半導(dǎo)體零部件行業(yè)深度報告

半導(dǎo)體零部件行業(yè)深度報告1種類繁雜，半導(dǎo)體零部件成國產(chǎn)化新戰(zhàn)場1.1半導(dǎo)體設(shè)備是高集成的復(fù)雜系統(tǒng)半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積龐大，集成度高，由種類繁多的零部件組成。而伴隨半導(dǎo)體制造工藝的發(fā)展，對半導(dǎo)體設(shè)備提出了越來越苛刻的規(guī)格要求。半導(dǎo)體零部件因此在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)、精度、可靠性、穩(wěn)定性等各方面面臨更高的標(biāo)準(zhǔn)，有別于傳統(tǒng)機(jī)械組件。以等離子體設(shè)備為例，圍繞反應(yīng)腔周圍，分布著負(fù)責(zé)氣體調(diào)配和供應(yīng)的GasBox和MFC模塊，負(fù)責(zé)制造等離子體的射頻電源模塊，負(fù)責(zé)制造反應(yīng)腔真空環(huán)境的真空模塊（包含多種泵、閥等），以及多種監(jiān)測壓力、真空度等反應(yīng)條件的儀器儀表等，共同構(gòu)建了高集成度的晶圓制造設(shè)備。半導(dǎo)體零部件的種類劃分有多種標(biāo)準(zhǔn)，若按照結(jié)構(gòu)組成，可大致分為：機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、氣/液/真空系統(tǒng)類、儀器儀表類、光學(xué)類等；

若按設(shè)備腔體內(nèi)部流程和所實現(xiàn)的功能來區(qū)分，零部件可分為電源和射頻控制類、氣體輸送類、真空控制類、溫度控制類、傳送裝置類等；

按照半導(dǎo)體零部件材料體系來分又可以分為金屬件、石英件、硅/碳化硅件、陶瓷件、石墨件、塑料件等；

按半導(dǎo)體零部件服務(wù)對象來分，又可以分為精密機(jī)加件和通用外購件。值得注意的是這兩種類別亦代表了兩種零部件生產(chǎn)模式，精密機(jī)加件通常由各個半導(dǎo)體設(shè)備公司的工程師自行設(shè)計，然后委外加工，如工藝腔室、傳輸腔室等，相對容易；

而通用外購件則是一些經(jīng)過長時間驗證，得到眾多設(shè)備廠和制造廠廣泛認(rèn)可的通用零部件，更加具有標(biāo)準(zhǔn)化，會被不同的設(shè)備公司使用，也會被作為產(chǎn)線上的備件耗材來使用，例如硅結(jié)構(gòu)件、0型密封圈(O—Ring)、閥門、規(guī)(Gauge)、泵、氣體噴淋頭(showerhead)等，由于這類部件具備較強(qiáng)的通用性和一致性，并且需要得到設(shè)備、制造產(chǎn)線上的認(rèn)證，因此壁壘相對較高。1.1.1光刻設(shè)備光刻機(jī)作為一種光學(xué)設(shè)備，其主要構(gòu)成包括光學(xué)相關(guān)模塊和運動相關(guān)模塊，該兩部分亦在光刻機(jī)BOM成本中占據(jù)較大比重，包括和光學(xué)相關(guān)的光源系統(tǒng)、透鏡系統(tǒng)、浸沒系統(tǒng)等，以及和精密運動相關(guān)的晶圓工作臺、晶圓傳輸系統(tǒng)、圓模板工作臺、掩膜版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，以及維持內(nèi)部工作環(huán)境的環(huán)境電氣支持系統(tǒng)等。作為價值量最高的晶圓制造設(shè)備，光刻機(jī)零部件具有全球供應(yīng)鏈特征。光學(xué)部分的核心部件為光源和透鏡系統(tǒng)。光刻機(jī)所采用的光源主要為波長248nm的KrF光源、波長193nm的ArF（干式/浸沒式）光源和波長13.5nm的EUV光源，業(yè)內(nèi)主要供應(yīng)商為美國Cymer，并由光刻機(jī)巨頭ASML于2012年以25億美元收購。透鏡系統(tǒng)則是光源之外的另一重要環(huán)節(jié)，主要用于DUV的光學(xué)系統(tǒng)中，在EUV時代將由一系列高精度的反射鏡系統(tǒng)取代，光刻機(jī)透鏡組的業(yè)內(nèi)主要供應(yīng)商為德國光學(xué)儀器龍頭蔡司。精密的運動系統(tǒng)亦為光刻機(jī)核心組件。當(dāng)圖案在晶圓上光刻成像時，需要將掩模版沿著一個狹窄的光縫平滑移動，每次只曝光圖案的一小部分；同時，晶圓向相反的方向平穩(wěn)移動，以捕捉整個圖案，二者的運動必須完全同步，因此運動控制的精度至關(guān)重要。而在晶圓平臺，由ASML主導(dǎo)了雙工件臺的設(shè)計，及同時移動兩個晶圓平臺，當(dāng)一個晶圓平臺在給晶圓進(jìn)行曝光時，另一個平臺可對下一片晶圓進(jìn)行量測校正，其速度和精度直接決定了光刻機(jī)的生產(chǎn)效率和良率。當(dāng)前業(yè)內(nèi)三大光刻機(jī)龍頭廠商ASML、Nikon、Canon的工件臺系統(tǒng)均由其自主設(shè)計，通過自產(chǎn)/代工形式自主供應(yīng)而不對外銷售。國內(nèi)廠商華卓精科在此領(lǐng)域亦投入了較大研發(fā)，進(jìn)行了產(chǎn)品驗證工作。1.1.2干法設(shè)備等離子體設(shè)備包括PECVD、干法刻蝕、干法去膠等，在晶圓制造前道環(huán)節(jié)占據(jù)主導(dǎo)地位和主要價值量。據(jù)Gartner數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場，等離子體薄膜設(shè)備和干法刻蝕/去膠設(shè)備合計占設(shè)備市場總規(guī)模的31%，等離子體設(shè)備共有的等離子源、真空系統(tǒng)、氣體系統(tǒng)、反應(yīng)腔模組等組件因此有廣泛應(yīng)用，以下我們將分類討論。而設(shè)備后段的傳輸平腔（TM，transfermodule），其作用是連接EFEM和反應(yīng)腔（PM），并承擔(dān)晶圓傳輸?shù)淖饔?。在等離子體薄膜/刻蝕設(shè)備中，傳輸腔一般為真空環(huán)境（VTM，vaccumtransfermodule）。傳輸腔的主要組成包括腔體、中央的真空機(jī)械手、傳輸腔與反應(yīng)腔連接處的門閥，以及各種真空密封件。包含反應(yīng)腔在內(nèi)的工藝模塊（PM，processmodule）則有著更為復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和功能。等離子體薄膜/刻蝕設(shè)備的工藝模塊包括產(chǎn)生射頻電壓的射頻發(fā)生器、外部供氣模塊（Gasbox、Gasline、MFC等）、創(chuàng)造真空環(huán)境的泵、閥、密封件、真空儀表等，以及反應(yīng)腔。而反應(yīng)腔內(nèi)部又有承載晶圓的靜電卡盤（E-chuck）、電極、氣體噴淋頭等零部件。1.1.3熱處理設(shè)備熱處理設(shè)備，主要包括各類立式爐、臥式爐，主要用于氧化、退火等工藝，亦在晶圓制造過程中有廣泛使用。