NH3槽車(chē)更換及切換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

NH3槽車(chē)更換及切換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

目的

制定NH3槽車(chē)更換作業(yè)及槽車(chē)切換標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)，使操作員有正確卡控依據(jù)，減少人為因素異常的發(fā)生，保證設(shè)備處于正常供氣運(yùn)作狀態(tài)。

2范圍：

適用NH3BSGS切換操作。

參考資料

無(wú)

定義

一車(chē)氨氣只能切換2次，驗(yàn)證通過(guò)后正常使用2次（不包含試用驗(yàn)證時(shí)1次）。切換2次分別為：當(dāng)上一個(gè)槽車(chē)液氨凈重剩余量低于16%，BSGS自動(dòng)切換時(shí)間點(diǎn)要晚上需手動(dòng)切換1次、驗(yàn)證通過(guò)正適供氣

5職責(zé)

設(shè)備工程師、設(shè)備助理工程師、設(shè)備技術(shù)員

負(fù)責(zé)日常點(diǎn)巡檢、BSGS設(shè)備停氣、送氣、更換氨氣槽車(chē)作業(yè)、異常處理及反饋，依據(jù)文件要求制定氨氣送貨、到貨時(shí)間。

資歷與訓(xùn)練

經(jīng)培訓(xùn)合格設(shè)備工程師、設(shè)備助理工程師、設(shè)備技術(shù)員可上崗操作

作業(yè)內(nèi)容

7.1送氣前的檢查確認(rèn)

槽車(chē)兩側(cè)乙二醇加熱系統(tǒng)運(yùn)行正常；

槽車(chē)上安全鎖手動(dòng)閥門(mén)處于打開(kāi)狀態(tài)

槽車(chē)出口管道至BSGS氣柜伴熱帶溫度36±1℃。

7.2送氣后的檢查確認(rèn)

送氣后馬上將氨氣主管控溫用TC切換至使用側(cè)（1#BSGS供氣用3號(hào)TC、2#BSGS供氣用1號(hào)TC、3BSGS供氣用1號(hào)TC）；

確認(rèn)主管道入口端壓力，調(diào)壓閥后供氣壓力穩(wěn)定正常；

在送氣初期，伴熱溫度會(huì)有短暫溫度無(wú)法達(dá)到設(shè)定值的情況，期間伴熱溫度不應(yīng)低于10℃，若15分鐘內(nèi)無(wú)法恢復(fù)正常，則應(yīng)切回至原來(lái)的氣源。排查T(mén)C的異常后再重新送氣。

監(jiān)控觀察氨氣主管道水分儀80ppb以下，記錄切換后兩小時(shí)內(nèi)主管水分儀的最大測(cè)量值。

7.3槽車(chē)切換停氣送氣

注意：車(chē)間生產(chǎn)時(shí)沒(méi)經(jīng)允許禁止切換NH3BSGS氣柜。

現(xiàn)有的NH3BSGS共有三套供氣系統(tǒng)，其中1號(hào)/2號(hào)可互補(bǔ)聯(lián)動(dòng)；3號(hào)未與其他兩臺(tái)聯(lián)動(dòng)。

7.3.0切換槽車(chē)操作流程圖

NH3BSGS系統(tǒng)#1#2為聯(lián)動(dòng)切換送氣

7.3.1NH3BSGS系統(tǒng)設(shè)置#1#2為聯(lián)動(dòng)一備一用，即其中一臺(tái)NH3BSGS處于OnLine（供氣）狀態(tài)時(shí)，另一臺(tái)NH3BSGS氣柜處于Standby（待機(jī)）狀態(tài)。

7.3.2當(dāng)兩臺(tái)設(shè)備處于7.3.1狀態(tài)時(shí)，對(duì)兩個(gè)氣柜均作7.1項(xiàng)的檢查后，對(duì)供氣氣柜輸入密碼“11234”點(diǎn)擊操作面板上“StopOnLine”并確認(rèn)，此氣柜停止供氣，而處于待機(jī)狀態(tài)氣柜自動(dòng)開(kāi)啟供氣狀態(tài)。

7.4NH3BSGS系統(tǒng)#3為單用切換送氣

NH3BSGS系統(tǒng)#3。作7.1項(xiàng)的檢查后，輸入密碼2222點(diǎn)擊面板上按鈕送氣、停氣。

7.5更換槽車(chē)操作流程圖

切換到Shutdown狀態(tài)

進(jìn)入PrePurge模式

抽氣10分鐘

負(fù)壓測(cè)試10分鐘

PurgeVent150次

切換槽車(chē)ChangeCyl

正壓測(cè)試10分鐘

進(jìn)入PostPurge模式

負(fù)壓測(cè)試10分鐘

PurgeVent150次

吹掃完成

進(jìn)入StandBy狀態(tài)

