電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全培訓(xùn)課件

電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全

電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全1本節(jié)內(nèi)容一、氣體輸送系統(tǒng)二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)四、工藝安全管理及事故案例分析五、個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)六、廠務(wù)運行管理實務(wù)本節(jié)內(nèi)容2一、氣體輸送系統(tǒng)1、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式一、氣體輸送系統(tǒng)1、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式3氣體輸送系統(tǒng)2、氣柜的作用：⑴、實現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣：采用雙瓶切換系統(tǒng)；⑵、安全地輸送工藝氣體至工藝設(shè)備：①、對工藝設(shè)備的安全考慮：壓力調(diào)節(jié)、氣體凈化、吹掃；②、對操作人員的安全考慮：柜體隔離、排風(fēng)系統(tǒng)、報警系統(tǒng)、緊急切斷、全自動控制系統(tǒng)；③、對環(huán)境的安全考慮：工藝生產(chǎn)要求、氣體的不同性質(zhì)、當(dāng)前項目預(yù)算、將來項目擴展需求。3、氣柜使用中常見問題及注意事項：⑴、調(diào)壓時不準或者不穩(wěn)：原因是減壓閥具有機械滯后性，工作使用中可將調(diào)壓閥調(diào)至比所需壓力低一些，氣體輸送系統(tǒng)2、氣柜的作用：⑴、實現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣：采4氣體輸送系統(tǒng)然后再等一會看壓力是否穩(wěn)定在所需壓力。⑵、日常工作如需操作氣柜，只需開窗操作，只有在換瓶時才開門!⑶、換鋼瓶時需要至少2個人共同操作，一個人操作，另一個人需要確認每一步是否正確、規(guī)范。⑷氣源、氣瓶的配管要用塑料管或者尼龍管，這樣發(fā)生燃燒事故時可燒掉從而切斷氣源，降低危險性。⑸、氣柜上的過流保護開關(guān)參數(shù)不可調(diào)，安裝時必須垂直安裝。⑹、SiH等易燃氣體的鋼瓶最好配置AutoGuard（鋼瓶接口保護器），以防止在換鋼瓶時發(fā)生事故。⑺、對于在我們管線分布上有潛在泄露點的地方，比如焊接點等連接點，要配置帶抽風(fēng)的罩子，這樣可以更好的對人員和設(shè)備進行保護。氣體輸送系統(tǒng)然后再等一會看壓力是否穩(wěn)定在所需壓力。5氣體輸送系統(tǒng)⑻、氣柜最好配置雙瓶切換，這樣可以一側(cè)氣瓶用盡，另一側(cè)自動供氣，這樣可以實現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣。⑼、不同特氣對減壓閥的選型也會有不同的要求，對于閥門的選型也是需要注意的地方。比如如果我們有閥門壞了，需要更換，就需要注意更換閥門的型號。⑽、過流保護開關(guān)是個非常有必要安裝的部件，作用就是氣體流量異常變大的時候可以把氣體停掉，一般正帆都會建議客戶安裝過流保護開關(guān)。氣體輸送系統(tǒng)⑻、氣柜最好配置雙瓶切換，這樣可以一側(cè)氣瓶用盡，6二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)1、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：清洗芯片上的雜質(zhì)、微粒子；刻蝕芯片圖案；顯影芯片圖案；研磨芯片；清洗制程設(shè)備零配件2、常用化學(xué)品性質(zhì)和分類：⑴、酸性：腐蝕性：HSO、HCL、HNO、HF、HPO毒性：HF、Acetone二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)1、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：7化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、堿性：NHOH、KOH、Developer⑶、有機溶劑：IPA、光阻液EKC、EBR、HMDS⑷、氧化性：HSO、HO⑸、懸浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）3、化學(xué)品輸送系統(tǒng)操作安全⑴、化學(xué)系統(tǒng)運行需要的證照與認證操作人員的安全管理非常重要，所有操作人員應(yīng)具備以下資質(zhì)：

壓力容器操作許可證危險化學(xué)品操作許可證叉車操作許可證（如有使用）化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、堿性：NHOH、KOH、Develope8化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、熟知化學(xué)品安全技術(shù)說明書（MSDS/CSDS）操作人員可以從中學(xué)習(xí)到化學(xué)品的特性，毒性，危害性，中毒預(yù)防措施，緊急事故處理等。⑶、化學(xué)品系統(tǒng)的PPE使用如酸桶更換作業(yè)時需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。