降低硅片線切割倒角崩邊率

降低硅片線切割過程中

倒角崩邊率CAI解題過程匯報(bào)

TRIZ解題流程Pro/I解題流程基于TRIZ的計(jì)算機(jī)輔助創(chuàng)新軟件選對(duì)要解決的問題；轉(zhuǎn)化為問題模型。利用中間工具解決找到解決方案模型轉(zhuǎn)化為本領(lǐng)域問題解知識(shí)管理Pro/I解題流程步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR5項(xiàng)目信息與初始問題描述項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR1.定義系統(tǒng)名稱

硅片線切割機(jī)消除

硅錠的崩邊S（技術(shù)系統(tǒng)名稱）

V（功能）

O（系統(tǒng)作用對(duì)象）

P（對(duì)象參數(shù)或?qū)傩裕┦褂霉r及約束條件描述項(xiàng)目信息與初始問題描述硅片線切割機(jī)采用鋼絲攜帶切割刃料研磨硅錠生產(chǎn)硅片。切割過程中要求硅片倒角無崩邊，切割平穩(wěn)，無線痕，TTV在25um以內(nèi)。步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR2.問題初始情境描述工作原理砂漿罐輸出砂漿至砂漿噴嘴中，砂漿噴嘴均勻噴出砂漿。電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)輪卡具旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)輪卡具固定并旋轉(zhuǎn)導(dǎo)輪，導(dǎo)輪固定和帶動(dòng)鋼絲，鋼絲攜帶砂漿，砂漿研磨硅錠。最終起到磨削切割硅錠的作用。項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR幾種物質(zhì)的莫氏硬度：鐵：4鋼：約6硅：7碳化硅：9.5金剛石：10硅錠硅錠噴嘴項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR3.主要問題鋼絲攜帶砂漿研磨切割硅錠至尾部時(shí)，切割應(yīng)力再尾部倒角處集中，極易在尾部倒角（2mm）產(chǎn)生崩邊。在切割至尾部倒角時(shí)，鋼絲抖動(dòng)易造成倒角被拉傷，導(dǎo)致倒角崩邊。

項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR1、晶體硅，物理性質(zhì)硬而脆，切割過程中應(yīng)力朝缺陷或邊緣集中。在邊緣位置，若無應(yīng)力承載物，則晶體硅邊緣部位極容易崩碎。2、切割過程中，鋼絲運(yùn)行不穩(wěn)定。4.主要產(chǎn)生條件項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR5．初步思路或類似問題的解決方案初步思路1：增加應(yīng)力承載物。缺點(diǎn)：目前應(yīng)力承載物與硅錠倒角連接方式為膠接，①軟膠接，膠層極易過濾掉砂漿，導(dǎo)致切割無效，甚至造成鋼絲磨損斷裂的嚴(yán)重事故；②硬膠接，切割完畢后膠層無法處理。初步思路2：減小應(yīng)力作用時(shí)間。措施：提高工件進(jìn)給，提高砂漿供給。缺點(diǎn)：砂漿供給提高，同步提升切割能力，倒角切割時(shí)間縮短，應(yīng)力作用時(shí)間縮短，但會(huì)導(dǎo)致硅片尾部切薄，產(chǎn)生不良片。項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR6.待解決的問題如何順利切割硅錠尾部如何有效消除硅錠尾部切割過程中倒角崩邊項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求保證順利切割；不產(chǎn)生倒角崩邊；不會(huì)產(chǎn)生其他不良片；

操作簡便。項(xiàng)目信息與初始問題描述步驟：1.定義系統(tǒng)名稱：“技術(shù)系統(tǒng)名稱＋for＋verbing+(參量+of+系統(tǒng)作用對(duì)象)”2.問題初始情境描述：完整描述系統(tǒng)的主要功能、工作原理3.主要缺點(diǎn)：描述系統(tǒng)當(dāng)前存在的主要問題4.主要缺點(diǎn)在什么情況下出現(xiàn)：問題出現(xiàn)的條件、伴隨事件等5.初步思路或類似問題的解決方案及存在的缺陷6.明確要解決的問題7.對(duì)新技術(shù)系統(tǒng)的要求8.技術(shù)系統(tǒng)IFR8.技術(shù)系統(tǒng)IFR

