以無水氟化氫項目建議書

以無水氟化氫（AHF）為原料年產(chǎn)20kt電子級氫氟酸項目建議書2012年04月目錄TOC\o"1-5"\h\z項目概況 03產(chǎn)品方案 05市場需求與生產(chǎn)狀況 09項目工藝技術(shù) 12公用工程規(guī)格 14環(huán)境保護(hù)、職業(yè)安全衛(wèi)生及消防 17主要原材料及公用工程需求、運輸量 22項目實施進(jìn)程 24項目投資內(nèi)容 25勞動定員 30經(jīng)濟(jì)效益分析 32、項目概況項目名稱：以氟化氫（AHF）為原料年產(chǎn)20kt電子級氫氟酸生產(chǎn)線項目承辦單位：項目負(fù)責(zé)人：項目實施地點：項目投資內(nèi)容：新建年產(chǎn)20kt電子級氫氟酸生產(chǎn)線一條， 項目總投資2165萬元；其中固定資產(chǎn)投資1865萬元，鋪底流動資金300萬元。正常生產(chǎn)時需流動資金約 1200萬元。項目需占用土地10畝；完成廠房等土建 5368m4項目配套條件：本項目電力裝機容量350KW,需新增350KVA變壓器一臺，10KV/380V。年用電量220萬KW?h（噸產(chǎn)品電耗 110度）。供水接入管徑為 DN100;水壓為0.25MPa；年用水量為20萬噸。供熱：蒸汽用量為 0.3t/h,壓力為1.3MPa；需新增0.5t/h燃煤鍋爐一臺或從原有公用工程中接入DN25蒸汽管道。冷媒冷量消耗2.8106kJ。本項目三廢達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)排放，預(yù)計項目建成后對環(huán)境的影響將控制在允許范圍內(nèi)，不會造成污染。項目技術(shù)經(jīng)濟(jì)主要指標(biāo)：項目建成投產(chǎn)達(dá)產(chǎn)后，正常年份可年產(chǎn)電子級氫氟酸 20000噸，實現(xiàn)年銷售額 17000萬元；TOC\o"1-5"\h\z上繳增值稅及附加 600萬元；稅前年利潤4300萬元，所得稅率為 25%時， 上繳所得稅 1075萬元；稅后利潤為3225萬元?？山鉀Q就業(yè) 30人。預(yù)計項目投資回收期0.6年。主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)詳見表 1-1。表1－1技術(shù)經(jīng)濟(jì)主要指標(biāo)

序號項目名稱單位數(shù)量備注1I頁目題模年銷售妝人】7600萬元 產(chǎn)品方案電子級氫氟酸噸年20000銷售收入17000萬元工業(yè)級氫氟酸噸年1200銷售收入帥0萬元3原材料噸年年運輸量約32”7噸。主材AHF噸年9840副材告類助劑噸年4包裝物噸年24004年工作日天300三班制總淀員A30年人均工資3.3萬元。6占地m26667約10畝7新建建筑面積m25368S總投資：萬元2165其申固定資產(chǎn)投資萬元1865wa流動資金萬元3009年審整也\萬元1700010年銷售稅金及附加萬元60011年用上河總額萬元430012所得稅萬元1075按乃先計征所得稅13稅后利潤萬元3A5一?■14財務(wù)評價指標(biāo)投資利潤率%172.P達(dá)產(chǎn)年：所得稅后投資利稅率%262.7達(dá)產(chǎn)年銷售收入利稅率%28.82達(dá)產(chǎn)年投資回收期年0.6所得稅后、產(chǎn)品方案項目產(chǎn)品方案產(chǎn)能：新建年產(chǎn)2萬噸電子級氫氟酸裝置一套，設(shè)計能力為 66.7噸/天（2.8t/h）。年運行時間為300天（7200小時）。主要原材料：本裝置以無水氟化氫為原料。原材料及產(chǎn)品指標(biāo)氟化氫（AHF）氟化氫（HydrogenFluoride）,化學(xué)分子式為HF,分子量20.01,易溶于水、乙醇。無水氟化氫（簡稱AHF）低溫或壓力下為無色透明液體，沸點19.4C,熔點-83.37C,密度1.008g/cm3（水=1）。