣相沉積的清洗劑。
分子式:NF3。
分子量:71.0019(按2001年國際相對原子量)
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有
的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標準,然而,鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究
是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標準。
GB190危險貨物包裝標志
GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則(GB/T3723—1999,idtISO3165:1976)
GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶(GB5099—1985,neqISO1405:1983)
GB/T5832.1氣體濕度的測定第1部分:電解法
GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則
GB7144氣瓶顏色標志
GB14194永久氣體充瓶充裝規(guī)定
氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程
危險化學品安全管理條例
特種設備安全監(jiān)察條例
3要求
電子工業(yè)用氣體三氟化氮應符合表1的要求。
表1技術(shù)指標
項目指標
-2
三氟化氮(NF3),10(體積分數(shù))≥99.599.999.9899.9999.996
-6
四氟化碳(CF4),10(體積分數(shù))≤15005001005020
-6
氮(N2),10(體積分數(shù))≤7005010105
-6
氧加氬(O2+Ar),10(體積分數(shù))≤700501053
一氧化碳(CO),10-6(體積分數(shù))≤50101051
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