系統(tǒng)IFR：新系統(tǒng)能夠在改動(dòng)很小的前提下，切割出合格硅片。規(guī)范地課題描述示例砂漿罐輸出砂漿，砂漿噴嘴噴出砂漿，電機(jī)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)輪卡具，導(dǎo)輪固定鋼絲，導(dǎo)輪帶動(dòng)鋼絲，鋼絲攜帶砂漿，砂漿研磨硅錠，從而實(shí)現(xiàn)硅錠的線切割。１．工作原理砂漿罐輸出砂漿至砂漿噴嘴中，砂漿噴嘴噴出砂漿。電機(jī)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)輪卡具，導(dǎo)輪卡具固定并旋轉(zhuǎn)導(dǎo)輪，導(dǎo)輪固定和帶動(dòng)鋼絲，鋼絲攜帶砂漿，砂漿研磨硅錠。規(guī)范地課題描述示例砂漿改變硅錠的應(yīng)力，砂漿改變硅錠的形狀，硅錠改變鋼絲的穩(wěn)定性，鋼絲改變硅錠的形狀。導(dǎo)致切割至硅錠尾部倒角時(shí)應(yīng)力集中或被不穩(wěn)定鋼絲拉傷，硅片倒角崩邊。２．主要問題鋼絲攜帶砂漿研磨硅錠至尾部時(shí)，切割應(yīng)力在尾部倒角集中，極易在尾部倒角部位產(chǎn)生崩邊。鋼絲在切割至硅錠尾部時(shí)易抖動(dòng)。以上兩點(diǎn)，易導(dǎo)致尾部倒角崩邊，影響切割成品率。在CAI中描述項(xiàng)目硅錠的形狀硅錠的形狀Pro/I解題流程組件問題流功能理想度轉(zhuǎn)化問題技術(shù)系統(tǒng)目的：找到解決技術(shù)難題的切入點(diǎn)系統(tǒng)分析系統(tǒng)分析建立組件功能模型在這個(gè)過程中，深入了解硅片切割機(jī)各個(gè)組件的功能，明確組件之間的關(guān)系，以及組件之間的有用功能，有害功能，以及不足或過度的功能。并且明確了硅片切割機(jī)結(jié)構(gòu)中的能量流、結(jié)構(gòu)流、信息流及組件之間的結(jié)構(gòu)關(guān)系，同時(shí)，明確了各組件在流的傳遞中承擔(dān)的角色。系統(tǒng)分析針對(duì)組件功能模型中描述的問題，軟件轉(zhuǎn)化為問題模型組件價(jià)值分析理想度計(jì)算在這個(gè)過程中，我們根據(jù)各組件在流的傳遞中承擔(dān)的角色的重要性把硅片切割機(jī)結(jié)構(gòu)各個(gè)組件的有用功能、有害功能、及不足或過度的功能進(jìn)行了量化，并評(píng)估了各個(gè)組件的成本。按照理想度的計(jì)算公式，計(jì)算出了每個(gè)組件的理想度。組件價(jià)值分析理想度分析診斷：確定組件理想度排序，以及改進(jìn)次序和方向；根據(jù)理想度診斷分析，為了簡化和理想化的系統(tǒng)，建議按照以下順序刪除/改善以下組件：1.收線機(jī)構(gòu)：系統(tǒng)核心組件，若裁剪，整個(gè)技術(shù)系統(tǒng)將不完善。2.鋼絲：系統(tǒng)核心組件，若裁剪，技術(shù)系統(tǒng)將不存在。3.砂漿：系統(tǒng)核心組件。4.線速反饋系統(tǒng)：可考慮先裁剪，功能集成到進(jìn)給反饋系統(tǒng)上。5、砂漿罐：必要時(shí)刻考慮裁剪，功能集成在切片機(jī)體上。系統(tǒng)裁剪1選擇價(jià)值較低的組件：砂漿罐砂漿罐的功能：收集、攪拌和供給砂漿若符合以下條件，砂漿罐可被裁剪：

系統(tǒng)其它組件或添加廉價(jià)組件能夠完成收集、攪拌和供給砂漿功能。系統(tǒng)裁剪2價(jià)值組件較低的2個(gè)組件：線速反饋系統(tǒng)和砂漿流量反饋系統(tǒng)線速反饋系統(tǒng)的功能：監(jiān)控并調(diào)節(jié)線速砂漿流量反饋系統(tǒng)的功能：監(jiān)控并調(diào)節(jié)砂漿供給流量若符合以下條件，以上組件可被裁剪：系統(tǒng)其它組件可完成線速監(jiān)控和調(diào)節(jié)功能系統(tǒng)其它組件可完成監(jiān)控和調(diào)節(jié)砂漿流量功能概念解決方案