在室溫和常溫下極易揮發(fā)成白色煙霧。它的化學(xué)性質(zhì)極活潑，能與堿、金屬、氧化物以及硅酸鹽等反應(yīng)。氟化氫的水溶液為氫氟酸，工業(yè)氫氟酸為含氟化氫 60%以下的無色澄清水溶液，無色透明，在敞口容器中易于揮發(fā)，有強烈的刺激性氣味、具有很強的腐蝕性，能迅速腐蝕玻璃等含硅材料，具有酸的一般通性，劇毒。氟化氫氣體對眼、耳、鼻、喉粘膜有強腐蝕作用，對人的牙齒及骨骼有嚴(yán)重腐蝕性，并使之鈣化?？諝庵凶畲笤试S濃度為 1mg/m3。氟化氫是現(xiàn)代氟化工的基礎(chǔ)，是制取元素氟、各種氟致冷劑、含氟新材料、無機氟化鹽、各種有機氟化物等的最基本原料。產(chǎn)品指標(biāo)如下表2-1（國家標(biāo)準(zhǔn)：GB7746-1997）。本項目首選優(yōu)級品，一級品也可使用。表2-1氟化氫國家標(biāo)準(zhǔn)GB7746-1997表>1氧化氫國家標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo)名稱指標(biāo)優(yōu)級一級合格品氟化盲含量近） %>處.9599.9099.70水分含量吐0）, %S0,0300,0600JC0羸硅酸含量（H雞正石工 屋W0.0100.0300.050二氧化硫含量66八0.0070.0150.030不揮發(fā)酸計）含量，%W0.0050.0200,050高純氫氟酸高純氫氟酸的分類：國際SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational）標(biāo)準(zhǔn)化組織根據(jù)高純試劑在世界范圍內(nèi)的實際發(fā)展情況， 按品種進(jìn)行分類，每個品種歸并為一個指導(dǎo)性的標(biāo)準(zhǔn)，其中包括多個用于不同工藝技術(shù)的等級，具體見表 2.2。

表】2 SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級5EMI標(biāo)準(zhǔn)C1(Gradel)Cl(Graded)CS(GradeS)C12(Grade4)Cl前(Grade5X,CH(AT^lGrade)金屬雜質(zhì)三Ippni<10ppbW]ppb<0.1ppb<0,01ppb^<50ppb控制苞徑5沙5>0.5<0.2->0,5顆粒，個ml<25<25<5--<250適應(yīng)范圍>1.2nmIC適用于0.S4.2pmIC適用于。二IC適用于0.09-0.2lihiIC適用于<0,。9皿IC適用于二岬IC國內(nèi)一些高純試劑生產(chǎn)企業(yè)擁有自己的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，其中， BV系列標(biāo)準(zhǔn)比較常見，該標(biāo)準(zhǔn)共分為七個等級。如：北京化學(xué)試劑用的就是 BV系列標(biāo)準(zhǔn)，具體見表2.3。表22國內(nèi)高純試劑常用規(guī)格品緩塵埃粒徑塵埃粒子數(shù)各金屬雜質(zhì)含量（非金屬雜質(zhì)含fi）適用十半導(dǎo)體IC低塵埃AIdum>2700個/100ml—三5cV0啜、5PliW2TM個ZWOmlC<lppb)三3小（適合卬小規(guī)模集成電路5Wn技術(shù)用）BV-I紙三lujJLW300個口00mllOppb>2卬趾屬于標(biāo);隹電子颯）（相當(dāng)于EL5S級）BV-U維Rum--1個「100mlUQppb手1UiKii〔屬于標(biāo)準(zhǔn)電子策EL軀）（相當(dāng)于ELWSS線）Bv-n噬子.W2yt'；mlWlOppb心用工L2ym（相當(dāng)于&0C7X屬于超大規(guī)模集成電路級VLR或ULS股）BV一映WO.SLLrnWlppb口2?C而呼iBV-V?E三TBDW0Ippb0.09^0.2^m針對各微電子生產(chǎn)企業(yè)對高純氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同，可將其劃分為四個檔次:①低檔產(chǎn)品，用于>1.2pmKX藝技術(shù)的制作；②中低檔產(chǎn)品，適用于 0.8?1.2科mid：藝技術(shù)的制作；③中高檔產(chǎn)品，適用于0.2?0.6mIC工藝技術(shù)的制作；④高檔產(chǎn)品，適用于0.09?0.2科橋口v0.09mIC：藝技術(shù)的制作。