爐管設(shè)備的主要零部件包括石英管、氣體供應(yīng)模塊、溫控模塊，以及各類泵、閥、密封件等。1.1.4各類零部件價值量占比經(jīng)過上述討論，不難看出機(jī)械類和電氣類零部件為大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分，并廣泛應(yīng)用于各種設(shè)備類型。氣/液/真空系統(tǒng)則依照設(shè)備的功能性不同而搭載。儀器儀表類亦有較強(qiáng)的通用性，但在設(shè)備BOM成本中占比相對低。而光學(xué)類零部件較為特殊，僅在光刻和量測類設(shè)備種有使用，但在這兩類特定設(shè)備種有較高的價值量占比。通過比較國內(nèi)三家代表性設(shè)備供應(yīng)商，我們發(fā)現(xiàn)等干法設(shè)備（如拓荊科技的PECVD、屹唐股份的干法去膠和干法刻蝕設(shè)備）往往電氣類和機(jī)電一體類零部件占比更高，二者的招股書最新報告期內(nèi)電氣類+機(jī)電一體類零部件占比分別達(dá)到39%和43%；而濕法設(shè)備（如華海清科的主業(yè)CMP設(shè)備）等沒有真空反應(yīng)腔，沒有氣體反應(yīng)的設(shè)備，往往BOM成本中機(jī)械零部件的占比往往較高，華海清科2021年采購額中，機(jī)械零部件占比達(dá)67%。1.2設(shè)備零部件百億美元市場空間作為半導(dǎo)體設(shè)備的主要成本構(gòu)成，半導(dǎo)體設(shè)備零部件亦有百億美元級別的市場空間。近年來，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模逐步擴(kuò)張。據(jù)WSTS統(tǒng)計，2010年到2020年，全球半導(dǎo)體產(chǎn)品市場規(guī)模從2,983億美元迅速提升至4,404億美元，預(yù)計到2030年，全球半導(dǎo)體市場規(guī)模有望達(dá)到萬億美元。半導(dǎo)體設(shè)備的市場景氣度與半導(dǎo)體市場規(guī)模高度相關(guān)。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售規(guī)模從2010年395億美元增長到2021年的1026億美元，其中中國大陸市場296億美元。SEMI預(yù)計到2022年將進(jìn)一步增長15%至1,175億美元。設(shè)備市場的快速增長帶動設(shè)備零部件需求。據(jù)我們統(tǒng)計，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司年度營業(yè)成本中，材料采購成本占比約在85-95%，而毛利率約在38-45%左右（即成本率55-62%），可推算材料采購成本約為公司當(dāng)年營收的50%左右。據(jù)此我們推算，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場1025億美元對應(yīng)500億美元左右的零部件采購額，中國大陸市場296億美元設(shè)備市場對應(yīng)零部件市場約150億美元。1.3國產(chǎn)化突破的五重難點半導(dǎo)體設(shè)備零部件的種類繁多，其中機(jī)械類屬于應(yīng)用最廣的品類，中國在其主要產(chǎn)品技術(shù)方面已實現(xiàn)突破和國產(chǎn)替代。其他種類的產(chǎn)品也在不斷實現(xiàn)技術(shù)突破，但產(chǎn)品穩(wěn)定性與一致性仍與國際先進(jìn)水平存在差距，并且在高端先進(jìn)制程應(yīng)用中的國產(chǎn)化率更低、突破難度更高，國產(chǎn)化進(jìn)程仍面臨諸多難點。（1）對原料的性能要求高中國機(jī)械加工產(chǎn)業(yè)成熟，但材料產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)較為薄弱，具體指標(biāo)尚待精進(jìn)。如精密陶瓷件對原料關(guān)鍵指標(biāo)的要求較高，需要高純度、高精密度、非常均勻且穩(wěn)定的組織結(jié)構(gòu)，國內(nèi)材料廠尚處于研發(fā)環(huán)節(jié)。（2）后工序處理難度大公司半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件產(chǎn)品具備高精密、高潔凈、高耐腐蝕、耐擊穿電壓等性能，因此在加工件中，形狀加工僅是基礎(chǔ)，僅滿足形狀精度要求，后端的表面處理與清洗工藝中有更多的技術(shù)積累。例如對于反應(yīng)腔而言，需要同時具備耐腐蝕、耐擊穿、高潔凈度，并能實現(xiàn)高密封性和高真空度。而要實現(xiàn)這樣嚴(yán)苛的性能指標(biāo)，表面處理技術(shù)至關(guān)重要。以干法制程和濕法制程為例，濕制程通常處于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿環(huán)境中，往往需要對零部件表面進(jìn)行陽極氧化和化學(xué)鍍膜。而干法制程通常處于腐蝕性氣氛和高溫環(huán)境，對表面處理要求更高，常用的是電解拋光和等離子噴涂工藝，以提升零部件表面的耐腐蝕性。（3）復(fù)雜電氣類產(chǎn)品的開發(fā)研制難度高半導(dǎo)體設(shè)備是復(fù)雜的機(jī)電一體化系統(tǒng)，其中涉及到大量的電氣組件使用，相較金屬加工件，電氣類組件的結(jié)構(gòu)更復(fù)雜，國內(nèi)相關(guān)廠商仍處于起步階段。例如泵產(chǎn)品，雖然沈陽科儀已成為國內(nèi)晶圓線干泵的主要供應(yīng)商之一，但半導(dǎo)體級的高真空度冷凝泵（cryopump）和渦輪泵（turbopump）國產(chǎn)化率仍舊較低。又如射頻電源（RFgenerator）這類控制工藝制程的核心模塊，直接關(guān)系到反應(yīng)腔內(nèi)等離子體的濃度與均勻度，對其輸出功率的穩(wěn)定性、電壓質(zhì)量、頻率質(zhì)量等指標(biāo)要求極高。國內(nèi)產(chǎn)品與AE、MKS等國際先進(jìn)產(chǎn)品尚有差距，少量應(yīng)用于國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商。（4）認(rèn)證體系復(fù)雜，周期長半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)內(nèi)有較為嚴(yán)格的認(rèn)證體系和供應(yīng)商資質(zhì)認(rèn)證體系，若要進(jìn)入國內(nèi)外設(shè)備廠商的供應(yīng)鏈，需要經(jīng)過長期且嚴(yán)苛的客戶認(rèn)證，獲得認(rèn)證后也要持續(xù)進(jìn)行不定期的資質(zhì)復(fù)審，才能與下游客戶建立長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。（5）市場碎片化例如Gauge、MFC、O-ring等零部件，不僅對精度和材料的要求高，而且半導(dǎo)體級產(chǎn)品的市場規(guī)模很小，各品類下的廠商體量都較小。