安捷倫TwisTorr超高真空渦輪分子泵特點介紹

1、安捷倫TwisTorr超高真空渦輪分子泵特點介紹什么是超高真空渦輪分子泵渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵，典型的工作壓力是 1E-4Pa (0.0001Pa)- 1E-6Pa (0.000001Pa)。渦輪分子泵可以用于各類質(zhì)譜儀（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF）、鍍膜機、電子顯微鏡（SEM、TEM）、聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）、表面分析儀器，高能物理實驗裝置、粒子加速器、高真空實驗裝置等諸多應用。隨著技術(shù)的不斷進步，市場對其真空度的要求越來越高，同時，對其小型化、高可靠性、維護方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求。近年來，安捷倫陸續(xù)發(fā)布了多個型號的TwisTorr超

2、高真空渦輪分子泵，該系列把分子泵的典型工作范圍從高真空擴展到了超高真空：在極限狀態(tài)下，該系列分子泵可以實現(xiàn)優(yōu)于1E-8Pa (0.00000001Pa,大氣壓的十萬億分之一）的超高真空和1E+11的壓縮比（最大排氣分壓力為進氣分壓力的一千億倍）。作為一款加持了諸多“黑科技”的全新產(chǎn)品，TwisTorr系列高真空渦輪分子泵在具有高性能的同時，還能做到更經(jīng)濟、更可靠。下面就來看看，TwisTorr系列高真空渦輪分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧?！昂诳萍肌?No.1 TwisTorr 拖動技術(shù)渦輪分子泵內(nèi)有一個高速旋轉(zhuǎn)（每分鐘幾萬轉(zhuǎn)）的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子上有渦輪和拖動級進行抽氣。通常的分子泵拖動級采用圓柱

3、螺旋形的溝槽，而安捷倫 TwisTorr 技術(shù)把拖動級放在了薄薄的圓盤上，這樣就可以在有限的空間內(nèi)集成多對拖動級轉(zhuǎn)子盤和定子盤，節(jié)省空間的同時又能提高效率和性能。采用該技術(shù)的分子泵尺寸會更緊湊，并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比（特別是對小分子氣體的高壓縮比）可以帶來更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，從而降低了整個真空系統(tǒng)的成本和尺寸?！昂诳萍肌?No.2 AFS 安捷倫懸浮支撐技術(shù)一般的渦輪分子泵的設(shè)計，泵的軸承是通過過盈配合與轉(zhuǎn)子及泵體軸承座緊密連接的，一旦泵體有振動或沖擊，這些振動就會傳遞到軸承，并且通過軸承傳遞到轉(zhuǎn)子。由于渦輪分子泵的軸承和轉(zhuǎn)子都在高速轉(zhuǎn)動，

4、對振動特別敏感，傳遞到軸承的振動會影響軸承的壽命，傳遞到轉(zhuǎn)子的振動會造成轉(zhuǎn)子發(fā)生位移，甚至會與泵體或定子接觸。而一旦高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子與其它靜止的部分接觸，巨大的沖擊力會立即造成轉(zhuǎn)子葉片的破碎，整泵也隨之報廢。安捷倫 AFS 懸浮支撐系統(tǒng)，采用特殊的彈性材料隔離轉(zhuǎn)子與泵體，避免轉(zhuǎn)子和軸承受到從泵體傳來的沖擊；并且由于彈性材料的阻尼效應，可以吸收各種振動的能量，降低整泵的噪音和振動，保證最佳的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度減少系統(tǒng)停機時間，確保長時間工作的穩(wěn)定性。與永磁軸承相比，AFS懸浮支撐系統(tǒng)耐振動和沖擊的能力更強。永磁軸承包含多個與泵體連接的靜磁環(huán)和與轉(zhuǎn)子相連的動磁環(huán)，磁環(huán)在受到?jīng)_

5、擊時若發(fā)生互相接觸非常容易破碎，并且，由于動磁環(huán)是與轉(zhuǎn)子結(jié)合在一起做動平衡的，在損壞后維修的成本很高。與磁懸浮軸承相比，AFS懸浮支撐系統(tǒng)不需要復雜的電磁線圈和需要實時調(diào)整轉(zhuǎn)子姿態(tài)的控制系統(tǒng)，可靠性更高。另外，由于磁懸浮軸承分子泵的轉(zhuǎn)子在工作時會上浮（假設(shè)泵口為上），停泵時再落下，所以轉(zhuǎn)子動片與靜片之間需要預留更大的間隙，這樣就限制了其極限真空和壓縮比?！昂诳萍肌?No.3 特殊潤滑劑永久潤滑軸承使用渦輪分子泵的高真空環(huán)境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因為在高真空環(huán)境下，潤滑油或潤滑脂更容易汽化。采用高蒸汽壓油或者油脂作為潤滑材料的分子泵在停機時，會造成潤滑油或油脂汽化并返流到真空腔體。一方面，這

6、些油脂類的蒸氣會形成一種氣源，影響系統(tǒng)的真空度和純凈度；另一方面，這些蒸氣進入到真空腔體后，會冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統(tǒng)內(nèi)相關(guān)設(shè)備的工作。TwisTorr 系列分子泵采用安捷倫與軸承廠家合作研發(fā)的無油潤滑特制軸承，其采用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時幾乎沒有損耗，使得該泵在整個壽命周期內(nèi)都無需進行加注潤滑脂、更換油棉等維護。另外，使用該軸承的分子泵可以任意角度安裝?！昂诳萍肌?No.4 分子泵控制器 “3D” 控制軟件早期的分子泵控制器又叫分子泵電源，其最重要的功能是向分子泵供電；后來，改進型的控制器具備了一定的保護功能，可以監(jiān)控分子泵的功率和溫度，但分子泵始終以固定的速度運行，如果工況的變化（比如氣載變大）引起功率或溫度（2D）上升到一定值，控制器就會報警停機。與 404FS、704FS和804FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器變被動保護為主動調(diào)整，可以根據(jù)不同的工藝條件，自動調(diào)