具體檢測時的指標(biāo)值如下:檢測項目單位EL級指標(biāo)2IP級指標(biāo)值UP含量%49%±0.549°o=02I?色度Hazen<10<10顆粒(>1.0pn)Eaml<250(>0.5pn)Eiml<300<25Eaml<150Eaml<300鋰(Li)PPb<1<1鍍(Be)PPb<1<1鈉(Na)PPb<50<10鎂（Mg）PPb<50<10鋁(Al)PPb<50<10鉀gPPb<50<10鈣OPPb<100<10機(v)PPb<50<10銘(Cr)PPb<50<10鋤（Rb）PPb<20<10鐵（Fe）PPb<100<10鉆(Co)PPb<100<10銀(Ni)PPb<50<10銅(Cu)PPb<50<10鋅（Zn）PPb<50<10律(Ga)ppb<20<10t￡(Sr)PPb<20<10銀（Ag）PPb<1<1鎘(Cd)ppb<1<1葩(Cs)PPb<1<1釵(Ba)PPb<20<10鎰(\m)PPb<100<10鉛(Pb)PPb<100<10鈦(Ti)PPb<1<1硼(B)PPb<10<10神(As)PPb<10<10鋤（Bi）PPb特rmnnh三、市場需求與生產(chǎn)狀況國際市場1999年?2010年間，全球電子化學(xué)品市場的年均增長率為 9%左右。預(yù)計2012年全球電子化學(xué)品銷售額將達(dá)到380億美元，并且未來幾年仍將維持8?10%的增速，高于全球GDP增速。2005年前，在電子化學(xué)品中，電子級氫氟酸與其它電子級清洗劑液所占比重為 8?9%;2005年開始，隨著太陽能電池片產(chǎn)業(yè)的爆炸式成長，帶動電子級氫氟酸的使用量也超規(guī)模增長，在電子化學(xué)品中，電子級氫氟酸與其他電子級清洗劑液占比已上升至 14?15%,預(yù)計2012年全球銷售額在55億美元左右。在國際市場上，高端 IC芯片所需的電子級氫氟酸由幾家知名大公司壟斷；即使中國產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到要求，高端 IC芯片制造商也不會采用中國產(chǎn)品，因為更換供應(yīng)商的風(fēng)險太大。但只要中國產(chǎn)品質(zhì)量符合要求，價格具有競爭力，那些中低檔IC芯片、太陽能電池片的生產(chǎn)廠家，還是會采用中國產(chǎn)品。目前，中國生產(chǎn)的電子級氫氟酸 80%用于出口。主要出口國家和地區(qū)有臺灣、美國、韓國、日本、印度等。國內(nèi)市場國內(nèi)電子級氫氟酸市場主要集中在太陽能、半導(dǎo)體、IC、液晶屏和玻璃解薄行業(yè)。 2011年全球太陽能電池片產(chǎn)出達(dá)到29.5GW（全球太陽能發(fā)電安裝量在2011年創(chuàng)歷史新高，達(dá)到27.4GW），其中中國太陽能電池片產(chǎn)出達(dá)到18.6GW占全球產(chǎn)出的60%；截止2011年6月，全國在建與投產(chǎn)的電池組件企業(yè)共有 156家，太陽能電池片產(chǎn)能高達(dá) 35.6GW。根據(jù)資料，從多晶硅切片開始統(tǒng)計，在正常情況下，每生產(chǎn)1GW（1000MW）太陽能電池片，需消耗40%的電子級氫氟酸 3620噸。據(jù)此計算，當(dāng)中國國內(nèi)的太陽能電池片產(chǎn)量達(dá)到30GW時，每年消耗的40%電子級氫氟酸為10.86萬噸。