ITO玻璃淺顯的知識講解

11ITO玻璃入門知識12ITO(IndiumTinOxide)玻璃簡介

在普通玻璃的一個表面鍍上一層氧化銦錫的導(dǎo)電膜，就形成了LCD常用的氧化銦錫玻璃，通常簡稱為ITO玻璃。特點：不僅要求導(dǎo)電性能好，而且還要具有玻璃一樣高的透明度一、什么是ITO13ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu):基板sio2

ITO二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)14基板:常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm

基板的主要生產(chǎn)廠家有：板硝子、旭硝子、洛玻根據(jù)材料的不同,通常分為鈉鈣玻璃和硼硅玻璃兩種;LCD行業(yè)中較常用的為鈉鈣型玻璃.

優(yōu)點缺點鈉鈣型玻璃成本低含有鈉、鉀等離子,易產(chǎn)生滲透,影響產(chǎn)品性能硼硅型玻璃玻璃硬度高,透過率好成本較高二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)15（1）Si02層的作用:主要是防止鈉鈣型基板中的金屬離子擴(kuò)散滲透到ITO層中,影響ITO層的導(dǎo)電能力.（2）SiO2層的膜厚:標(biāo)準(zhǔn)膜厚一般為20-30nm二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)Si02層：16ITO(IndiumTinOxid)層:為氧化銦錫的透明導(dǎo)電層,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn（即Tin)的含量約為10%。隨著ITO層厚度的增加,ITO層的厚度逐漸減小.-----應(yīng)改為“隨著ITO電阻值的增加,ITO層的厚度逐漸減小?！倍?、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)17三、ITO玻璃的分類根據(jù)基板玻璃表面狀態(tài)的不同，通常分為以下三種類型：類型說明TN未拋光型直接在玻璃的浮法面進(jìn)行鍍膜HTN簡單拋光型/TN精選玻璃將玻璃的浮法面進(jìn)行簡單的拋光后,在拋光面進(jìn)行鍍膜STN超拋光型將玻璃的浮法面進(jìn)行精細(xì)的拋光后,在拋光面進(jìn)行鍍膜18四、ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程主要分為以下三個步驟：（1）切割倒角；（2）拋光；（3）鍍膜注：TN型玻璃不需要拋光。生產(chǎn)工藝流程更簡單。19ITO玻璃簡要生產(chǎn)工藝流程如下：原片來料檢驗切割磨邊倒角清洗檢驗清洗拋光檢查SI02鍍膜ITO鍍膜檢驗包裝入庫四、ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程TN型玻璃不需經(jīng)此流程110五、ITO玻璃的評價參數(shù)5.1透過率：在波長為550nm的光波照射下，具有SI02阻檔層玻璃的透過率不小于80%，其主要取決于玻璃材料、ITO厚度和折射率。

透過率定義：透過玻璃的光通量T2與入射光通量T1之比的百分率Tt=T2/T1X100%。1115.2方塊電阻:如圖d為膜厚，I為電流，L1為膜厚在電流方向上的長度，L2為膜層在垂直電流方向的長度，ρ為導(dǎo)電膜的體電阻率。ρ和d可以認(rèn)為是不變的定值，當(dāng)L1=L2時，為正方形的膜層，無論方塊大小如何，其電阻率為定值ρ/d，這就是方塊電阻的定義，即R□=ρ/dL2L1dIR=ρ×L1/(d×L2)五、ITO玻璃的評價參數(shù)1125.3平整度:平整度可用h/1表示，意思為在長度為L的范圍內(nèi)，表面最高點與最低點的差值為h。

Lh玻璃微觀表面ITO玻璃基板平整度參數(shù)包括：1、玻璃表面粗糙度；2、基板表面波紋度；3、基板翹曲度；4、基板垂直度；5、ITO膜表面粗糙度；6、ITO玻璃基板、膜厚均勻度。五、ITO玻璃的評價參數(shù)1135.3.2基板翹曲度:用h/L表示(如圖)即翹曲的高度與翹起邊的長度之比Lh

其中要求如下:——厚度≥0.7mm的基片玻璃，翹曲度（h/L）≤0.1%。──厚度≤0.55mm的基片玻璃，翹曲度（h/L）≤0.15%。

——不允許有S形翹曲五、ITO玻璃的評價參數(shù)1145.3.3基板垂直度:用a/L表示(如圖)用來描述玻璃基板四條邊互相垂直的程度La通常a/L≤0.1%五、ITO玻璃的評價參數(shù)1155.4化學(xué)穩(wěn)定性:ITO鍍膜層的耐化學(xué)性能應(yīng)符合表2中技術(shù)要求。a)耐堿性鍍層在溫度為60±2℃,濃度為10%的氫氧化鈉(分析純)溶液中浸泡5分鐘,ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。b)耐酸性在25±2℃,6%鹽酸(分析純)溶液中浸泡2分鐘,ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。c)耐溶劑性能將鍍膜玻璃放入丙酮(分析純)、無水乙醇(分析純)中浸泡5分鐘后，ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。五、ITO玻璃的評價參數(shù)1165.5熱穩(wěn)定性:在空氣中經(jīng)30分鐘300±5℃（觸摸屏用ITO玻璃是在200±5℃）高溫后，ITO膜的方阻的變化率小于300%5.6附著力:用3M膠帶粘在玻璃表面迅速撕開,ITO層無明顯開裂現(xiàn)象五、ITO玻璃的評價參數(shù)117六、ITO膜面的判定拉伸浮法方向相關(guān)定義:浮法方向:在基板玻璃制造過程中,液態(tài)玻璃流動的方向.118ITO膜面主要判定方法:(1)將萬用表打至歐姆檔,用探針分別測試兩個點,如果顯示不為”1”,則所測試面為ITO膜面;(2)用方塊電阻測試儀測試面電阻,如果顯示電阻值無窮大,測所測面為非ITO膜面(3)通過大角識別:以16×14英寸的玻璃為例六、ITO膜面的判定119七、ITO玻璃使用常見問題ITO玻璃異常LCD的影響基板中的鈉離子發(fā)生滲透字肥基板的波紋度較差排骨彩虹基板的粗糙度較差涂膜的均勻性；點狀彩虹面電阻不均蝕刻易發(fā)生斷短路玻璃表面較臟內(nèi)污,短斷路ITO測射不均上下短路翹曲度差LCD生產(chǎn)中定位不準(zhǔn)表面?zhèn)?、異物、氣泡LCD顯示效果異常磨邊倒角粗糙制程中易破損常見ITO玻璃異常對LCD產(chǎn)品的影響:120八、ITO玻璃的使用注意事項主要注意事項:1、ITO玻璃連同包裝應(yīng)存放在干燥、陰涼、清潔的環(huán)境中，溫度28度以下，濕度不大于70%RH為宜；2、