4、化學(xué)品輸送管道材質(zhì)：酸堿類：內(nèi)管PFA，外管CPVC溶劑類：工藝管線SUS316EP，或外管SUS304+PFA內(nèi)管方式化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、熟知化學(xué)品安全技術(shù)說明書（MSDS/CSD9三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)1、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)1、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件10氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)11氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)2、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計⑴、必須監(jiān)測氣體種類自然氣體（如SiH4），可燃性氣體（如CH4/H2）、毒性氣體（如PH3/AsH3）、腐蝕性氣體（如HCL/HBR）、氧化性氣體（如O2/CL2）、惰性氣體密閉區(qū)域（安裝O2探頭）⑵、偵測器安裝①、偵測器取樣管長度規(guī)定：烷類氣體和氫氣取樣管最長30米，氨氣取樣管最長10米，HCL等酸類氣體取樣管最長5米②、偵測器安裝高度要求：距地面1.7米左右，方便操作和觀察氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)2、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計12氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)③、偵測器取樣點位置規(guī)定：特氣設(shè)備釋放源殼體排風(fēng)，特氣相對密度小于或等于0.75時，取樣點同時放置在釋放源上方和廠方最高點易積氣處；特氣相對密度大于0.75時，取樣點設(shè)置在釋放源下方距地面高度0.5米處④、偵測器安裝環(huán)境要求：環(huán)境溫度0至40℃，環(huán)境濕度20%至80%RH，遠離強電干擾⑶、偵測器探頭選型①、每種特氣原則上采用對應(yīng)氣體探頭②、同類型氣體混合排放采用毒性最強特氣探頭③、混合氣體偵測，采用最先到達報警濃度值特氣探頭④、特殊化學(xué)品泄露偵測，根據(jù)空氣反應(yīng)決定特氣探頭氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)③、偵測器取樣點位置規(guī)定：13氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑷、GDS邏輯控制氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑷、GDS邏輯控制14氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑸、基于數(shù)據(jù)總線網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)基于POE網(wǎng)絡(luò)通信環(huán)形網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)3、工作人員更換閥門時的操作注意事項：①、更換一個閥門時如果太緊不能強行拆卸，可以把上方或者下方閥門的螺絲擰松一點，再擰需要更換的閥門就比較容易。②、用兩個扳手擰閥門螺絲時兩個扳手的夾角不能太大，而且最好用一只手兩個扳手一塊用力。③、換墊片時要換干凈的手套，每次換閥門都要換墊片。④、擰緊螺絲的時候用手擰緊后再用扳手擰1/8圈就可以，不能使太大勁去擰，容易使墊片變形。氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑸、基于數(shù)據(jù)總線網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)15四、工藝安全管理及事故案例分析工藝安全管理（PSM）：通過執(zhí)行工程標(biāo)準、最大實踐、工藝設(shè)計、系統(tǒng)操作和維護程序，以最大限度地降低或消除化工過程運行時造成的人員傷亡、財產(chǎn)損失和環(huán)境破壞。工藝安全管理的14個要素：工藝安全信息（PSI），工藝危害分析，變更管理，開工前安全檢查（ORI），操作規(guī)程，培訓(xùn)，機械完整性（MI），動火作業(yè)許可證，承包商，應(yīng)急準備和響應(yīng)，事件調(diào)查，商業(yè)機密，符合性審查，員工參與四、工藝安全管理及事故案例分析工藝安全管理（PSM）：通過執(zhí)16五、個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)1、PPE：主要用于保護雇員免受由于接觸化學(xué)輻射、電動設(shè)備、人力設(shè)備、機械設(shè)備或在一些危險工作場所而引起的嚴重的工傷或疾病。2、PPE的等級和分類五、個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)1、PPE：17個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)18個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)3、使用PPE時應(yīng)注意事項！①、脫衣服時，需抓緊衣服內(nèi)側(cè)脫下；②、防護衣最好為一次性使用，若多次使用需要清洗時，洗過之后不可曬干，需晾干；③、A級防護衣需定期做氣密性檢查；⑤、穿A級防護衣時，穿戴者最好攜帶通訊工具和小刀。4、啟動應(yīng)急反應(yīng)的六個關(guān)鍵：①、應(yīng)急人員組織：分工明確，職能清晰，要求需清楚；小組成員要固定，并有培訓(xùn)計劃。②、應(yīng)急器材設(shè)備的準備及使用：須列出物資清單及負責(zé)人；器材使用有效個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)3、使用PPE時應(yīng)注意事項！