其它使用電子級氫氟酸的行業(yè)還有：半導(dǎo)體行業(yè)、IC制造業(yè)、液晶屏和相關(guān)玻璃制造業(yè)等，預(yù)計2012年將消耗 40%電子級氫氟酸 2.6萬噸左右，而且國內(nèi)的這些行業(yè)都在擴張，市場需求量在不斷增加。所以，國內(nèi)電子級氫氟酸市場發(fā)展?jié)摿薮?，空間廣闊。從2011年開始，電子級氫氟酸銷售已開始從以外貿(mào)為主，轉(zhuǎn)向外貿(mào)與內(nèi)銷并行；預(yù)計從2015年開始，國內(nèi)的銷售量將大于外貿(mào)量。生產(chǎn)狀況分析目前我國有電子級氫氟酸生產(chǎn)企業(yè) 50多家，裝置生產(chǎn)能力在萬噸級以上的有 5套，目前國內(nèi)電子級氫氟酸的年產(chǎn)能為130萬噸。詳見表 3-1。表3d電子級氫氟酸國內(nèi)主要生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)能情況序號企業(yè)名稱產(chǎn)能k匚a的注1浙江凱恒電子材料有0良公司216kL浮口15ktiS—條號X浙江藍(lán)蘇氟化學(xué)有限公司5德國蘇威公司技術(shù)3福建省郃武華新化工有限公司金塘甑化學(xué)分公司10在建，頸計劉12年5月投產(chǎn)4福建省郃武市永飛優(yōu)工有限公司35湖南株洲黃東實業(yè)有限公司5非專有裝置，與試劑黃藏酸共產(chǎn)6河南焦作市氟源化工百E艮公司4在建7多箱多化工股份有限公司5在建$安徽宣城亨泰優(yōu)工有限公司12在建g江西葛州華星箱材料有F艮公司5在建10江蘇三美化工有限公司（南通）10在建11合肥格林達(dá)電子材料有限公司1L在建12總計9。從以上表格可看出，國內(nèi)已投產(chǎn)的生產(chǎn)廠家并不多，按照產(chǎn)能計算只有 2.9萬噸。在建的廠家中，有個別廠家只是完成了項目審批， 尚未開建；還有個別廠家在建過程中發(fā)現(xiàn)存在技術(shù)問題，正在尋求解決。目前，許多太陽能硅片企業(yè)采用試劑級氫氟酸作清洗酸。 實際上，試劑級氫氟酸只能由于清洗、處理硅塊料和碎料。太陽能硅片制造工藝過程中去除擴散制結(jié)”后在硅片表面形成的那層磷硅玻璃時所用的氫氟酸，還是應(yīng)該采用EL級或C1級以上的品質(zhì)。隨著太陽能硅片行業(yè)競爭的加劇， 對產(chǎn)品質(zhì)量的管理會越來越嚴(yán)格， 對輔助材料的要求也會越來越高；這應(yīng)該是期待中的事。四、項目工藝技術(shù)工藝簡介本項目采用無水氟化氫為原料，原料資源豐富、無固廢物排放。具體的工藝是：無水氫氟酸首先經(jīng)過化學(xué)預(yù)處理，除神、除硫、脫硼；然后泵入高位槽，再進(jìn)入精儲塔，通過精儲得到高純的氟化氫氣體， 并進(jìn)入吸收塔；精儲塔殘液定期排放至生產(chǎn)工業(yè)級氫氟酸系統(tǒng)或回到無水氟化氫生產(chǎn)系統(tǒng)。 在吸收塔中，通入經(jīng)計量的超純水，把高純氟化氫氣體吸收為高純氫氟酸粗品； 氫氟酸粗品經(jīng)超凈過濾，在除去可能存在的顆粒后進(jìn)入儲罐均質(zhì)處理；最后在凈化室內(nèi)包裝，得到高純電子級氫氟酸產(chǎn)品。電子級氫氟酸的HF含量完全可控。在25%?55%的范圍內(nèi)，可根據(jù)客戶的需要安排生產(chǎn)。工藝過程中的高純水制作工藝： 自來水或清水先進(jìn)行粗過濾， 再進(jìn)入超純水系統(tǒng)，在經(jīng)過超濾、微濾、納濾裝置后，進(jìn)行反滲透、樹脂吸附、 EDI等工序處理，得到超高純水；超高純水檢驗合格后進(jìn)入儲槽，供給各個使用場合（吸收塔、助劑配制、分析室、包裝桶清洗、設(shè)備清洗等）凈化室要求：當(dāng)要求電子氫氟酸產(chǎn)品質(zhì)量符合 UP-S級及更高時，凈化室應(yīng)達(dá)到ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)ISOclass3的要求；相當(dāng)于中國國家標(biāo)準(zhǔn) GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》3級。