GB/T 11446.9-1997電子級水中微粒的儀器測試方法

ICS31-030L90中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T11446.9-一1997電子級水中微粒的儀器測試方法Testmethodforparticlesinelectronicgradewaterbyinstrument1997-09-01發(fā)布1998-09-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T11446.9-1997前GB/T11446.9—1997是對GB11446.9—89《電子級水中微粒的儀器測試方法》進(jìn)行修訂。由于GB/T11446.1增加了金屬鎳、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的技術(shù)指標(biāo),在GB/T11446.3～GB/T11446.10標(biāo)準(zhǔn)中增加了原子吸收分光光度法測定金屬鎳以及用離子色譜法測定硝酸根、磷酸根、硫酸根的測試方法。細(xì)菌的測試方法只用濾膜培養(yǎng)法,對測總有機(jī)碳方法也作了全新改寫.對測試方法通則,測電阻率的方法、全硅的測定方法等都作了一些修訂并重新改寫本標(biāo)準(zhǔn)從實(shí)施之日起,同時(shí)代替GB11446.9—89.本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國電子工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：聞瑞梅、李曉英、王在忠、徐學(xué)敏、孫目盼、劉任重、許秀欣.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)電子級水中微粒的儀器測試方法GB/T11446.9-1997Testmethodforparticlesinelectronic代替GB11446.9-89gradewaterbyinstrument本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級水中微粒的儀器測定方法本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子級水中微粒的連續(xù)式或單次檢測計(jì)數(shù)，測定的粒徑大于或等于0.5m，微粒的濃度為(0～10000)個(gè)/mL.2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)，所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T11446.1—1997電子級水GB/T11446.3—1997電子級水測試方法通則3定義3.1微粒Particle除氣體以外，分散在水中并和水形成一個(gè)均勾液相的物質(zhì)。高純水中所說的微粒是指小于1m的膠體顆粒，也包括微生物及其尸體、碎片等、4原理-束經(jīng)聚焦的激光垂直于水樣流向方向入射，水中的微粒將產(chǎn)生光散射效應(yīng),散射光的強(qiáng)度與微粒的大小具有一定的關(guān)系，散射光經(jīng)聚光鏡會聚到光電倍增管，將光信號變成電脈沖，電脈沖的數(shù)目和幅度分別與水中微粒的數(shù)目和直徑成正比;電脈沖信號經(jīng)放大后，輸入微機(jī)，再經(jīng)微機(jī)處理后，顯示或打印出檢測結(jié)果。本方法的原理方框圖如下：He-Ne澈光光源康光系