查找原因

Y

N

查找原因

Y

N

7.5.1點(diǎn)擊面板輸入密碼11234操作界面上StopOnLine使處于Standby狀態(tài)系統(tǒng)Shutdown，

7.5.1.1手動(dòng)把槽車(chē)出口端的安全鎖手拉式關(guān)閉，進(jìn)入“ManualMode”模式，把槽車(chē)出口端至BSGS管道的氨氣抽掉，點(diǎn)擊打開(kāi)氣動(dòng)閥V7、V5、V13A和MV13A手閥抽氣5分鐘，再把槽車(chē)出口端手動(dòng)閥關(guān)閉依次關(guān)閉氣動(dòng)閥門(mén)。

7.5.2NH3BSGS第一次吹掃：點(diǎn)擊StartPrePurge，軟件彈出確認(rèn)對(duì)話(huà)框，點(diǎn)擊Confirm進(jìn)入下一步操作：

7.5.2.1系統(tǒng)會(huì)提示在PrePurge前打開(kāi)真空發(fā)生器手閥，拔掉槽車(chē)上方氣動(dòng)閥，完成后點(diǎn)擊Ok。

7.5.2.2系統(tǒng)彈出提示：開(kāi)啟手閥MV-1A，開(kāi)啟后點(diǎn)擊OK。

7.5.2.3系統(tǒng)彈出提示：開(kāi)啟手閥MV-13A，開(kāi)啟后點(diǎn)擊Ok。

7.5.2.4MV-1A、MV-13A手閥打開(kāi)后系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行抽氣10分鐘。

7.5.2.5抽氣結(jié)束后彈出提示：關(guān)閉手閥MV-1A，完成后點(diǎn)擊OK。

7.5.2.6MV-1A手閥關(guān)閉后，NH3BSGS自動(dòng)進(jìn)入(VacuumTest)負(fù)壓測(cè)試，測(cè)試時(shí)間10分鐘；負(fù)壓測(cè)試完成后NH3BSGS進(jìn)行不少于150次(PurgeVent)吹掃，吹掃完成后系統(tǒng)第一次吹掃(PrePurge)階段結(jié)束。注意面板上方提示，當(dāng)顯示PrePurgeCompleted時(shí)表明此階段已結(jié)束。

7.5.3更換NH3槽車(chē)：點(diǎn)擊StartChangeCyl，系統(tǒng)彈出提示：調(diào)節(jié)PurgeN2壓力是否為20psi，檢查無(wú)誤后點(diǎn)擊OK。

7.5.3.1系統(tǒng)彈出更換NH3槽車(chē)的提示：操作員在此階段進(jìn)行更換槽車(chē)作業(yè)，完成后點(diǎn)擊OK。

7.5.3.2槽車(chē)更換完成后，系統(tǒng)彈出提示：調(diào)節(jié)PurgeN2壓力是否為80psi，檢查無(wú)誤后點(diǎn)擊Ok。

7.5.3.3彈出下列界面，填寫(xiě)新槽車(chē)中液氨重量，完成后點(diǎn)擊OK。

填寫(xiě)液氨凈重

7.5.3.4NH3BSGS自動(dòng)進(jìn)入(PressureTest)正壓測(cè)試，測(cè)試時(shí)間10分鐘。測(cè)試完成后，ChangeCyl階段結(jié)束。注意上方提示，當(dāng)顯示ChangeCylCompleted表明此階段已結(jié)束。

7.5.3.5上述完成后，槽車(chē)出口端至BSGS管道手動(dòng)正壓測(cè)試2小時(shí)以上，保壓通過(guò)后進(jìn)行第二次吹掃。

7.5.4NH3BSGS第二次吹掃：點(diǎn)擊StartPostPurge，自動(dòng)進(jìn)入(VacuumTest)負(fù)壓測(cè)試，測(cè)試時(shí)間10分鐘；負(fù)壓測(cè)試完成后NH3BSGS進(jìn)行不少于150次(PurgeVent)吹掃，吹掃完成后系統(tǒng)第二次吹掃(PostPurge)階段結(jié)束。注意面板上方提示，當(dāng)顯示PostPurgeCompleted表明此階段已結(jié)束。

7.5.5槽車(chē)供電加熱24小時(shí)后點(diǎn)擊面板ManualMode進(jìn)行手動(dòng)操作做Condition。

7.5.5.1依次打開(kāi)氣動(dòng)閥V7、V5、V13A打開(kāi)狀態(tài)MV13A手閥關(guān)閉狀態(tài)。

7.5.5.2手動(dòng)打開(kāi)槽車(chē)出口閥門(mén)常開(kāi)狀態(tài)，安全鎖手拉式打開(kāi)30秒后關(guān)閉。

7.5.5.3打開(kāi)MV13A手閥控制V5壓力50psi以下，直到壓力抽到-10psi以上關(guān)閉MV13A手閥；

7.5.5.4重復(fù)上述7.5.5.1、2、3進(jìn)行Condition操作5次以上聽(tīng)BSGSVENT管直到是氣流聲；

7.5.5.5再進(jìn)行系統(tǒng)點(diǎn)擊StartCondition進(jìn)行Condition操作流程至少1次。

7.5.6NH3BSGS系統(tǒng)切換到StandBy狀態(tài)：點(diǎn)擊StartOnLine，軟件彈出確認(rèn)對(duì)話(huà)框，點(diǎn)擊Confirm進(jìn)入