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文檔簡介

1、曝光機(jī)操作規(guī)程修訂日期修訂單號(hào)修訂內(nèi)容摘摘要頁次版次修訂審核批準(zhǔn)2011/03/30/系統(tǒng)文件新新制定4A/0/批準(zhǔn):審核:編制:曝光機(jī)操作作規(guī)程1 目的正確指導(dǎo)員員工操作作,提高高工作效效率,提提高產(chǎn)品品品質(zhì),規(guī)規(guī)范生產(chǎn)產(chǎn)管理2 范圍生產(chǎn)部曝光光工序全全體員工工3職責(zé)生產(chǎn)部曝光光工序人人員負(fù)責(zé)責(zé)設(shè)備操操作4相關(guān)文件件4.1SYYQCC044曝光光工序工工藝規(guī)程程5曝光機(jī)操操作規(guī)程程5.1檢查查冷卻水水循環(huán)是是否正常常;5.2開啟啟電源;5.3按下下啟動(dòng)開開關(guān)(SStarrt)按按LCDD顯示屏屏,選擇擇中文操操作系統(tǒng)統(tǒng);5.4按下下主畫面面上之“啟動(dòng)開開關(guān)”,啟動(dòng)動(dòng)主系統(tǒng)統(tǒng);52.5按按下“

2、燈源系系統(tǒng)”進(jìn)行點(diǎn)點(diǎn)燈動(dòng)作作;5.6將“曝光方方式”設(shè)定在在手動(dòng)“框架前前進(jìn)”設(shè)定在在自動(dòng),并并開啟黃黃燈;5.7按曝曝光尺設(shè)設(shè)定和調(diào)調(diào)整曝光光能量;5.8清潔潔臺(tái)面后后將待曝曝光板置置于玻璃璃與MYYLARR中 5.9按吸吸真空開開關(guān),并并用手輕輕壓MYYLARR關(guān)緊框框架;5.10按按框架前前進(jìn)按鈕鈕,使框框架進(jìn)入入曝光室室進(jìn)行曝曝光;5.11當(dāng)當(dāng)上框架架進(jìn)行曝曝光時(shí),可可在下框框架放置置待曝光光板,重重復(fù)第11.81.110之步步驟,上上、下框框架交替替使用;5.12操操作完畢畢按主畫畫面之“關(guān)機(jī)開開關(guān)”選擇“是”,關(guān)閉閉電源,關(guān)關(guān)閉冷卻卻水循環(huán)環(huán)。6相關(guān)記錄錄表格6.1設(shè)備備日常維維護(hù)記錄錄設(shè)備日常維維護(hù)記錄錄部門:工序: 序序號(hào):設(shè)備名稱型號(hào)設(shè)備編號(hào)年 月 日日 項(xiàng)目 日期安全裝置調(diào)節(jié)器油、水、氣氣通道過濾器傳動(dòng)部位滑動(dòng)部位防銹處理衛(wèi)生清理其它簽名12345678910111213141516171819202122232425262728293031注:無此項(xiàng)項(xiàng),請(qǐng)從從橫格的的左下角角至右上上角畫一一條

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