19個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)及安全檢查。③、人員疏散：逃生通道及集結(jié)點安全；廣播明確指示；疏散路線人員布點指揮，確保安全有序離開危險區(qū)域；人員清點。④、流程節(jié)點的溝通：匯報現(xiàn)場狀況須掌握要點；現(xiàn)場指揮須條理清晰；所有處置措施有效到位；進現(xiàn)場人員必須先進性防護裝備及器材的使用有效及安全檢查。⑤、人員培訓(xùn)及協(xié)調(diào)：應(yīng)急處置技能訓(xùn)練；體能訓(xùn)練；各應(yīng)急小組的協(xié)調(diào)及溝通；工業(yè)安全知識培訓(xùn)。⑥、危險區(qū)域的隔離及管制：危險區(qū)域、影響區(qū)域及安全區(qū)域的劃分；危險區(qū)域明顯及有效的隔離；進出危險區(qū)域的人員記錄及管制。個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)及安全檢查。20六、廠務(wù)運行管理實務(wù)電子氣體化學(xué)品系統(tǒng)的1、操作安全管理2、日常管理3、用量管理4、設(shè)備管理六、廠務(wù)運行管理實務(wù)電子氣體化學(xué)品系統(tǒng)的21

電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全

電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全22本節(jié)內(nèi)容一、氣體輸送系統(tǒng)二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)四、工藝安全管理及事故案例分析五、個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)六、廠務(wù)運行管理實務(wù)本節(jié)內(nèi)容23一、氣體輸送系統(tǒng)1、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式一、氣體輸送系統(tǒng)1、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式24氣體輸送系統(tǒng)2、氣柜的作用：⑴、實現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣：采用雙瓶切換系統(tǒng)；⑵、安全地輸送工藝氣體至工藝設(shè)備：①、對工藝設(shè)備的安全考慮：壓力調(diào)節(jié)、氣體凈化、吹掃；②、對操作人員的安全考慮：柜體隔離、排風(fēng)系統(tǒng)、報警系統(tǒng)、緊急切斷、全自動控制系統(tǒng)；③、對環(huán)境的安全考慮：工藝生產(chǎn)要求、氣體的不同性質(zhì)、當(dāng)前項目預(yù)算、將來項目擴展需求。3、氣柜使用中常見問題及注意事項：⑴、調(diào)壓時不準或者不穩(wěn)：原因是減壓閥具有機械滯后性，工作使用中可將調(diào)壓閥調(diào)至比所需壓力低一些，氣體輸送系統(tǒng)2、氣柜的作用：⑴、實現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣：采25氣體輸送系統(tǒng)然后再等一會看壓力是否穩(wěn)定在所需壓力。⑵、日常工作如需操作氣柜，只需開窗操作，只有在換瓶時才開門!⑶、換鋼瓶時需要至少2個人共同操作，一個人操作，另一個人需要確認每一步是否正確、規(guī)范。⑷氣源、氣瓶的配管要用塑料管或者尼龍管，這樣發(fā)生燃燒事故時可燒掉從而切斷氣源，降低危險性。⑸、氣柜上的過流保護開關(guān)參數(shù)不可調(diào)，安裝時必須垂直安裝。⑹、SiH等易燃氣體的鋼瓶最好配置AutoGuard（鋼瓶接口保護器），以防止在換鋼瓶時發(fā)生事故。⑺、對于在我們管線分布上有潛在泄露點的地方，比如焊接點等連接點，要配置帶抽風(fēng)的罩子，這樣可以更好的對人員和設(shè)備進行保護。氣體輸送系統(tǒng)然后再等一會看壓力是否穩(wěn)定在所需壓力。26氣體輸送系統(tǒng)⑻、氣柜最好配置雙瓶切換，這樣可以一側(cè)氣瓶用盡，另一側(cè)自動供氣，這樣可以實現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣。⑼、不同特氣對減壓閥的選型也會有不同的要求，對于閥門的選型也是需要注意的地方。比如如果我們有閥門壞了，需要更換，就需要注意更換閥門的型號。⑽、過流保護開關(guān)是個非常有必要安裝的部件，作用就是氣體流量異常變大的時候可以把氣體停掉，一般正帆都會建議客戶安裝過流保護開關(guān)。氣體輸送系統(tǒng)⑻、氣柜最好配置雙瓶切換，這樣可以一側(cè)氣瓶用盡，27二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)1、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：清洗芯片上的雜質(zhì)、微粒子；刻蝕芯片圖案；顯影芯片圖案；研磨芯片；清洗制程設(shè)備零配件2、常用化學(xué)品性質(zhì)和分類：⑴、酸性：腐蝕性：HSO、HCL、HNO、HF、HPO毒性：HF、Acetone二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)1、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：28化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、堿性：NHOH、KOH、Developer⑶、有機溶劑：IPA、光阻液EKC、EBR、HMDS⑷、氧化性：HSO、HO⑸、懸浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）3、化學(xué)品輸送系統(tǒng)操作安全⑴、化學(xué)系統(tǒng)運行需要的證照與認證操作人員的安全管理非常重要，所有操作人員應(yīng)具備以下資質(zhì)：

