《集成電路工藝實驗》實驗教學(xué)（及含實驗學(xué)分課程）大綱（模板）

《集成電路工藝實驗》實驗教學(xué)（及含實驗學(xué)

分課程）大綱一、課程基本情況課程編號：082W45D學(xué)分：1周學(xué)時：2總學(xué)時：34開課學(xué)期：3.2開課學(xué)院：理學(xué)院課程英文名稱：適用專業(yè)：微電子學(xué)專業(yè)課程類別：專業(yè)教育平臺課課程修讀條件：半導(dǎo)體物理與器件、電路原理、數(shù)字電路、模擬電路、CMOS數(shù)字集成電路、模擬CMOS集成電路實踐方式：課堂教學(xué)+實驗網(wǎng)絡(luò)課程地址：課程負(fù)責(zé)人：所屬基層學(xué)術(shù)組織：微電子科學(xué)與工程系二、課程簡介本課程具有較強的實踐指導(dǎo)意義。通過理論學(xué)習(xí)與一系列實驗教學(xué)環(huán)節(jié)，培養(yǎng)學(xué)生獨立完成數(shù)字集成電路數(shù)據(jù)采樣、信號時序分析和信號狀態(tài)分析；獨立完成模擬集成電路信號的頻譜分析；獨立完成集成電路裸片上器件的I-V特性測試;獨立完成芯片開路、短路測試，電流電壓曲線測試，以及漏電流等的測試。通過這些實驗，可以更好地鞏固學(xué)生所學(xué)的專業(yè)理論知識，擴大集成電路測試的知識面，為學(xué)生從事集成電路工作打下扎實的理論基礎(chǔ)，提高學(xué)生芯片測試能力。本課程是對數(shù)字集成電路、模擬集成電路等知識的應(yīng)用和相關(guān)理論的驗證。三、教學(xué)目標(biāo)、任務(wù)通過本課程的學(xué)習(xí)，要求學(xué)生掌握數(shù)字集成電路和模擬集成電路信號的測量和分析方法，并會熟練使用相關(guān)測試儀器。通過使用安捷倫的邏輯分析儀，掌握數(shù)字集成電路數(shù)據(jù)采樣、信號時序分析和信號狀態(tài)分析方法；通過使用安捷倫的頻譜分析儀，掌握模擬集成電路信號的頻譜分析方法；通過使用半導(dǎo)體特性測試系統(tǒng)，掌握集成電路裸片上器件的「V特性曲線測試方法；通過使用自動曲線追蹤儀，掌握封裝集成電路芯片開路、短路測試方法，電流電壓曲線測試方法，以及漏電流等的測試方法。四、教學(xué)方法與基本要求學(xué)生6人一組，每組一套實驗儀器；課程以教師講解，學(xué)生實際動手操作以及師生討論的形式實施。在理論課程的學(xué)習(xí)基礎(chǔ)上，通過大量實驗，要求學(xué)生掌握數(shù)字集成電路信號采集、時序分析的方法，掌握模擬集成電路頻譜分析的方法，掌握集成電路裸片上器件參數(shù)的測量與分析方法，掌握封裝完成的芯片開路、短路、漏電流、i-v特性曲線等的測量方法。要求學(xué)生熟練使用相關(guān)儀器的操作方法，熟悉實驗操作步驟。五、主要內(nèi)容及學(xué)時分配注：序號實驗項目名稱實驗類型（或上機類型）實驗類別時數(shù)每組人數(shù)1數(shù)字集成電路信號的邏輯分析綜合專業(yè)1262模擬集成電路信號的頻譜分析綜合專業(yè)1263封裝芯片的檢測與分析綜合專業(yè)1264集成電路器件的測試與分析綜合專業(yè)1561.實驗類型：演示、驗證、操作、綜合、設(shè)計、研究;上機類型：單項訓(xùn)練、綜合訓(xùn)練。2.實驗類別：指基礎(chǔ)、專業(yè)基礎(chǔ)、專業(yè)。六、考核及成績評定方式實驗成績評定標(biāo)準(zhǔn)：實驗考核以學(xué)生的實驗態(tài)度、掌握的實驗理論、實際操作技能和實驗報告等為主。每個實驗根據(jù)預(yù)習(xí)情況、實驗過程和實驗報告評分。課程最終成績?yōu)樗袑嶒烅椖砍煽兊钠骄?。實驗態(tài)度占15圾實驗理論占15。卜,操作技能占20%,實驗報告占50%。七、教材及參考書目

撰寫人：類別教材名稱編者出版社出版時間經(jīng)考書CMOS模擬集成電路設(shè)計（第2版）菲利普E.艾倫(PhillipE.Allen),道格拉斯R.霍爾伯格(DouglasR.Holberg)電子工業(yè)出版社2011年1月著；馮軍譯經(jīng)考書《數(shù)字集成電路-電路、系統(tǒng)與設(shè)計（第2版）》作者：（美）拉貝艾譯者：周潤德電子工業(yè)出版社2010年11月經(jīng)考書Smart-1CurveTracerUserManual宜準(zhǔn)科技股份有限公司2007年11月參考書SpectrumAnalyzerModeMeasurementGuide安捷倫科技有限公司經(jīng)考書SignalAnalyzerGettingStartedandTroubleshootingGuide安捷倫科技有限公司經(jīng)考書Model