通常用于食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域的產(chǎn)品不滿足半導(dǎo)體級規(guī)格，半導(dǎo)體級產(chǎn)品存在較多技術(shù)壁壘、軟實力要求高，有許多Know-How。2全球市場：分散和壟斷并存2.1細(xì)分市場高度分散，美日廠商主導(dǎo)盡管前文中，我們將半導(dǎo)體設(shè)備的種類大致的分為機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類等大類，但由于半導(dǎo)體設(shè)備精密度高、結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要的零部件種類及數(shù)量極其龐大，在每一個大類中也有較多的細(xì)分品類，市場高度碎片化。據(jù)芯謀研究數(shù)據(jù)，2020年中國晶圓廠商采購的8-12寸晶圓設(shè)備零部件產(chǎn)品結(jié)構(gòu)占比較大的分別為石英件、射頻發(fā)生器、泵、閥門、吸盤、反應(yīng)腔噴淋頭等，分別占比11%、10%、10%、9%、9%、8%。由于細(xì)分品類的高度碎片化，并且不同零部件之間存在著一定的差異性和技術(shù)壁壘，因此半導(dǎo)體零部件市場并未出現(xiàn)一個壟斷型的大型供應(yīng)商，各賽道的龍頭供應(yīng)商大多是專長于單一或少數(shù)品類。例如ZEISS專長光學(xué)部件，Edwards、日本荏原的真空泵，AE布局射頻發(fā)生器，VAT的閥門零部件等。主要龍頭廠商收入體量大多在幾億美元到十幾億美元的體量，相較數(shù)百億美元的總市場規(guī)模，各自在總體市場中份額都不高。據(jù)VLSIResearch數(shù)據(jù)，近10年里，半導(dǎo)體零部件市場前十大供應(yīng)商的市場份額總和穩(wěn)定在50%左右。從地域分布上看，除了光刻機(jī)零部件市場以ASML和其全球供應(yīng)鏈供應(yīng)商組成以外，其他通用型零部件市場主要由美國、日本供應(yīng)商主導(dǎo)。國內(nèi)暫無規(guī)模相當(dāng)?shù)牧悴考S商出現(xiàn)。2.2核心零部件壟斷程度高盡管半導(dǎo)體零部件行業(yè)整體CR10在50%左右，但在單一細(xì)分品類集中度往往高達(dá)80-90%，呈現(xiàn)出行業(yè)整體碎片化+局部高壟斷的格局。2.2.1機(jī)械手機(jī)械手即工業(yè)機(jī)器人，通常指應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)過程中，模仿人類手臂設(shè)計具有串聯(lián)多關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)的機(jī)器人。機(jī)械手能模仿人手臂的某些動作功能，按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。半導(dǎo)體機(jī)械手主要適應(yīng)于集成電路、芯片制造等半導(dǎo)體前段工序，用來搬送晶圓。機(jī)械手是EFEM（設(shè)備前端模塊）和TM（真空傳輸）的核心組件，用于在拋光、刻蝕、擴(kuò)散、沉積、裝配、包裝和測試等的半導(dǎo)體加工步驟中，對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行傳輸與定位。按工作環(huán)境的不同，硅片搬運機(jī)器人可以分為真空機(jī)器人和大氣機(jī)器人。真空機(jī)器人大多用在集束型設(shè)備中，在真空度為10-5pa環(huán)境下通過軌跡規(guī)劃完成對硅片的傳輸和定位。大氣機(jī)器人常用在潔凈大氣環(huán)境中，目前應(yīng)用最為廣泛，占有接近60%的市場份額。全球半導(dǎo)體機(jī)械手市場銷售額穩(wěn)步增長，規(guī)模逐步擴(kuò)大。2021年市場銷售額為836.4百萬美元，QYresearch預(yù)計2027年市場銷售額將高達(dá)1347.6百萬美元，年復(fù)合增長率為8.3%。生產(chǎn)層面看，全球半導(dǎo)體機(jī)械手市場主要由美國和日本廠商主導(dǎo)。日本是最大的半導(dǎo)體機(jī)械手生產(chǎn)地區(qū)，占有大約60%的市場份額，美國占有20%的市場份額。中國占有市場份額不大，目前本土企業(yè)由新松機(jī)器人主導(dǎo)。全球第一梯隊廠商主要有3家，分別是BrooksAutomation、RORZECorporation和DAIHENCorporation，共占有大約55%的市場份額。第二梯隊廠商主要是幾家日本廠商HirataCorporation、Yaskawa、JELCorporation、Nidec和Robostar，2020年占有大約27%的市場份額。2.2.2真空泵真空泵是用來產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境的裝置，是真空系統(tǒng)的核心。半導(dǎo)體制造中，尤其是核心的干法工藝，廣泛涉及到真空反應(yīng)環(huán)境，而真空系統(tǒng)直接關(guān)系到芯片的性能和良率。半導(dǎo)體真空泵的需求不斷增長，真空設(shè)備市場持續(xù)擴(kuò)張。根據(jù)Edwards，一個月產(chǎn)4萬片的晶圓廠，大約需要上千臺真空泵及尾氣處理系統(tǒng)，和500臺渦輪分子泵。據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)測，2022年全球半導(dǎo)體用干式真空泵市場將達(dá)196.4億元，同比增長9.3%。從競爭格局上看，全球真空泵市場較為集中，主要由Atlas、Pfeiffer、Ebara等少數(shù)幾家公司占據(jù)。Atlas近年來不斷擴(kuò)張，收購了Quincy、Edwards、Leybold等公司，成為全球真空領(lǐng)域龍頭，2021年真空業(yè)務(wù)營業(yè)收入為196億元（含非半導(dǎo)體真空泵）。Pfeiffer產(chǎn)品除真空泵外，還包括測量與分析設(shè)備、安裝工具等，半導(dǎo)體及新興技術(shù)領(lǐng)域營收為27.52億元。2.2.3靜電吸盤靜電吸盤是一種適用于真空環(huán)境或等離子體環(huán)境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理將晶圓片加以固定并進(jìn)行控溫。靜電吸盤廣泛應(yīng)用于PVD、PECVD、刻蝕、離子注入等高端半導(dǎo)體制造設(shè)備。靜電吸盤的基本原理是異種電荷之間相互吸引，即晶圓片與電極之間通過不同種電荷之間的庫侖力相互吸引，使晶圓片穩(wěn)定在電極上。因此靜電吸盤的主要結(jié)構(gòu)包括陶瓷外殼、電極、用于控制溫度的氣體通道等。靜電吸盤產(chǎn)生的吸附作用源自在整個吸附面上均勻產(chǎn)生的電流的力量，因此不會對工件施加物理壓力。