廠內(nèi)整體環(huán)境：廠房、分析室、倉庫等必須是封閉的，而且也要達(dá)到一定的潔凈度，一般為10000級（隨高純氫氟酸產(chǎn)品等級而提高）；還要保持一定的溫度（22.225C,具體操作部位控制在22.2=0.11C）、濕度（40%左右，不得低于30%,不得高于50%）。建筑外圍所有場地必須進(jìn)行綠化和地面硬化處理，平時要求規(guī)范護(hù)養(yǎng)，盡量減少揚塵。工藝流程簡圖 見圖14.2工藝流程簡圖見圖1圜1二高純氯氟酶工藝流程圖本項目為成熟技術(shù)，已有5條生產(chǎn)線在正常運行。五、公用工程規(guī)格本項目需要配套的公用工程及其規(guī)格如下:1飽和蒸汽供汽壓力： 1.3MPa供汽溫度： 190c蒸汽用量： 900kg/h循環(huán)冷卻水供水壓力： 0.4Mpa供水溫度： &30（或當(dāng)?shù)丨h(huán)境溫度）硬度：（含CaCO3）w50Ppm含氯離子： &100ppm水循環(huán)量： 220m3/h超純水電阻：10X1018Q供水壓力：0.4Mpa供水溫度：工22用量： 3.5T/h新鮮水供水壓力：0.4Mpa供水溫度：25℃接入水管管徑：DN150水消耗量：10m3/h儀表空氣干燥、無油露點：-40℃供氣壓力： 0.6MPa（A）供氣溫度： 常溫用氣量： 400m3/h動力電380/220V，三相，50HZ裝機容量：350KVA每小時電耗： 305KWh（噸產(chǎn)品電耗110KWh）冷媒40%乙二醇溶液，-15℃每小時耗量：2.8106kJ工廠排水本項目正常排水量為0.3m3/h，主要是生活污水；最大排水量為 3.5m3/h。根據(jù)排水來源及排水水質(zhì)，實行清污分流，本項目的排水劃分為生產(chǎn)污水排水系統(tǒng)、生活污水排水系統(tǒng)及雨水排水系統(tǒng)。生產(chǎn)污水排水系統(tǒng)本項目的生產(chǎn)廢水主要為含氟廢水，正常生產(chǎn)時無廢水，檢修或發(fā)生事故時，廢水的最大排水量約 2.5m3/h。收集后送入廠內(nèi)污水處理站進(jìn)行處理。生活污水排水系統(tǒng)廠內(nèi)生活污水正常排水量為0.3m3/h，最大排水量約 1.0m3/h，經(jīng)化糞池處理后送入原廠污水處理站進(jìn)行處理，達(dá)標(biāo)后排放。雨水排水系統(tǒng)雨水通過道路雨水口收集，經(jīng)管道排入清凈下水 ——雨水排水管網(wǎng)，排入廠內(nèi)排水溝，最終排至廠外。發(fā)生氟化氫或氫氟酸泄漏等緊急情況時，噴淋水和消防水統(tǒng)一排入廠內(nèi)雨水應(yīng)急收集池，送至污水處理站處理后達(dá)標(biāo)排放。六、環(huán)境保護(hù)、職業(yè)安全衛(wèi)生及消防1環(huán)境保護(hù)廢氣項目裝置內(nèi)產(chǎn)生的廢氣為工藝尾氣，其排放量正常情況下分別為800m3/h，主要污染物為氟化物等。廢水本項目的廢水主要是含氟廢水，其正常排放量為0.3m3/h，最大排放量為3.5m3/h；生活污水排放量為1.0m3/h,其主要污染物為COD、BOD、S.S.等。廢渣廢渣來自污水處理站的污泥。噪聲噪聲源主要有引風(fēng)機及空壓站，產(chǎn)生的噪聲約85dB（A）。三廢的環(huán)保處理廢氣治理氟化氫精制、氫氟酸吸收、氫氟酸包裝等產(chǎn)生一定量的尾氣，經(jīng)兩級水噴淋吸收后排入大氣；排放廢氣中氟化氫含量可控制在 9.0mg/m3以下；廢氣最終經(jīng)排風(fēng)筒高空排放。污水處理生產(chǎn)過程不產(chǎn)生污水。設(shè)備檢修時產(chǎn)生清洗污水，氟化氫氣體泄漏時產(chǎn)生噴淋吸收水。