太陽能電池專用等離子體刻蝕機

太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備主要設(shè)備擴散系統(tǒng)用途:設(shè)備應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領(lǐng)域，適用2"?8"硅片退火、氧化、擴散、預(yù)沉積等工藝。主要技術(shù)指標可配加工硅片尺寸：3"?8"工作溫度范圍：400?1300°C恒溫區(qū)長度及精度：600?1250C800mm/±0.5C單點溫度穩(wěn)定性：600?1250C±1C/6h最大可控升溫速度:15C/min最大降溫速度：5C/min自動送舟太陽能電池專用等離子體刻蝕機用途:等離子體刻蝕機是采用高頻輝光放電手段，使氣體離解成活性原子和自由基，與被反應(yīng)物進行反應(yīng)，生成揮發(fā)性反應(yīng)物，達到刻蝕目的。M42200-3/WJ等離子體刻蝕機主要用于太陽能電池的周邊摻雜硅的刻蝕。具有占地面積小、裝片容量大、生產(chǎn)效率高等到優(yōu)點。同時還具有手動/自動功，除裝卸片手動操作外其余過程實現(xiàn)了全自動，保證了工藝的準確性和重復(fù)性，大大提高了產(chǎn)品質(zhì)量。主要技術(shù)指標刻蝕介質(zhì)： 摻雜硅氮化硅多晶硅刻蝕部位： 晶片周邊硅片尺寸： ①210mm圓片或156X156mm方片生產(chǎn)量： >300片/批射頻功率： 13.56MHz 100?1000W可調(diào)氣路系統(tǒng)： 五路路浮子流量計或二路質(zhì)量流量計+三路浮子流量計抽氣系統(tǒng)：刻蝕周期：控制方式：整機功率:機械泵+節(jié)流閥<25分/批手動/自動2.5KW太陽能電池鏈式燒結(jié)爐用途：主要用于太陽能電池片的鍵合燒結(jié)，也可用于其它貼片元件的燒結(jié)。主要技術(shù)指標：最高溫度：1000°C工作溫度：150C—950C控溫精度：±3C/2h（采用日本溫控儀）網(wǎng)帶寬度：380mm（可根據(jù)用戶要求改變）爐膛有效高度：10mm（可根據(jù)用戶要求改變）加熱段數(shù)：9段（可根據(jù)用戶要求改變）出口冷卻方式：水冷+風(fēng)冷、風(fēng)量可調(diào)網(wǎng)帶速度：1000—5000mm/min連續(xù)可調(diào)加熱功率：<100Kw加熱方式：近紅外燈管加熱護功能：有超溫、斷偶、報警和保護功能溫度曲線：按委托方提供的曲線調(diào)試網(wǎng)帶速度穩(wěn)定性：優(yōu)于3%每各溫區(qū)一路氣體，進、出口各一路氣體計算機控制APCVD（常壓CVD）用途:主要技術(shù)指標有效成膜寬度：300mm加熱區(qū)數(shù)量：3個加熱區(qū)長度:2000mm3最高加熱溫度區(qū)：700C溫區(qū)控制精度：±2C,送氣路數(shù)：5路浮子流量計控制（三路恒溫源瓶）加熱方式：紅外加熱器加熱網(wǎng)帶速度：700—1500mm/min連續(xù)可調(diào)成膜均勻性：±5%

快速擴散爐用途：該設(shè)備主要用于硅片的快速擴散和晶片的快速退火.主要技術(shù)指標：最高溫度:1150°C工作溫度:500---1100C升溫速度:50C/S爐膛尺寸:170mmx35mmx550mm加熱功率:20KW送氣路數(shù):三路保護功能:有超溫，斷偶保護功能鏈式烘干爐用途：主要用于太陽能電池和厚膜電路絲網(wǎng)印刷后的烘干主要技術(shù)指標：最高溫度：300C工作溫度：100C—250C控溫精度：±3C/2h網(wǎng)帶寬度：600mm爐膛有效高度：30mm加熱段數(shù)：3段出口冷卻方式：風(fēng)冷、風(fēng)量可調(diào)網(wǎng)帶速度：200—1500mm/min連續(xù)可調(diào)加熱功率：V15Kw加熱方式：近紅外燈管加熱11.總長度：5000mm爐體長度：3000mm關(guān)機功能控制方式：手動、自動、具有自動開、

關(guān)機功能等離子體粉末純化系統(tǒng)用途:該設(shè)備主要用于硅體粉末材料等離子提純和粉體材料的改性.主要技術(shù)指標反應(yīng)室有效工作尺寸：080X260mm機械泵抽速:80l/s極限真空:10Pa工作真空：30Pa?100Pa連續(xù)可調(diào)真空系統(tǒng)：機械泵+電磁閥+節(jié)流閥+過濾器送氣路數(shù)：二路送氣系統(tǒng)：針