而機(jī)械吸盤通過機(jī)械固定工件，可能導(dǎo)致工件破損、彎曲；真空吸盤通過真空泵創(chuàng)造真空狀態(tài)來固定工件，容易在工件上留下吸附壓痕，在如今的半導(dǎo)體制造工藝中已經(jīng)基本由靜電吸盤取代。全球靜電吸盤市場具有高度壟斷性，由日本和美國企業(yè)主導(dǎo)，包括美國企業(yè)AppliedMaterials、LAM等設(shè)備原廠的自主生產(chǎn)，以及日本企業(yè)Shinko、TOTO、NTK等第三方供應(yīng)商，市場集中度較高。中國主要廠商包括廣東海拓創(chuàng)新和北京華卓精科公司。2021年，中國靜電吸盤市場規(guī)模達(dá)到21.12億元，GlobalInfoResearch預(yù)計2028年將達(dá)到34.81億元，2022-2028年復(fù)合增長率為7.29%。2.2.4射頻電源電源按輸出類型可分為直流電源和交流電源。前者可分為線性穩(wěn)壓電源和開關(guān)型穩(wěn)壓電源。后者可分為低頻交流電源和高頻交流電源。射頻電源屬于高頻交流電源，工作頻率在300KHz-300GHz之間，由放大器、直流電源、檢測器和控制器四大模塊構(gòu)成。射頻（RFRadioFrequency）是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。在電子學(xué)理論中，電流流過導(dǎo)體，導(dǎo)體周圍會形成磁場，而交變電流通過導(dǎo)體會形成電磁場，稱為電磁波。在電磁波頻率高于100KHz時，電磁波可以在空氣中傳播，并經(jīng)大氣層外緣的電離層反射，形成遠(yuǎn)距離傳輸能力，這種具有遠(yuǎn)距離傳輸能力的高頻電磁波被稱為射頻。射頻電源是等離子體發(fā)生器的配套電源，主要用于在低壓或常壓氣氛中產(chǎn)生等離子體，在集成電路制造工藝中被廣泛應(yīng)用于射頻濺射、PECVD、等離子體刻蝕及其他工藝領(lǐng)域。全球射頻電源市場格局集中度高，呈現(xiàn)寡頭競爭的發(fā)展趨勢，兩大供應(yīng)商MKSInstrument和AdvancedEnergy均來自美國。如前文所述，射頻電源占零部件市場總體的10%左右，即對應(yīng)2021年約50億美元的全球市場。而AE在2021年實現(xiàn)半導(dǎo)體業(yè)務(wù)收入7億美元，MKS實現(xiàn)半導(dǎo)體業(yè)務(wù)收入18億美元（不全為射頻電源），占據(jù)較高市場份額。3海外龍頭觀察：細(xì)分領(lǐng)域領(lǐng)先者各有所長如前所述，半導(dǎo)體零部件市場具有高度碎片化的特征，因此全球市場并未出現(xiàn)像設(shè)備領(lǐng)域的AMAT一樣的壟斷型巨頭。龍頭公司均是在自身所處賽道深耕，擴(kuò)大產(chǎn)品線。而觀察海外龍頭的發(fā)展路徑，我們發(fā)現(xiàn)他們大多是通過持續(xù)的投資并購來擴(kuò)充自身業(yè)務(wù)版圖。我們認(rèn)為，未來設(shè)備零部件行業(yè)會持續(xù)走向整合和集中，對于如此碎片化的市場，只有具備足夠的規(guī)模，才能發(fā)揮技術(shù)復(fù)用優(yōu)勢、產(chǎn)生規(guī)模效應(yīng)，滿足下游設(shè)備市場高速發(fā)展的需求。3.1MKS：電氣系統(tǒng)平臺型公司MKSInstrumentsInc是一家儀器、系統(tǒng)、子系統(tǒng)和過程控制解決方案的全球供應(yīng)商，為測量、控制、電源、監(jiān)控和分析生產(chǎn)過程中的參數(shù)提供工具，子系統(tǒng)和過程控制解決方案。公司產(chǎn)品包括質(zhì)量流量控制器和儀表、電容壓力機(jī)、真空計和閥門、氣體分析儀、射頻電源等，深耕半導(dǎo)體和先進(jìn)制造業(yè)市場，2020年半導(dǎo)體市場收入占總收入的60%，先進(jìn)制造業(yè)占比40%。MKS公司在多個產(chǎn)品市場占據(jù)領(lǐng)先地位，尤其是干法設(shè)備種較為核心的射頻電源和MFC氣體流量計都是公司的優(yōu)勢品類。MKS公司業(yè)務(wù)版圖來自持續(xù)的并購。公司2013年收購Alter，擴(kuò)充電源版圖，引入微波電源；2014年收購Granvile-Phillips，完善真空測量產(chǎn)品及控制儀器；

2016年收購Nowport，發(fā)展微電子、生命和健康科學(xué)以及工業(yè)制造市場；2019年收購ESI；2021年收購PhotonControl，不斷擴(kuò)展公司業(yè)務(wù)。伴隨下游行業(yè)的高速發(fā)展，公司營收體量不斷壯大，亦維持了較高的利潤率水平。公司2015年營收為52.83億元，2021年營收為188.06億元，復(fù)合增長率為23.57%，近年毛利率穩(wěn)定在45%附近，凈利率在2021年達(dá)到19%。3.2UCT：氣液系統(tǒng)模組龍頭UCT（UltraCleanHoldingsInc.）是在半導(dǎo)體領(lǐng)域提供關(guān)鍵子系統(tǒng)和超高純度零件的開發(fā)商和供應(yīng)商，制造和服務(wù)基地分布全球。公司產(chǎn)品包括精密機(jī)器人解決方案、氣體輸送系統(tǒng)、各種工業(yè)和自動化生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)品，以及包括晶圓清洗模塊、化學(xué)品輸送模塊、頂板組件等的子系統(tǒng)。公司提供的零部件包括超潔凈閥門、高純度連接器，氣動執(zhí)行器等。公司1991年作為三菱金屬的子公司成立，2004年上市，2006年開啟垂直整合計劃，圍繞半導(dǎo)體核心業(yè)務(wù)并購數(shù)家公司，完善在半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)品矩陣，不斷擴(kuò)充業(yè)務(wù)產(chǎn)品。伴隨組織規(guī)模擴(kuò)大，UCT營收高速增長。從2015年30.36億元增長至2021年的133.99元，復(fù)合增長率為28.07%。2021年公司毛利率達(dá)20.46%，凈利率達(dá)到6.01%。從下游結(jié)構(gòu)上看，UCT收入主要來自Foundry&logic廠商，2022Q2該領(lǐng)域收入占比42%，其次是記憶芯片領(lǐng)域占比36%。公司客戶集中度較高，客戶關(guān)系穩(wěn)定。前兩大客戶提供約64%的營業(yè)收入，其中Lam占比41%，應(yīng)用材料占比23%。3.3Edwards：真空和尾氣處理龍頭供應(yīng)商Edwards是真空和尾氣處理解決方案制造及供應(yīng)廠商的佼佼者。公司服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示、可再生及存儲能源、科學(xué)研究、LED、制藥和冶金等先進(jìn)行業(yè)。公司產(chǎn)品種類實現(xiàn)從油泵到干泵、從小抽速到大抽速各個品類的大面積覆蓋。Edwards于1919年成立，至今已有102年的歷史。1937年，公司研發(fā)出Speedivac真空泵，隨后公司不斷研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品，1975年公司產(chǎn)品供應(yīng)超過75個國家。1992年公司進(jìn)軍尾氣處理市場，2014年公司被AtlasCopco并購，進(jìn)一步發(fā)展真空業(yè)務(wù)。