兩股污水進(jìn)入污水處理站后，采用石灰及其他污水處理助劑進(jìn)行化學(xué)處理，然后經(jīng)沉降、過濾，清液氟離子濃度可控制在 10PPm以下，懸浮物可控制在150PPm以下，達(dá)到污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)；若增加一套軟水裝置，可將排放水處理后作為工藝水或循環(huán)水使用，減少新鮮水的使用。生活污水在發(fā)酵池處理后排至廠外的污水系統(tǒng)。廢渣處理與利用經(jīng)過濾得到的污泥，氟化鈣含量可達(dá)到70%以上（根據(jù)石灰含量而定，一般氟化鈣含量的百分比略低于石灰中氧化鈣含量的百分比），可作為水泥礦化劑處理。正常生產(chǎn)時，年最大排放量為18噸。噪聲防治噪聲采用綜合措施予以防治，主要措施：盡量選擇低噪音設(shè)備、建筑物隔聲、安裝消音器、基礎(chǔ)加減振橡膠墊等。為操作檢修人員配備耳塞及耳罩。職業(yè)安全衛(wèi)生勞動保護(hù)與安全衛(wèi)生保護(hù)的原則和要求項目必須符合國家勞動保護(hù)與安全衛(wèi)生方面的有關(guān)法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)定，認(rèn)真執(zhí)行國務(wù)院發(fā)布的《工廠安全衛(wèi)生規(guī)程》以及原化工部令第10號，即《化學(xué)工業(yè)部安全生產(chǎn)嚴(yán)禁令》，貫徹“安全第一，預(yù)防為主 ”的方針，設(shè)計中按防火、防爆的規(guī)定，合理進(jìn)行平面布置，確保職工在生產(chǎn)中的安全。根據(jù)中華人民共和國勞動部令第 3號，即《建設(shè)項目（工程）勞動安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定》的要求，一切建設(shè)項目、勞動保護(hù)與安全衛(wèi)生的技術(shù)措施、設(shè)施應(yīng)執(zhí)行“三同時”的制度。項目生產(chǎn)過程中職業(yè)危害因素分析危害性物質(zhì)：生產(chǎn)過程的原料和產(chǎn)品屬于有毒有害物、腐蝕性物料，有可能產(chǎn)生危害人體、腐蝕設(shè)備廠房等，因而需進(jìn)行重點防護(hù)。危害性物質(zhì)主要有：氟化氫、氫氟酸等。噪聲危害：本項目鼓、引風(fēng)機等設(shè)備工作時均產(chǎn)生噪聲。噪聲對人體的危害，除聽力減退外，尚有耳鳴或耳痛的癥狀或兼有明顯的神經(jīng)衰弱綜合癥（頭痛、頭暈、多夢、乏力、失眠、記憶力減退、心悸等）。嚴(yán)重時能引起中樞神經(jīng)系統(tǒng)功能狀態(tài)的改變。本項目存在自然環(huán)境中雷電、暴雨、地震等自然災(zāi)害等危害。勞動安全衛(wèi)生設(shè)計中采用的主要防范措施本工程在設(shè)計中認(rèn)真貫徹“安全第一，預(yù)防為主”的方針，確保建設(shè)項目符合國家規(guī)定的勞動安全衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)，保障勞動者在生產(chǎn)過程中的安全和健康。根據(jù)本項目的特點，各專業(yè)在工程設(shè)計中嚴(yán)格按標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)模采取各種預(yù)防及保護(hù)措施，其中主要的措施有：1）選用自動化水平較高的集散控制系統(tǒng)（ DCS）進(jìn)行生產(chǎn)管理、過程控制、聯(lián)鎖和超時報警。2）設(shè)置消防系統(tǒng)。3）根據(jù)裝置原料及產(chǎn)品的特點，按《爆炸和火災(zāi)危害環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》選用電氣設(shè)備；現(xiàn)場儀表采用本質(zhì)安全型；按規(guī)范采取靜電接地措施；所有的電纜及電纜橋架選用阻燃或難燃型；在較高建構(gòu)筑物上設(shè)避雷裝置。4）有關(guān)工藝設(shè)備及管道采用耐腐蝕材料制造；高、低溫設(shè)備和管道采取隔熱處理。