GB/T 21287-2007電子工業(yè)用氣體三氟化氮

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２１２８７—２００７

電子工業(yè)用氣體三氟化氮

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２００７１２１４發(fā)布２００８０７０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜２１２８７—２００７

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３要求!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４試驗(yàn)方法!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

附錄Ａ（資料性附錄）切割氣路流程示意圖!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７

附錄Ｂ（資料性附錄）測(cè)定三氟化氮中一氧化碳的氣路切換裝置流程示意圖!!!!!!!!!!８

附錄Ｃ（規(guī)范性附錄）可水解氟化物和總酸度的測(cè)定!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

附錄Ｄ（資料性附錄）三氟化氮的化學(xué)性質(zhì)和物理參數(shù)!!!!!!!!!!!!!!!!!!１２

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜２１２８７—２００７

前言

本標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)ＳＥＭＩ（半導(dǎo)體材料和設(shè)備國(guó)際組織）的《三氟化氮》（ＳＥＭＩＣ３．３９—０３０４）２００４年版標(biāo)

準(zhǔn)，并結(jié)合我國(guó)三氟化氮生產(chǎn)的實(shí)際情況制定。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ｃ為規(guī)范性附錄，附錄Ａ、附錄Ｂ、附錄Ｄ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ１）提出并歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)由湖北沙隆達(dá)天門農(nóng)化有限責(zé)任公司、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所負(fù)責(zé)起草。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位有：核工業(yè)理化研究院特氣中心、中核紅華特種氣體有限公司、黎明化工研究

院、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心、西南化工研究設(shè)計(jì)院等。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：余啟富、宋再卿、劉新明、戴龍俠、方治文、牛學(xué)坤、金美蘭、任清貴、王少楠。

本標(biāo)準(zhǔn)為首次發(fā)布。

Ⅲ

犌犅／犜２１２８７—２００７

電子工業(yè)用氣體三氟化氮

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體———三氟化氮的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及包裝、標(biāo)志、運(yùn)

輸、儲(chǔ)存和安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學(xué)

氣相沉積的清洗劑。

分子式：ＮＦ３。

分子量：７１．００１９（按２００１年國(guó)際相對(duì)原子量）

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則（ＧＢ／Ｔ３７２３—１９９９，ｉｄｔＩＳＯ３１６５：１９７６）

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９８５，ｎｅｑＩＳＯ１４０５：１９８３）

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體濕度的測(cè)定第１部分：電解法

ＧＢ／Ｔ６６８１氣體化工產(chǎn)品采樣通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ１４１９４永久氣體充瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例

３要求

電子工業(yè)用氣體三氟化氮應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

－２

三氟化氮（ＮＦ３），１０（體積分?jǐn)?shù)）≥９９．５９９．９９９．９８９９．９９９９．９９６

－６

四氟化碳（ＣＦ４），１０（體積分?jǐn)?shù)）≤１５００５００１００５０２０

－６

氮（Ｎ２），１０（體積分?jǐn)?shù)）≤７００５０１０１０５

－６

氧加氬（Ｏ２＋Ａｒ），１０（體積分?jǐn)?shù)）≤７００５０１０５３

一氧化碳（ＣＯ），１０－６（體積分?jǐn)?shù)）≤５０１０１０５１