3.4AdvancedEnergy：專注電源領(lǐng)域AdvancedEnergy致力于為客戶完善電力的使用、輸送和管理方式，為關(guān)鍵工藝設(shè)計和制造精密電源轉(zhuǎn)換、測量和控制解決方案。公司產(chǎn)品主要包括直流電源、直流脈沖電源、低頻和中頻電源以及射頻電源，產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，覆蓋半導(dǎo)體、工業(yè)、制造、電信、醫(yī)療等行業(yè)。公司作為連續(xù)30年的直流電源和射頻電源工藝的領(lǐng)導(dǎo)者，為半導(dǎo)體制造工藝提供電力傳輸和控制解決方案以及溫度測量技術(shù)，專注于沉積、刻蝕、熱退火和檢測等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，幫助半導(dǎo)體廠商通過精確的功率傳輸、頻率調(diào)諧和多級脈沖來實現(xiàn)先進(jìn)等離子體控制。1981年公司成立，提供先進(jìn)的電力和控制技術(shù)。公司于1995年上市，不斷收購其他企業(yè)，完善電力電源產(chǎn)品。公司橫向布局多個領(lǐng)域，成為各行業(yè)的通用電力控制和運輸管家。公司收入體量亦隨著業(yè)務(wù)擴(kuò)張而持續(xù)擴(kuò)大。公司2015年營收為26.94億元，2021年增至92.83億元，復(fù)合增長率為22.9%，2021年公司毛利率為36.56%，凈利率9.26%。4百舸爭流，國產(chǎn)替代初具雛形4.1供不應(yīng)求，國產(chǎn)替代空間大與半導(dǎo)體設(shè)備零部件的市場規(guī)模相較，中國國產(chǎn)化供給量與市場需求高度不匹配。半導(dǎo)體設(shè)備零部件的國產(chǎn)化率整體較低，部分產(chǎn)品已實現(xiàn)技術(shù)突破，但多數(shù)產(chǎn)品的穩(wěn)定性和一致性仍與國外存在差距，具有一定的突破難度，應(yīng)用于高制程設(shè)備的產(chǎn)品技術(shù)突破難度則更高。除機(jī)械類零部件之外，較復(fù)雜的高端產(chǎn)品亟待開展國產(chǎn)化進(jìn)程。與國外龍頭零部件企業(yè)相較，國內(nèi)廠商起步較晚，產(chǎn)品覆蓋程度與國產(chǎn)化率偏低。在上述晶圓廠采購的主要零部件中，石英件、反應(yīng)腔噴淋頭、邊緣環(huán)等部件達(dá)到10%以上的國產(chǎn)化率，其余國產(chǎn)化率均較低。而閥門、儀表、O型密封圈、靜電卡盤等產(chǎn)品幾乎完全依靠進(jìn)口，尚未實現(xiàn)國產(chǎn)化，國產(chǎn)替代空間可觀。4.2本土廠商嶄露頭角，細(xì)分賽道實現(xiàn)突破中國主要從事半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件研制的企業(yè)不斷增多，也有多家上市公司布局零部件行業(yè)。得益于國家政策重點鼓勵并多方支持國內(nèi)集成電路及其專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的經(jīng)營發(fā)展，中國主營或涉及零部件業(yè)務(wù)的廠商獲得了良好的發(fā)展環(huán)境，零部件國產(chǎn)化進(jìn)程正在加快。當(dāng)前行業(yè)整體還處在早期快速成長階段，存在不少的發(fā)展機(jī)會，也將面臨技術(shù)迭代和市場洗牌的挑戰(zhàn)。關(guān)于各相關(guān)標(biāo)的的具體業(yè)務(wù)進(jìn)展我們將在后文中詳細(xì)討論。5投資分析江豐電子：靶材龍頭進(jìn)軍零部件，拓展第二成長曲線江豐電子的主要產(chǎn)品為超高純金屬材料的濺射靶材以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備機(jī)臺的關(guān)鍵零部件。江豐半導(dǎo)體精密零部件的種類繁多，包括金屬、陶瓷、樹脂等精密零部件，產(chǎn)品已廣泛用于PVD、CVD、刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備。產(chǎn)品根據(jù)客戶可以分為兩大類：一類應(yīng)用于設(shè)備廠商，包括工藝零部件和腔體等；另一類是應(yīng)用于晶圓廠的關(guān)鍵工藝零部件。公司的零部件業(yè)務(wù)發(fā)展歷程亦是基于PVD濺射靶材主業(yè)所積累的客戶資源和技術(shù)經(jīng)驗，從PVD設(shè)備零件出發(fā)，拓展了用于PVD、CVD、CMP、單晶爐、清洗機(jī)等多種設(shè)備的零部件產(chǎn)品。從零部件類型上，主要分為兩種，一類是金屬結(jié)構(gòu)件，包括腔體等，一類是附加值更高的功能性零部件，包括氣體噴淋頭等。公司在兩類產(chǎn)品上均進(jìn)行了較大力度的投入和擴(kuò)產(chǎn)。得益于靶材主業(yè)和零部件新業(yè)務(wù)的強(qiáng)勢表現(xiàn)，江豐近年收入規(guī)模維持穩(wěn)健增長態(tài)勢。2017-2021年營業(yè)收入由5.50億元增至15.94億元，年均復(fù)合增速30%，其中，半導(dǎo)體零部件增勢更為亮眼。2021年江豐電子零部件銷售額1.84億元，同比增長239.96%，2022H1則達(dá)到1.77億元，同比增長149.58%。公司在寧波余姚、上海奉賢、沈陽沈北三地建成零部件生產(chǎn)基地，并與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭

北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、上海盛美、上海微電子、屹唐科技等多家廠商形成戰(zhàn)略合作，積極開發(fā)并加速放量各種半導(dǎo)體精密零部件產(chǎn)品。借助主業(yè)積累的豐富經(jīng)驗與技術(shù)儲備，江豐電子不斷完善半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的橫向布局。在靶材主業(yè)的長期積累中，江豐電子擁有超高純金屬提純技術(shù)、超高純金屬靶材組織織構(gòu)控制技術(shù)、靶材異種金屬大尺寸焊接技術(shù)和金屬靶材精密加工技術(shù)，是公司拓展設(shè)備零部件業(yè)務(wù)的技術(shù)基礎(chǔ)。江豐電子亦有望基于其金屬材料特性和加工處理等領(lǐng)域的技術(shù)經(jīng)驗和客戶優(yōu)勢，繼續(xù)拓展反應(yīng)腔體等金屬件、陶瓷件及石英件產(chǎn)品，長期增長空間可觀。