方案1方案2裁剪系統(tǒng)組件砂漿罐，添加組件攪拌器，用來發(fā)揮攪拌砂漿功能，將砂漿罐功能集成在切片機(jī)體上。裁剪系統(tǒng)組件線速反饋系統(tǒng)、系統(tǒng)組件砂漿流量反饋系統(tǒng)，將二者功能集成在進(jìn)給反饋系統(tǒng)上。Pro/I解題流程問題系統(tǒng)資源RCA操作轉(zhuǎn)化問題初始問題目的：找到解決技術(shù)難題的切入點(diǎn)及資源問題分解問題分解（RCA）生成TRIZ問題模型CAI把我們描述的問題轉(zhuǎn)化為“Howto…？”形式的TRIZ標(biāo)準(zhǔn)問題。問題分解（資源分析）TRIZ方法解決問題注重資源的利用。為此我們針對(duì)原因在系統(tǒng)軸上挖掘可利用的超系統(tǒng)、子系統(tǒng)中物質(zhì)、能量、信息資源，在操作軸上分析操作過程中可利用的物質(zhì)、能量、信息資源。問題分解（資源分析）方案3：改變玻璃形狀，使玻璃在硅錠倒角處承接切割應(yīng)力在硅錠與玻璃膠接過程中，硅錠倒角與玻璃進(jìn)行微力接觸，倒角處玻璃即可分擔(dān)切割應(yīng)力，避免硅錠尾部倒角崩邊。問題分解（資源分析）方案4：在倒角處添加泡沫膠在硅錠與玻璃膠接完成后，用泡沫膠進(jìn)行倒角填補(bǔ)。泡沫膠不會(huì)濾掉砂漿，同時(shí)分擔(dān)切割應(yīng)力，不會(huì)產(chǎn)生反應(yīng)力。泡沫膠廉價(jià)，且為上道工序生產(chǎn)物資，使用方便。Pro/I解題流程借助CAI工具及知識(shí)庫，使我們能夠快速查詢到其他領(lǐng)域解決同類問題的解決方案作為參考，這種方法正是體現(xiàn)了TRIZ的重要理念，即：借鑒其他領(lǐng)域已有的先進(jìn)解決方案解決本領(lǐng)域的問題運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題1初步思路1：使得倒角處切割應(yīng)力得以傳導(dǎo)，在倒角處添加應(yīng)力承載物。缺點(diǎn)：實(shí)際中可行的做法是采用膠接形式進(jìn)行承載物與硅錠倒角的連接，膠接處極易過濾掉砂漿，使切割失敗。運(yùn)用創(chuàng)新原理35運(yùn)用創(chuàng)新原理35物理或化學(xué)參數(shù)的改變方案5:采用螺旋鋼絲代替直鋼絲

在系統(tǒng)中改變砂漿的濃度，采用螺旋鋼絲。雖然膠接處會(huì)過濾掉部分砂漿，但螺旋鋼絲能大幅度地提升砂漿攜帶能力，保證切割順利進(jìn)行。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題2初步思路2：在切割硅錠倒角處時(shí)減小倒角處所受鋼絲摩擦力，增大砂漿潤滑作用，采用細(xì)鋼絲，增大砂漿粒徑與鋼絲直徑的比例。缺點(diǎn)：細(xì)鋼絲容易磨損，導(dǎo)致斷線，無法完成切割。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題2運(yùn)用創(chuàng)新原理15動(dòng)態(tài)特性原理方案6（初步）:切割倒角處進(jìn)給速度動(dòng)態(tài)化鋼絲攜帶砂漿切割硅錠尾部倒角過程中，目前的進(jìn)給方式是連續(xù)進(jìn)給，導(dǎo)致硅錠倒角持續(xù)受力?？刹捎脛?dòng)態(tài)化進(jìn)給，增加進(jìn)給步驟，在切割過程中讓進(jìn)給走走停停，減小應(yīng)力最大值，從而完成切割。但會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。運(yùn)用創(chuàng)新原理15方案6（完善）:不降低線徑，切割倒角處進(jìn)給速度動(dòng)態(tài)化方案6（初步）方案中引入了新的矛盾，即完成切割與生產(chǎn)率降低的矛盾，二次采用矛盾分析創(chuàng)新原理中無有效方法，保證既采用細(xì)鋼絲，又能不影響進(jìn)給速度。運(yùn)用創(chuàng)新原理16方案6（完善）:不降低線徑，切割倒角處進(jìn)給速度動(dòng)態(tài)化在此，利用創(chuàng)新原理16：未到達(dá)或過度的作用原理因倒角只有1.4mm高，對(duì)于硅片156mm而言，可在倒角處略微損失進(jìn)給速度，從而大幅度地提升硅片成品率。采用倒角處進(jìn)給走走停停，降低硅片倒角處應(yīng)力。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題3初步思路3：減小硅錠尾部倒角處所受切割應(yīng)力，采取降低進(jìn)給速度的方式。缺點(diǎn)：切割時(shí)間延長。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題3運(yùn)用創(chuàng)新原理37熱膨脹原理方案7：在硅錠尾部倒角玻璃處膠接熱膨脹材料