5）提高有毒物料設(shè)備、管道的密封等級，整個系統(tǒng)避免物料外泄。6）在職工有可能接觸有毒及有腐蝕物料的崗位，設(shè)置沖洗設(shè)備，如上水軟管、洗眼器、淋洗器、氟離子電離器等，一旦皮膚接觸有或有腐蝕物料，可立即沖洗或電離。7）各轉(zhuǎn)動設(shè)備安裝防護(hù)安全罩，設(shè)備平臺及樓梯設(shè)置護(hù)欄。8）凡有腐蝕性物料存在的場地、建、構(gòu)、物均滿足防腐蝕規(guī)范的規(guī)定。）盡可能增加綠化面積，通過種植喬木及灌木，使噪聲衰減，從而滿足廠界噪聲限制值。對在噪聲較大的廠房工作的工人應(yīng)配帶耳塞、耳罩，同時設(shè)隔聲控制室。）根據(jù)不同的崗位，配備防毒面具、膠手套、膠鞋、防護(hù)眼鏡、工作服、氧氣袋、防噪聲耳塞等勞動保護(hù)用品。）配備專職及兼職的安全員，負(fù)責(zé)本項目的安全衛(wèi)生管理。6.4消防火險分析在工藝生產(chǎn)裝置中主要危險物為氟化氫和氫氟酸，由于氟化氫和氫氟酸均為不燃物，因此本裝置的火災(zāi)危險性類別為“丁類”。其它輔助設(shè)施中，綜合樓和變配電的火災(zāi)危險類別為“丙類”；循環(huán)水設(shè)施的火災(zāi)危險類別為“戊類”。消防概念為充分貫徹“以防為主，防消結(jié)合”的消防原則，本設(shè)計依據(jù)國家現(xiàn)行消防法規(guī)的要求，并結(jié)合總圖布置、 工藝生產(chǎn)裝置特點及物料性質(zhì)等， 從工藝生產(chǎn)、總圖布局、建構(gòu)筑物防火處理、防雷接地、 火災(zāi)自動報警等各個方面采取相應(yīng)的措施，以防止火災(zāi)的發(fā)生，最大限度的減少火災(zāi)所帶來的損失。本項目可依托當(dāng)?shù)叵狸?。依?jù)新建項目規(guī)模確定同一時間內(nèi)火災(zāi)次數(shù)按一次考慮。消防主泵流量 100L/s，消防穩(wěn)壓

泵流量5L/s?；馂?zāi)延續(xù)時間：工藝裝置 2小時。消防一次用水量不小于 800噸。室外消防水管網(wǎng)按獨立環(huán)狀敷設(shè)， 管網(wǎng)壓力不小于0.5兆帕。管網(wǎng)上設(shè)置室內(nèi)外消火栓等。消防水槍選用水霧兩用型。根據(jù)現(xiàn)行國家現(xiàn)行消防法規(guī)的要求， 在本項目范圍內(nèi)配置一定數(shù)量的移動式滅火設(shè)備和器材。七、主要原料及公用工程需求、運輸量7.1主要原材料及公用工程需求表7/主要原材料及公用工程一覽表序號品名主期格單位噸產(chǎn)品消耗年用量U年）1題化羽hf>gg.95%t0.4?98402告類助劑螞0240003超純水tL25250004電380-22OA,50Hzmilllfl220Kle4蒸汽l.JMPat03264006冷媒uLS106*算1壓縮空氣1002.0x10^S新鮮水t3.57..0X10*普建：按照電子級氫氟馥含型為4yo計算力7.2運輸量本項目運輸量為32287t/a；其中運入量為12269t/a,運出量為20018t/a。詳見下表:

表7-2運輸量一覽表序號貨物名稱年運輸量①a)般S裝式包方備注—運A1氟化氯9840液槽隼i?各類助劑4國,3包裝物24004石灰255小計12269運出1氫福馥20000港瓶裝2廢渣LS固汽車31小計2001S4合計322S7八、項目實施進(jìn)程本項目擬在9個月內(nèi)建設(shè)完成，具體實施規(guī)劃見下表:表項目實施進(jìn)度表項目內(nèi)容項目迸展月飾12345&?89101112131415可評畝批初步設(shè)計設(shè)計聯(lián)絡(luò)施工困謾計土建道工謾每訂貨及制造設(shè)備魁調(diào)試肥工培訓(xùn)投產(chǎn)九、項目投資內(nèi)容生產(chǎn)裝置主要設(shè)備新建20kt/a電子級氫氟酸生產(chǎn)線一條，主要設(shè)備如表 9-1。