新萊應(yīng)材：真空與氣體管閥零部件領(lǐng)軍者新萊應(yīng)材主營業(yè)務(wù)之一為高純及超高純應(yīng)用材料的研制與銷售，主要用于半導(dǎo)體、食品安全和生物醫(yī)藥領(lǐng)域。公司半導(dǎo)體零部件產(chǎn)品涵蓋真空閥門、管道管件、反應(yīng)腔體、氣體鋼瓶等多個品類，可以滿足半導(dǎo)體設(shè)備中潔凈氣體、特殊氣體和計量精度等特殊工藝以及真空度和潔凈度的要求。作為世界領(lǐng)先的潔凈設(shè)備及材料供應(yīng)商，公司泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)規(guī)模快速增長。2022年H1，公司泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)實現(xiàn)收入3.17億元，同比增長62.26%，毛利率達(dá)35.27%，同比提升1.78pct。公司泛半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體設(shè)備的真空系統(tǒng)和氣體管路系統(tǒng)，國際頂尖客戶的認(rèn)可及與國內(nèi)知名設(shè)備企業(yè)的合作使公司迅速擴(kuò)大銷售規(guī)模。公司的半導(dǎo)體零部件產(chǎn)品擁有廣泛的國際認(rèn)證，已通過AMAT、Lam等全球一流半導(dǎo)體設(shè)備客戶認(rèn)證并成為其一級供應(yīng)商，順利實現(xiàn)對北方華創(chuàng)、中微公司、中芯國際、長江存儲、無錫海力士的批量供貨。在真空管配件與UHP超高純等級氣體管道系統(tǒng)擁有完整系列對標(biāo)國際品牌，并在高端真空閥門、氣體管道及氣體控制元件等產(chǎn)品方面，與AMAT、北方華創(chuàng)等國內(nèi)外龍頭半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)達(dá)成合作。分業(yè)務(wù)收入預(yù)測：

包材業(yè)務(wù)主要為食品包裝材料，為新萊子公司山東碧海的主要業(yè)務(wù)，下游以乳制品、飲料等為主，國內(nèi)市場需求穩(wěn)定。公司2018年收購山東碧海以來，業(yè)務(wù)整合順利，2021年包材業(yè)務(wù)收入增長可觀。我們預(yù)計2022-2024年包材業(yè)務(wù)收入分別實現(xiàn)25/24/20%的穩(wěn)健增長。毛利率方面，2021年上游原材料大幅漲價，導(dǎo)致包材業(yè)務(wù)毛利率下滑，我們預(yù)計2023年上游價格壓力逐步緩解，2022-2024年毛利率分別為17/18/19%。潔凈應(yīng)用材料主要應(yīng)用于生物醫(yī)藥方向，2021年疫情期間，醫(yī)藥市場需求有較大增長，我們預(yù)計2022-2024年潔凈應(yīng)用材料收入實現(xiàn)23/20/20%的穩(wěn)健增長。毛利率方面，2022年H1該業(yè)務(wù)毛利率大幅提升，達(dá)到38.8%，主要原因系下游市場供不應(yīng)求，我們預(yù)計伴隨市場供需關(guān)系逐步緩和，該業(yè)務(wù)在2022-2024年毛利率分別為36/36/35%。華亞智能：專注精密金屬結(jié)構(gòu)件華亞智能專注于向國內(nèi)外領(lǐng)先的高端設(shè)備制造商提供“小批量、多品種、工藝復(fù)雜、精密度高”的定制化精密金屬結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品。其精密金屬結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、新能源及電力設(shè)備、醫(yī)療器械和通用設(shè)備領(lǐng)域，深耕全球精密金屬結(jié)構(gòu)制造市場。在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，華亞智能的直接客戶為超科林、ICHOR、捷普等設(shè)備部件制造商，并進(jìn)入了AMAT、Lam、中微半導(dǎo)體等國內(nèi)外半導(dǎo)體制造設(shè)備龍頭的供應(yīng)鏈體系。公司的精密金屬結(jié)構(gòu)件首先提供給部件廠商制造設(shè)備關(guān)鍵子系統(tǒng)和模組，最終被應(yīng)用于：晶圓刻蝕設(shè)備、PECVD、氣體輸送設(shè)備、氣相沉積設(shè)備、晶圓檢測設(shè)備等。得益于半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的強(qiáng)勢表現(xiàn)，公司近年收入穩(wěn)健增長，22H1公司實現(xiàn)營收2.88億元，同比增長23.77%，實現(xiàn)歸母凈利潤0.74億元，同比增長55.58%。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)上，半導(dǎo)體設(shè)備零部件為第一大業(yè)務(wù)，新能源及電力設(shè)備零部件為第二大業(yè)務(wù)，其余分別為通用設(shè)備零部件、軌交零部件、醫(yī)療器械部件。值得注意的是，華亞智能半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)品毛利率維持在55%以上，顯著高于其他同業(yè)公司，主要得益于公司小批量提供定制化程度高、技術(shù)工藝先進(jìn)的產(chǎn)品，且已形成核心優(yōu)勢，客戶主要來自海外龍頭模組廠，定制化產(chǎn)品的毛利率普遍高于批量化產(chǎn)品。技術(shù)壁壘方面，華亞智能的精密焊接及表面特殊噴涂的能力在業(yè)內(nèi)享有較高聲譽(yù)，表面處理能力出色。公司焊接工藝得到歐盟、美國等的資質(zhì)認(rèn)證評定，還具有通過AMAT認(rèn)證的Everslik有機(jī)溶劑漆噴漆技術(shù)（國內(nèi)首家、國際4家之一）、靜電粉末噴涂技術(shù)。焊接工藝、噴漆技術(shù)資格不僅領(lǐng)跑國內(nèi)供應(yīng)商，也具有強(qiáng)勁的國際競爭力。華亞智能一直將半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域結(jié)構(gòu)件業(yè)務(wù)作為核心發(fā)展業(yè)務(wù)，并已經(jīng)成為公司銷售收入和利潤增長的主要來源，且生產(chǎn)的精密金屬結(jié)構(gòu)件已應(yīng)用于國內(nèi)外知名半導(dǎo)體設(shè)備制造商的主導(dǎo)產(chǎn)品中，是國內(nèi)為數(shù)不多的相關(guān)高端精密金屬制造商之一。公司未來將繼續(xù)加大對半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)投入資源，積極開發(fā)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的新客戶，實現(xiàn)從半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)件制造商向半導(dǎo)體設(shè)備綜合配套制造服務(wù)商的轉(zhuǎn)型。分業(yè)務(wù)收入預(yù)測：