在硅錠尾部倒角玻璃處膠接熱膨脹材料，傳遞倒角應(yīng)力。切割過程中鋼絲、砂漿、硅錠研磨會(huì)產(chǎn)生大量熱，利用這些熱能使膨脹材料膨脹，接觸硅錠倒角，傳遞應(yīng)力。此方式不影響切割，且切割完畢后自然冷卻脫離接觸，不需增加工作處理。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題4初步思路4：增大導(dǎo)輪的穩(wěn)定性，減少導(dǎo)輪抖動(dòng)。采取措施:將導(dǎo)輪的碳纖維填層改為鐵芯。缺點(diǎn)：能耗增大。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題4運(yùn)用創(chuàng)新原理35物理或化學(xué)參數(shù)改變原理方案8：改換導(dǎo)輪主體材質(zhì)

改換導(dǎo)輪主體材質(zhì)，使其具備重量適中，不易發(fā)生變形特性。如：用硬質(zhì)輕合金做導(dǎo)輪的骨架，中間填充鐵等金屬，保證導(dǎo)輪密實(shí)緊湊。切割過程中能耗又不會(huì)增加。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題4運(yùn)用創(chuàng)新原理27廉價(jià)替代品原理方案9：利用成型的“V”型涂覆薄層替代原有的涂覆層

笨重的導(dǎo)輪勿需在發(fā)往導(dǎo)輪廠家進(jìn)行涂覆，不需再次開槽。只需導(dǎo)輪廠家人員在場內(nèi)進(jìn)行薄層粘附，同時(shí)省去開槽時(shí)間浪費(fèi)，費(fèi)用也大為降低。涂覆和開槽時(shí)間的節(jié)約，變相地大幅度增加生產(chǎn)效率，減小能耗。對(duì)比圖運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題5初步思路5：增大砂漿流量，增加砂漿潤滑，減少倒角崩邊。缺點(diǎn)：會(huì)導(dǎo)致切割能力增大，硅片切薄，影響成品率，繼而生產(chǎn)率下降。。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題5運(yùn)用創(chuàng)新原理17空間維數(shù)變化原理方案10：采用多排切割硅錠方式