壓力容器操作許可證危險化學(xué)品操作許可證叉車操作許可證（如有使用）化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、堿性：NHOH、KOH、Develope29化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、熟知化學(xué)品安全技術(shù)說明書（MSDS/CSDS）操作人員可以從中學(xué)習(xí)到化學(xué)品的特性，毒性，危害性，中毒預(yù)防措施，緊急事故處理等。⑶、化學(xué)品系統(tǒng)的PPE使用如酸桶更換作業(yè)時需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。4、化學(xué)品輸送管道材質(zhì)：酸堿類：內(nèi)管PFA，外管CPVC溶劑類：工藝管線SUS316EP，或外管SUS304+PFA內(nèi)管方式化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、熟知化學(xué)品安全技術(shù)說明書（MSDS/CSD30三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)1、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)1、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件31氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)32氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)2、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計⑴、必須監(jiān)測氣體種類自然氣體（如SiH4），可燃性氣體（如CH4/H2）、毒性氣體（如PH3/AsH3）、腐蝕性氣體（如HCL/HBR）、氧化性氣體（如O2/CL2）、惰性氣體密閉區(qū)域（安裝O2探頭）⑵、偵測器安裝①、偵測器取樣管長度規(guī)定：烷類氣體和氫氣取樣管最長30米，氨氣取樣管最長10米，HCL等酸類氣體取樣管最長5米②、偵測器安裝高度要求：距地面1.7米左右，方便操作和觀察氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)2、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計33氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)③、偵測器取樣點位置規(guī)定：特氣設(shè)備釋放源殼體排風(fēng)，特氣相對密度小于或等于0.75時，取樣點同時放置在釋放源上方和廠方最高點易積氣處；特氣相對密度大于0.75時，取樣點設(shè)置在釋放源下方距地面高度0.5米處④、偵測器安裝環(huán)境要求：環(huán)境溫度0至40℃，環(huán)境濕度20%至80%RH，遠離強電干擾⑶、偵測器探頭選型①、每種特氣原則上采用對應(yīng)氣體探頭②、同類型氣體混合排放采用毒性最強特氣探頭③、混合氣體偵測，采用最先到達報警濃度值特氣探頭④、特殊化學(xué)品泄露偵測，根據(jù)空氣反應(yīng)決定特氣探頭氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)③、偵測器取樣點位置規(guī)定：34氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑷、GDS邏輯控制氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑷、GDS邏輯控制35氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑸、基于數(shù)據(jù)總線網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)基于POE網(wǎng)絡(luò)通信環(huán)形網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)3、工作人員更換閥門時的操作注意事項：①、更換一個閥門時如果太緊不能強行拆卸，可以把上方或者下方閥門的螺絲擰松一點，再擰需要更換的閥門就比較容易。②、用兩個扳手擰閥門螺絲時兩個扳手的夾角不能太大，而且最好用一只手兩個扳手一塊用力。③、換墊片時要換干凈的手套，每次換閥門都要換墊片。④、擰緊螺絲的時候用手擰緊后再用扳手擰1/8圈就可以，不能使太大勁去擰，容易使墊片變形。氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)⑸、基于數(shù)據(jù)總線網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)36四、工藝安全管理及事故案例分析工藝安全管理（PSM）：通過執(zhí)行工程標(biāo)準、最大實踐、工藝設(shè)計、系統(tǒng)操作和維護程序，以最大限度地降低或消除化工過程運行時造成的人員傷亡、財產(chǎn)損失和環(huán)境破壞。工藝安全管理的14個要素：工藝安全信息（PSI），工藝危害分析，變更管理，開工前安全檢查（ORI），操作規(guī)程，培訓(xùn)，機械完整性（MI），動火作業(yè)許可證，承包商，應(yīng)急準備和響應(yīng)，事件調(diào)查，商業(yè)機密，符合性審查，員工參與四、工藝安全管理及事故案例分析工藝安全管理（PSM）：通過執(zhí)37五、個人防護用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)1、PPE：主要用于保護雇員免受由于接觸