華亞智能在2021年IPO上市之后進(jìn)行了主營業(yè)務(wù)分類的調(diào)整，將主營業(yè)務(wù)由按下游市場分類的半導(dǎo)體/新能源/軌道交通/醫(yī)療/通用設(shè)備調(diào)整為按業(yè)務(wù)類型分類，分為精密金屬結(jié)構(gòu)件和半導(dǎo)體設(shè)備維修兩類。精密金屬結(jié)構(gòu)件業(yè)務(wù)方面，公司的馬來西亞子公司、IPO募投項目有望在2023年貢獻(xiàn)較大的產(chǎn)能增量，我們預(yù)計該業(yè)務(wù)收入在2022-2024年分別實現(xiàn)33/50/50%增長，毛利率則有望受益于半導(dǎo)體零部件占比提升而穩(wěn)步提升，我們預(yù)計該業(yè)務(wù)2022-2024年毛利率分別為39/40/41%。Compart（萬業(yè)企業(yè)參股）：氣體輸送系統(tǒng)精密零部件龍頭供應(yīng)商CompartSystemsPte.Ltd是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域精密零組件及流量控制解決方案供應(yīng)商，具有服務(wù)于全球頂尖半導(dǎo)體設(shè)備公司的成熟經(jīng)驗。2020年12月，萬業(yè)企業(yè)領(lǐng)頭境內(nèi)外投資人，以浙江鐠芯和鐠芯控股為持股主體收購Compart的100%股權(quán)，并成為其第一大股東。收購?fù)瓿珊驝ompart轉(zhuǎn)變?yōu)橹匈Y控股企業(yè)，快速導(dǎo)入國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的供應(yīng)鏈，填補(bǔ)了國內(nèi)相關(guān)供應(yīng)鏈的空白領(lǐng)域。Compart的產(chǎn)品布局豐富、技術(shù)實力強(qiáng)大，是全球極少數(shù)可完成流量控制領(lǐng)域零組件精密加工全環(huán)節(jié)的公司之一。公司主要產(chǎn)品包括氣體輸送零部件、組件、密封件、質(zhì)量流量控制器（MFC）等，是高端MFC組件的領(lǐng)先者，并且能完成半導(dǎo)體設(shè)備流量控制領(lǐng)域的研發(fā)設(shè)計、流量控制、二次流程、裝配測試等全環(huán)節(jié)。同時，公司掌握TriClean、Ultra-Seal、iBlock等多項核心技術(shù)，使用其獨家煉鋼技術(shù)TriClean，可使制成品的耐腐蝕性能較普通高純不銹鋼提升2.5-11倍，保障了零件生產(chǎn)的優(yōu)質(zhì)原料自給供應(yīng)。借助全球經(jīng)營經(jīng)驗，未來有望加速導(dǎo)入國內(nèi)客戶供應(yīng)鏈。2021年浙江鐠芯（萬業(yè)企業(yè)子公司，Compart的控股母公司）營業(yè)收入9.20億元，凈利潤1.01億元.。借半導(dǎo)體設(shè)備高度景氣之勢，2021年6月浙江鐠芯與海寧簽約啟動Compart制造中心項目，總投資約30億元，建設(shè)制造基地和研發(fā)中心，投產(chǎn)后每年可實現(xiàn)營收約15億元。項目落成后將加速推進(jìn)半導(dǎo)體核心零部件的國產(chǎn)化進(jìn)程。在Compart導(dǎo)入國內(nèi)供應(yīng)鏈前，其相關(guān)的流量控制賽道國產(chǎn)化率幾乎為零。Compart具有全球先進(jìn)的獨特密封件制造工藝和技術(shù)，穩(wěn)定向多家國際半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商供應(yīng)零組件，其成熟經(jīng)驗有助于提升氣體輸送系統(tǒng)及高精度流量控制等領(lǐng)域核心組件與部件的國產(chǎn)化率，助力國內(nèi)設(shè)備廠商相關(guān)領(lǐng)域的國產(chǎn)替代。英杰電氣：射頻電源國內(nèi)龍頭英杰電氣是國內(nèi)綜合性工業(yè)電源研制領(lǐng)域內(nèi)有較強(qiáng)競爭力的企業(yè)，從事以功率控制電源、特種電源為代表的工業(yè)電源設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，產(chǎn)品可應(yīng)用于

新能源領(lǐng)域、半導(dǎo)體等電子材料領(lǐng)域等。英杰電氣的半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品主要用于材料生產(chǎn)設(shè)備的電源控制。在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于上游材料行業(yè)，如半導(dǎo)體用單晶硅、碳化硅晶體、LED外延片等的生產(chǎn)設(shè)備。產(chǎn)品具體包括射頻電源、直流模塊電源、微波開關(guān)電源、感應(yīng)電源等高精度、高性能、高穩(wěn)定度的電源設(shè)備，以及諧波調(diào)理、功率控制器、匹配器等裝載了高智能控制模塊的設(shè)備。公司不斷加大技術(shù)研發(fā)與資源投入，研制高端射頻電源以替代進(jìn)口電源設(shè)備，目前已小批量試制并交客戶測試。得益于在下游光伏、半導(dǎo)體等行業(yè)的收入增長，22H1公司實現(xiàn)營收4.52億元，同比增長67.87%，實現(xiàn)歸母凈利潤1.22億元，同比增長68.18%。22H1公司半導(dǎo)體等電子材料業(yè)務(wù)增長迅猛，新增訂單1.73億元，同比上升86.21%，實現(xiàn)收入0.58億元，同比增長187.05%，毛利率為53.15%，達(dá)到歷史新高。富創(chuàng)精密：覆蓋四大品類，導(dǎo)入先進(jìn)制程富創(chuàng)精密是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè)，主要業(yè)務(wù)為金屬材料零部件精密制造，主要產(chǎn)品覆蓋工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路四大類，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，覆蓋集成電路制造中刻蝕、薄膜沉積、光刻及涂膠顯影、化學(xué)機(jī)械拋光、離子注入等核心環(huán)節(jié)設(shè)備。富創(chuàng)精密掌握了可滿足嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)的精密機(jī)械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝、檢測等多種制造工藝，產(chǎn)品的高精密、高潔凈、高耐腐蝕等性能均達(dá)到甚至優(yōu)于主流國際客戶標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)前，公司已進(jìn)入多家全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商供應(yīng)鏈體系，并且是AMAT的全球戰(zhàn)略供應(yīng)商。