設(shè)備投資額預(yù)計為422萬元。表9」主要設(shè)備投資一覽表序號設(shè)備名稱單位婚單價（萬元）總價（萬元）1氟化氫除礎(chǔ)裝置套135.035.02氟化氫高位槽個110.010.03氟化氫精儲塔套235.070.04精僵塔填料m5121.518.0L氧體氯聲'潮器套218.036.06霞化氫冷凝器臺125.025.07氯氟酸吸收塔臺125.025.08氯氟酸精密超濾器套212024.09氯氟酸循環(huán)泵臺42.510.010氫氟酸復(fù)配槽個12.02.011氯氟酸循環(huán)槽個12.02.012氯氟酸成品槽個28.016.01310T，蛇屯水系統(tǒng)套135.055.014純水冷卻器臺215.030.015純水高位槽個22.04.016純水儲槽個23.57.017純水循環(huán)泵臺22.04.018尾氣風(fēng)機臺23.57.019尾氣吸收系統(tǒng)套112.012.020廢水調(diào)節(jié)池50M$個125.025.021包裝福清洗工作臺個32.010.022自動包裝裝置套115.015.023合計422.0公用工程的主要設(shè)備配套公用工程的主要設(shè)備如表 9-2。投資額預(yù)計458萬元。表9T公用工程投資一覽表序號設(shè)備名稱數(shù)量投資籟（萬元）說明1高低g舔我1套35.0裝機容量約七Okw2循環(huán)水泵及涼水塔系統(tǒng)1￡15.0300mmi1r3到就1套1S,O脂機組4冷血占1套120.03臺搬且LDCS系統(tǒng)1套25.06消防水泉及消防系統(tǒng)1套15.07清、污、雨水地下管腳塔10.08全廠空氣潔凈系統(tǒng)全套220.0含千級和方級兩套裝置。9\合計458.0爸注:如需新建污水處理站（污水處理能力為WrVh），則需瑁加投資W萬兀。化驗設(shè)備及儀器

表9-3化驗設(shè)備及快器投資一覽表序鋁化蛤諼備及儀器名秫數(shù)量投奧額(萬元)1電感耦合等離子高頻質(zhì)譜分析儀(ICP-MS)1套80.02電感耦合等離子原子發(fā)射分析儀(KP—AES)1套35.03原子吸收分光光度計哈16.04多兀素快速分析原子吸收光譜儀［套25.05氯化物發(fā)生裝置1套4.56禽子電譜分析儀1￥12.0激光射射灌體微粒計數(shù)器1套2.57原子間力顯微輯1套12.0g納米激光空氣粒子計數(shù)器1套2.09掃描電子顯微鏡1套35.010光學(xué)膜諄測定儀1套屯0n全自動表面張力測定儀I套3.012赧粒測定儀1套4.013水電阻率測定儀(水電導(dǎo)率測定儀)嗜2.014常規(guī)分析儀海唯備全套12.015合計249.09.4土建投資 項目土建投資約為336元，具體投資內(nèi)容如下:9.4.1房屋建筑

表主要建筑物投資一覽表序號土建內(nèi)容層數(shù)占地面積m2建筑面積m2投資額（萬元）1主裝置框架廠房514x1498070.02維K處理廠房112x1821613.03潔凈包裝車間118x1664839.04機修車間1JSxlS3241Q.05輻環(huán)水泵房18^2419210.08冷涼與空壓房11S?2443222,07K助沸與化蛉樓316鄧134495.0S成品倉庫I]SxJ664853.09備品備件倉庫1ISxlS324⑹010其它126016.011合計5368m2333.09.4.2罐區(qū)、圍堰與水池表9-5罐區(qū)投資一覽表序號土建內(nèi)容數(shù)量占地面積m2圍堰（池）高m投資額（萬元）1氟化氮耀區(qū)17^50630n3廢水收集池110^10515.03雨水應(yīng)急收集池110x10515.04污水處理反應(yīng)池4L2?L212.04X5再水處理沉淀池1力105.5電06循環(huán)水池14“52X7消防水池116X12522.0S合計3.0如果原工廠沒有2?刀頁，剛需增加投資700萬元，9.5土地投資額項目需占用土地10畝（6667M2）。按照每畝8萬元，投資額為80萬元。9.6投資額合計項目固