增加硅錠的切割排數(shù)，能夠成倍地增加生產(chǎn)率。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題5運(yùn)用創(chuàng)新原理34拋棄或再生原理方案11：切割過程中去除硅粉、鐵屑及磨損后的小顆粒碳化硅修改整個(gè)車間的砂漿系統(tǒng)，去掉砂漿罐，使目前的在線回收系統(tǒng)能夠直接為切片機(jī)供給砂漿，同時(shí)在線回收系統(tǒng)收集參與切割完畢的砂漿，切割過程中，同步分離，將鐵屑、硅粉及磨損的小顆粒碳化硅等切割有害作用物質(zhì)排除。以目前的車間生產(chǎn)情況，此項(xiàng)工作進(jìn)行存在在線回收系統(tǒng)產(chǎn)能提升及改造成本等問題，但若成功解決，在現(xiàn)有的線切割情況下，產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率將得到質(zhì)的飛躍。運(yùn)用創(chuàng)新原理解決問題5運(yùn)用創(chuàng)新原理26復(fù)制原理方案12：在切割室增加視頻感應(yīng)監(jiān)控在切割室增加視頻感應(yīng)監(jiān)控，并將監(jiān)控感應(yīng)與設(shè)備控制系統(tǒng)相連接，當(dāng)出現(xiàn)落片時(shí)及時(shí)停機(jī)，避免鋼絲斷裂，減少損失，也可通過視頻監(jiān)控人為控制設(shè)備是否停止，變相提升生產(chǎn)率。Step1：改善作用于物體的有害因素（崩邊）Step2：采用增大鋼絲運(yùn)行速度的方式，相同的進(jìn)給，線速增大，參與潤滑的砂漿增多，崩邊減少。Step3：惡化參數(shù)：物質(zhì)損失（鋼絲損失）。物理矛盾結(jié)果:崩邊幾率大小對(duì)一對(duì)矛盾Ppt1/10原因:切割線速小大物理矛盾技術(shù)矛盾改善的參數(shù)：穩(wěn)定性惡化的參數(shù)：物質(zhì)損失鋼絲運(yùn)行速度大惡化：鋼絲耗用增大改善：崩邊幾率小物理矛盾條件分離方案13：自服務(wù)原理在切割硅錠尾部倒角時(shí)，增大線速，采用往復(fù)雙向切割，即能使倒角崩邊減少，又保證不增加鋼絲用量。Pro/I解題流程借助CAI工具及知識(shí)庫，使我們能夠快速查詢到其他領(lǐng)域解決同類問題的解決方案作為參考，這種方法正是體現(xiàn)了TRIZ的重要理念，即：借鑒其他領(lǐng)域已有的先進(jìn)解決方案解決本領(lǐng)域的問題搜索解決方案知識(shí)庫生成類比方案方案14：依靠查詢知識(shí)庫，在350℃下，在硅錠倒角處涂氧化硅層。搜索解決方案知識(shí)庫生成類比方案方案15：依靠查詢知識(shí)庫，是用軟化膏對(duì)硅錠尾部倒角進(jìn)行軟化處理，切割過程中軟倒角承受切割應(yīng)力，不會(huì)發(fā)生崩碎，后續(xù)處理簡單易行。物場分析標(biāo)準(zhǔn)解生成方案應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)解法方案模型：引入F2抵消有害作用，由于鐵屑不參與研磨切割硅錠，同時(shí)會(huì)阻礙砂漿潤滑研磨硅錠，在切割倒角處易造成崩邊。引入磁場將鐵屑剝離砂漿。問題求解---物場分析1、明確問題部位：鋼絲在切割過程中產(chǎn)生的鐵屑不參與研磨切割硅錠，同時(shí)會(huì)阻礙砂漿潤滑研磨硅錠，在切割倒角處會(huì)造成崩邊。Step1明確問題部位Step2建立物場模型Step3應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)解法Step4構(gòu)造解決方案Ppt1/3物場模型2、建立物場模型分析資源：系統(tǒng)內(nèi)： 固體與固體的相互作用：研磨力、摩擦力

固體：碳化硅，鐵屑，硅錠 能量：機(jī)械能，熱能外界環(huán)境資源：電機(jī)、導(dǎo)輪、鋼絲超系統(tǒng)資源：電能 3、應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)解法方案模型1.2.4引入F2抵消有害作用。

如下圖：建立新的物場模型：問題求解---物場分析Step1明確問題部位Step2建立物場模型Step3應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)解法Step4構(gòu)造解決方案Ppt2/3S2機(jī)械場FS14、構(gòu)造解決方案方案16：在砂漿中添加磁鐵或電磁鐵問題求解---物場分析Step1明確問題部位Step2建立物場模型Step3應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)解法Step4構(gòu)造解決方案Ppt3/3使用外加場磁場，將收集儲(chǔ)存砂漿的砂漿罐中的鐵屑進(jìn)行吸附，使參與切割的砂漿中沒有鐵屑的有害摩擦作用，減少倒角崩邊。S曲線+進(jìn)化路徑S-曲線應(yīng)用ppt1Step1:確定主要指標(biāo)Step2:收集數(shù)據(jù),確定曲線Step3:對(duì)應(yīng)S曲線位置Step4:主要進(jìn)化路徑Step5:構(gòu)造方案路徑Step6:構(gòu)造方案說明

1、目前狀態(tài)：成本降低、性能改進(jìn)

處于成長期。2、硅片線切片機(jī)后期的進(jìn)化方向應(yīng)該是提高理想度。

嬰兒期

成長期

成熟期

衰退期

時(shí)間

性

能

參

數(shù)

完備性進(jìn)化法則

能量傳遞法則

協(xié)調(diào)性法則

提高理想度法則

動(dòng)態(tài)性進(jìn)化法則

子系統(tǒng)不均衡進(jìn)化；超系統(tǒng)進(jìn)化

向微觀級(jí)進(jìn)化

Ppt1/4進(jìn)化法則分析ppt2說明1根據(jù)方案找出進(jìn)化趨勢將各進(jìn)化趨勢放在相位置找出路徑中的空格構(gòu)造新的方案+示意圖+軟件Step1:確定主要指標(biāo)Step2:收集數(shù)據(jù),確定曲線Step3:對(duì)應(yīng)S曲線位置Step4:主要進(jìn)化路徑Step5:尋找方案位置Step6:構(gòu)造方案方案17：將鋼絲與系統(tǒng)中的砂漿進(jìn)行組