同時，基于半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化趨勢，公司積極開拓境內(nèi)市場，產(chǎn)品已進(jìn)入主流國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商，保障了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈安全。公司的工藝技術(shù)、行業(yè)口碑、產(chǎn)品質(zhì)量和交付能力不斷得到境內(nèi)外客戶認(rèn)可，業(yè)績快速增長。2019-2021年，公司營業(yè)收入分別為2.53億元、4.81億元和8.43億元，近三年復(fù)合增長率為82.43%。盈利能力方面，2021年公司毛利率/凈利率分別達(dá)到32.04%/14.40%。收入結(jié)構(gòu)按市場區(qū)域來看，主營業(yè)務(wù)收入主要來源于大陸以外地區(qū)，但內(nèi)銷占比逐年提升。產(chǎn)品主要銷往國際半導(dǎo)體設(shè)備廠商在北美和亞洲的組裝工廠，而隨著國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商崛起，2019-2021年公司大陸地區(qū)銷售收入占比由15.34%提升至39.32%。在主要產(chǎn)品毛利率方面，2019年公司擴(kuò)產(chǎn)完成后產(chǎn)能利用率大幅提升，主要產(chǎn)品毛利率在2020年提升顯著。而模組產(chǎn)品毛利率較低，是因為其屬于高度定制化產(chǎn)品，需外購標(biāo)準(zhǔn)件結(jié)合自產(chǎn)零部件組裝，而外購成本占比較高。此外，氣體管路產(chǎn)品在2019年屬于前期小批量驗證階段，毛利率不具參考性。富創(chuàng)精密部分腔體、內(nèi)襯、勻氣盤等高端產(chǎn)品已應(yīng)用于客戶7nm制程的前道設(shè)備中，是全球為數(shù)不多的能夠量產(chǎn)應(yīng)用于7nm工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件制造商，已成為多家國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商的合格供應(yīng)商。公司表示未來將持續(xù)擴(kuò)大7nm工藝制程設(shè)備精密零部件的品類，并加快研制以應(yīng)用于5nm及更先進(jìn)工藝制程。正帆科技：工藝介質(zhì)供應(yīng)領(lǐng)域先行者正帆科技向泛半導(dǎo)體、光纖制造、生物醫(yī)藥等高科技產(chǎn)業(yè)客戶提供關(guān)鍵系統(tǒng)、核心材料及專業(yè)服務(wù)。公司主要業(yè)務(wù)涉及氣體化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)、高純特種氣體和潔凈廠房配套系統(tǒng)，主要產(chǎn)品有電子工藝設(shè)備、生物制藥設(shè)備、電子氣體和MRO（快速響應(yīng)、設(shè)備維保和系統(tǒng)運營）服務(wù)。深耕于半導(dǎo)體行業(yè)及工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)業(yè)務(wù)20余年，正帆自主研發(fā)生產(chǎn)相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備及其配件，在高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)、自動化控制真空裝置、工藝設(shè)備等領(lǐng)域都有先進(jìn)工藝技術(shù)與成熟制造經(jīng)驗，在刻蝕、離子注入、薄膜沉積、黃光工藝等關(guān)鍵制程都能提供相應(yīng)的設(shè)計制造解決方案。當(dāng)前正帆半導(dǎo)體設(shè)備配套業(yè)務(wù)從廠務(wù)端延伸到設(shè)備端，為泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供工藝設(shè)備或子系統(tǒng)GasBox的委托加工(OEM)或委托設(shè)計加工(ODM)服務(wù)。GasBox是一種在半導(dǎo)體工藝設(shè)備側(cè)的模組化氣體供應(yīng)系統(tǒng)，也是核心零部件之一。GasBox產(chǎn)品涉及工藝設(shè)備內(nèi)部功能模塊的客戶機(jī)密，定制化高、純度精度高、工藝難度高，是導(dǎo)入難度極高的零部件?；诙嗄甑母排c積極展開研發(fā)合作，公司可以在純度、工藝、安全控制上滿足多項定制化要求，再加以配置超高純管路設(shè)計方案、材料部件、測試標(biāo)準(zhǔn)與客戶需要的其他系統(tǒng)，能保證特種氣體的密閉式安全儲存以及不間斷輸送，并且滿足不同行業(yè)和設(shè)備對氣體輸送的要求。正帆科技始終堅持自主研發(fā)，專注于為下游客戶提供關(guān)鍵材料的全流程綜合解決方案。作為國內(nèi)最早進(jìn)入電子工藝設(shè)備領(lǐng)域的本土廠商，正帆參與編寫了7項國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，主導(dǎo)了國內(nèi)老牌集成電路廠商工藝介質(zhì)輸送系統(tǒng)的建設(shè)工作，如上海新進(jìn)、華潤半導(dǎo)體、和艦科技等。目前公司電子工藝設(shè)備業(yè)務(wù)也已導(dǎo)入

中芯國際、長江存儲、長鑫存儲等領(lǐng)先客戶群體。在電子工藝設(shè)備業(yè)務(wù)中，公司掌握了關(guān)鍵高端制造設(shè)備部件的研發(fā)能力。根據(jù)不同行業(yè)、客戶的工藝需求，可定制化研發(fā)出具有復(fù)雜理化特性工藝介質(zhì)的供應(yīng)系統(tǒng)，并不斷提升產(chǎn)品對介質(zhì)純度、溫度、壓力、流量等參數(shù)的控制能力及安全防護(hù)能力。目前，公司在扎實的研發(fā)基礎(chǔ)之上，已具備較為全面的設(shè)計開發(fā)能力，能夠應(yīng)對客戶對系統(tǒng)功能提出的個性化需求。未來，正帆將集中投入研發(fā)進(jìn)行技術(shù)攻堅，以滿足下游先進(jìn)高端制造業(yè)的前瞻性需求。漢鐘精機(jī)：深耕先進(jìn)工藝真空泵產(chǎn)品漢鐘精機(jī)是國內(nèi)流體機(jī)電產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)，主要產(chǎn)品或服務(wù)為R系列制冷壓縮機(jī)、A系列空氣壓縮機(jī)組和